JPH02306109A - Recognizing apparatus for three-dimensional position - Google Patents

Recognizing apparatus for three-dimensional position

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JPH02306109A
JPH02306109A JP12625889A JP12625889A JPH02306109A JP H02306109 A JPH02306109 A JP H02306109A JP 12625889 A JP12625889 A JP 12625889A JP 12625889 A JP12625889 A JP 12625889A JP H02306109 A JPH02306109 A JP H02306109A
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JP
Japan
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light
light emitting
distance
measured
light source
Prior art date
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Pending
Application number
JP12625889A
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Japanese (ja)
Inventor
Chiyoharu Horiguchi
千代春 堀口
Kazuo Kurasawa
一男 倉沢
Koji Ichie
更治 市江
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Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To perform scanning with light beams at a higher speed and to shorten the time for recognizing a three-dimensional position by sequentially and time- sharingly turning ON light emitting points provided in a two-dimensional manner thereby to perform scanning with the light beams emitted from a light source in a two-dimensional manner. CONSTITUTION:As a photodiode 20 of a light source 11 is sequentially turned ON from points l1.1 to l9.5 in a time-sharing manner, an illuminating pattern is drawn onto an object 13 to be measured. The reflecting light from the object 13 is received by receiving lenses 14,15 provided symmetric to each other center ing a Z axis and, the converged light beam is applied to photodetectors 16,17 for detecting the position of the object. The receiving elements 16,17 generate output signals corresponding to the position of convergence of the light beam. Then, the output signals are input to an operating means, where the distance to each illuminating point on the object 13 is operated. Furthermore, a scanning angle of the light beams onto the object 13 from a projecting lens 12 to an X and a Y axes is found out from driving signals which turn ON the light source 11. Accordingly, the three-dimensional position of the object can be known from the scanning angle and the distance to the object 13.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、被測定物からの反射光を利用して被測定物の
位置を3次元で認識する3次元位置認識装置に関するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a three-dimensional position recognition device that recognizes the position of a measured object in three dimensions using reflected light from the measured object.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第6図に一般的な距離検出器の光学系を示す。 FIG. 6 shows the optical system of a typical distance detector.

光源1の発光光束を投光レンズ2により、被測定物3に
集光して照射し、この反射光を受光レンズ4により、位
置検出用受光素子5に集光する。
The luminous flux of the light source 1 is focused and irradiated onto the object 3 by the light projecting lens 2, and the reflected light is focused by the light receiving lens 4 onto the light receiving element 5 for position detection.

ここで、受光レンズ4から被測定物3までの距離をL1
基線長を81受光レンズ4と位置検出用受光素子5との
間隔をfとする時、受光レンズ4の光軸中心からスポッ
ト光の重心位置までの距離Xは次の(1)式になる。
Here, the distance from the light receiving lens 4 to the object to be measured 3 is L1
When the base line length is 81 and the distance between the light receiving lens 4 and the position detection light receiving element 5 is f, the distance X from the optical axis center of the light receiving lens 4 to the center of gravity of the spot light is expressed by the following equation (1).

x−f−B/L             ・・・(1
)位置検出用受光素子5により、変位置を示す(1)式
のXを求めることにより、逆に距離りを求めるこ゛とが
できる。また、距離検出器を同図紙面と垂直で基線長方
向を含む平面上で機械的に移動させ、この2次元平面に
おける距離検出器の位置(X、Y)と、位置検出用受光
素子5から得られる変位置Xとから、Z軸方向の距1j
iffiLが求められ、(X、Y、Z)の3次元位置の
認識が行われていた。
x-f-B/L...(1
) By using the position detection light-receiving element 5 to find X in equation (1), which indicates the displacement, the distance can be found conversely. In addition, the distance detector is mechanically moved on a plane that is perpendicular to the plane of the figure and includes the base line length direction, and the position (X, Y) of the distance detector on this two-dimensional plane and the distance from the position detection light receiving element 5 are measured. From the obtained displacement position X, the distance 1j in the Z-axis direction
iffiL was determined, and the three-dimensional position of (X, Y, Z) was recognized.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、上記従来の3次元位置認識装置において
は、距離検出器自体を(X、Y)平面上で機械的に移動
させなければならない。従って、3次元位置認識のため
の1回の計測に要する時間は長くかかる。このため、従
来の装置は、静的な被測定物を対象にする3次元位置認
識には応用できるが、動的な被測定物を対象にする3次
元位置認識には実用上応用することが出来ないという課
題があった。
However, in the conventional three-dimensional position recognition device described above, the distance detector itself must be mechanically moved on the (X, Y) plane. Therefore, it takes a long time to perform one measurement for three-dimensional position recognition. For this reason, conventional devices can be applied to 3D position recognition for static objects to be measured, but cannot be practically applied to 3D position recognition for dynamic objects to be measured. There was a problem that I couldn't do it.

そこで本発明は、動的物体についても認識可能な3次元
位置認識装置を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a three-dimensional position recognition device that can also recognize moving objects.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明に係る3次元位置認識装置は、複数個の発光点が
2次元配置され時分割にパルス点灯駆動される光源と、
発光点からの光束を集光して被測定物上に照射する投光
手段と、被測定物からの反射光を集光する受光手段と、
受光手段により集光される光束の集光位置を検出する位
置検出用受光素子と、位置検出用受光素子の出力信号に
基づき被測定物上に集光された光の照射点までの距離を
演算する演算装置とを備えたことを特徴とするものであ
る。
A three-dimensional position recognition device according to the present invention includes a light source in which a plurality of light emitting points are two-dimensionally arranged and driven to turn on pulses in a time-division manner;
a light projecting means for condensing a luminous flux from a light emitting point and irradiating it onto an object to be measured; a light receiving means for condensing reflected light from the object to be measured;
Calculates the distance to the irradiation point of the focused light on the object to be measured based on the position detection light receiving element that detects the focusing position of the light beam focused by the light receiving means and the output signal of the position detection light receiving element. The invention is characterized in that it includes an arithmetic device that performs the following operations.

〔作用〕[Effect]

本発明によれば、光源から発せられる光束は、2次元配
置された発光点が時分割に順次パルス点燈駆動されるこ
とにより、2次元走査される。
According to the present invention, the luminous flux emitted from the light source is two-dimensionally scanned by driving the two-dimensionally arranged light emitting points sequentially in a time-division manner with pulse lighting.

〔実施例〕〔Example〕

以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の一実施例による構成を示す斜視図であ
り、3次元の各方向は同図の(x、y。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration according to an embodiment of the present invention, and each three-dimensional direction is (x, y) in the figure.

Z)座標に示される各方向により決定される。Z) is determined by each direction shown in the coordinates.

光源11は、gx5(45)個の発光ダイオード20と
、この発光ダイオード20から発せられる光を伝搬する
9X5(45)本の光ファイバ19と、各光ファイバ1
9の出力側の端面を9列で5行の2次元配置されな発光
点l t、t 。
The light source 11 includes gx5 (45) light emitting diodes 20, 9x5 (45) optical fibers 19 that propagate the light emitted from the light emitting diodes 20, and each optical fiber 1.
Light emitting points l t,t are two-dimensionally arranged in 9 columns and 5 rows on the end face of the output side of 9.

Ω  、・・・、F   、、lll   、・・・・
・・g  )に固2.1        9.1   
 1、        9.5定するホルダー18とか
ら構成されている。この2次元配置により、各光ファイ
バ19の端面は(x、y)平面に位置するようになり、
各発光ダイオード20は時分割に順次パルス点燈駆動さ
れる。なお、この発光ダイオード20は半導体レーザで
あっても良い。また、光源11の発光点の数は9X5個
に設定しているが、これは図面および説明の簡略化のた
めであり、必ずしもこの数に限定されるものではない。
Ω,...,F,,llll,...
・・g) 2.1 9.1
1, and a holder 18 that holds 9.5 parts. Due to this two-dimensional arrangement, the end face of each optical fiber 19 is located on the (x, y) plane,
Each light emitting diode 20 is sequentially driven to turn on pulses in a time-division manner. Note that this light emitting diode 20 may be a semiconductor laser. Further, although the number of light emitting points of the light source 11 is set to 9×5, this is for the purpose of simplifying the drawing and explanation, and is not necessarily limited to this number.

投光レンズ12は、その光軸が2次元配置された45個
の発光点の中心にある発光点g  の中5.3 心に一致した状態に設置されており、各光ファイバ19
の端面から出力される光束を被測定物13上に集光して
照射する。ここで、この投光レンズ12の光軸はZ軸に
一致し、以下、これを距離検出軸と呼ぶことにする。そ
して、光源11の発光ダイオード20がg  からg 
 まで時分割に1.1       9.5 順次パルス点燈されることにより、被測定物13上に照
射パターンが描かれる。図示の状態はg  の発光点ま
で点燈した状態を示している。
The projection lens 12 is installed so that its optical axis is aligned with the center of the light emitting point g, which is the center of the 45 light emitting points arranged two-dimensionally, and each optical fiber 19
The light beam output from the end face of the device is focused and irradiated onto the object to be measured 13. Here, the optical axis of this light projecting lens 12 coincides with the Z axis, and will hereinafter be referred to as the distance detection axis. Then, the light emitting diode 20 of the light source 11 changes from g to g.
An irradiation pattern is drawn on the object to be measured 13 by sequentially turning on pulses from 1.1 to 9.5 in time division. The illustrated state shows a state in which the light emitting point g is turned on.

5・31 なお、照射パターンは瞬時的には一点しか照射されてお
らず、他の点は残像として見えているにすぎない。
5.31 Note that in the irradiation pattern, only one point is irradiated instantaneously, and the other points are only visible as afterimages.

被測定物13からの反射光は、距離検出軸(Z軸)を中
心にして対称に配置された一対の受光レンズ14及び1
5により受光される。受光された光束は集光されて一対
の位置検出用受光素子16及び17に照射される。この
一対の位置検出用受光素子16及び17は、距離検出軸
を中心にして対称に配置されそおり、各受光面上に集光
される光束の集光位置に対応して出力信号を発生する。
The reflected light from the object to be measured 13 is transmitted through a pair of light receiving lenses 14 and 1 arranged symmetrically around the distance detection axis (Z axis).
The light is received by 5. The received light flux is condensed and irradiated onto a pair of position detection light receiving elements 16 and 17. The pair of position detection light receiving elements 16 and 17 are arranged symmetrically about the distance detection axis, and generate output signals corresponding to the focusing positions of the light beams focused on each light receiving surface. .

出力信号は後述する演算手段に与えられ、被測定物13
上の各照射点までの距離(L)が演算される。また、投
光レンズ12から被測定物13上に照射される光束のX
軸、Y軸に対する各走査角(θ 、θ )は、光源11
をパルス点灯させるy 駆動信号から知ることが出来、この走査角と被測定物1
3までの距離(L)とから3次元の位置認識が可能にな
る。
The output signal is given to a calculation means to be described later, and
The distance (L) to each irradiation point above is calculated. In addition, the X
Each scanning angle (θ, θ) with respect to the axis and the Y axis is determined by the light source 11.
It can be known from the driving signal that the scan angle and the object to be measured 1
Three-dimensional position recognition becomes possible from the distance (L) up to 3.

第2図は位置検出用受光素子1゛6及び17に使用され
る一般的な半導体装置検出器の構成図である。この半導
体装置検出器としては、例えば兵松ホトニクス株式会社
製の型名が51662の1次元用の半導体装置検出器が
有り、以下、この半導体装置検出器を用いた場合につい
て説明する。
FIG. 2 is a block diagram of a general semiconductor device detector used for the position detection light receiving elements 1, 6 and 17. As this semiconductor device detector, there is, for example, a one-dimensional semiconductor device detector manufactured by Hyomatsu Photonics Co., Ltd. with a model number 51662, and the case where this semiconductor device detector is used will be described below.

半導体装置検出器25は、n+型型半体体層27、高抵
抗n型半導体層28と、抵抗率が均一なn型半導体層2
9とが順次に積層されることにより形成されている。n
型半導体層28およびn型半導体層29はホトダイオー
ドを構成している。
The semiconductor device detector 25 includes an n+ type half layer 27, a high resistance n type semiconductor layer 28, and an n type semiconductor layer 2 with uniform resistivity.
9 are sequentially laminated. n
type semiconductor layer 28 and n-type semiconductor layer 29 constitute a photodiode.

また、n+型型半体体層27はホトダイオードに逆バイ
アスの電圧を印加するための共通電極30が設けられて
おり、n型半導体層29の両端部には一対の電極31.
32が設けられている。
Further, the n+ type half body layer 27 is provided with a common electrode 30 for applying a reverse bias voltage to the photodiode, and a pair of electrodes 31 .
32 are provided.

この半導体装置゛掻出器25の共逍電極30に所定の電
圧を印加し、位置SPのところに光点が入射したとする
と、位置SPの下方・のpn接合部には電子−正孔対が
生じ、これにより光点の入射エネルギーに比例した光電
流IOが共通電極30からn型半導体層29に向って流
れる。
If a predetermined voltage is applied to the common electrode 30 of this semiconductor device scraper 25 and a light spot is incident on the position SP, the pn junction below the position SP will have an electron-hole pair. occurs, and as a result, a photocurrent IO proportional to the incident energy of the light spot flows from the common electrode 30 toward the n-type semiconductor layer 29.

ここで、電極31.32間の距離を01その間のn型半
導体層29の抵抗をR6とじ、光点入射位置SPと電極
32との間の距離をXlその間のn型半導体層29の抵
抗をRxとすると、光電施工。は光点入射位置SPの所
で抵抗分割される。
Here, let the distance between the electrodes 31 and 32 be 01, the resistance of the n-type semiconductor layer 29 between them be R6, and the distance between the light spot incident position SP and the electrode 32 be Xl, and the resistance of the n-type semiconductor layer 29 between them be Rx means photoelectric construction. is resistively divided at the light spot incident position SP.

すなわち、電極31への電流■いおよび電極32への電
流■8は、それぞれ次式に示される。
That is, the current 1 to the electrode 31 and the current 8 to the electrode 32 are expressed by the following equations.

■ −■ −[Rx/Rc] O r  ’−t  ・ [(Ro−RX)/Ro]−(2
)O また、前述のように、n型半導体層29の抵抗率は均一
に分布しているので、この(2)式は以下のように変形
される。
■ −■ −[Rx/Rc] Or '-t ・[(Ro-RX)/Ro]-(2
)O Furthermore, as described above, since the resistivity of the n-type semiconductor layer 29 is uniformly distributed, this equation (2) can be modified as follows.

I wA 11x/C O I    −1・  [(C−x)/Cコ      
  −(3)O のうよに表現される。
I wA 11x/C O I -1・ [(C-x)/C co
-(3) O It is expressed as follows.

(3)式かられかるように、電流I  、I  を八 
 B 電極31.32から取出し、後述する演算手段によって
所定のアナログ演算処理が施されることにより、電極3
2から光点入射位置SPまでの距離Xを求めることがで
きる。
As can be seen from equation (3), the currents I and I are
B is taken out from the electrodes 31 and 32 and subjected to predetermined analog calculation processing by the calculation means described later.
2 to the light spot incident position SP can be determined.

第3図及び第4図は、本実施例による3次元位置認識装
置を用いた光学系における距離検出の原理を示すための
図であり、第1図に示された装置を(X、Z)平面上か
ら見た図である。なお、図面および説明を簡略化するた
め、m×n (9X5)個の発光点の内、m−1〜9(
列)、n−1(行)の発光点のみを図示し、n≧2の発
光点は省略しである。また、位置検出用受光素子16及
び17は、投光レンズ12の光軸側(内側)とその反対
側(外側)どうしの電極がそれぞれ結線されており、さ
らに、共通電極どうしが結線されている。
FIGS. 3 and 4 are diagrams showing the principle of distance detection in an optical system using the three-dimensional position recognition device according to this embodiment. It is a diagram seen from above. In order to simplify the drawings and explanations, m-1 to 9(
Only the light-emitting points in columns) and n-1 (rows) are shown, and light-emitting points with n≧2 are omitted. Further, in the position detection light receiving elements 16 and 17, the electrodes on the optical axis side (inside) and the opposite side (outside) of the light emitting lens 12 are connected to each other, and the common electrodes are also connected to each other. .

このため、共通電極に所定のバイアス電圧(Bias)
が印加され、受光素子16.17の各受光面上にスポッ
ト光が集光されることにより、位置情報を含んだ光電流
1  、I  が各結線に得られるようB になっている。
For this reason, a predetermined bias voltage (Bias) is applied to the common electrode.
is applied and the spot light is focused on each light receiving surface of the light receiving elements 16, 17, so that a photocurrent 1, I containing position information is obtained at each connection.

第3図は光源11の発光点g  −Ω  のう1.1 
 9.1 ち、発光点g  がパルス点燈した時の距離検出5.1 の原理を示す図である。
Figure 3 shows the light emitting point g - Ω of the light source 11.
9.1 This is a diagram showing the principle of distance detection 5.1 when the light emitting point g is lit in pulses.

ここで、距離検出器から被n1定物13までの距離をL
 1披測定物が二点鎖線13′で示される位置に移動し
た時の距離をLNとする。また、投光レンズ12の光軸
と一対の受光レンズ14゜15の各光軸との各間隔をB
1受光レンズ14゜15から位置検出用受光素子16.
17までの間隔をfとする。また、受光レンズ14.1
5の光軸から位置検出用受光素子16.17の受光面に
おける彼ΔP1定物13からの反射光の各集光位置まで
の各距離をX1被測定物13が距離り。から距離しNに
移動した時の集光位置の各移動量をそれぞれΔX 、Δ
x2とする。この時、各因子の間には以下の関係式(4
)〜(6)が成り立つ。
Here, the distance from the distance detector to the n1 constant object 13 is L
1) Let LN be the distance when the object to be measured moves to the position indicated by the two-dot chain line 13'. Also, each interval between the optical axis of the light emitting lens 12 and each optical axis of the pair of light receiving lenses 14 and 15 is B.
1 light receiving lens 14°15 to position detection light receiving element 16.
Let the interval up to 17 be f. In addition, the light receiving lens 14.1
The distances from the optical axis of X1 to each condensing position of the reflected light from the fixed object 13 on the light receiving surface of the position detection light receiving elements 16 and 17 are determined by the X1 object to be measured 13. The amount of movement of the focusing position when moving from N to N is ΔX and Δ, respectively.
Let it be x2. At this time, the following relational expression (4
) to (6) hold true.

x = f−B / L o            
=・(4)X+Δx  −x+Δx −f−B/LN・
・・(5)ΔXi  −ΔX2 −f−B (1/L  −1/Lo)=・ (6)従っ
て、位置検出用受光素子16.17より得られる光電流
値I  、I  からX、Δx1゜B ΔX2の値を求めることにより、逆に被測定物13.1
3’ までの距離L  、L  を求めることN ができる。被測定物13が距離Loにある時に各受光面
上に集光される位置を、各位置検出用受光素子16.1
7の電気的中心位置(1−IBになる集光位置SP)に
一致するように調整しておくと、被測定物13がり。よ
り近距離に存在する場合には位置検出用受光素子16.
17の集光位置は電気的中心位置より外側(投光レンズ
12の光軸方向と反対側)に移動する。逆に披1111
1定物13がり。より遠距離に存在する場合には、集光
位置は電気的中心位置の内側(投光レンズ12の光軸側
)に移動する。ここで、集束されるスポット光の移動方
向が外側に向かう時をプラス(+)、内側に向かう時を
マイナス(−)と定義することにする。
x = f-B/Lo
=・(4)X+Δx −x+Δx −f−B/LN・
... (5) ΔXi - ΔX2 - f-B (1/L - 1/Lo) = (6) Therefore, from the photocurrent value I obtained from the position detection light receiving element 16.17, X, Δx1° By finding the value of B ΔX2, the object to be measured 13.1
It is possible to find the distances L and L to 3'. Each position detection light receiving element 16.1 determines the position where the light is focused on each light receiving surface when the object to be measured 13 is at a distance Lo.
If the object to be measured 13 is adjusted so as to coincide with the electrical center position of No. 7 (focusing position SP that becomes 1-IB). If it is located at a closer distance, the position detection light receiving element 16.
The light condensing position 17 moves to the outside of the electrical center position (to the side opposite to the optical axis direction of the light projecting lens 12). On the contrary, 1111
1 constant 13 gari. If the light is located at a longer distance, the light focusing position moves to the inside of the electrical center position (toward the optical axis of the light projecting lens 12). Here, when the moving direction of the focused spot light goes outward, it is defined as plus (+), and when it moves inward, it is defined as minus (-).

第4図は光源11の発光点g  −Ω  のう1.1 
 9.1 ち、発光点g  がパルス点燈した時の距離検出1.1 の原理を示す図である。
Figure 4 shows the light emitting point g - Ω of the light source 11.
9.1 This is a diagram showing the principle of distance detection 1.1 when the light emitting point g is lit in pulses.

この場合には、発光点g  は投光レンズ121.1 の光軸から6g1だけ図の上側に位置しているので、被
測定物13への照射位置は投光レンズ12の光軸より下
側になる。ここで、被n1定物13が距離り。の所に存
在する場合には、位置検出用受光素子16.17の各受
光面上での集光位置は、位置検出用受光素子16.17
の電気的中心位置からそれぞれX  、X  だけ離れ
た位置になる。
In this case, the light emitting point g is located 6g1 above the optical axis of the light projection lens 121.1 in the figure, so the irradiation position on the object to be measured 13 is below the optical axis of the light projection lens 12. become. Here, the subject n1 constant 13 is distance. If the light-receiving element 16.17 for position detection is located at
The positions are X and X away from the electrical center position of , respectively.

また、被測定物13が2点鎖線13′で示すLNに移動
した場合には、スポット光の集光位置はX、、X  の
位置からそれぞれΔX 、ΔX2だけずれた位置になる
Further, when the object to be measured 13 moves to LN indicated by the two-dot chain line 13', the focal point of the spot light is shifted from the positions X, , X2 by ΔX and ΔX2, respectively.

位置検出用受光素子16における距離と変位量との関係
について求めると、以下のようになる。
The relationship between the distance and the amount of displacement in the position detection light receiving element 16 is determined as follows.

x + x 1 −f−(B+へ、ill   −L  /f)/L。x + x1 -f-(to B+, ill -L /f)/L.

−(f−B +ΔΩ   ・ L)/L      ・
・・ (7)X+Xl +ΔXt −f・ (B+ΔΩ  ・L  /f) /LNN −(f−B +ΔΩ   ・ L)/L      ・
・・ (8)IN       N この(7)式及び(8)式より次の(9)式が成り立つ
−(f−B +ΔΩ・L)/L・
・・ (7)
... (8) IN N From these equations (7) and (8), the following equation (9) holds true.

Δx  −(f−B+ΔN   −I、  )/LNt
          IN −(f−B+6g  ・L )/L。
Δx −(f−B+ΔN−I, )/LNt
IN-(f-B+6g・L)/L.

=、f−B(1/L  −1/Lo)・ (9)次に、
位置検出用受光素子17における距離と変位量との関係
式を同様にして求めると次のようになる。
=, f−B(1/L −1/Lo)・(9) Next,
If the relational expression between the distance and the amount of displacement in the position detection light receiving element 17 is found in the same way, it will be as follows.

−x2 −f−(B−6g  −L  /f)/L。-x2 -f-(B-6g -L /f)/L.

−(f−B−ΔΩ ・L)/L   ・・・(10)x
−x2+Δx2 −f ・ (B−6g  φL  / f ) / L
 NN −(f−B−6g ・L)/L   ・・・(11)I
N    N この(10)式及び(11)式より次の(12)式が成
り立つ。
-(f-B-ΔΩ ・L)/L...(10)x
−x2+Δx2 −f ・(B-6g φL / f ) / L
NN-(f-B-6g ・L)/L...(11)I
N N From these equations (10) and (11), the following equation (12) holds true.

Δx  =(f−B−ΔΩ  ・L)/LN2    
          1N −(f φB−Δg  ・L)/L。
Δx = (f-B-ΔΩ ・L)/LN2
1N-(fφB-Δg・L)/L.

1〇 −f−B (1/L  −1/Lo) ・・・ (12) (10)式及び(11)式において、x2にマイナス(
−)符号がついている理由は、Xlが位置検出用受光索
子16の電気的中心位置より外側に在るのに対し、X2
は位置検出用受光素子17の電気的中心位置より内側に
在るためである。また、上記の(9)式及び(12)式
は、第3図おいて求められた(6)式に一致するものに
なっている。従って、光源11の発光点Ω  がパルス
5.1 点燈した時と同じ変位量になっていることがわかる。
10-f-B (1/L -1/Lo) ... (12) In equations (10) and (11), minus (
The reason for the presence of the symbol -) is that Xl is located outside the electrical center position of the position detection light receiving cable 16, while X2
This is because it is located inside the electrical center position of the position detection light receiving element 17. Furthermore, the above equations (9) and (12) match equation (6) found in FIG. Therefore, it can be seen that the light emitting point Ω of the light source 11 has the same amount of displacement as when the pulse 5.1 was turned on.

同様にして、光源11の他の発光点Ω2,1〜g  及
び発光点Ω  〜g  がパルス点燈し4.1    
   B、1  9.また時の距離と、スポット光の変
位量の関係を求めると、全て(6)式に一致するものに
なる。即ち、光源11の9個の発光点(Ω  〜g  
)のど1.1  9.1 の発光点がパルス点燈している時でも、距離りの変化に
対する位置検出用受光素子16.17上に集光されるス
ポット光の変位量(ΔX 、ΔX 2 )■ は同じ値になる。
Similarly, the other light emitting points Ω2,1~g and the light emitting points Ω~g of the light source 11 are pulse-lit 4.1
B, 1 9. Furthermore, when the relationship between the distance at the time and the amount of displacement of the spot light is determined, all of the relationships match Equation (6). That is, nine light emitting points (Ω ~ g
) Even when the light emitting point of the throat 1.1 9.1 is lit in pulses, the amount of displacement (ΔX, ΔX 2 )■ have the same value.

言いかえれば、一対の位置検出用受光素子16及び17
として一対の一次元用の半導体装置検出器を用いて所定
の結線を行うことにより、生じた光電流!  、I  
から後述するように演算されるVB 被測定物13までの距離を示す信号演算値は同じ値にな
る。この数値は、光源11において直線上に配置された
9個の発光点のうちのどの発光点がパルス点燈している
かに関わらず、光源11から照射される光が、距離検出
器(Z軸)に直交した平面(X、Y平面)に照射される
場合には同じ数値になる。
In other words, a pair of position detection light receiving elements 16 and 17
A photocurrent is generated by making a predetermined connection using a pair of one-dimensional semiconductor device detectors! , I
The signal calculation value indicating the distance to the object to be measured 13 is the same value as VB calculated as described below. This value indicates that regardless of which light emitting point among the nine light emitting points arranged on a straight line in the light source 11 is lit in pulses, the light irradiated from the light source 11 is transmitted to the distance detector (Z axis). ), the same numerical value will be obtained when irradiating a plane (X, Y plane) perpendicular to the plane (X, Y plane).

また、被測定物13へ照射されるm列でn行の発光点g
  のうち、nが1以外の発光点を時分111+口 割に順次パルス点燈することによってY軸方向に照射光
束を走査しても、位置検出用受光素子16及び17の各
受光面上に集光されるスポット光のX軸方向における変
位量Δx1及びΔx2に変化の起こらないことは明らか
である。従って、生じた光電流1.IBから演算される
被測定物13までの距離を示す信号演算値は、Y軸方向
に光束を走査しても(X、Y)平面に光束が照射される
場合には、同一の数値を得ることができる。
In addition, light emitting points g in m columns and n rows illuminate the object to be measured 13.
Even if the irradiation light beam is scanned in the Y-axis direction by sequentially lighting up the light-emitting points where n is other than 1 in pulses at the hour/minute 111+ time intervals, the light-emitting points on the light-receiving surfaces of the position detection light-receiving elements 16 and 17 will not be illuminated. It is clear that no change occurs in the displacement amounts Δx1 and Δx2 of the focused spot light in the X-axis direction. Therefore, the resulting photocurrent 1. The signal calculation value indicating the distance to the object to be measured 13 calculated from the IB is the same even if the light beam is scanned in the Y-axis direction when the (X, Y) plane is irradiated with the light beam. be able to.

第5図は本実施例に用いられる演算手段である信号処理
回路のブロック構成図である。
FIG. 5 is a block diagram of a signal processing circuit, which is the calculation means used in this embodiment.

光源11め9×5個の発光点p  −Ω  に1.1 
    9.5 は9×5個の発光ダイ°オードL E D 1,1〜L
 E D 9 、 sが用いられ、これらはLED駆動
回路U からの駆動信号D   −D   により時分
割+3        1.1  9.5でパルス点燈
される。これらのパルス点燈動作はタイミングコントロ
ーラU12からの点燈指令に基づき行われる。
Light source 11: 9 x 5 light emitting points p - Ω 1.1
9.5 is 9 x 5 light emitting diodes L E D 1,1~L
ED 9 , s are used, and these are pulse-lit in a time division +3 1.1 9.5 by a drive signal D −D from the LED drive circuit U . These pulse lighting operations are performed based on a lighting command from the timing controller U12.

位置検出用受光素子16.17において得られた光電流
■い及びInは、電流−電圧変換用抵抗r I、  r
 で電圧信号V、vBに変換され、コA ンデンサC,C2によりDC(直流)成分が力■ ツトされてAC(交流)成分のみが増幅回路U1゜U2
に送られて増幅される。この後、コンデンサC、Cによ
り、増幅回路U  、U  のオフセ3 4     
    l  2 ツトや温度ドリフトによるDC的な電位のズレ量がカッ
トされる。そして、増幅されたAC成分のみが減算回路
U3および加算回路U4に送られ、vA−VBおよびV
A+VBの演算がそれぞれ実行される。
The photocurrents I and In obtained in the position detection light receiving elements 16 and 17 are current-voltage conversion resistors r I, r
is converted into voltage signals V and vB by the capacitors C and C2, and the DC (direct current) component is removed by the capacitors C and C2, and only the AC (alternating current) component is sent to the amplifier circuit U1゜U2.
is sent to and amplified. After this, the amplifier circuits U and U are offset by capacitors C and C.
The amount of deviation in DC potential due to l 2 drop and temperature drift is cut. Then, only the amplified AC component is sent to the subtraction circuit U3 and the addition circuit U4, and vA-VB and V
A+VB calculations are respectively executed.

各演算信号はサンプルアンドホールド回路U5〜U8に
送られ、タイミングコントローラU12がら与えられる
サンプリング信号S 、S2に基づ■ いてサンプリングされ、信号レベルがホールドされる。
Each calculation signal is sent to sample-and-hold circuits U5 to U8, where it is sampled based on sampling signals S and S2 provided from timing controller U12, and the signal level is held.

すなわち、サンプリング信号S1により各発光点がパル
ス点燈する直前の電位がサンプリングされ、サンプルア
ンドホールド回路U、U7に記録される。これに対して
、サンプリング信号S2により各発光点がパルス点燈し
ている状態の電位がサンプリングされ、サンプルアンド
ホールド回路U、U8に記録される。
That is, the potential immediately before each light emitting point is pulsed is sampled by the sampling signal S1 and recorded in the sample and hold circuits U and U7. On the other hand, the potential in the state where each light emitting point is lit in pulses is sampled by the sampling signal S2, and is recorded in the sample and hold circuits U and U8.

減算回路U9では回路U6の出力値から回路U5の出力
値が減算され、減算回路U1oでは回路U8の出力値か
ら回路U7の出力値が減算される。
The subtraction circuit U9 subtracts the output value of the circuit U5 from the output value of the circuit U6, and the subtraction circuit U1o subtracts the output value of the circuit U7 from the output value of the circuit U8.

この結果、光源11のパルス点燈に起因する信号成分の
みが抜き取られることになる。そして、アーj−aグ割
算器UIIにおいて、(VA−VB)/(V  十V1
3)という演算処理が実行される。
As a result, only the signal component caused by the pulsed lighting of the light source 11 is extracted. Then, in the arj-a arg divider UII, (VA-VB)/(V +V1
3) is executed.

この演算結果は外部に出力され、距離検出器がら披δp
1定物13までの距離りに対応するものになり、3次元
位置認識におけるZ成分のデータになる。また、アナロ
グ割算器U1°1の出力に同期して、被測定物13上へ
照射される光束の偏゛角がX軸成分(θX)とY軸成分
(θ、)とに分離されてタイミングコントローラU12
がら外部に出力され、3次元位置認識におけるX成分の
データおよびY成分のデータになる。X成分データは光
源11をパルス点灯させる駆動信号のうちのX軸方向に
発光点を走査させる信号ば基づくものであり、■成分デ
ータはこの駆動信号のうちのY軸方向iこ発光点を走査
させる信号に基づくものである。
This calculation result is output to the outside, and the distance detector
1 corresponds to the distance to the constant object 13, and becomes Z component data in three-dimensional position recognition. In addition, in synchronization with the output of the analog divider U1°1, the deflection angle of the light beam irradiated onto the object to be measured 13 is separated into an X-axis component (θX) and a Y-axis component (θ, ). Timing controller U12
The data is output to the outside and becomes X component data and Y component data in three-dimensional position recognition. The X component data is based on the signal that scans the light emitting point in the X-axis direction of the drive signal that pulses the light source 11, and the component data is based on the signal that scans the light emitting point in the Y-axis direction of this drive signal. It is based on the signal that causes

ここでZ軸の原点を投光レンズ12の後方主点位置(図
示せず)に設定すると、被測定物13までの距MLはア
ナログ割算器U11の出力がら簡単に求めることができ
る。従って、被測定物13上に集光された光束の照射点
を表す3次元位置データ(X、Y、Z)は、2つの偏角
θ 、θ から、y 以下の(13)〜(15)式を用いて求めることができ
る。
If the origin of the Z-axis is set at the rear principal point position (not shown) of the projection lens 12, the distance ML to the object to be measured 13 can be easily determined from the output of the analog divider U11. Therefore, the three-dimensional position data (X, Y, Z) representing the irradiation point of the light beam focused on the object to be measured 13 is obtained from the two declination angles θ and θ as follows (13) to (15) below y. It can be determined using the formula.

Z−L                ・・・(13
)Y−L−tanθ、          −(14)
XmL−tanθ、          −(15)こ
のように本実施例によれば、2次元配置された9X5個
の発光点が順次パルス点灯駆動されることにより、光源
11から照射される光束は2次元走査される。このため
、従来のように、機械的な可動部分を全く含まないで装
置は(1が成され、電気的方式のみにより光束の走査が
行われる。従って、光束の走査は応答性良く行われて高
速化され、1回の3次元位置認識に要する計測時間は短
縮化される。この結果、本装置は動的な被n1定物を対
象にする3次元位置認識装置にも適用することが可能に
なる。
Z-L...(13
) Y−L−tanθ, −(14)
XmL-tanθ, −(15) As described above, according to this embodiment, the 9×5 light emitting points arranged two-dimensionally are sequentially pulse-lit, so that the light beam emitted from the light source 11 is scanned two-dimensionally. Ru. For this reason, unlike conventional devices, the device (1) does not include any mechanically movable parts, and the scanning of the luminous flux is performed only by an electrical method.Therefore, the scanning of the luminous flux is performed with good responsiveness. The speed is increased and the measurement time required for one 3D position recognition is shortened.As a result, this device can also be applied to 3D position recognition devices that target dynamic n1 constant objects. become.

なお、上記実施例の説明においては、一対の受光レンズ
14.15および一対の位置検出用受光素子16.17
を用いて構成した場合について説明したがこれに限定さ
れる必要はなく、例えば、1個の受光レンズおよび1個
の位置検出用受光素子を用いて構成するようにしても良
く、上記実施例と同様な効果を奏する。ただし、この場
合には被測定物までの距離演算は複雑になり、演算時間
は若干長くかかる。従って、上記実施例の構成による装
置の方が、より高速に動く動的な被apr定物に適して
いる。
In addition, in the description of the above embodiment, a pair of light receiving lenses 14.15 and a pair of position detection light receiving elements 16.17 are used.
Although a case has been described in which the structure is configured using It has a similar effect. However, in this case, calculating the distance to the object to be measured becomes complicated and takes a little longer to calculate. Therefore, the apparatus having the configuration of the above embodiment is more suitable for dynamic APR objects that move at higher speeds.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上、詳細に説明したように本発明によれば、光源から
発せられる光束は、2次元配置された発光点が時分割に
順次パルス点燈駆動されることにより、2次元走査され
る。このため、機械的可動部のない電気的動作によって
被aP1定物への光束走査が行われ、光源から照射され
る光束の走査性は高速化されて3次元位置認識に要する
時間は短縮化される。この結果、従来、3次元位置認識
が困難であった動的な被1Ip1定物をも対象にするこ
とが可能な装置が提供されるという効果を有する。
As described above in detail, according to the present invention, the light beam emitted from the light source is two-dimensionally scanned by driving the two-dimensionally arranged light emitting points sequentially in a time-division manner with pulse lighting. For this reason, the beam scanning of the aP1 constant object is performed by electrical operation without mechanically moving parts, and the scanning performance of the beam irradiated from the light source is increased, reducing the time required for three-dimensional position recognition. Ru. As a result, there is an effect that an apparatus is provided that can target even dynamic objects 1Ip1, which have been difficult to recognize in three-dimensional position.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の構成を示す斜視図、第2図
は第1図に示された装置に使用される半導体装置検出器
を示す図、第3図は第1図に示された装置において発光
点g  が発光した場合にお5.1 ける距離検出の原理を説明するための図、第4図は第1
図に示された装置において発光点g  が1.1 発光した場合における距離検出の原理を説明するための
図、第5図は第1図に示された装置に使用される信号処
理回路を示すブロック構成図、第6図は一般的な距離検
出器を示す図である。 11・・・光源、12・・・投光レンズ、13・・・被
Δ−1定物、14.15・・・受光レンズ、16.17
・・・位置検出用受光素子、18・・・ホルダー、1つ
・・・光ファイバ、20・・・発光ダイオード。 代理人弁理士   長谷用  芳  樹−一一一一二 千尋(ふ(立1橙二芸 再 2 ズ 一殿町ロ距π凄:器 第 6 図 手続補正書 平成1年特許願第126258号 2 発明の名称 4 代 理 人 (郵便番号 1o1)東京都千代田区
東神田二丁目7番9号 U−、Yピル4°階 6 補正の内容 (1)  明細書の特許請求の範囲を別紙の通り補正す
る。 (2)  明細書2頁10行の「光源1の発光光束」を
「光源1から発せられた光ビーム」に補正する。 (3)  明細書4頁4行、7行および13行、5頁2
0行、6頁14行および18行、7頁2行、16頁3行
および4行、18頁9行、19頁2行。 11行、14行および15行並びに20頁13行。 16行および17行の「光束」を「光ビーム」に補正す
る。 (4)  明細書15頁18行の「照射光束」を「光ビ
ーム」に補正する。 以  上 特許請求の範囲 1、 複数個の発光点が2次元配置され時分割にパルス
点灯駆動される光源と、前記各発光点からの光ビームを
集光して被測定物上に照射する投光手段と、この被測定
物からの反射光を集光する受光手段と、この受光手段に
より集光される光ビームの集光位置を検出する位置検出
用受光素子と、この位置検出用受光素子の出力信号に基
づき前記被測定物上に集光された光ビームの照射点まで
の距離を演算する演算装置とを備えた3次元位置認識装
置。 2、 光源は、m×n個の発光素子と、この各発光素子
から発せられる光ビームを伝搬するmX0本の光ファイ
バと、この各光ファイバの出力側の端面をm列でn行の
2次元配置された発光点に固定するホルダとから構成さ
れることを特徴とする請求項1記載の3次元位置認識装
置。
FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a semiconductor device detector used in the device shown in FIG. 1, and FIG. Figure 4 is a diagram for explaining the principle of distance detection in 5.1 when the light emitting point g emits light in the device.
A diagram for explaining the principle of distance detection when the light emitting point g emits 1.1 in the device shown in the figure. FIG. 5 shows a signal processing circuit used in the device shown in FIG. The block diagram, FIG. 6, is a diagram showing a general distance detector. 11... Light source, 12... Emitter lens, 13... Δ-1 constant object, 14.15... Light receiving lens, 16.17
... Light receiving element for position detection, 18 ... Holder, one ... Optical fiber, 20 ... Light emitting diode. Agent Patent Attorney Yoshiki Hase - 11112 Chihiro Name of the Invention 4 Agent (Postal Code 1o1) U-, Y Pill 4° Floor 6, 2-7-9 Higashikanda, Chiyoda-ku, Tokyo Contents of Amendment (1) The scope of claims in the specification is as per the attached sheet. (2) Correct “luminous flux of light source 1” on page 2, line 10 of the specification to “light beam emitted from light source 1”. (3) Lines 4, 7, and 13 of page 4 of the specification. , 5 pages 2
Line 0, page 6 lines 14 and 18, page 7 lines 2, page 16 lines 3 and 4, page 18 line 9, page 19 line 2. Lines 11, 14 and 15 and page 20, line 13. The "luminous flux" in lines 16 and 17 is corrected to "light beam". (4) Correct "irradiation luminous flux" on page 15, line 18 of the specification to "light beam." Claim 1: A light source in which a plurality of light emitting points are two-dimensionally arranged and driven to turn on in pulses in a time-division manner, and a projection that condenses a light beam from each of the light emitting points and irradiates it onto an object to be measured. A light means, a light receiving means for condensing the reflected light from the object to be measured, a position detecting light receiving element for detecting the condensing position of the light beam focused by the light receiving means, and this position detecting light receiving element. a three-dimensional position recognition device, comprising: a calculation device that calculates a distance to an irradiation point of a light beam focused on the object to be measured based on an output signal of the object to be measured; 2. The light source consists of m x n light emitting elements, m x 0 optical fibers that propagate the light beam emitted from each light emitting element, and 2 x 0 optical fibers arranged in m columns and n rows on the output side end face of each optical fiber. 2. The three-dimensional position recognition device according to claim 1, further comprising a holder fixed to the three-dimensionally arranged light emitting points.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、複数個の発光点が2次元配置され時分割にパルス点
灯駆動される光源と、前記各発光点からの光束を集光し
て被測定物上に照射する投光手段と、この被測定物から
の反射光を集光する受光手段と、この受光手段により集
光される光束の集光位置を検出する位置検出用受光素子
と、この位置検出用受光素子の出力信号に基づき前記被
測定物上に集光された光束の照射点までの距離を演算す
る演算装置とを備えた3次元位置認識装置。 2、光源は、m×n個の発光素子と、この各発光素子か
ら発せられる光束を伝搬するm×n本の光ファイバと、
この各光ファイバの出力側の端面をm列でn行の2次元
配置された発光点に固定するホルダとから構成されるこ
とを特徴とする請求項1記載の3次元位置認識装置。
[Scope of Claims] 1. A light source in which a plurality of light emitting points are two-dimensionally arranged and driven to turn on pulses in a time-division manner, and a light projection that condenses the luminous flux from each of the light emitting points and irradiates it onto an object to be measured. a light-receiving means for condensing reflected light from the object to be measured; a position-detecting light-receiving element for detecting the focal position of the light beam collected by the light-receiving means; and an output of the position-detecting light-receiving element. A three-dimensional position recognition device comprising: a calculation device that calculates a distance to an irradiation point of a light beam focused on the object to be measured based on a signal. 2. The light source includes m×n light emitting elements, m×n optical fibers that propagate the light flux emitted from each light emitting element,
2. The three-dimensional position recognition device according to claim 1, further comprising a holder for fixing the output side end face of each optical fiber to light emitting points arranged two-dimensionally in m columns and n rows.
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