JPH02300649A - Printed board inspecting device - Google Patents
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- JPH02300649A JPH02300649A JP1121794A JP12179489A JPH02300649A JP H02300649 A JPH02300649 A JP H02300649A JP 1121794 A JP1121794 A JP 1121794A JP 12179489 A JP12179489 A JP 12179489A JP H02300649 A JPH02300649 A JP H02300649A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、プリント基板の欠陥を検査するプリント基
板検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a printed circuit board inspection device for inspecting defects on a printed circuit board.
プリント基板には導体部（パターン）の幅、導体部と導
体部の間の幅、ラント径等に関し、種々のデザインルー
ルがある。所定のパターンが形成されたプリント基板が
、このデザインルールに適合したものであるか否かが、
プリント基板検査装置により検査される。There are various design rules for printed circuit boards regarding the width of conductor parts (patterns), the width between conductor parts, the runt diameter, etc. Whether or not the printed circuit board on which the predetermined pattern is formed complies with this design rule is determined by
Inspected by printed circuit board inspection equipment.
この検査のため、プリント基板をレーザ光で走査し、そ
の反射光が複数の受光素子を直線状に配列した受光素子
アレイにより、受光される。銅等よりなる導体部と、ガ
ラス、円ポキシ樹脂等よりなる基材部とでは、反射光の
指向性に差異がある。For this inspection, the printed circuit board is scanned with a laser beam, and the reflected light is received by a light-receiving element array in which a plurality of light-receiving elements are arranged linearly. There is a difference in the directivity of reflected light between the conductor section made of copper or the like and the base section made of glass, circular poxy resin, or the like.
通常、導体部の方が基材部より反１射率が高いため、検
出される反射光量も大きくなる。従って受光素子アレイ
の出力変化から、プリント基板のパターンの形成状態を
検査することができる。Since the conductor portion usually has a higher reflectance than the base material portion, the amount of reflected light detected will also be larger. Therefore, the formation state of the pattern on the printed circuit board can be inspected from the change in the output of the light receiving element array.
あるいはまた、受光素子を１個とし、その前に配置した
コンデンサレンズにより、各走、査位置におフ、る反射
光を１個の受光素子に入射させるようにした装置もある
。Alternatively, there is also an apparatus in which the number of light receiving elements is one, and a condenser lens placed in front of the light receiving element allows the reflected light that falls at each scanning position to be incident on the single light receiving element.
しかしながら、受光素子アレイを用いる装置の場合、個
々の受光素子に対する配線処理が、アレイの長さを長く
する程面倒になり、大型化する。However, in the case of a device using a light-receiving element array, the longer the length of the array, the more complicated the wiring process for each light-receiving element becomes, and the larger the device becomes.
また個々の受光素子間に特性上のバラツキがあるばかり
でなく、受光素子と受光素子の間に不感帯が存在する。Furthermore, not only are there variations in characteristics between individual light receiving elements, but also dead zones exist between the light receiving elements.
従って、各受光素子をその一部が重複するように配置し
たり、その前に拡散板を配置する必要が生じ、正確かつ
微細な検査が困難となる。Therefore, it becomes necessary to arrange the light receiving elements so that some of them overlap, or to arrange a diffuser plate in front of the light receiving elements, making accurate and minute inspection difficult.
またコンデンサレンズにより１個の受光素子に反射光を
収束させる装置は、一度に広い範囲を走査するためには
大きいコンデンサレンズが必要となり、装置が大型化し
、かつ高価となる。Furthermore, a device that uses a condenser lens to converge reflected light onto a single light-receiving element requires a large condenser lens in order to scan a wide range at once, making the device large and expensive.
この発明は、このような状況に鑑みなされたもので、一
度により広い範囲を、正確かつ微細に検査できる安価な
装置を提供するものである。The present invention was made in view of this situation, and it is an object of the present invention to provide an inexpensive device that can accurately and minutely inspect a wider area at once.
この発明のプリント基板検査装置は、検査用の光を放射
する光源と、プリント基板を所定の方向に移動するテー
ブルと、光源より放射された光を、プリント基板に対し
、テーブルの移動方向と略垂直な方向に走査する走査部
と、走査部による走査方向と略平行に配置され、プリン
１一基板からの反′射光が側面から入射される蛍光性光
ファイバと、蛍光性光ファイバの少なくとも一方の端部
に配置された受光素子とを備える。The printed circuit board inspection device of the present invention includes a light source that emits light for inspection, a table that moves the printed circuit board in a predetermined direction, and a direction in which the table moves, which is approximately the direction of movement of the table, with respect to the printed circuit board. a scanning unit that scans in a perpendicular direction; a fluorescent optical fiber that is arranged substantially parallel to the scanning direction of the scanning unit and receives reflected light from the printer 1-board from the side; and at least one of the fluorescent optical fibers. and a light-receiving element disposed at the end of the light-receiving element.
光源より放射された光は、回転鏡等よりなる走査部を介
して、テーブル上に載置されたプリント基板に照射され
る。プリント基板からの反射光は、回転鏡による走査方
向と平行に配置した蛍光性光ファイバに入射される。蛍
光性光ファイバは光が入射されると内部で蛍光を発生し
、その蛍光が受光素子により検出される。蛍光性光ファ
イバは安価であり、長くかつ均一な特性のものを得るの
が容易である。The light emitted from the light source is irradiated onto a printed circuit board placed on a table via a scanning section consisting of a rotating mirror or the like. The reflected light from the printed circuit board is incident on a fluorescent optical fiber arranged parallel to the scanning direction by the rotating mirror. A fluorescent optical fiber generates fluorescence internally when light is incident thereon, and the fluorescence is detected by a light receiving element. Fluorescent optical fibers are inexpensive and easy to obtain in long lengths and with uniform properties.
従って一度により広い範囲を検査することができると同
時に、正確かつ微細な検査が可能な装置が安価に実現で
きる。Therefore, it is possible to inspect a wider area at once, and at the same time, it is possible to realize an apparatus capable of accurate and detailed inspection at a low cost.
第」−図はこの発明のプリント基板検査装置の一実施例
における光学系の構成を表している。Figure 1-1 shows the configuration of an optical system in an embodiment of the printed circuit board inspection apparatus of the present invention.
同図において、］は図示せぬ駆動手段により図中矢印Ｂ
方向に移動されるテーブルであり、その上に検査される
プリント基板２が載置される。プリント基板２のガラス
、エポキシ樹脂等よりなる基材部２１上には、銅等より
なる導体部２２が形成されている。３は半導体レーザ等
の光源であり、レーザ光を放射する。４は走査部として
の回転鏡であり、レーザ光を図中矢印六方向に走査する
。In the same figure, ] is driven by an arrow B in the figure by a driving means (not shown).
This is a table that is moved in the direction, and the printed circuit board 2 to be inspected is placed on it. A conductor portion 22 made of copper or the like is formed on a base material portion 21 of the printed circuit board 2 made of glass, epoxy resin, or the like. 3 is a light source such as a semiconductor laser, which emits laser light. Reference numeral 4 denotes a rotating mirror as a scanning section, which scans laser light in six directions indicated by arrows in the figure.
５は蛍光性光ファイバであり、回転鏡４による走査方向
と平行に配置されている。６は蛍光性光ファイバ５の少
なくとも一方の端部（実施例の場合両方の端部）に配置
された受光素子である。Reference numeral 5 denotes a fluorescent optical fiber, which is arranged parallel to the scanning direction by the rotating mirror 4. Reference numeral 6 denotes a light receiving element disposed at at least one end (both ends in the example) of the fluorescent optical fiber 5.
第２図は、この発明のプリント基板検査装置の一実施例
のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of an embodiment of the printed circuit board inspection apparatus of the present invention.
同図において、１１は２つの受光素子６の出力を加算す
る加算回路であり、受光素子６が１個だけのとき不用と
なる。１２は加算回路１」の出力−／ｌ −
信号のレベルを検出する検出回路、１４は回転鏡４の回
転に同期し、かつその速度に対応した信号を発生する発
生回路である。１３は生成回路であり、検出回路１２よ
り出力される時間軸に対応した信号を、発生回路１４よ
り出力される基準信号に対応して、プリン１一基板２上
の位置信号に変換する。１５は判定回路であり、生成回
路１３により生成される位置信号を、メモリ１６に記憶
されているデザインルール等に関するデータと比較する
。１７は表示器であり、判定回路１５による判定結果を
表示する。In the figure, reference numeral 11 denotes an adder circuit that adds the outputs of two light receiving elements 6, and is unnecessary when there is only one light receiving element 6. 12 is a detection circuit that detects the level of the output -/l- signal of the adder circuit 1, and 14 is a generation circuit that is synchronized with the rotation of the rotating mirror 4 and generates a signal corresponding to its speed. A generation circuit 13 converts a signal corresponding to the time axis output from the detection circuit 12 into a position signal on the printer 1 and the substrate 2 in accordance with a reference signal output from the generation circuit 14. A determination circuit 15 compares the position signal generated by the generation circuit 13 with data related to design rules and the like stored in the memory 16. Reference numeral 17 denotes a display device, which displays the determination result by the determination circuit 15.
次にその動作を説明する。Next, its operation will be explained.
光源３より放射されたレーザ光は、回転鏡４に反射され
、テーブル１上に載置されたプリント基板２上に照射さ
れる。レーザ光は、回転鏡４の回転に対応して、第１図
中矢印へ方向に走査される。Laser light emitted from the light source 3 is reflected by the rotating mirror 4 and irradiated onto the printed circuit board 2 placed on the table 1. The laser beam is scanned in the direction of the arrow in FIG. 1 in response to the rotation of the rotating mirror 4.
またテーブル１は矢印六方向と略垂直な矢印Ｂ方向に移
動されるので、プリント基板２の全体がレーザ光により
走査される。Further, since the table 1 is moved in the direction of the arrow B which is substantially perpendicular to the six directions of the arrows, the entire printed circuit board 2 is scanned by the laser beam.
プリント基板２により反射されたレーザ光は、蛍光性光
ファイバ５に、その側面から入射される。The laser beam reflected by the printed circuit board 2 enters the fluorescent optical fiber 5 from its side.
蛍光性光ファイバ５は、第３図及び第４図に示すように
構成されている。The fluorescent optical fiber 5 is constructed as shown in FIGS. 3 and 4.
これらの図において、３１は例えばガラス、樹脂等によ
り構成される部材であり、この実施例の場合略円筒状と
されている。３２は、やはりガラス、樹脂等により構成
される部材であり、部材３１の内部に形成されている。In these figures, 31 is a member made of, for example, glass, resin, etc., and in this embodiment, it has a substantially cylindrical shape. 32 is a member made of glass, resin, etc., and is formed inside the member 31.
部材３２はその屈折率が、部材３］の屈折率より大きく
なるように設定されている。また部材３２には、入射さ
れる光を吸収する蛍光物質が均一に混入されている。The refractive index of the member 32 is set to be greater than that of the member 3. Further, the member 32 is uniformly mixed with a fluorescent substance that absorbs incident light.
プリント基板２より蛍光性光ファイバ５の側面に入射さ
れたレーザ光は、部材３１を透過し、部材３２に入射さ
れる。部材３２は蛍光物質を含んでいるので、この入射
光が蛍光物質に吸収され、その蛍光物質は蛍光を発生す
る。Laser light incident on the side surface of the fluorescent optical fiber 5 from the printed circuit board 2 passes through the member 31 and enters the member 32 . Since the member 32 contains a fluorescent substance, this incident light is absorbed by the fluorescent substance, and the fluorescent substance generates fluorescence.
前述したように、部材３２の屈折率は、部材３１の屈折
率より大きいので、部材３２で発生した蛍光は部材３］
の内側の面で反射され、部材３１を透過することができ
ない。これにより蛍光は左右の端面の方向に伝達される
。従ってこの蛍光は、部材３２の左右の端面に配置され
た受光素子６により検出される。As mentioned above, the refractive index of the member 32 is greater than the refractive index of the member 31, so the fluorescence generated in the member 32 is reflected in the refractive index of the member 3].
It is reflected by the inner surface of the member 31 and cannot be transmitted through the member 31. As a result, fluorescence is transmitted in the direction of the left and right end faces. Therefore, this fluorescence is detected by the light receiving elements 6 arranged on the left and right end faces of the member 32.
プリント基板２の基材部２１は、ガラス・エポキシ樹脂
等により形成されているため、銅等で形成されている導
体部２２に較べ、その表面は粗くなっている。従って導
体部２２における場合の方が基材部２１における場合よ
り反射率が大きく、それだけ多くの反射光が蛍光性光フ
ァイバ５に入射される。蛍光の発生量は入射光量に対応
している。その結果、例えば第５図Ａに示すように、レ
ーザ光がプリント基板２を走査したとすると、受光素子
６の検出出力は、同図Ｂに示すように、基材部２］にお
ける場合より、導体部２２における場合の方が大きくな
る。Since the base material portion 21 of the printed circuit board 2 is formed of glass, epoxy resin, etc., its surface is rougher than that of the conductor portion 22 formed of copper or the like. Therefore, the reflectance in the conductor portion 22 is higher than that in the base material portion 21, and more reflected light is incident on the fluorescent optical fiber 5. The amount of fluorescence generated corresponds to the amount of incident light. As a result, for example, if the laser beam scans the printed circuit board 2 as shown in FIG. 5A, the detection output of the light receiving element 6 will be, as shown in FIG. It is larger in the case of the conductor portion 22.
２つの受光素子６の出力は加算回路１１により加算され
、検出回路］２によりそのレベルが検出される。この検
出信号は時間軸に対応している。The outputs of the two light receiving elements 6 are added by an adder circuit 11, and the level thereof is detected by a detection circuit]2. This detection signal corresponds to the time axis.
生成回路１３はこの時間軸に対応した検出信号を、発生
回路１４から入力される回転鏡４の走査速度に対応した
信号を参照して、プリント基板２上における位置に対応
した信号に変換する。The generation circuit 13 converts the detection signal corresponding to the time axis into a signal corresponding to the position on the printed circuit board 2 by referring to the signal inputted from the generation circuit 14 and corresponding to the scanning speed of the rotating mirror 4.
従って生成回路］３が出力する信号は、プリント基板２
上における実際の位Ｗ（距離）に対応した信号となる。Therefore, the signal output by the generation circuit] 3 is the output of the printed circuit board 2.
The signal corresponds to the actual position W (distance) above.
この信号は判定回路］５において、メモリ１６に予め記
憶されているデザインルール等と比較される。This signal is compared in a determination circuit 5 with design rules etc. stored in advance in a memory 16.
すなわちメモリ１６には、導体部２２の幅、２つの導体
部２２の間の距離等に関するデータが記憶されており、
生成回路１３より出力された信号が、これらのデータと
対応するか否かが判定される。そしてその判定結果が表
示器１７に表示される。That is, the memory 16 stores data regarding the width of the conductor portion 22, the distance between the two conductor portions 22, etc.
It is determined whether the signal output from the generation circuit 13 corresponds to these data. The determination result is then displayed on the display 17.
蛍光性光ファイバ５は安価であり、均一な特性で、細く
長いものが容易に得られる。従って一度に広い範囲にわ
たって正確かつ微細に検査することができる。The fluorescent optical fiber 5 is inexpensive, has uniform characteristics, and can be easily obtained in a long and thin fiber. Therefore, it is possible to accurately and precisely inspect a wide area at once.
第６図及び第７図は、プリント基板２における入射光と
反射光の関係を表している。第６図の実施例においては
、レーザ光はプリント基板２に対して略垂直に入射され
、入射光に対して所定角度αだけ傾斜した角度で反射さ
れた光が蛍光性光ファイバ５により検出される。6 and 7 show the relationship between incident light and reflected light on the printed circuit board 2. FIG. In the embodiment shown in FIG. 6, the laser beam is incident on the printed circuit board 2 approximately perpendicularly, and the light reflected at an angle inclined by a predetermined angle α with respect to the incident light is detected by the fluorescent optical fiber 5. Ru.
一方第７図の実施例においては、プリント基板２に対し
て入射角αでレーザ光を入射させ、プリン１一基板２に
対して略垂直な方向に反射されたレーザ光が受光される
ように蛍光性光ファイバ５が配置されている。On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 7, the laser beam is made incident on the printed circuit board 2 at an incident angle α, and the laser beam reflected in a direction substantially perpendicular to the printed circuit board 2 is received. A fluorescent optical fiber 5 is arranged.
反射光の指向性や光量は、導体部２］と基材部２２の材
質によって種々に変化するので、両者における検出信号
の差が最も大きくなるように、回転鏡４と蛍光性光ファ
イバ５の位置が選定される。The directivity and light intensity of the reflected light vary depending on the materials of the conductor section 2 and the base section 22, so the rotating mirror 4 and the fluorescent optical fiber 5 should be adjusted so that the difference in detection signals between them is maximized. A location is selected.
尚以」二においては、蛍光性光ファイバ５を略円柱状と
したが、その断面を第８図に示すように略矩形とし、４
角柱状に形成することもできる。In addition, in "2", the fluorescent optical fiber 5 was made into a substantially cylindrical shape, but its cross section was made into a substantially rectangular shape as shown in FIG.
It can also be formed into a prismatic shape.
以上のように、この発明のプリント基板検査装置によれ
ば、プリント基板からの反射光を、蛍光性光ファイバに
その側面から入射させ、その端面に配置した受光素子に
より、蛍光性光ファイバに入射される光に対応して発生
される蛍光を受光するようにしたので、一度に広い範囲
を、正確かつ微細に検査することが可能な、小型かつ安
価な装置を実現することができる。As described above, according to the printed circuit board inspection apparatus of the present invention, the reflected light from the printed circuit board is made incident on the fluorescent optical fiber from the side surface thereof, and the light is incident on the fluorescent optical fiber by the light receiving element disposed on the end surface. Since the fluorescent light generated in response to the light is received, it is possible to realize a small and inexpensive device that can accurately and minutely inspect a wide range at once.
第１図はこの発明のプリント基板検査装置における光学
系の斜視図、
第２図はこの発明のプリント基板検査装置における信号
処理系のブロック図、
第３図はこの発明の蛍光性光ファイバの縦断面図、
第４図はこの発明の蛍光性光ファイバの横断面図、
第５図Ａ、Ｂは、各々この発明のプリント基板検査装置
において検査されるプリント基板の平面図と、それを走
査した場合における検出出力の波形図、
第６図及び第７図は、この発明のプリント基板における
入射光と反射光の関係を説明する側面図、第８図はこの
発明の蛍光性光ファイバの他の実施例の横断面図である
。
１・・・テーブル
２・・・プリント基板
３・・・光源
４・・・回転鏡
５・・・蛍光性光ファイバ
６・・・受光素子
１１・・・加算回路
１２・・・検出回路
１３・・・生成回路
］−４・・・発生回路
１５・・・判定回路
１６・・・メモリ
１７・・・表示器
２１・・・基材部
２２・・・導体部
３１．３２・・・部材
以」二
特許出願人 加光学工業株式会社
代理人 弁理士 稲本義Ｉ！１゜
く ｍ
凶
手続補正書
特願平１−１２１７９４号
２、発明の名称
プリント基板検査装置
３、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 東京都板橋区前野町２丁目３６番９号４、補正の
対象
１、明細書の１特許請求の範囲」の欄
２、明細書の「発明の詳細な説明」の欄５、補正の内容
（１） 明細書の「特許請求の範囲」の欄を別紙の通り
補正する。
（２） 明細書の「発明の詳細な説明」の欄中、第２頁
第１１行目、第５頁第７行目の
１ガラス、エポキシ」を
「ガラス・エポキシ」と補正する。
［入射され、蛍光を発生する」と補正する。
（４） 同第７頁第１１行目の
「吸収する」を
「吸収し蛍光を発生する」と補正する。
（５） 同第８頁第６行目乃至第７行目の「導体部２２
に較べ、その表面は粗くなっている。従って」を
「導体部２２とは、素材の違いから表面反射率に差が生
じる。一般的に」と補正する。
２、特許請求の範囲
検査用の光を放射する光源と、
プリント基板を所定の方向に移動するテーブルと、
前記光源より放射された光を、前記プリント基板に対し
、前記テーブルの移動方向と略垂直な方向に走査する走
査部と、
前記走査部による走査方向と略平行に配置され、前記プ
リント基板からの反射光が側面から入射されノ る蛍光
性光ファイバと、
前記蛍光性光ファイバの少なくとも一方の端部に配置さ
れた受光素子とを備えるプリント基板検査装置。FIG. 1 is a perspective view of the optical system in the printed circuit board inspection device of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of the signal processing system in the printed circuit board inspection device of the present invention, and FIG. 3 is a longitudinal cross-section of the fluorescent optical fiber of the present invention. 4 is a cross-sectional view of the fluorescent optical fiber of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are plan views of the printed circuit board inspected by the printed circuit board inspection apparatus of the present invention, respectively, and a plan view of the printed circuit board that was scanned. FIGS. 6 and 7 are side views illustrating the relationship between incident light and reflected light on the printed circuit board of the present invention, and FIG. 8 is a waveform diagram of the detection output of the fluorescent optical fiber of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view of the embodiment. 1... Table 2... Printed circuit board 3... Light source 4... Rotating mirror 5... Fluorescent optical fiber 6... Light receiving element 11... Addition circuit 12... Detection circuit 13. ...Generation circuit]-4...Generation circuit 15...Judgment circuit 16...Memory 17...Display unit 21...Base material part 22...Conductor part 31, 32...Members ” Two patent applicants: Kako Kogyo Co., Ltd., patent attorney Yoshi Inamoto I! 1゜km Written amendment to wrongful procedure Japanese Patent Application No. 1-121794 2 Name of the invention Printed circuit board inspection device 3 Relationship to the person making the amendment Patent applicant address 2-36-9 Maeno-cho, Itabashi-ku, Tokyo 4. Subject of amendment 1, Scope of claims in the specification 2, Detailed description of the invention column 5, Contents of amendment (1) Scope of claims in the specification Correct the columns as shown in the attached sheet. (2) In the "Detailed Description of the Invention" column of the specification, "1 glass, epoxy" in page 2, line 11 and page 5, line 7, is amended to read "glass epoxy." It is corrected to say that the light is incident and fluorescence is generated. (4) "Absorb" on page 7, line 11 is corrected to "absorb and generate fluorescence." (5) “Conductor portion 22” on page 8, line 6 to line 7
Its surface is rougher than that of . "Therefore," is corrected to "The conductor portion 22 has a difference in surface reflectance due to the difference in material. In general." 2. a light source that emits light for claim inspection; a table that moves the printed circuit board in a predetermined direction; and a table that moves the light emitted from the light source with respect to the printed circuit board in the direction of movement of the table. a scanning unit that scans in a vertical direction; a fluorescent optical fiber that is arranged substantially parallel to the scanning direction of the scanning unit and receives reflected light from the printed circuit board from a side surface; and at least one of the fluorescent optical fibers. A printed circuit board inspection device comprising a light receiving element disposed at one end.
Claims (1)
、前記テーブルの移動方向と略垂直な方向に走査する走
査部と、 前記走査部による走査方向と略平行に配置され、前記プ
リント基板からの反射光が側面から入射される蛍光性光
ファイバと、 前記蛍光性光ファイバの少なくとも一方の端部に配置さ
れた受光素子とを備えるプリント基板検査装置。[Scope of Claims] A light source that emits light for inspection; a table that moves the printed circuit board in a predetermined direction; and a table that moves the printed circuit board in a predetermined direction; a scanning unit that scans in a perpendicular direction; a fluorescent optical fiber that is arranged substantially parallel to the scanning direction of the scanning unit and receives reflected light from the printed circuit board from a side surface; and at least one of the fluorescent optical fibers. A printed circuit board inspection device comprising a light receiving element disposed at an end of the board.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1121794A JPH02300649A (en) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | Printed board inspecting device |
| US07/482,627 US5070237A (en) | 1989-05-16 | 1990-02-21 | Optical measurement and detection system |
| DE4007401A DE4007401C2 (en) | 1989-05-16 | 1990-03-08 | Device for determining a property of an object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1121794A JPH02300649A (en) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | Printed board inspecting device |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH02300649A true JPH02300649A (en) | 1990-12-12 |
Family
ID=14820074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1121794A Pending JPH02300649A (en) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | Printed board inspecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02300649A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085488A (en) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Nidec Copal Electronics Corp | Surface or inner layer inspection device of flying spot system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179642A (en) * | 1986-01-31 | 1987-08-06 | Kobe Steel Ltd | Surface defect detector |
| JPS6356610A (en) * | 1986-08-28 | 1988-03-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Plastic fluorescent fiber |
| JPS63101737A (en) * | 1986-10-17 | 1988-05-06 | Komatsu Ltd | Pattern inspector |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP1121794A patent/JPH02300649A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179642A (en) * | 1986-01-31 | 1987-08-06 | Kobe Steel Ltd | Surface defect detector |
| JPS6356610A (en) * | 1986-08-28 | 1988-03-11 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Plastic fluorescent fiber |
| JPS63101737A (en) * | 1986-10-17 | 1988-05-06 | Komatsu Ltd | Pattern inspector |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085488A (en) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Nidec Copal Electronics Corp | Surface or inner layer inspection device of flying spot system |
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