JPH0227729U - - Google Patents

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JPH0227729U
JPH0227729U JP10620588U JP10620588U JPH0227729U JP H0227729 U JPH0227729 U JP H0227729U JP 10620588 U JP10620588 U JP 10620588U JP 10620588 U JP10620588 U JP 10620588U JP H0227729 U JPH0227729 U JP H0227729U
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semiconductor devices
equipment
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す断面図で、第
2図は本考案の他の実施例を示す断面図である。 1……素子セツトステージ、2……回転スライ
ド用ガイド、3……ステージ側歯車、4……パツ
キンガイド、5……開封用パツキン、6……ハウ
ジング、7……開封処理部、8……ノズル、9…
…薬液排出口、10……モータ、11……モータ
側歯車、12……Oリング、13……素子固定治
具、15……素子、15……第2のノズル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体素子のモールド樹脂開封装置において、
    回転可能な素子セツトステージと、該素子セツト
    ステージを回転駆動するモータと、開封用パツキ
    ンの開口面に対して垂直でない角度をもつて設置
    されている溶解液噴射ノズルとを有することを特
    徴とする半導体素子の樹脂開封装置。
JP10620588U 1988-08-10 1988-08-10 Pending JPH0227729U (ja)

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JP10620588U JPH0227729U (ja) 1988-08-10 1988-08-10

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JP10620588U JPH0227729U (ja) 1988-08-10 1988-08-10

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JPH0227729U true JPH0227729U (ja) 1990-02-22

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JP10620588U Pending JPH0227729U (ja) 1988-08-10 1988-08-10

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