JPH0229045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0229045U JPH0229045U JP10747988U JP10747988U JPH0229045U JP H0229045 U JPH0229045 U JP H0229045U JP 10747988 U JP10747988 U JP 10747988U JP 10747988 U JP10747988 U JP 10747988U JP H0229045 U JPH0229045 U JP H0229045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- heater
- heated
- utility
- transparent electrode
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るフオトマスク装置の一実
施例を示す構成断面図、第２図は第１図装置の電
気接続を示すブロツク図、第３図は第１図装置を
用いた露光工程を示す図、第４図は第１図装置の
変形例を示す斜視図である。 １，１１……フオトマスク、２……マスクパタ
ーン、３，１３……ヒータ、１０……フオトマス
ク装置。
施例を示す構成断面図、第２図は第１図装置の電
気接続を示すブロツク図、第３図は第１図装置を
用いた露光工程を示す図、第４図は第１図装置の
変形例を示す斜視図である。 １，１１……フオトマスク、２……マスクパタ
ーン、３，１３……ヒータ、１０……フオトマス
ク装置。
Claims (1)
- フオトマスク上に透明電極からなるヒータを設
け、前記ヒータに印加される電流により前記フオ
トマスクが加熱されるように構成したことを特徴
とするフオトマスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10747988U JPH0229045U (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10747988U JPH0229045U (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229045U true JPH0229045U (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=31341932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10747988U Pending JPH0229045U (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229045U (ja) |
-
1988
- 1988-08-15 JP JP10747988U patent/JPH0229045U/ja active Pending