JPH02286138A - 超音波変換素子の製造方法 - Google Patents
超音波変換素子の製造方法Info
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- JPH02286138A JPH02286138A JP10867989A JP10867989A JPH02286138A JP H02286138 A JPH02286138 A JP H02286138A JP 10867989 A JP10867989 A JP 10867989A JP 10867989 A JP10867989 A JP 10867989A JP H02286138 A JPH02286138 A JP H02286138A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超音波変換素子の製造方法に関するものであ
る。
る。
従来の技術
従来の超音波変換素子の製造方法について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第４図（ａ）、（ｂｌはおよび第５図（ａ）、（ｂ）は
それぞれ従来の超音波変換素子の製造方法を示す正面図
および側面図である。第４図（ａ）および第５図（ａ）
に示すように受け治具４１の平面状の受け面４１２上に
、超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複
数枚の薄板材４４を各面間に接着剤を設けて積層し、最
上位の薄板材４３上に弾性体４３を載せる。そして、加
圧治具４２を受け治具４１に対し下降させ、平面状の加
圧面４２ａにより、第４図（ｂ）および第５図（ｂｌに
示すように弾性体４３上より薄板材４４を加圧し、各薄
板材４４を接着硬化させ、超音波変換素子を製造するこ
とができる。
それぞれ従来の超音波変換素子の製造方法を示す正面図
および側面図である。第４図（ａ）および第５図（ａ）
に示すように受け治具４１の平面状の受け面４１２上に
、超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからなる複
数枚の薄板材４４を各面間に接着剤を設けて積層し、最
上位の薄板材４３上に弾性体４３を載せる。そして、加
圧治具４２を受け治具４１に対し下降させ、平面状の加
圧面４２ａにより、第４図（ｂ）および第５図（ｂｌに
示すように弾性体４３上より薄板材４４を加圧し、各薄
板材４４を接着硬化させ、超音波変換素子を製造するこ
とができる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記のような従来技術では、接着剤層に生じる
圧力分布は第６図（ａ）、（ｂ）に示す等圧線図、圧力
勾配図から明らかなように接着面中央部の圧力勾配が緩
いため、接着面中央に接着剤や気泡が残りやすい。また
、薄板材４４は板厚にムラが生じないように成形加工す
るのは困難であるが、このように板厚にムラがあると、
加圧治具４２の加圧面４２ａの形状が平面であるため、
偏荷重が生じ、均一な接着層が得られないなどの課題が
あった。
圧力分布は第６図（ａ）、（ｂ）に示す等圧線図、圧力
勾配図から明らかなように接着面中央部の圧力勾配が緩
いため、接着面中央に接着剤や気泡が残りやすい。また
、薄板材４４は板厚にムラが生じないように成形加工す
るのは困難であるが、このように板厚にムラがあると、
加圧治具４２の加圧面４２ａの形状が平面であるため、
偏荷重が生じ、均一な接着層が得られないなどの課題が
あった。
本発明は、以上のような従来技術の課題を解決するもの
であり、接着面の各層内の接着剤や気泡を良好に排出す
ることができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を
防止して均一な接着層を得ることができ、安定した素子
特性を得ることができるようにした超音波変換素子の製
課題を解決するための手段 上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
受け治具における平面状の受け面上に、各面間に接着剤
を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の薄板材を積層
し、加圧治具を上記骨は治具側に前進させ、周辺より中
央部に至るに従い次第に前方へ突出する曲面状の加圧面
により上記薄板材を加圧して接着するようにしたもので
ある。
であり、接着面の各層内の接着剤や気泡を良好に排出す
ることができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を
防止して均一な接着層を得ることができ、安定した素子
特性を得ることができるようにした超音波変換素子の製
課題を解決するための手段 上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
受け治具における平面状の受け面上に、各面間に接着剤
を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の薄板材を積層
し、加圧治具を上記骨は治具側に前進させ、周辺より中
央部に至るに従い次第に前方へ突出する曲面状の加圧面
により上記薄板材を加圧して接着するようにしたもので
ある。
そして、加圧治具は少なくとも加圧面部を弾性体により
形成するのが好ましい。
形成するのが好ましい。
また、上記薄板材を弾性体を介して上記加圧治具の加圧
面により加圧するようにしたものである。
面により加圧するようにしたものである。
作用
上記技術的手段による作用は次のようになる。
加圧治具における周辺より中央部に至るに従い次第に前
方へ突出する曲面状の加圧面により直接、若しくは弾性
体を介して薄板材を加圧することにより、接着面の圧力
分布を中央から周辺に向かって低くなるようにすること
ができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なく
することができる。
方へ突出する曲面状の加圧面により直接、若しくは弾性
体を介して薄板材を加圧することにより、接着面の圧力
分布を中央から周辺に向かって低くなるようにすること
ができ、また、薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なく
することができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図（ａ）、（ｂ）および第２図（ａ）、（ｂ）はそ
れぞれ本発明の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図である。
れぞれ本発明の一実施例における超音波変換素子の製造
方法を示す正面図および側面図である。
第１図（ａ）、（ｂｌおよび第２図（ａ）、（ｂ）にお
いて、１は受け治具１であり、定位置に設けられ、受け
面１ａが平面状に形成されている。２は加圧治具であり
、加圧面２ａが周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面形状を有し、支持手段（図示省略）によ
り、加圧面２ａが受け治具１の受け面１ａに対向して垂
直方向に摺動し得るように支持されている。３は緩衝用
の弾性体であり、シリコンゴム等により形成されている
。４は超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからな
る複数枚の薄板材であり、受け治具１の受け面ｌａ上に
積層された状態で、拘束手段（図示省略）によって水平
方向の動きが拘束される。
いて、１は受け治具１であり、定位置に設けられ、受け
面１ａが平面状に形成されている。２は加圧治具であり
、加圧面２ａが周辺より中央部に至るに従い次第に前方
へ突出する曲面形状を有し、支持手段（図示省略）によ
り、加圧面２ａが受け治具１の受け面１ａに対向して垂
直方向に摺動し得るように支持されている。３は緩衝用
の弾性体であり、シリコンゴム等により形成されている
。４は超音波変換素子形成用の圧電セラミックスからな
る複数枚の薄板材であり、受け治具１の受け面ｌａ上に
積層された状態で、拘束手段（図示省略）によって水平
方向の動きが拘束される。
上記のような製造装置により超音波変換素子を製造する
には、まず、第１図（ａ）および第２図（ａ）に示すよ
うに受け治具１の平面状の受け面１ａ上に複数枚の薄板
材４を各面に接着剤を塗布して積層し、各薄板材４を拘
束して位置ずれを防止する。次に、積層した薄板材４の
上に弾性体３を載せる。その後、第１図（ｂｌおよび第
２図（ｂ）に示すように加圧治具２を前進させ、その曲
面状の加圧面２ａにより積層した薄板材４を弾性体３の
上から加圧し、この状態を保って接着材を固化させ、超
音波変換素子を製造することができる。
には、まず、第１図（ａ）および第２図（ａ）に示すよ
うに受け治具１の平面状の受け面１ａ上に複数枚の薄板
材４を各面に接着剤を塗布して積層し、各薄板材４を拘
束して位置ずれを防止する。次に、積層した薄板材４の
上に弾性体３を載せる。その後、第１図（ｂｌおよび第
２図（ｂ）に示すように加圧治具２を前進させ、その曲
面状の加圧面２ａにより積層した薄板材４を弾性体３の
上から加圧し、この状態を保って接着材を固化させ、超
音波変換素子を製造することができる。
このとき、接着面の圧力分布は第３図（ａ）、（ｂ）に
示す等圧線図、圧力勾配図から明らかなように中央から
周辺に向かって低（なるので、各層内の接着剤および気
泡を良好に排出することができ、また、薄板材４の板厚
ムラによる偏荷重を少なくし、均一な接着層を得ること
ができる。したがって、安定した素子特性を実現するこ
とができる。
示す等圧線図、圧力勾配図から明らかなように中央から
周辺に向かって低（なるので、各層内の接着剤および気
泡を良好に排出することができ、また、薄板材４の板厚
ムラによる偏荷重を少なくし、均一な接着層を得ること
ができる。したがって、安定した素子特性を実現するこ
とができる。
なお、積層した薄板材４を加圧治具２の加圧面２ａによ
り直接加圧するようにしてもよい。
り直接加圧するようにしてもよい。
このとき、加圧治具２は少なくとも加圧面２３部を弾性
体により形成すればよい。
体により形成すればよい。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、受け治具における平
面状の受け面上に、各面間に接着剤を設けた超音波変換
素子形成用の薄板材を積層し、加圧治具を上記受け治具
側に前進させ、周辺より中央部に至るに従い次第に前方
に突出する曲面状の加圧面により上記薄板材を直接、若
しくは弾性体を介して加圧して接着するようにしている
ので、積層した薄板材の各層に生じる圧力分布を接着面
の中央から周辺に向かって低くすることができ、層内の
接着剤および気泡を層外へ排出することができ、また、
薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なくして均一な接着
層を得ることができる。したがって、安定した素子特性
を実現することができる。
面状の受け面上に、各面間に接着剤を設けた超音波変換
素子形成用の薄板材を積層し、加圧治具を上記受け治具
側に前進させ、周辺より中央部に至るに従い次第に前方
に突出する曲面状の加圧面により上記薄板材を直接、若
しくは弾性体を介して加圧して接着するようにしている
ので、積層した薄板材の各層に生じる圧力分布を接着面
の中央から周辺に向かって低くすることができ、層内の
接着剤および気泡を層外へ排出することができ、また、
薄板材の板厚ムラによる偏荷重を少なくして均一な接着
層を得ることができる。したがって、安定した素子特性
を実現することができる。
第１図（ａ）、（ｂｌおよび第２図（ａ）、（ｂｌは本
発明の一実施例における超音波変換素子の製造方法を示
す正面図および側面図、第３図（ａ）、（ｂ）は、上記
実施例により製造する際の接着層内に発生する圧力分布
を示し、第３図（ａ）は等圧線図、第３図（ｂｌは圧力
勾配図、第４図（ａ）、（ｂｌおよび第５図（ａ）、（
ｂｌは従来の一実施例における超音波変換素子の製造方
法を示す正面図および側面図、第６図（ａ）、（ｂ）は
、上記実施例により製造する際の接着層内に発生する圧
力分布を示し、第６図（ａ）は等圧線図、第６図（ｂｌ
は圧力勾配図である。 １・・・受け治具、１ａ・・・受け面、２・・・加圧治
具、２ａ・・・加圧面、３・・・弾性体、４・・・薄板
材。 代理人の氏名 弁理士粟野重孝 はか１上第 １ 図 ＝ ２ 図 （Ｑ） 第 ４ 図 第５図 第 ３ ｇ 第６図
発明の一実施例における超音波変換素子の製造方法を示
す正面図および側面図、第３図（ａ）、（ｂ）は、上記
実施例により製造する際の接着層内に発生する圧力分布
を示し、第３図（ａ）は等圧線図、第３図（ｂｌは圧力
勾配図、第４図（ａ）、（ｂｌおよび第５図（ａ）、（
ｂｌは従来の一実施例における超音波変換素子の製造方
法を示す正面図および側面図、第６図（ａ）、（ｂ）は
、上記実施例により製造する際の接着層内に発生する圧
力分布を示し、第６図（ａ）は等圧線図、第６図（ｂｌ
は圧力勾配図である。 １・・・受け治具、１ａ・・・受け面、２・・・加圧治
具、２ａ・・・加圧面、３・・・弾性体、４・・・薄板
材。 代理人の氏名 弁理士粟野重孝 はか１上第 １ 図 ＝ ２ 図 （Ｑ） 第 ４ 図 第５図 第 ３ ｇ 第６図
Claims (3)
- （１）受け治具における平面状の受け面上に、各面間に
接着剤を設けた超音波変換素子形成用の複数枚の薄板材
を積層し、加圧治具を上記受け治具側に前進させ、周辺
より中央部に至るに従い次第に前方へ突出する曲面状の
加圧面により上記薄板材を加圧して接着することを特徴
とする超音波変換素子の製造方法。 - （２）加圧治具は少なくとも加圧面部が弾性体により形
成されている請求項１記載の超音波変換素子の製造方法
。 - （３）薄板材を弾性体を介して加圧治具の加圧面により
加圧することを特徴とする請求項１記載の超音波変換素
子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108679A JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108679A JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02286138A true JPH02286138A (ja) | 1990-11-26 |
| JPH0749039B2 JPH0749039B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=14490925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1108679A Expired - Lifetime JPH0749039B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 超音波変換素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749039B2 (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1108679A patent/JPH0749039B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749039B2 (ja) | 1995-05-31 |
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Legal Events
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