JPH02284044A - Measurement instrument for double refraction - Google Patents

Measurement instrument for double refraction

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JPH02284044A
JPH02284044A JP10449589A JP10449589A JPH02284044A JP H02284044 A JPH02284044 A JP H02284044A JP 10449589 A JP10449589 A JP 10449589A JP 10449589 A JP10449589 A JP 10449589A JP H02284044 A JPH02284044 A JP H02284044A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk substrate
analyzer
disk
rotation
birefringence
Prior art date
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Pending
Application number
JP10449589A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masashi Yoshihiro
昌史 吉弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To accurately measure double refraction in a driving state by providing respective means for disk rotation, a analyzer constant-angle rotation synchronized with above disk rotation, and photodetector output sampling at a specific position on a disk substrate. CONSTITUTION:This instrument is provided with a spindle motor 6 for driving the disk substrate 5 and its driving circuit 9, a rotation analyzer 7 and a driving circuit 10 for its stepping motor 7a, a timing generator 11 which controls them, a reference clock generator 12, a read amplifier 13 for amplifying the output of a photodetector 8, a sample hold circuit 14, and a signal processing circuit 15. Then the light of a light source 1 is reflected by the disk 5 which rotates at a constant rotating speed, passed through the analyzer 7 which rotates having a constant time difference from the disk and converted photoelectrically by the detector 8, and amplified by the amplifier 13, whose output is inputted to the circuit 14, so that the signal is held to the output of the same position of the substrate 5 with sample holding pulses in every spindle rotation at each set angle of the analyzer 7.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、情報を記録するため、あるいは既に情報を記
録済のディスク基板の複屈折測定装置に係り、更に詳し
くはディスク基板が高速で回転している壮態での複屈折
を測定できる複屈折測定装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a birefringence measurement device for a disk substrate for recording information or on which information has already been recorded. The present invention relates to a birefringence measurement device capable of measuring birefringence in its peak state.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の複屈折測定方法としてはエリプリメータを用いる
もの、又は第5図(a)、  (b)に示す如きレーザ
光を用いるものなどが知られている。
Conventional methods for measuring birefringence include methods using an elliplymeter and methods using laser light as shown in FIGS. 5(a) and 5(b).

第5図において、1は半導体レーザ光のレーザ光源、2
はコリメータレンズ、3は1/4波長板、4は偏光子、
5は被測定物であるディスク基板、7は回転検光子、8
は光検出器である。
In FIG. 5, 1 is a laser light source of semiconductor laser light, 2 is a laser light source of semiconductor laser light;
is a collimator lens, 3 is a quarter-wave plate, 4 is a polarizer,
5 is a disk substrate which is the object to be measured, 7 is a rotating analyzer, 8
is a photodetector.

まず、(a)の方式では、被測定物に対して方位角が4
5度になるような偏光方向を持つ直線偏光を照射し、被
測定物を透過または反射した光を1/4波長板で位相差
による楕円偏光をつ(り出す。また(b)の方式では円
偏光を被測定物に照射し、位相差による楕円偏光をつく
り出す。この楕円偏光を光軸中心に回転するグラントム
ソンプリズム等などからなる検光子に通し、検光子が一
周する間の光検出器出力の最大最小値から消光比を測定
し、その結果から複屈折を算出する。以上に関しては「
光ディスクの測定評価技術」監修久保高啓 (S 63
.4.26)  日本工業技術センター第2mに詳しく
記述されている。
First, in method (a), the azimuth angle is 4 with respect to the object to be measured.
Linearly polarized light with a polarization direction of 5 degrees is irradiated, and the light that is transmitted or reflected by the object to be measured is used to produce elliptically polarized light using a phase difference using a quarter-wave plate. Circularly polarized light is irradiated onto the object to be measured, creating elliptically polarized light due to the phase difference.This elliptically polarized light is passed through an analyzer consisting of a Glan-Thompson prism, etc. that rotates around the optical axis, and a photodetector is used while the analyzer makes one revolution. The extinction ratio is measured from the maximum and minimum values of the output, and the birefringence is calculated from the result.
“Measurement and evaluation technology for optical discs” supervised by Takahiro Kubo (S 63
.. 4.26) Described in detail in Japan Industrial Technology Center No. 2m.

光学的に情報を占き込みあるいは読みだしまたはその両
方を行なう光ディスク等に用いられる媒体は、−殻内に
高速で回転しており、特にプラス千゛ンク基板等におい
てはディスクの回転の遠心力により、伸びを生じるので
、ディスク、Eli54Nを静止させた状態で測定した
複屈折の値とディスク回転時の?3I屈折の値とでは一
致しないので実際にディスク回転時の複屈折を測定しな
いとディスク回転時における複屈折の影響は予測できな
い。さらにデ・fスフ基板を回転させてもその回転と検
光子の回転を同期させる手段を持たないため、ディスク
基板内の複屈折の分布が一定であるかどうか分からない
にもかかわらず、ディスク基板−周の平均しか測定でき
ず、複屈折の正確な測定が出来ない。
The media used in optical discs and the like that optically read and/or read information are rotating at high speed inside a shell, and especially in positive link substrates, the centrifugal force of the rotation of the disc is This causes elongation, so the birefringence value measured with the disk Eli54N stationary and the value when the disk rotates? Since the value does not match the value of 3I refraction, the effect of birefringence during disk rotation cannot be predicted unless birefringence is actually measured during disk rotation. Furthermore, even if the disc substrate is rotated, there is no means to synchronize its rotation with the rotation of the analyzer, so even though it is unknown whether the birefringence distribution within the disc substrate is constant, - Only the average of the circumference can be measured, making it impossible to accurately measure birefringence.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は上述の如き従来の測定装置のもっていた、実際
にディスク基板を回転した際の複屈折の影響を測定でき
ないという欠点を解決し、精度の高い複屈折データの得
られる複屈折測定装置の提供を目的としている。
The present invention solves the drawback of the conventional measuring device as described above that it cannot measure the influence of birefringence when the disk substrate is actually rotated, and provides a birefringence measuring device that can obtain highly accurate birefringence data. intended to provide.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、ディスク基板をドライブ装置に載せて、実際
に使用するときと同じ条件下でのディスク基板の複屈折
を測定するものであって、ディスクドライブ装置のスピ
ンドルの回転数を一定(10〜40Hz程度)に保ち、
そのスピンドルが1回転する毎に、例えばスピンドルモ
ータ駆動回路から5yncパルスを取り出してそのパル
スを基準として回転検光子を一定角度θ(0<θ≦60
°)前記スピンドルに同期して回転させ、ディスク基板
の同一位置での光検出器の出力をサンプリングし、この
サンプリング出力をディスク基板が一周する間ホールド
して回転検光子1周分の光検出器出力を合成し、その信
号から消光比を測定し、複屈折の値を算出する。
The present invention measures the birefringence of a disk substrate placed on a drive device under the same conditions as when it is actually used, and the rotation speed of the spindle of the disk drive device is kept constant (10 to 10). 40Hz),
Every time the spindle rotates once, for example, 5 sync pulses are extracted from the spindle motor drive circuit, and the rotating analyzer is set at a certain angle θ (0<θ≦60
°) Rotate in synchronization with the spindle, sample the output of the photodetector at the same position on the disk substrate, hold this sampling output while the disk substrate rotates once, and collect the photodetector for one rotation of the rotating analyzer. The outputs are combined, the extinction ratio is measured from the signals, and the value of birefringence is calculated.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明実施例を示しており、半導体レーザもし
くはHe −N eレーザの如きレーザ光源1、コリメ
ータレンズ2.1/4波長板3、ディスク基板5、回転
検光子7、光検出器8等の光学系部品は第5図(b)に
示す従来装置と同様であるが、ディスク基板が回転駆動
されるスピンドルモータ6、及び該スピンドルモータ6
と回転検光子7のステップモータ7aをコントロールす
る制御回路を備えている点が従来装置とは異なっている
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, which includes a laser light source 1 such as a semiconductor laser or a He-Ne laser, a collimator lens 2, a quarter-wave plate 3, a disk substrate 5, a rotating analyzer 7, and a photodetector. The optical system components such as 8 are the same as those of the conventional device shown in FIG.
This device differs from the conventional device in that it includes a control circuit for controlling the step motor 7a of the rotary analyzer 7.

上記制御回路は、スピンドルモータ駆動回路9、回転検
光子駆動用のドライブ回路10、モータ駆動回路9及び
ドライブ回路10をコントロールするタイミングパルス
発生器11、基準クロック発生器12、光検出器8の出
力を増幅するリードアンプ13、サンプルホールド回路
14、信号処理回路15などから構成される。
The control circuit includes outputs of a spindle motor drive circuit 9, a drive circuit 10 for driving a rotating analyzer, a timing pulse generator 11 that controls the motor drive circuit 9 and the drive circuit 10, a reference clock generator 12, and a photodetector 8. It is comprised of a read amplifier 13 for amplifying the signal, a sample hold circuit 14, a signal processing circuit 15, and the like.

次に本発明実施例の作用を説明する。Next, the operation of the embodiment of the present invention will be explained.

レーザ光源1 (半導体レーザ)から出た光は1/4波
長板3により円偏光とされディスク基板5に入射する。
Light emitted from a laser light source 1 (semiconductor laser) is circularly polarized by a quarter-wave plate 3 and enters a disk substrate 5.

一方ディスク基板5はスピンドル6に取り付けられてお
り、そのスピンドル6は基準り台ツク発生器12からの
回転数制御パルスにより回転数が一定になるように制御
されている。ディスク基板5を透過もしくは反射した光
束は、回転検光子7に導かれる0回転渣光子7はステッ
プモータ7aによって駆動される。ステップモータ7a
を駆動するタイミングはスピンドルモータ6の駆動回路
9から出力される5yncパルス(スピンドルモータ6
が一周する毎に1パルス出力される)かまたはタイミン
グパルス発生器11によって作成された5yncパルス
と一定の時間差(td)を持ったステップモータドライ
ブパルスによって駆動される。回転検光子7を通過した
光は光検出器8において光電変換され、更にリードアン
プ13によって増幅される。リードアンプ13の出力は
、サンプルホールドアンプ14に入力されタイミングパ
ルス発生器11からのサンプルホールドパルスにより、
回転検光子7の各設定角においてスピンドル−回転毎に
ディスク基板5の同一位置における出力にホールドされ
る。サンプルホールドパルスは5yncパルスに対して
、任Hの時間Δt  (0≦Δt<t、)遅れておりΔ
tは自由に設定できる。
On the other hand, the disk substrate 5 is attached to a spindle 6, and the spindle 6 is controlled to have a constant rotation speed by a rotation speed control pulse from a reference table generator 12. The light flux transmitted or reflected by the disk substrate 5 is guided to a rotating analyzer 7. The zero-rotation residue photon 7 is driven by a step motor 7a. Step motor 7a
The timing for driving the spindle motor 6 is determined by the 5 sync pulse (spindle motor 6
(one pulse is output for each round of the motor) or a step motor drive pulse having a constant time difference (td) with the 5 sync pulse generated by the timing pulse generator 11. The light that has passed through the rotating analyzer 7 is photoelectrically converted by a photodetector 8 and further amplified by a read amplifier 13. The output of the read amplifier 13 is input to the sample hold amplifier 14 and is processed by the sample hold pulse from the timing pulse generator 11.
At each set angle of the rotating analyzer 7, the output is held at the same position on the disk substrate 5 for each spindle rotation. The sample hold pulse lags behind the 5sync pulse by an arbitrary time Δt (0≦Δt<t,) and Δt
t can be set freely.

第2図にタイミングパルス発生311の出力するタイミ
ングパルスの例を示すe t、はスピンドル6が一周す
る時間、t、はs yncパルスとステップモータドラ
イブパルスとの時間差、Δtは5yncパルスとサンプ
ルホールドパルスとの時間差である。
Fig. 2 shows an example of the timing pulse output by the timing pulse generator 311. t is the time for the spindle 6 to make one revolution, t is the time difference between the sync pulse and the step motor drive pulse, and Δt is the 5 sync pulse and sample hold. This is the time difference from the pulse.

第3図にリードアンプ13及びサンプルホールドアンプ
14の出力波形の例を示す。(a)はリードアンプ出力
、(b)はサンプルホールドアンプの出力である。(a
)においてはスピンドル6が一周する間に出力が変動す
るが(b)においてはディスク基板5の同一位置での出
力がサンプリングされている。
FIG. 3 shows examples of output waveforms of the read amplifier 13 and sample-hold amplifier 14. (a) is the read amplifier output, and (b) is the sample and hold amplifier output. (a
In ), the output fluctuates while the spindle 6 makes one revolution, but in (b), the output at the same position on the disk substrate 5 is sampled.

第4図は本発明において、ディスク基板5上の同一半径
上にある複数の点における複屈折を同時に測定する例で
ある。サンプルホールドパルスをタイミングパルス発生
器から複数(n)個(syncパルスとの時間差Δt、
〜Δt、1)発生させ、n個のサンプルホールドアンプ
を用いて一度にディスク基板5の同一半径上のn個の点
の複屈折を測定する。
FIG. 4 shows an example in which birefringence at a plurality of points on the same radius on the disk substrate 5 is simultaneously measured in the present invention. A plurality of (n) sample hold pulses are sent from the timing pulse generator (time difference Δt with the sync pulse,
~Δt, 1) and measure the birefringence at n points on the same radius of the disk substrate 5 at once using n sample-and-hold amplifiers.

向上記実施例では説明していないが、ディスク基板5へ
の先の入射角を変更できるようにすれば、ディスク基板
5の種類やレーザ光の種類に応じた複屈折に関する最も
適当なデータを得ることができる。
Although not explained in the above embodiment, by making it possible to change the angle of incidence on the disk substrate 5, the most appropriate data regarding birefringence depending on the type of disk substrate 5 and the type of laser beam can be obtained. be able to.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明はディスク基板を実際に回
転させ、かつこの回転数に同期させて回転検光子を一定
角度回転させ、ディスク基板の所定位置における光検出
器出力をサンプリングして、このサンプリング出力から
ディスク基板の複屈折を算出するデータを得るようにし
たため、ディスク基板を実際にデータ書き込み、データ
再生のために駆動する状態におけるディスク基板の特定
位置の複屈折を正確に測定することができる。
As explained above, the present invention actually rotates the disk substrate, rotates the rotating analyzer at a certain angle in synchronization with the rotation speed, samples the photodetector output at a predetermined position on the disk substrate, and samples the photodetector output at a predetermined position on the disk substrate. Since the data for calculating the birefringence of the disk substrate is obtained from the sampling output, it is possible to accurately measure the birefringence at a specific position on the disk substrate when the disk substrate is actually written with data and driven for data reproduction. can.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明実施例の全体構成を示す概略図、第2図
は本発明実施例における制御信号のタイミングチャート
、第3図は本発明実施例における信号系の波形図、第4
図は本発明の変形例の全体構成を示す概略図、第5図は
従来の複屈折法の一例を示す説明図である。 1・・・・・・・・・レーザ光源、5・・・・・・・・
・ディスク基板、6・・・・・・・・・スピンドルモー
タ、7・・・・・・・・・回転検光子、8・・・・・・
・・・光検出器、9・・・・・・・・・スピンドルモー
タ駆動回路、10・・・・・・・・・ステップモータ駆
動回路、11・・・・・・・・・タイミングパルス発生
器、14・・・・・・・・・サンプルホールドアンプ。 粥 図 弔 図 弔 図 弔 図 第5図
FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of the embodiment of the present invention, FIG. 2 is a timing chart of control signals in the embodiment of the present invention, FIG. 3 is a waveform diagram of the signal system in the embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a schematic diagram showing the overall configuration of a modified example of the present invention, and FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a conventional birefringence method. 1...... Laser light source, 5......
・Disk board, 6... Spindle motor, 7... Rotating analyzer, 8...
. . . Photodetector, 9 . . . Spindle motor drive circuit, 10 . . . Step motor drive circuit, 11 . . . Timing pulse generation. 14... Sample and hold amplifier. Congee diagram Condolence diagram Funeral diagram Funeral diagram Figure 5

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)被測定ディスク基板に直線偏光または円偏光を入
射し、ディスク基板からの透過光または反射光を回転す
る検光子へ導き、該検光子を透過して光検出器に入射し
た光量の変化からディスク基板の複屈折率を測定する複
屈折測定装置において、前記ディスク基板を回転せしめ
るディスク回転手段と、ディスク基板の回転と同期して
前記検光子を一定角度回転させる検光子回転手段と、デ
ィスク基板の所定位置における光検出器出力をサンプリ
ングするサンプリング手段とを備え、前記検光子の1回
転に対応する前記サンプリング手段の出力から、ディス
ク基板の回転時におけるディスク基板の特定位置の複屈
折率を測定することを特徴とする複屈折測定装置。
(1) Linearly polarized or circularly polarized light is incident on the disk substrate to be measured, the transmitted light or reflected light from the disk substrate is guided to a rotating analyzer, and the amount of light transmitted through the analyzer and incident on the photodetector changes. A birefringence measurement device for measuring the birefringence index of a disk substrate, comprising: a disk rotation means for rotating the disk substrate; an analyzer rotation means for rotating the analyzer by a certain angle in synchronization with rotation of the disk substrate; sampling means for sampling the photodetector output at a predetermined position on the substrate, and from the output of the sampling means corresponding to one rotation of the analyzer, the birefringence at a specific position on the disk substrate during rotation of the disk substrate is determined. A birefringence measurement device characterized by measuring birefringence.
(2)前記サンプリング手段は、ディスク基板の同一円
周上にある複数の点の光検出器出力を連続してサンプリ
ングする連続サンプリング手段であつて、検光子1回転
に対応する前記複数の点の各点毎のサンプリング出力か
ら、ディスク基板の複数の特定位置の複屈折率を同時に
測定することを特徴とする請求項(1)に記載の複屈折
測定装置。
(2) The sampling means is a continuous sampling means that continuously samples the photodetector output at a plurality of points on the same circumference of the disk substrate, and the sampling means continuously samples the photodetector output at a plurality of points on the same circumference of the disk substrate, and the sampling means continuously samples the photodetector output at a plurality of points on the same circumference of the disk substrate, and the sampling means continuously samples the photodetector output at a plurality of points on the same circumference of the disk substrate, and the sampling means continuously samples the photodetector output at a plurality of points on the same circumference of the disk substrate. 2. The birefringence measuring device according to claim 1, wherein the birefringence of a plurality of specific positions on the disk substrate is simultaneously measured from the sampling output for each point.
(3)前記ディスク基板に入射される直線偏光または円
偏光のディスク基板に対する入射角を変更する入射角変
更手段を備えたことを特徴とする請求項(1)また(2
)に記載の複屈折測定装置。
(3) Claims (1) and (2) further comprising an incident angle changing means for changing the incident angle of linearly polarized light or circularly polarized light incident on the disk substrate to the disk substrate.
) The birefringence measuring device described in ).
JP10449589A 1989-04-26 1989-04-26 Measurement instrument for double refraction Pending JPH02284044A (en)

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