JPH02255571A - 易加工性セラミックス - Google Patents
易加工性セラミックスInfo
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、耐酸化性に優れ、かつ機械加工性が良好な易
加工性セラミックスに関する。
加工性セラミックスに関する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来、
旋盤によるハイス鋼での加工といった機械加工が可能な
易加工性セラミックスとしては、窒化硼素（ＢＮ）成形
体が知られている。この窒化硼素成形体は、例えば、特
公昭４９−４０１２４号公報に記載されたように窒化硼
素にアルカリ土類ホウ酸塩を添加し、これを熱間加圧成
形（ホットプレス）法で成形・焼結したり、特公昭４９
−３７０９３号公報に記載されたように微粉状の窒化硼
素粉末を使用して成形・焼結するなどの方法で製造され
ている。
旋盤によるハイス鋼での加工といった機械加工が可能な
易加工性セラミックスとしては、窒化硼素（ＢＮ）成形
体が知られている。この窒化硼素成形体は、例えば、特
公昭４９−４０１２４号公報に記載されたように窒化硼
素にアルカリ土類ホウ酸塩を添加し、これを熱間加圧成
形（ホットプレス）法で成形・焼結したり、特公昭４９
−３７０９３号公報に記載されたように微粉状の窒化硼
素粉末を使用して成形・焼結するなどの方法で製造され
ている。
しかしながら、このようにして得られる窒化硼素成形体
は高温下でも使用可能な優れた材料であるが、空気中な
どの酸化性雰囲気で９００〜１２００℃の高温下に連続
して使用すると、酸化によりホウ酸ガラスが生成し、こ
のホウ酸ガラスが流出して窒化硼素成形体が軟化したり
、この成形体と他の部材とが融着するなど、種々のトラ
ブルが発生するという問題がある。このため、酸化性雰
囲気で９００℃以上の高温下においてもガラス質の流出
なく好適に使用し得、耐酸化性に優れていると共に、機
械加工性の高い成形体の開発が望まれていた。
は高温下でも使用可能な優れた材料であるが、空気中な
どの酸化性雰囲気で９００〜１２００℃の高温下に連続
して使用すると、酸化によりホウ酸ガラスが生成し、こ
のホウ酸ガラスが流出して窒化硼素成形体が軟化したり
、この成形体と他の部材とが融着するなど、種々のトラ
ブルが発生するという問題がある。このため、酸化性雰
囲気で９００℃以上の高温下においてもガラス質の流出
なく好適に使用し得、耐酸化性に優れていると共に、機
械加工性の高い成形体の開発が望まれていた。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、酸化性雰囲気
で高温下に使用してもガラス質の流出などのトラブル発
生がなく、耐酸化性に優れ、しかも機械加工性の良好な
易加工性セラミックスを提供することを目的とする。
で高温下に使用してもガラス質の流出などのトラブル発
生がなく、耐酸化性に優れ、しかも機械加工性の良好な
易加工性セラミックスを提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明者は、上
記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、２０〜７
０重量部の六方晶窒化硼素粉末、３０〜８０重量部の窒
化珪素粉末及び窒化珪素に対し１〜１０重量％の焼結助
剤粉末、特にアルミナとイツトリアとの混合物を含有す
る粉末組成物を例えば１６００℃〜２１００℃の温度で
６０〜２１０ｋｇ ／ ｃｄの圧力条件において不活性
ガス雰囲気下に熱間加圧成形するか、あるいは加圧成形
した後に不活性ガス雰囲気下に１７００℃〜２１００℃
の温度で焼結する等の焼結を行なうことにより、易加工
性セラミックスが得られ、このセラミックスは空気等の
酸化性雰囲気で１２００℃程度の高温下に連続使用して
もガラス質の流出が極めて少なく、酸化性雰囲気下にお
ける使用上限温度を約１２００℃程度まで高めることが
でき、耐酸化性に優れている上、窒化硼素由来の易加工
性が維持されて機械加工性が良好であることを知見し、
本発明をなすに至った。
記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、２０〜７
０重量部の六方晶窒化硼素粉末、３０〜８０重量部の窒
化珪素粉末及び窒化珪素に対し１〜１０重量％の焼結助
剤粉末、特にアルミナとイツトリアとの混合物を含有す
る粉末組成物を例えば１６００℃〜２１００℃の温度で
６０〜２１０ｋｇ ／ ｃｄの圧力条件において不活性
ガス雰囲気下に熱間加圧成形するか、あるいは加圧成形
した後に不活性ガス雰囲気下に１７００℃〜２１００℃
の温度で焼結する等の焼結を行なうことにより、易加工
性セラミックスが得られ、このセラミックスは空気等の
酸化性雰囲気で１２００℃程度の高温下に連続使用して
もガラス質の流出が極めて少なく、酸化性雰囲気下にお
ける使用上限温度を約１２００℃程度まで高めることが
でき、耐酸化性に優れている上、窒化硼素由来の易加工
性が維持されて機械加工性が良好であることを知見し、
本発明をなすに至った。
従って、本発明は、２０〜７０重量部の六方晶窒化硼素
粉末、３０〜８０重量部の窒化珪素粉末及び窒化珪素に
対し１〜１０重量％の焼結助剤粉末を含有する粉末組成
物を焼結してなることを特徴とする易加工性セラミック
スを提供する。
粉末、３０〜８０重量部の窒化珪素粉末及び窒化珪素に
対し１〜１０重量％の焼結助剤粉末を含有する粉末組成
物を焼結してなることを特徴とする易加工性セラミック
スを提供する。
以下、本発明につき更に詳述する。
本発明の易加工性セラミックスは六方晶窒化硼素粉末、
窒化珪素粉末及び焼結助剤粉末をそれぞれ特定の割合で
含有した粉末組成物を焼結してなるものである。
窒化珪素粉末及び焼結助剤粉末をそれぞれ特定の割合で
含有した粉末組成物を焼結してなるものである。
ここで、大方晶窒化硼素粉末、窒化珪素粉末としては特
に制限はなく、それぞれの市販粉末を使用することがで
きるが、好ましくはその平均粒子径が、それぞれ六方晶
窒化硼素粉末は３０μｍ以下、特に１０μｍ以下、窒化
珪素粉末は１μｍ以下、特に０．８μｍ以下であるもの
が使用され、本発明においては窒化硼素粉末の粒径を従
来より広い範囲とすることができる。
に制限はなく、それぞれの市販粉末を使用することがで
きるが、好ましくはその平均粒子径が、それぞれ六方晶
窒化硼素粉末は３０μｍ以下、特に１０μｍ以下、窒化
珪素粉末は１μｍ以下、特に０．８μｍ以下であるもの
が使用され、本発明においては窒化硼素粉末の粒径を従
来より広い範囲とすることができる。
また、焼結助剤粉末としては、通常１２００℃以上の高
温で安定な酸化物が望ましいが、その中でもイツトリア
（ＹｘＯｓ）粉末とアルミナ（Ａ １ ｚＯ＋）粉末の
混合物が焼結性、安定性、強度、耐酸化性の付与効果に
優れている魚で有効に使用できる。この場合、これらの
粉末も市販粉末を使用でき、好ましくはその平均粒径が
イツトリア粉末は１０μｍ以下、特に５μｍ以下、アル
ミナ粉末は１０μｍ以下、特に５μｍ以下のものが使用
され、それらの配合割合をイツトリア粉末とアルミナ粉
末の比をｌ：９〜９：１、特に５：５〜９：１とするこ
とが好ましい。
温で安定な酸化物が望ましいが、その中でもイツトリア
（ＹｘＯｓ）粉末とアルミナ（Ａ １ ｚＯ＋）粉末の
混合物が焼結性、安定性、強度、耐酸化性の付与効果に
優れている魚で有効に使用できる。この場合、これらの
粉末も市販粉末を使用でき、好ましくはその平均粒径が
イツトリア粉末は１０μｍ以下、特に５μｍ以下、アル
ミナ粉末は１０μｍ以下、特に５μｍ以下のものが使用
され、それらの配合割合をイツトリア粉末とアルミナ粉
末の比をｌ：９〜９：１、特に５：５〜９：１とするこ
とが好ましい。
本発明の易加工性セラミックスにおいては、上記粉末の
配合量は、六方晶窒化硼素粉末が２０〜７０重量部、好
ましくは４０〜６０重量部、窒化珪素粉末が３５〜８０
重量部、好ましくは４０〜６０重量部、焼結助剤粉末は
窒化珪素粉末に対し１〜ｌＯ重量％、好ましく、は、５
〜ｌＯ重量％とするものである。各粉末のいずれかの配
合量が上記範囲外であると、成形体の耐酸化性や機械加
工性が低下して、本発明の目的を達成することができな
い。
配合量は、六方晶窒化硼素粉末が２０〜７０重量部、好
ましくは４０〜６０重量部、窒化珪素粉末が３５〜８０
重量部、好ましくは４０〜６０重量部、焼結助剤粉末は
窒化珪素粉末に対し１〜ｌＯ重量％、好ましく、は、５
〜ｌＯ重量％とするものである。各粉末のいずれかの配
合量が上記範囲外であると、成形体の耐酸化性や機械加
工性が低下して、本発明の目的を達成することができな
い。
本発明においては、上記粉末、必要に応じ他の化合物を
含有する粉末組成物を焼結することにより、耐酸化性に
優れた易加工性セラミックスを得ることができる。、 ここで、焼結は、熱間加圧成形法で行なうことができ、
例えばボールミル等で十分に混合した粉末組成物を黒鉛
製モールド等に充填し、１６００℃〜２１００℃、好ま
しくは１７００″Ｃ〜１８００℃の温度で、６０ｋｇ／
ａＪ〜２１０ ｋｇ／ｃ＋４、好ましくは１２０ｋｇ／
ｃＩｌ！〜２１０ｋｇ／ａａの圧力下において成形する
方法が採用し得る。この場合、処理温度が１６００℃よ
り低かったり圧力が６０ｋｇ／ｃｄより低いと、耐酸化
性が悪くなる場合がある。また、２１００℃より高温に
すると黒鉛モールドの消耗が激しく、圧力が２１０ｋｇ
／ ｃｄより大きいと黒鉛モールドが破壊され易くな
る。
含有する粉末組成物を焼結することにより、耐酸化性に
優れた易加工性セラミックスを得ることができる。、 ここで、焼結は、熱間加圧成形法で行なうことができ、
例えばボールミル等で十分に混合した粉末組成物を黒鉛
製モールド等に充填し、１６００℃〜２１００℃、好ま
しくは１７００″Ｃ〜１８００℃の温度で、６０ｋｇ／
ａＪ〜２１０ ｋｇ／ｃ＋４、好ましくは１２０ｋｇ／
ｃＩｌ！〜２１０ｋｇ／ａａの圧力下において成形する
方法が採用し得る。この場合、処理温度が１６００℃よ
り低かったり圧力が６０ｋｇ／ｃｄより低いと、耐酸化
性が悪くなる場合がある。また、２１００℃より高温に
すると黒鉛モールドの消耗が激しく、圧力が２１０ｋｇ
／ ｃｄより大きいと黒鉛モールドが破壊され易くな
る。
なお、熱間加圧成形は、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気
において上記条件で３０〜９０分間行なうことが望まし
い。
において上記条件で３０〜９０分間行なうことが望まし
い。
また、本発明に係る易加工性セラミックスは、上記粉末
組成物を加圧成形した後、これを焼結することによって
も得ることができる。
組成物を加圧成形した後、これを焼結することによって
も得ることができる。
この場合、成形体用組成物の加圧成形方法は別に制限さ
れないが、原料粉末をゴム型に詰め、常温下で１００〜
５０００ ｋｇ ／ ｃｉ 、特に１０００〜５０００
ｋｇ／−の加圧条件で静水圧加圧成形する方法が好適に
採用される。
れないが、原料粉末をゴム型に詰め、常温下で１００〜
５０００ ｋｇ ／ ｃｉ 、特に１０００〜５０００
ｋｇ／−の加圧条件で静水圧加圧成形する方法が好適に
採用される。
次いで、加圧成形後の焼結は、１７００℃〜２１００℃
以下、好ましくは１７００℃〜１８００℃以下の温度で
行なうことが望ましい。焼結の温度が１７００℃より低
いと、耐酸化性が悪くなる場合があり、２１００ ’Ｃ
より高いと窒化硼素の分解が始まる。なお、焼結は常圧
でも１００〜２０００ ｋｇ ／ ｃｊ程度の加圧下に
行なってもよいが、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気で１
〜５時間行なうことが好ましい。
以下、好ましくは１７００℃〜１８００℃以下の温度で
行なうことが望ましい。焼結の温度が１７００℃より低
いと、耐酸化性が悪くなる場合があり、２１００ ’Ｃ
より高いと窒化硼素の分解が始まる。なお、焼結は常圧
でも１００〜２０００ ｋｇ ／ ｃｊ程度の加圧下に
行なってもよいが、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気で１
〜５時間行なうことが好ましい。
以上説明したように、本発明の易加工性セラミックスは
、上述した構成としたことにより、９００℃以上の高温
、特に１２００℃程度の高温下において、酸化性雰囲気
であってもガラス質の流出が極めて少なく、他の部材と
融着するといったトラブルがないため、酸化性雰囲気下
で１２００℃程度の高温下においても連続使用すること
ができる上、機械加工性が良好であり、このため機械加
工可能な耐熱・耐酸化性のセラミックスとして幅広い分
野に利用できるものである。
、上述した構成としたことにより、９００℃以上の高温
、特に１２００℃程度の高温下において、酸化性雰囲気
であってもガラス質の流出が極めて少なく、他の部材と
融着するといったトラブルがないため、酸化性雰囲気下
で１２００℃程度の高温下においても連続使用すること
ができる上、機械加工性が良好であり、このため機械加
工可能な耐熱・耐酸化性のセラミックスとして幅広い分
野に利用できるものである。
以下、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明
するが、本発明は下記実施例に制限されるものでなない
。
するが、本発明は下記実施例に制限されるものでなない
。
なお、各側に先立ち、各側で採用した成形体の耐酸化性
、加工性の測定方法を下記に示す。
、加工性の測定方法を下記に示す。
成形体を厚さ１龍、直径１００ｍｍの円盤状に加工し、
これを第１．２図に示す半リング板状で内周壁面中央部
に半リング状のスリット２ （スリット幅１，１ｍｍ）
を有する治具１に垂直に立てた後、直径１４０ｍｍの石
英製炉芯管中に治具ごと挿入し、外部から１２００℃に
加熱した。この炉芯管に３１／ｓｉｎの流量で５％酸素
−９５％窒素混合ガスを流し、この状態で４８時間保持
した後、冷却した。
これを第１．２図に示す半リング板状で内周壁面中央部
に半リング状のスリット２ （スリット幅１，１ｍｍ）
を有する治具１に垂直に立てた後、直径１４０ｍｍの石
英製炉芯管中に治具ごと挿入し、外部から１２００℃に
加熱した。この炉芯管に３１／ｓｉｎの流量で５％酸素
−９５％窒素混合ガスを流し、この状態で４８時間保持
した後、冷却した。
冷却後、管外に治具を取り出して治具から成形体を取り
外し、治具に付着したガラス量を流出付着物量として測
定し、耐酸化性を評価した。この場合、付着物量が２■
以下のものを耐酸化性良好で合格品とした。
外し、治具に付着したガラス量を流出付着物量として測
定し、耐酸化性を評価した。この場合、付着物量が２■
以下のものを耐酸化性良好で合格品とした。
円柱状成形体を旋盤のチャックに固定し、高速度鋼バイ
トを挿着して回転速度３００ｒｐｍで成形体を回転させ
ながら切削深さ０．５ ａｍにバイト先端を固定し、横
送り速度１ｃＩＩＩＺ分で切削したときの切削面の表面
粗度を測定した。この場合、表面粗度が２５μｍ以下の
ものを加工性良好で合格品とした。
トを挿着して回転速度３００ｒｐｍで成形体を回転させ
ながら切削深さ０．５ ａｍにバイト先端を固定し、横
送り速度１ｃＩＩＩＺ分で切削したときの切削面の表面
粗度を測定した。この場合、表面粗度が２５μｍ以下の
ものを加工性良好で合格品とした。
〔実施例１，２〕
平均粒径１０μｍの六方晶窒化硼素粉末２００ｇ、平均
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末８００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイッ） ＩＪア粉末５５ｇ、平均粒径２μｍのアル
ミナ粉末２５ｇを水４１と共に１０１のアルミナ製ボー
ルミルに入れて２時間混合した後、スラリーを取り出し
て乾燥し、原料粉末を得た。
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末８００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイッ） ＩＪア粉末５５ｇ、平均粒径２μｍのアル
ミナ粉末２５ｇを水４１と共に１０１のアルミナ製ボー
ルミルに入れて２時間混合した後、スラリーを取り出し
て乾燥し、原料粉末を得た。
次いで、この原料粉末４００ｇを黒鉛製モールドに充填
し、窒素雰囲気下に１８００℃、１５０ｋｇ／−で１時
間熱間加圧成形し、成形体■を得た（実施例１）。
し、窒素雰囲気下に１８００℃、１５０ｋｇ／−で１時
間熱間加圧成形し、成形体■を得た（実施例１）。
また、この原料粉末４００ｇをゴム型に詰め、２０００
ｋｇ ／ ｃｄの静水圧加圧を行ない、続いて窒素雰
囲気下に１８００℃で１時間加熱焼結し、成形体■を得
た（実施例２）。
ｋｇ ／ ｃｄの静水圧加圧を行ない、続いて窒素雰
囲気下に１８００℃で１時間加熱焼結し、成形体■を得
た（実施例２）。
〔実施例３，４〕
平均粒径１０μｍの六方晶窒化硼素粉末７００ｇ、平均
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末３００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末２５ｇ、平均粒径２μｍのアルミナ
粉末５ｇを実施例１と同様に混合、乾燥し、原料粉末を
得た。
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末３００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末２５ｇ、平均粒径２μｍのアルミナ
粉末５ｇを実施例１と同様に混合、乾燥し、原料粉末を
得た。
次いで、この原料粉末４００ｇを黒鉛製モールドに充填
し、窒素雰囲気下に１８００℃、１５０ｋｇ／ＣＩ＋！
で３０分間熱間加圧成形し、成形体■を得た（実施例３
）。
し、窒素雰囲気下に１８００℃、１５０ｋｇ／ＣＩ＋！
で３０分間熱間加圧成形し、成形体■を得た（実施例３
）。
また、この原料粉末４００ｇをゴム型に詰め、２０００
ｋｇ ／ ｄの静水圧加圧を行ない、続いて窒素雰囲
気下に９．５気圧の等方圧下、１７００℃で２時間加熱
焼結し、成形体■を得た（実施例４）。
ｋｇ ／ ｄの静水圧加圧を行ない、続いて窒素雰囲
気下に９．５気圧の等方圧下、１７００℃で２時間加熱
焼結し、成形体■を得た（実施例４）。
〔比較例１〕
平均粒径１０μｍの六方晶窒化硼素粉末１００ｇ、平均
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末９００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末５５ｇ１アルミナ粉末２５ｇを実施
例１と同様に混合、乾燥し、原料粉末を得た。
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末９００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末５５ｇ１アルミナ粉末２５ｇを実施
例１と同様に混合、乾燥し、原料粉末を得た。
次いで、この原料粉末を実施例１と同様の方法で熱間加
圧成形し、成形体Ｖを得た。
圧成形し、成形体Ｖを得た。
〔比較例２〕
平均粒径１０μｍの大方晶窒化硼素粉末９００ｇ、平均
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末１００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末５．５ｇ、平均粒径２μｍのアルミ
ナ粉末２．５ｇを実施例１と同様に混合、乾燥し、原料
粉末を得た。
粒径０．５μｍの窒化珪素粉末１００ｇ、平均粒径４μ
ｍのイツトリア粉末５．５ｇ、平均粒径２μｍのアルミ
ナ粉末２．５ｇを実施例１と同様に混合、乾燥し、原料
粉末を得た。
次いで、この原料粉末を実施例１と同様の方法で熱間加
圧成形し、成形体■を得た。
圧成形し、成形体■を得た。
〔比較例３〕
平均粒径１０μｍの六方晶窒化硼素粉末４００ｇを黒鉛
製モールド中に充填し、実施例１と同様の方法で熱間加
圧成形し、成形体■を得た。
製モールド中に充填し、実施例１と同様の方法で熱間加
圧成形し、成形体■を得た。
次に、上記各成形体の密度、耐酸化性（付着物Ｍ）、加
工性（表面粗度）を測定した結果を第１表に示す。
工性（表面粗度）を測定した結果を第１表に示す。
第１表
第１表の結果より、本発明に係る成形体（実施例１〜４
）は加工性及び耐酸化性に優れていることが確認された
。これに対し、窒化硼素粉末及び窒化珪素粉末の配合量
が本発明の範囲外では、表面粗度が大きく加工性が悪か
ったり（比較例１）、流出付着物量が大きく耐酸化性が
悪かったり（比較例２）、従来の窒化硼素のみによるも
のは流出付着物量が大きく、耐熱性が劣る（比較例３）
ものであった。
）は加工性及び耐酸化性に優れていることが確認された
。これに対し、窒化硼素粉末及び窒化珪素粉末の配合量
が本発明の範囲外では、表面粗度が大きく加工性が悪か
ったり（比較例１）、流出付着物量が大きく耐酸化性が
悪かったり（比較例２）、従来の窒化硼素のみによるも
のは流出付着物量が大きく、耐熱性が劣る（比較例３）
ものであった。
第１図及び第２図はそれぞれ成形体試料を支持する治具
を示し、第１図は正面図、第２図は側面図である。 ｌ・・・・・・治具、２・・・・・・スリット２ＯＮＮ
＃Ｌ
を示し、第１図は正面図、第２図は側面図である。 ｌ・・・・・・治具、２・・・・・・スリット２ＯＮＮ
＃Ｌ
Claims (2)
- １．２０〜７０重量部の六方晶窒化硼素粉末、３０〜８
０重量部の窒化珪素粉末及び窒化珪素に対して１〜１０
重量％の焼結助剤粉末を含有する粉末組成物を焼結して
なることを特徴とする易加工性セラミックス。 - ２．焼結助剤粉末がアルミナとイットリアの混合物であ
ることを特徴とする請求項１記載の易加工性セラミック
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1076969A JPH02255571A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | 易加工性セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1076969A JPH02255571A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | 易加工性セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02255571A true JPH02255571A (ja) | 1990-10-16 |
| JPH0585504B2 JPH0585504B2 (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=13620614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1076969A Granted JPH02255571A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | 易加工性セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02255571A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6494250B1 (en) | 2001-05-14 | 2002-12-17 | Howmet Research Corporation | Impregnated alumina-based core and method |
| JP2006124203A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Denki Kagaku Kogyo Kk | ３−５族化合物製造装置用部材及びその製造方法 |
| CN108117396A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-06-05 | 陕西科技大学 | 基于氮化硅的生物医用陶瓷材料的制备方法 |
| JP2018123029A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | 株式会社フェローテックセラミックス | セラミックス生体材料およびセラミックス生体材料の製造方法 |
| JP2020019677A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社フェローテックセラミックス | セラミックス抗菌材料、抗菌部品、抗菌部品の製造方法およびセラミックス複合材料 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5895661A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質高靭性セラミツクス |
| JPH01131062A (ja) * | 1987-11-14 | 1989-05-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 複合常圧焼結成形体 |
-
1989
- 1989-03-29 JP JP1076969A patent/JPH02255571A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5895661A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質高靭性セラミツクス |
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| JP2018123029A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | 株式会社フェローテックセラミックス | セラミックス生体材料およびセラミックス生体材料の製造方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0585504B2 (ja) | 1993-12-07 |
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