JPH02301011A - Magnetic head tester - Google Patents

Magnetic head tester

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JPH02301011A
JPH02301011A JP12178789A JP12178789A JPH02301011A JP H02301011 A JPH02301011 A JP H02301011A JP 12178789 A JP12178789 A JP 12178789A JP 12178789 A JP12178789 A JP 12178789A JP H02301011 A JPH02301011 A JP H02301011A
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carriage
magnetic head
disk
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magnetic
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Hiroshi Mizusawa
水澤 浩
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To measure floating characteristic and electrical characteristic with one tester in a short time and efficiently by arranging two disks for measuring a floating quantity and the electrical characteristic on the same rotary shaft in upper and lower sides, respectively, and arranging a carriage in common. CONSTITUTION:A magnetic head 9 to be tested is loaded at the prescribed position of the platen 8 of the carriage 7. The measurement of the floating quantity is performed by moving the head 9 to the measuring point of an optical system 23 for measurement after confirming the fact that the carriage 7 is located at the normal position of a glass disk 2 with detecting sensors 17a and 17b by applying the control of a measuring control data processing part 22, and rotating the disk 2. Next, the carriage 7 is moved to a prescribed track on a magnetic disk 4, and the R/W test of the electrical characteristic is performed. All the measurement data are analyzed by the control part 22, and are stored in a memory correspondingly to the data of the magnetic head, then, it is decided whether it is valid or invalid.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、ハ
ード磁気ディスク等い使用される磁気ヘッドの検査が短
時間済むような磁気ヘッドテスターに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head tester, and more particularly to a magnetic head tester that can test a magnetic head used such as a hard magnetic disk in a short time.

[従来の技術] 従来の磁気ヘッドテスターとしては、その物理的な特性
である磁気ヘッドの浮上量を測定する試験装置と、その
電気的な特性である電磁変換特性を測定する試験装置と
の2種類がある。
[Prior Art] Conventional magnetic head testers have two types: a test device that measures the flying height of a magnetic head, which is its physical characteristic, and a test device that measures its electrical characteristics, which are electromagnetic conversion characteristics. There are different types.

通常、磁気ヘッドの特性は、これら2種類の測定装置で
検査が行われ、一般的には、まず、磁気ヘッドの浮上特
性が測定されてからそのうちの合格品について電磁変換
特性が測定される。
Normally, the characteristics of the magnetic head are inspected using these two types of measuring devices, and generally, the flying characteristics of the magnetic head are first measured, and then the electromagnetic conversion characteristics are measured for those that pass.

[解決しようとする課題] したがって、磁気ヘッドをテストするためには、2つの
試験装置にそれぞれ磁気ヘッドを装着しなければならず
、その取付け、取り外し作業に手数がかかるのみか、い
ずれか一方の測定結果についての磁気ヘッドの管理が必
要であって、1つの磁気ヘッドについてのテストに多く
の時間を要する。
[Problem to be solved] Therefore, in order to test a magnetic head, it is necessary to mount the magnetic head on each of two test devices, and the installation and removal work is either time-consuming or difficult. It is necessary to manage the magnetic heads regarding the measurement results, and it takes a lot of time to test one magnetic head.

一方、ハード磁気ディスク装置は、近年、従来より一層
高密度な記録が要求されて来ており、かつ、高い信頼性
を確保することが要求されているために、磁気ヘッドの
特性測定に要求される精度も高くなって来ている。そこ
で、磁気ヘッド検査全体のスループットが低下する傾向
にある。このようなことから前述のように2つの試験装
置で異なるテストを行う場合には、磁気ヘッドの取付け
、この場合の磁気ヘッドの取外し作業時間が問題となる
一F、取付状態がテスト結果に与える影響も大きく、そ
れが歩留りを低下させる要因にもなる。
On the other hand, in recent years, hard magnetic disk drives have been required to record even higher density than before, and also to ensure high reliability, so they are required to measure the characteristics of magnetic heads. The accuracy is also becoming higher. Therefore, the overall throughput of magnetic head testing tends to decrease. For this reason, when conducting different tests using two test devices as described above, the time it takes to install the magnetic head, and in this case to remove the magnetic head, becomes an issue. The influence is also large, and it becomes a factor that lowers the yield.

この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変
換特性を測定することができ、かつ、測定効率を向上さ
せることができる磁気ヘッドテスターを提供することを
目的とする。
The present invention solves the problems of the conventional technology, and makes it possible to measure head flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics with one test device, and to improve measurement efficiency. The purpose is to provide a magnetic head tester.

[課題を解決するための手段コ このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッド
テスターの構成は、磁気ヘッドの浮上特性を測定するた
めの、回転軸に固定された第1のディスクと、磁気ヘッ
ドの電気的な特性を測定するための、前記回転軸に固定
された第2のディスクと、第1及び第2のディスクのい
ずれか一方に対向して設けられそのディスクのキャリッ
ジとされ、1側又は下側に所定量移動することにより第
1及び第2のディスクのいずれか他方に対向して配置さ
れてそのディスクのキャリッジとなる磁気ヘッドを搭載
するキャリッジとを備えるものである。
[Means for Solving the Problems] The configuration of the magnetic head tester of the present invention to achieve such objects includes a first disk fixed to a rotating shaft for measuring the flying characteristics of a magnetic head; , for measuring the electrical characteristics of the magnetic head, a second disk fixed to the rotating shaft, and a carriage provided opposite to either the first or second disk and serving as a carriage for the disk. , and a carriage on which a magnetic head is mounted, which is arranged to face the other of the first and second disks by moving a predetermined amount toward the first side or downward, and becomes a carriage for that disk.

[作用コ このように、浮上量を測定するためのディスクと電気的
な特性を測定するためのディスクとを同一回転軸に上下
に配置して、これらに1つのキャリッジを共通に設ける
ことにより、それぞれの測定に対して試験対象となる磁
気ヘッドを着脱する必要がなく、キャリッジの−L下移
動だけで済むことからそれぞれの測定におけるキャリッ
ジ等の機構に関係するモータの駆動やその停止、そして
、各試験装置や関係回路の起動や制御をそれぞれ独立に
行う必要がなく、磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特性
のそれぞれのデータを試験をしている磁気ヘッド対応に
容易に得られる。
[Operation] In this way, by arranging the disk for measuring the flying height and the disk for measuring the electrical characteristics one above the other on the same rotation axis, and providing them with one carriage in common, There is no need to attach or detach the magnetic head to be tested for each measurement, and it is only necessary to move the carriage down -L, so it is possible to drive or stop the motors related to mechanisms such as the carriage in each measurement, and There is no need to start or control each test device or related circuit independently, and data on the flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head can be easily obtained for the magnetic head being tested.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮でき
、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を短
時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率を
向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be shortened, and head flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test device, improving the measurement efficiency of the entire measurement process. .

[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。
[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図(a)及び(b)は、この発明の磁気ヘッドテス
ターを適用した一実施例の平面m要因及び側面概要図で
あり、第2図は、そのプラテン部分の詳細図である。
FIGS. 1(a) and 1(b) are plane m factor and side schematic views of an embodiment to which the magnetic head tester of the present invention is applied, and FIG. 2 is a detailed view of the platen portion thereof.

第1図(a)において、20は、磁気ヘッドテスターで
あって、21はその測定機構部、22はその測定制御・
データ処理部であって、マイクロプロセッサとメモリ等
を有している。
In FIG. 1(a), 20 is a magnetic head tester, 21 is a measurement mechanism thereof, and 22 is a measurement control section thereof.
It is a data processing unit and includes a microprocessor, memory, etc.

1は、測定機構部21に設けられた定盤テーブルであっ
て、定盤テーブル1の上には、図面の左側に示すように
、浮上特性を測定するためのガラスディスク2がスピン
ドル3に固定されていて、同図(b)の側面図に見るよ
うに電磁変換特性を測定するための磁気ディスク4(ハ
ードディスク)がガラスディスク2の下側でこれと同一
のスピンドル3に固定されている。そして、これらガラ
スディスク2及び磁気ディスク4に対向してキャリッジ
7が設けられている。なお、同図(b)の側面図に見る
ように、ガラスディスク2の上部側には浮上量測定用の
光学系23が設けられていて、レーザ光或は通常の光ビ
ームを照射して反射光を受け、ガラスディスク2とロー
ド状態にある磁気ヘッド9との距離を測定し、測定結果
を電気信号に変換して前記の測定制御拳データ処理部2
2へと送出する。
Reference numeral 1 denotes a surface table provided in the measurement mechanism section 21. On the surface table 1, as shown on the left side of the drawing, a glass disk 2 for measuring the flying characteristics is fixed to the spindle 3. As shown in the side view of FIG. 2B, a magnetic disk 4 (hard disk) for measuring electromagnetic conversion characteristics is fixed to the same spindle 3 below the glass disk 2. A carriage 7 is provided facing the glass disk 2 and magnetic disk 4. As seen in the side view of the same figure (b), an optical system 23 for measuring the flying height is provided on the upper side of the glass disk 2, and a laser beam or a normal light beam is irradiated and reflected. Upon receiving the light, it measures the distance between the glass disk 2 and the magnetic head 9 in the loading state, converts the measurement result into an electrical signal, and converts the measurement result into an electrical signal.
Send to 2.

ここで、スピンドル3は、モータ5に結合されていて、
それぞれの測定時に測定制御・データ処理部22からの
制御信号に応じて駆動される。
Here, the spindle 3 is coupled to a motor 5,
It is driven according to a control signal from the measurement control/data processing section 22 during each measurement.

キャリッジ7は、定盤テーブル1の下側に設けられた上
下移動機構6(第1図(b)参照)により上下移動し、
ガラスディスク2或は磁気ディスク4に選択的に位置付
けられ、これらのキャリッジとして使用される。なお、
図(b)において実線で示す位置は、キャリッジ7が下
側の初期位置に配置されていて磁気ディスク4に対向し
て位置付けられた状態であり、点線で示す位置は、キャ
リッジ7が上下移動機構6により上へと移動させられて
ガラスディスク2に対向して位置付けられた状態である
The carriage 7 is moved up and down by a vertical movement mechanism 6 (see FIG. 1(b)) provided under the surface table 1.
It is selectively positioned on the glass disk 2 or the magnetic disk 4 and used as a carriage for these. In addition,
In Figure (b), the position indicated by the solid line is the state where the carriage 7 is placed at the lower initial position and is positioned facing the magnetic disk 4, and the position indicated by the dotted line is the state where the carriage 7 is moved by the vertical movement mechanism. 6 and is positioned opposite the glass disk 2.

8は、キャリッジ7上に爪機構やねじ止め等により正確
な位置に位置決めされ、これに着脱可能に固定されたプ
ラテンであって、第2図に示されるように、このプラテ
ン8上にテスト対象となる磁気ヘッド9が装着されてい
る。その状態を示す第2図を参照すると分かるように、
磁気へラド9は、プラテン8の上のホルダーlOに着脱
可能に固定されている。
Reference numeral 8 denotes a platen which is positioned on the carriage 7 at an accurate position by a pawl mechanism, screws, etc., and is removably fixed thereto.As shown in FIG. A magnetic head 9 is attached. As you can see from Figure 2, which shows the situation,
The magnetic helad 9 is removably fixed to a holder lO above the platen 8.

ホルダー10は、ガイド兼ストッパーとなる直角方向に
2辺を持つ直角鈎型の固定部材11と、その内部に設け
られた2つの位置決めピン12゜12とで構成されてい
て、固定部材11が斜め45度の方向で進退することで
その直角の各辺に磁気へラド9の基部の矩形部材9aが
当接されることでXY方向の突当が杆われて2つの位置
決めピン12.12との間で置決め固定がなされる。な
お、位置決めピン12.12は、磁気ヘッド9の基部の
矩形部材9aに設けられた2つの位置決め孔にそれぞれ
嵌合されることにより、プラテン8上においてより正確
な位置に磁気へラド9を位置決めする。
The holder 10 is composed of a right-angled hook-shaped fixing member 11 having two sides in the right angle direction, which serves as a guide and a stopper, and two positioning pins 12° 12 provided inside the fixing member 11. By moving forward and backward in the direction of 45 degrees, the rectangular member 9a at the base of the magnetic helad 9 comes into contact with each of the right angle sides, and the abutment in the XY direction is stopped and the contact with the two positioning pins 12 and 12 is made. The position and fixation are made between the two. The positioning pins 12.12 position the magnetic head 9 at a more accurate position on the platen 8 by fitting into two positioning holes provided in the rectangular member 9a at the base of the magnetic head 9. do.

13は、パドルであって、プローブが接触するコンタク
トストライプ13a、13bを有していて、磁気へラド
9のリード線9bがこのコンタクトストライプl 3 
a、  13 bに接続される。これは、例えば、小さ
なセラミックス基板で構成され、プラテン8に設けられ
た、一端が開放された函型のパドルガイド14に装着さ
れて、両側から回転型15.15の回転により着脱可能
に固定される。
13 is a paddle, which has contact stripes 13a and 13b with which the probe comes into contact, and the lead wire 9b of the magnetic helad 9 is connected to this contact stripe l3.
a, 13 connected to b. This is made up of, for example, a small ceramic substrate, and is attached to a box-shaped paddle guide 14 with one end open provided on the platen 8, and is removably fixed from both sides by rotation of rotary molds 15 and 15. Ru.

そこで、試験対象となる磁気ヘッド9がホルダー10に
装着されたときに、このパドル13に磁気ヘッド9のリ
ード線9bが接続されるので、パドル13に設けられた
コンタクトストライプ13a、13bにプローブ1B(
第1図参照)が接触して定盤テーブル1ヒに配置された
リード・ライトアンプ(R/Wアンプ)19aに接続さ
れる。
Therefore, when the magnetic head 9 to be tested is mounted on the holder 10, the lead wire 9b of the magnetic head 9 is connected to this paddle 13, so that the probe 1B is connected to the contact stripes 13a, 13b provided on the paddle 13. (
(see FIG. 1) is connected to a read/write amplifier (R/W amplifier) 19a arranged on the surface table 1H.

このことにより磁気ヘッド9は、リード・ライトアンプ
19aを介して定盤テーブル1の下側に配置されている
測定制御−データ処理部22の電気回路に接続される。
As a result, the magnetic head 9 is connected to the electric circuit of the measurement control/data processing section 22 disposed below the surface plate table 1 via the read/write amplifier 19a.

17a、17b、17c、17dは、それぞれそれぞれ
、例えば、ホトインタラプタ、ホトセンサ等の位置検出
センサであって、上下移動機構6によりキャリッジ7が
上又は下に移動したときにキャリッジ7の位置をキャリ
ッジ7に設けられた検出片や孔等を検出することにより
それらが位置決め基準位置の検出を行うものであって、
これらの検出出力が測定制御・データ処理部22に送出
される。
Reference numerals 17a, 17b, 17c, and 17d are position detection sensors such as photointerrupters and photosensors, respectively, which detect the position of the carriage 7 when the carriage 7 is moved upward or downward by the vertical movement mechanism 6. They detect the positioning reference position by detecting a detection piece, hole, etc. provided in the
These detection outputs are sent to the measurement control/data processing section 22.

そこで、キャリッジ7が上側の位置にあるときには、位
置検出センサ17aの位置検出によりキャリッジ7のプ
ラテン8に載置された磁気へラド9のアクセス移動軌跡
がガラスディスク2の中心に対応するアクセス面上に配
置されて上への移動が停止する。なお、この場合に、そ
れ以上の上への移動を阻止するためのストッパーが設け
られていてもよい。また、位置検出センサ17bは、こ
のときにキャリッジ7がガラスディスク2をアクセスす
る場合の基準位置にあることを検出するものである。そ
して、この位置がガラスディスク2に対応して点線で示
すキャリッジ7の位置であって、浮上特性測定における
ガラスディスク2に対するそのキャリッジの位置決め位
置である。
Therefore, when the carriage 7 is in the upper position, the position detection sensor 17a detects the position so that the access movement locus of the magnetic disk 9 placed on the platen 8 of the carriage 7 is on the access surface corresponding to the center of the glass disk 2. It is placed at the top and stops moving upwards. In this case, a stopper may be provided to prevent further upward movement. Further, the position detection sensor 17b detects that the carriage 7 is at the reference position when accessing the glass disk 2 at this time. This position is the position of the carriage 7 shown by the dotted line corresponding to the glass disk 2, and is the positioning position of the carriage with respect to the glass disk 2 in measuring the flying characteristics.

また、キャリッジ7が下側の位置(初期位置)にあると
きには、位置検出センサ17cの位置検出により磁気ヘ
ッド9のアクセス移動軌跡が磁気ディスク4の中心に対
応するアクセス面上にキャリッジ7が対向して配置され
る。このとき、キャリッジ7は、定盤テーブル1或はこ
れに固定されて基盤上に載置されて停止する。また、位
置検出センサ17dは、このときにキャリッジ7が磁気
ディスク4をアクセスする場合の基準位置にあることを
検出するものである。この位置が磁気ディスク4に対応
して点線で示すキャリッジ7の位置であって、電磁変換
特性測定における磁気ディスク4に対するそのキャリッ
ジの位置決め位置である。
When the carriage 7 is in the lower position (initial position), the position detection sensor 17c detects the position so that the access movement locus of the magnetic head 9 faces the access surface corresponding to the center of the magnetic disk 4. will be placed. At this time, the carriage 7 is placed on the base table 1 or fixed thereto and stopped. Further, the position detection sensor 17d detects that the carriage 7 is at the reference position when accessing the magnetic disk 4 at this time. This position is the position of the carriage 7 shown by the dotted line corresponding to the magnetic disk 4, and is the positioning position of the carriage with respect to the magnetic disk 4 in measuring the electromagnetic conversion characteristics.

18.19は、それぞれガラスディスク2.磁気ディス
ク4に対応して上下に設けられた磁気ヘッド9に対する
ヘッドロード機構であって、キャリッジ7には、前述し
たように、磁気へラド9からの電気的な信号を増幅する
リード・ライトアンプ19aが下側のヘッドロード機構
19に隣接して配設されている。
18 and 19 are respectively glass disks 2. It is a head loading mechanism for the magnetic head 9 provided above and below in correspondence with the magnetic disk 4, and the carriage 7 includes a read/write amplifier that amplifies the electrical signal from the magnetic head 9, as described above. 19a is disposed adjacent to the lower head loading mechanism 19.

次に、その動作を説明すると、試験する磁気ヘッド9は
、通常、パレット等に配置されていて、磁気ヘッドテス
ター20とは別に置かれている。
Next, the operation will be explained. The magnetic head 9 to be tested is usually placed on a pallet or the like, and is placed separately from the magnetic head tester 20.

その1つが、まず、プラテン8のホルダー10に装着さ
れて実装される。磁気ヘッド9が実装されたプラテン8
をキャリフジ7上に設定されている所定の位置に位置決
めしてキャリッジ7に実装する。なお、このようにプラ
テン8を独立したユニットとして磁気ヘッド9を交換可
能にすれば、磁気ヘッド9の形状、形態が変わってもプ
ラテン8と磁気ヘッド9との装着関係を変更するだけで
済み、装置側の改造は不要となる。
One of them is first attached to the holder 10 of the platen 8 and mounted. A platen 8 on which a magnetic head 9 is mounted
is positioned at a predetermined position set on the carriage 7 and mounted on the carriage 7. Note that if the platen 8 is made into an independent unit and the magnetic head 9 is replaceable in this way, even if the shape or form of the magnetic head 9 changes, it is only necessary to change the mounting relationship between the platen 8 and the magnetic head 9. No modification of the device is required.

まず、7It11定制御・データ処理部22によりプラ
テン8が搭載されたキャリッジ7がガラスディスク2側
の位置か、磁気ディスク4側の位置かを位置検出センサ
17 a *  17 cの出力によって確認する。磁
気ディスク4側にあるときには、測定制御−データ処理
部22からの制御信号に応じて一ヒ下移動機構6が駆動
され、ガラスディスク2側にキヤ’J−/シフが位置決
めされ、位置決めがなされたか否かが位置検出センサl
 7 al  l 7 cの出力によって同様に確認さ
れる。なお、この位置決め位置の検出は、位置検出セン
サ17aが“ON”状態になっていて、ガラスディスク
2に対する位置検出センサ17cが“OFF″杖態にあ
ることによる。
First, the 7It11 constant control/data processing unit 22 confirms whether the carriage 7 on which the platen 8 is mounted is located on the glass disk 2 side or on the magnetic disk 4 side based on the outputs of the position detection sensors 17a*17c. When it is on the magnetic disk 4 side, the downward movement mechanism 6 is driven in response to a control signal from the measurement control/data processing section 22, and the gear is positioned on the glass disk 2 side. Whether or not the position detection sensor
Similarly confirmed by the output of 7 al l 7 c. Note that this positioning position is detected because the position detection sensor 17a is in the "ON" state and the position detection sensor 17c with respect to the glass disk 2 is in the "OFF" state.

このガラスディスク2の測定位置に対するキャリッジ7
の位置決めが終了すると、浮上量の測定が開始される。
Carriage 7 for the measurement position of this glass disk 2
When the positioning is completed, measurement of the flying height is started.

まず、測定制御・データ処理部22は、キャリッジ7が
正規の位置にあるいか否かを位置検出センサ17bの信
号により確認してキャリッジ7を駆動し、ガラスディス
ク2の中心であるスピンドル3の方向に向かって磁気ヘ
ッド9を移動させる。そこで、ヘッドロード機構18に
より磁気ヘッド9がガラスディスク2上にロードされて
ガラスディスク2が回転駆動される。ここで、磁気ヘッ
ド9が浮上する。なお、これは、コンタクトスタートス
トップの例であり、ヘッドロード前にガラスディスク2
が回転されてもよい。
First, the measurement control/data processing unit 22 checks whether the carriage 7 is in the correct position based on the signal from the position detection sensor 17b, drives the carriage 7, and drives the carriage 7 in the direction of the spindle 3, which is the center of the glass disk 2. The magnetic head 9 is moved toward. Then, the magnetic head 9 is loaded onto the glass disk 2 by the head loading mechanism 18, and the glass disk 2 is rotationally driven. At this point, the magnetic head 9 floats. This is an example of contact start/stop, and the glass disk 2 is inserted before the head is loaded.
may be rotated.

次に、測定制御・データ処理部22によりキャリッジ7
が制御され、磁気へラド9は、浮上量測定の光学系23
の光照射ポイントである所定の測定ポイントまで移動す
る。そして、この位置で浮上量測定用の光学系23によ
り浮上量の測定が行われ、それが測定制御φデータ処理
部22のメモリにその磁気ヘッドのデータ対応に記憶さ
れる。
Next, the measurement control/data processing unit 22
is controlled, and the magnetic herad 9 is connected to an optical system 23 for measuring the flying height.
move to a predetermined measurement point, which is the light irradiation point. Then, at this position, the flying height is measured by the optical system 23 for measuring the flying height, and the measurement is stored in the memory of the measurement control φ data processing section 22 in correspondence with the data of the magnetic head.

なお、浮上量測定の結果、不合格であれば、キャリッジ
7からプラテン8が取外されて、プラテンから磁気ヘッ
ド9が取外され、次の試験対象となる磁気ヘッド9がプ
ラテン8に実装されて前記と同様にして次の磁気ヘッド
の試験を行う。
Note that if the flying height measurement results in a failure, the platen 8 is removed from the carriage 7, the magnetic head 9 is removed from the platen, and the next magnetic head 9 to be tested is mounted on the platen 8. Then, test the next magnetic head in the same manner as above.

浮」二糧の測定が終rするとキャリッジ7は元の基準位
置である水平方向での初期位置に戻る。そして、電磁変
換特性測定の測定に移る。これは、測定制御・データ処
理部22からの制御信号に応じて上下移動機構6が駆動
され、キャリッジ7が降下して下側の初期位置に戻り、
磁気ディスク4側にキャリッジ7が位置決めされ、位置
決めがなされたか否かが位置検出センサ17cの出力に
よって同様に確認される。なお、この位置決め位置の検
出は、位置検出センサ17aが“OFF”状態になって
いて、磁気ディスク4に対する位置検出センサ17cが
“ON”状態にあることによる。
When the measurement of the two floats is completed, the carriage 7 returns to the initial position in the horizontal direction, which is the original reference position. Then, we move on to the measurement of electromagnetic conversion characteristics. The vertical movement mechanism 6 is driven in response to a control signal from the measurement control/data processing unit 22, and the carriage 7 is lowered and returned to the initial position on the lower side.
The carriage 7 is positioned on the side of the magnetic disk 4, and whether or not the carriage 7 has been positioned is similarly confirmed by the output of the position detection sensor 17c. Note that this positioning position detection is performed because the position detection sensor 17a is in the "OFF" state and the position detection sensor 17c for the magnetic disk 4 is in the "ON" state.

次に、測定制御・データ処理部22からの制御信号によ
りキャリッジ7が制御されて、まず、CI定副制御デー
タ処理部22は、キャリッジ7が正。
Next, the carriage 7 is controlled by a control signal from the measurement control/data processing unit 22, and first, the CI constant sub-control data processing unit 22 determines that the carriage 7 is correct.

規の位置にあるいか否かを位置検出センサ17dの信号
により確認し、これを基準にしてさらにキャリッジ7を
駆動し、磁気ディスク4の中心であるスピンドル5の方
向に向かって磁気ヘッド9を移動させる。そこで、ヘッ
ドロード機構18により磁気へラド9が磁気ディスク4
上にロードされて磁気ディスク4が回転駆動される。な
お、これもコンタクトφスタート・ストップの場合であ
る。
The carriage 7 is further driven based on the signal from the position detection sensor 17d, and the magnetic head 9 is moved toward the spindle 5, which is the center of the magnetic disk 4. let Therefore, the head loading mechanism 18 loads the magnetic head 9 onto the magnetic disk 4.
The magnetic disk 4 is loaded onto the top and driven to rotate. Note that this also applies to the case of contact φ start/stop.

ついで、前述と同様に、測定制御・データ処理部22に
よりキャリッジ7が制御されて磁気ヘッド9は、電気的
特性を測定する所定のトラック位置まで移動させられ、
そこで、リード・ライト(R/W)試験が行われる。
Next, in the same manner as described above, the carriage 7 is controlled by the measurement control/data processing section 22, and the magnetic head 9 is moved to a predetermined track position where the electrical characteristics are to be measured.
Therefore, a read/write (R/W) test is performed.

R/W試験では、所定のトラック位置に磁気ヘッド9が
位置決めされた状態でパドルに設けられたコンタクトに
プローブ16が接触して、磁気ヘッド9の電気的な出力
がパドル13.プローブ16、リード・ライトアンプ1
9aを介して測定制御・データ処理部22に信号が送ら
れ、それを測定制御φデータ処理部22が解析して、そ
のデータを前記の浮上量の測定と同様にこの磁気ヘッド
のデータに対応させてメモリに記憶することで行われる
。なお、浮上量測定の場合と同様に、電磁変換特性測定
の結果、不合格であれば、キヤ’J −/シフからプラ
テン8が取外されて、プラテンから磁気へラド9が取外
され、次の試験対象となる磁気へラド9がプラテン8に
実装されて前記と同様にして次の磁気ヘッドの試験を行
う。
In the R/W test, with the magnetic head 9 positioned at a predetermined track position, the probe 16 comes into contact with a contact provided on the paddle, and the electrical output of the magnetic head 9 is transmitted to the paddle 13. Probe 16, read/write amplifier 1
A signal is sent to the measurement control/data processing unit 22 via the signal line 9a, which is analyzed by the measurement control φ data processing unit 22, and the data is applied to the data of this magnetic head in the same way as in the measurement of the flying height described above. This is done by storing it in memory. In addition, as in the case of the flying height measurement, if the electromagnetic conversion characteristic measurement results fail, the platen 8 is removed from the Kya'J-/Sif, the magnetic radar 9 is removed from the platen, The next magnetic head 9 to be tested is mounted on the platen 8, and the next magnetic head is tested in the same manner as described above.

このようにして、浮ト隘の測定と電磁変換特性の測定が
終了すると、上下移動機構6が駆動されて、キャリッジ
7は、初期位置である図面実線の位置で測定を終了する
。そして、キャリッジ7カ)らプラテン8が取外されて
、試験が終了したプラテン8の磁気ヘッド9が取外され
て、次に試験対象となる磁気ヘッドがプラテン8に取付
けられる。
In this manner, when the measurement of the floating height and the measurement of the electromagnetic conversion characteristics are completed, the vertical movement mechanism 6 is driven, and the carriage 7 ends the measurement at the position indicated by the solid line in the drawing, which is the initial position. Then, the platen 8 is removed from the carriage 7), the magnetic head 9 of the platen 8 that has been tested is removed, and the next magnetic head to be tested is attached to the platen 8.

以り説明してきたが、実施例では、ガラスディスクと磁
気ディスクが上下に固定された軸を垂直に立てているが
、この軸は、例えば、横方向に配置されてもく、この場
合には、ガラスディスクと磁気ディスクがともに垂直に
配置されることになる。したがって、この発明では、デ
ィスクの配置される角度は問わない。
As has been explained above, in the embodiment, the glass disk and the magnetic disk are fixed vertically on the axis, but this axis may also be arranged in the horizontal direction, for example, and in this case, , both the glass disk and the magnetic disk will be arranged vertically. Therefore, in the present invention, the angle at which the disk is arranged does not matter.

実施例では、ガラスディスクが上側で磁気ディスクが下
側となっているが、浮−ヒ特性を測定する光学系を−L
部に置く必要がなく、ガラスディスクがド側でも浮上特
性が測定できれば、ガラスディスクが下側にあってもよ
い。したがって、これらディスクの上下関係はどちらで
もよい。
In the example, the glass disk is on the upper side and the magnetic disk is on the lower side, but the optical system for measuring floating characteristics is placed on -L.
If the glass disk does not need to be placed on the lower side, and the flying characteristics can be measured even with the glass disk on the lower side, the glass disk may be placed on the lower side. Therefore, the vertical relationship between these disks does not matter.

また、浮上特性を測定するディスクとしてガラスディス
クを使用しているが、これは、浮上量を測定するために
使用されるディスクならばガラスディスクに限定される
ものではない。さらに、実施例では、定盤テーブルの−
Lに各機器を載置するようにしているが、これは、必ず
しも定盤テーブル上である必要はない。
Further, although a glass disk is used as the disk for measuring the flying characteristics, this is not limited to a glass disk as long as it is a disk used for measuring the flying height. Furthermore, in the embodiment, the -
Each device is placed on L, but this does not necessarily have to be on the surface plate.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明では、浮上
量を測定するためのディスクと電気的な特性を測定する
ためのディスクとを同一回転軸に上下に配置して、これ
らに1つのキャリッジを共通に設けることにより、それ
ぞれの測定に対して試験対象となる磁気ヘッドを着脱す
る必要がなく、キャリッジの上下移動だけで済むことか
らそれぞれの測定におけるキャリッジ等の機構に関係す
るモータの駆動やその停iL 1そして、各試験装置や
関係回路の起動や制御をそれぞれ独立に行う必要がなく
、磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特性のそれぞれのデ
ータを試験をしている磁気ヘッド対応に容易に得られる
[Effects of the Invention] As can be understood from the above explanation, in this invention, a disk for measuring flying height and a disk for measuring electrical characteristics are arranged one above the other on the same rotation axis, and these disks are arranged vertically on the same rotation axis. By providing one carriage in common for each measurement, there is no need to attach or detach the magnetic head to be tested for each measurement, and it is only necessary to move the carriage up and down. A magnetic head that tests data on the magnetic head's flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics without the need to start or control each test device or related circuit independently. Easily obtained to accommodate.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮でき
、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を短
時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率を
向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be shortened, and head flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test device, improving the measurement efficiency of the entire measurement process. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)及び(b)は、この発明の磁気ヘッドテス
ターを適用した一実施例の平面概要図及び側面概要図、
第2図は、そのプラテン部分の詳細図である。 ■・・・定盤テーブル、2・・・ガラスディスク、3・
・・スピンドル、3・・・測定位置、4・・・磁気ディ
スク、5・・・モータ、6・・・−L上移動機構、7・
・・キャリッジ、8・・・プラテン、9・・・磁気ヘッ
ド、10・・・ホルダー、11・・・固定部材、12・
・・位置決めビン、13・・・パドル。
FIGS. 1(a) and 1(b) are a schematic plan view and a schematic side view of an embodiment to which the magnetic head tester of the present invention is applied;
FIG. 2 is a detailed view of the platen portion. ■...Surface table, 2...Glass disk, 3.
...Spindle, 3...Measurement position, 4...Magnetic disk, 5...Motor, 6...-L upward movement mechanism, 7.
... Carriage, 8... Platen, 9... Magnetic head, 10... Holder, 11... Fixing member, 12...
...Positioning bin, 13...Paddle.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁気ヘッドの浮上特性を測定するための、回転軸
に固定された第1のディスクと、前記磁気ヘッドの電気
的な特性を測定するための、前記回転軸に固定された第
2のディスクと、第1及び第2のディスクのいずれか一
方に対向して設けられそのディスクのキャリッジとされ
、上側又は下側に所定量移動することにより第1及び第
2のディスクのいずれか他方に対向して配置されてその
ディスクのキャリッジとなる前記磁気ヘッドを搭載する
キャリッジとを備えることを特徴とする磁気ヘッドテス
ター。
(1) A first disk fixed to the rotating shaft for measuring the flying characteristics of the magnetic head, and a second disk fixed to the rotating shaft for measuring the electrical characteristics of the magnetic head. The carriage is provided facing the disk and one of the first and second disks, and is used as a carriage for the disk. A magnetic head tester comprising: a carriage on which the magnetic head is mounted and which is disposed facing each other and serves as a carriage for the disk.
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WO2003012781A1 (en) * 2001-07-30 2003-02-13 Fujitsu Limited Magnetic head tester

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003012781A1 (en) * 2001-07-30 2003-02-13 Fujitsu Limited Magnetic head tester
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