JPH02254606A - Production of composite magnetic head - Google Patents
Production of composite magnetic headInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、溶着の際に発生する気泡を抑制した複合型
磁気ヘッドの製造方法に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method of manufacturing a composite magnetic head in which bubbles generated during welding are suppressed.
（従来の技術）
従来の複合型磁気ヘッドの製造方法では、フェライトな
どから成る一対の直方体状の磁性コアを用いて、各磁性
コアに所定の加工を施すことによりヨーク部が形成され
る。各磁性コアには、巻線窓および複数のトラックが切
削加工によって形成され、このトラックに複合型磁気ヘ
ッドのポールピース部を形成するためのセンダストなど
の金属磁性膜を被着形成した後、各磁性コアは、互いの
巻線窓およびトラックを対応させて接合される。(Prior Art) In a conventional method for manufacturing a composite magnetic head, a yoke portion is formed by using a pair of rectangular parallelepiped magnetic cores made of ferrite or the like and subjecting each magnetic core to a predetermined process. A winding window and a plurality of tracks are formed on each magnetic core by cutting, and after a metal magnetic film such as Sendust is coated on these tracks to form the pole piece part of the composite magnetic head, each The magnetic cores are joined with corresponding winding windows and tracks.
各磁性コアは、Ｓｉｎ、などの非磁性膜を挟み込みなが
ら溶着され、これにより、金属磁性膜の間隙にＳｔｏｗ
などの非磁性膜からなるギャップが形成されるとともに
、各磁性コアは機械的な強度を以て接合される。そして
、一体に接合された磁性コアは各トラック毎に分割され
、さらに、所定の加工が施されて個々の複合型磁気ヘッ
ドが形成されることになる。Each magnetic core is welded with a non-magnetic film such as Sin sandwiched therebetween.
A gap made of a non-magnetic film such as the above is formed, and each magnetic core is bonded with mechanical strength. Then, the integrally joined magnetic core is divided for each track, and further subjected to predetermined processing to form individual composite magnetic heads.
〔発明が解決しようとする！１ｌｔＪ）ところで、互い
の金属磁性膜を接合面として磁性コアを結合する場合、
金属磁性膜におけるガラスの濡れ性を高め、接合を容易
にするためには、必然的に、ガラスの溶融温度を超える
高温処理が要求される。[Invention tries to solve it! 1ltJ) By the way, when the magnetic cores are bonded using the metal magnetic films as bonding surfaces,
In order to improve the wettability of the glass in the metal magnetic film and facilitate bonding, a high temperature treatment exceeding the melting temperature of the glass is inevitably required.
そして、非磁性膜が必要以上に加熱されると、その内部
からガスが発生し、このガスが金属磁性膜と非磁性膜と
の界面に気泡として残留することがある。この気泡のた
め、金属磁性膜と非磁性膜との接合上、機械的な強度が
低下し、また、ギャップに気泡が混入すると磁気特性に
悪影響を及ぼすことがある。さらに、高温処理とともに
金属磁性膜が活性化され、非磁性膜から不純物を取り込
むなどして金属磁性膜の組成が変化し、金属磁性膜の磁
気特性を劣化させる原因になる。When the nonmagnetic film is heated more than necessary, gas is generated from inside the nonmagnetic film, and this gas may remain as bubbles at the interface between the metal magnetic film and the nonmagnetic film. These air bubbles reduce the mechanical strength of the bond between the metal magnetic film and the non-magnetic film, and if air bubbles enter the gap, it may have an adverse effect on the magnetic properties. Furthermore, the metal magnetic film is activated with the high temperature treatment, and the composition of the metal magnetic film is changed by taking in impurities from the non-magnetic film, causing deterioration of the magnetic properties of the metal magnetic film.
そこで、この発明は、高温処理に起因する機械的強度お
よび磁気特性の劣化を防止した複合型磁気ヘッドの製造
方法の提供を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a composite magnetic head that prevents deterioration of mechanical strength and magnetic properties caused by high-temperature processing.
この発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は、金属磁性膜
の界面にＣｘＯｓから成る第１のギャップ層を被着形成
し、この第１のギャップ層の界面にＣｒから成る第２の
ギャップ層を被着形成するものである。The method for manufacturing a composite magnetic head of the present invention includes depositing a first gap layer made of CxOs on the interface of a metal magnetic film, and depositing a second gap layer made of Cr on the interface of the first gap layer. It is formed by adhesion.
この発明の複合型磁気ヘッドの製造方法では、熱的、化
学的に安定したＣｒｚＯａから成る第１のギャップ層を
金属磁性膜の界面に被着形成することにより、金属磁性
膜の磁気特性の劣化が防止される。そして、この第１の
ギャップ層の界面にガラスとの濡れ性が良好なＣｒから
成る第２のギャップ層を被着形成することにより、低温
処理による結合が可能となるので、必然的に気泡の発生
が抑制されることになる。In the method for manufacturing a composite magnetic head of the present invention, deterioration of the magnetic properties of the metal magnetic film is prevented by depositing a first gap layer made of thermally and chemically stable CrzOa on the interface of the metal magnetic film. is prevented. By depositing a second gap layer made of Cr, which has good wettability with glass, on the interface of this first gap layer, bonding can be achieved by low-temperature treatment, which inevitably eliminates air bubbles. The outbreak will be suppressed.
第１図ないし第４図は、この発明の複合型磁気ヘッドの
製造方法の一実施例を示す。1 to 4 show an embodiment of the method for manufacturing a composite magnetic head of the present invention.
第１図の（Ａ）に示すように、この複合型磁気ヘッドの
製造方法には、磁性フェライトなどの強磁性酸化物で形
成された直方体状の一対の磁性コア２．４が用いられて
いる。各磁性コア２．４は複合型磁気ヘッドのヨーク部
を形成するためのものであり、その長手方向と直交する
断面は、複合型磁気ヘッドのヨーク部の側面形状に対応
する形状となっている。また、各磁性コア２．４の接合
の工程で両者の接合面が完全に一致するように、各磁性
コア２．４の表面Ｓは平面状に加工されている。As shown in FIG. 1(A), this method for manufacturing a composite magnetic head uses a pair of rectangular parallelepiped magnetic cores 2.4 made of a ferromagnetic oxide such as magnetic ferrite. . Each magnetic core 2.4 is for forming a yoke portion of the composite magnetic head, and its cross section perpendicular to the longitudinal direction has a shape corresponding to the side shape of the yoke portion of the composite magnetic head. . Further, the surface S of each magnetic core 2.4 is processed into a planar shape so that the bonding surfaces of the two magnetic cores 2.4 completely coincide with each other in the process of bonding the magnetic cores 2.4.
次に、第１図の（Ｂ）に示すように、各磁性コア２．４
の表面Ｓ側には、切削加工により巻線窓６とトラック８
とが形成される０巻線窓６は、各磁性コア２．４の長手
方向の中央部に溝部を成して形成され、各磁性コア２．
４が接合されたときに両者を以て開口状を成すように、
各磁性コア２．４に分割して形成される。トラック８は
、各磁性コア２．４の長手方向と直交する方向に所定の
間隔を以て突部を成して形成され、その幅Ｔは、対応す
る磁気記録媒体の有効トラック幅に対応する。Next, as shown in FIG. 1(B), each magnetic core 2.4
Winding window 6 and track 8 are formed by cutting on the surface S side of
The 0 winding window 6 in which the 0 winding window 6 is formed is formed as a groove in the longitudinal center of each magnetic core 2.4.
4 so that when they are joined, they form an opening shape.
Each magnetic core 2.4 is divided and formed. The tracks 8 are formed as protrusions at predetermined intervals in a direction perpendicular to the longitudinal direction of each magnetic core 2.4, and the width T thereof corresponds to the effective track width of the corresponding magnetic recording medium.
この場合、磁性コア２．４の表面Ｓ側には、その長手方
向に複数のトラック８が形成される。In this case, a plurality of tracks 8 are formed in the longitudinal direction on the surface S side of the magnetic core 2.4.
次に、第１図の（Ｃ）に示すように、トラック８の突部
および切削部分には、スパッタリングや真空蒸着などに
より、複合型磁気ヘッドのポールピース部を形成するた
めの、センダストなどの高透磁率材料から成る所定の膜
厚の金属磁性膜１０が被着形成される。なお、トラック
８の突部および切削部分以外への金属磁性膜１０の被着
を防止するには、予め、巻線窓６の内面にレジスト材を
塗布すればよい。Next, as shown in FIG. 1C, the protrusions and cut portions of the track 8 are coated with sendust or the like by sputtering or vacuum deposition to form the pole piece portion of the composite magnetic head. A metal magnetic film 10 of a predetermined thickness made of a high magnetic permeability material is deposited. Note that in order to prevent the metal magnetic film 10 from adhering to areas other than the protrusions and cut portions of the track 8, a resist material may be applied to the inner surface of the winding window 6 in advance.
次に、第１図の（Ｄ）に示すように、金属磁性膜ｌＯの
界面には、Ｃｒ、Ｏ，から成る第１のギャップ層１２が
被着形成される。この被着形成には反応性スパッタリン
グが適しており、即ち、スパッタリング装置内に１０〜
２０％程度の０２（酸素）を含有するＡｒ（アルゴン）
ガスを封入し、加熱とともにスパッタリング装置を作動
させてＣｒとＡｒガス中の０２とを化学的に反応させ、
ギャップ層１２を構成する所望の膜厚のＣｒｚＯｚを金
属磁性膜１０の界面に被着させる。Ｃｒ２Ｏ３は熱的、
化学的に極めて安定した組成を持つので、再加熱による
還元が生じない。Next, as shown in FIG. 1D, a first gap layer 12 made of Cr and O is deposited on the interface of the metal magnetic film lO. Reactive sputtering is suitable for forming this deposit, i.e. a
Ar (argon) containing about 20% 02 (oxygen)
Enclose gas and operate a sputtering device while heating to chemically react Cr and 02 in Ar gas,
CrzOz having a desired thickness constituting the gap layer 12 is deposited on the interface of the metal magnetic film 10 . Cr2O3 is thermal,
Since it has a chemically extremely stable composition, no reduction occurs due to reheating.
次に、第１図の（Ｅ）に示すように、ギャップ層１２の
界面には、スパッタリングや真空蒸着などにより、Ｃｒ
から成る第２のギャップ１ｉ１４が被着形成される。こ
のギャップＪｉ１４は、後に溶着されるガラスとの濡れ
性を良好にするために被着されるものであり、その膜厚
は、数人〜士数人程度で十分である。Next, as shown in FIG. 1E, Cr is deposited on the interface of the gap layer 12 by sputtering or vacuum deposition.
A second gap 1i14 is deposited. This gap Ji 14 is deposited to improve wettability with glass that will be welded later, and the film thickness is sufficient for several to several people.
次に、第２図の（Ｆ）に示すように、全８ｍ性膜１０、
ギャップ層１２．１４の被着形成の完了した各磁性コア
２．４は、巻線窓６およびトラック８を合致させて溶着
により接合される。このとき、ギャップ層１４に用いら
れたＣｒはガラスとの濡れ性が極めて良好であることか
ら、使用されるガラスの溶融温度を若干超える程度の低
温処理による溶着が可能となり、必然的に、気泡の発生
も抑制されることになる。Next, as shown in FIG.
Each magnetic core 2.4, on which the gap layer 12.14 has been deposited, is joined by welding with the winding window 6 and track 8 aligned. At this time, since the Cr used for the gap layer 14 has extremely good wettability with glass, welding can be performed at a low temperature slightly higher than the melting temperature of the glass used, which inevitably causes bubbles to form. The occurrence of this will also be suppressed.
次に、第２図の（Ｇ）に示すように、各磁性コア２．４
のトラック８間の空隙にも接合ガラス１８が充填され、
磁性コア２．４が機械的に接合される。この場合にも、
前述の温度条件における溶着が可能である。ここで、接
合ガラス１８には、例えば、重量比で数％程度のＦｅ（
鉄）を含有するものが使用できる。Next, as shown in FIG. 2 (G), each magnetic core 2.4
The gaps between the tracks 8 are also filled with bonding glass 18,
A magnetic core 2.4 is mechanically joined. Also in this case,
Welding is possible under the aforementioned temperature conditions. Here, the bonded glass 18 contains, for example, about several percent by weight of Fe (
Iron) containing iron can be used.
このような工程で形成された磁性コア２．４の集合体は
、第２図の（Ｇ）に示すように、−点鎖線りに沿って分
割され、第３図に示すように、巻線窓６に対応する凹部
２０、磁気記録媒体の接触する摺動面２２が形成され、
トラック幅Ｔを有する複合型磁気ヘッドが得られる。そ
して、複合型磁気ヘッドの摺動面２２には、第４図に示
すように、金属磁性膜ｌＯ１ギャップ層１２．１４が層
状を成して形成される。The assembly of magnetic cores 2.4 formed in such a process is divided along the -dotted chain line as shown in (G) in FIG. 2, and as shown in FIG. A recess 20 corresponding to the window 6 and a sliding surface 22 that contacts the magnetic recording medium are formed,
A composite magnetic head having a track width T is obtained. As shown in FIG. 4, metal magnetic film lO1 gap layers 12 and 14 are formed in layers on the sliding surface 22 of the composite magnetic head.
このように、この複合型磁気ヘッドでは、金属磁性膜ｌ
ＯにはＣｒ２Ｏ．から成るギャップ層１２が接触し、接
合ガラス１８にはＣｒから成るギャップ層１４が接触す
る構造となっており、熱的、化学的に安定したＣｒ２Ｏ
３によって金属磁性膜１０が保護され、ガラスとの濡れ
性が良好なＣｒによって低温処理による溶着が実現され
ることになる。In this way, in this composite magnetic head, the metal magnetic film l
O is Cr2O. A gap layer 12 made of Cr is in contact with the bonding glass 18, and a gap layer 14 made of Cr is in contact with the bonding glass 18.
3 protects the metal magnetic film 10, and Cr, which has good wettability with glass, realizes welding by low-temperature treatment.
以上説明したように、この発明によれば、第１のギャッ
プ層の界面にガラスとの濡れ性が良好なＣｒから成る第
２のギャップ層を被着形成したことにより、低温処理に
よる溶着が可能となって気泡の発生が抑制され、十分な
機械的強度を有する複合型磁気ヘッドを形成することが
できる。また、金属磁性膜の界面に熱的、化学的に安定
したＣｒ、Ｏ，から成る第１のギャップ層を被着形成し
たことにより、金属磁性膜への不純物の混入が防止され
、この金属磁性膜が本来的に有する磁気特性を保持した
複合型磁気ヘッドを形成することができる。As explained above, according to the present invention, the second gap layer made of Cr, which has good wettability with glass, is deposited on the interface of the first gap layer, so that welding can be performed by low-temperature processing. As a result, the generation of bubbles is suppressed, and a composite magnetic head having sufficient mechanical strength can be formed. In addition, by depositing a first gap layer made of thermally and chemically stable Cr and O on the interface of the metal magnetic film, impurities are prevented from entering the metal magnetic film, and the metal magnetic film is A composite magnetic head that retains the magnetic properties inherent to the film can be formed.
第１図及び第２図はこの発明の複合型磁気ヘッドの製造
方法の一実施例における磁性コアの加工を工程順に示す
斜視図、
第３図はこの発明の複合型磁気ヘッドの製造方法の一実
施例において形成された複合型磁気ヘッドを示す斜視図
、
第４図は第３図に示した複合型磁気ヘッドの摺動面を示
す一部平面図である。
１０・・・金属磁性膜
１２・・・第１のギャップ層
１４・・・第２のギャップ層
第２図
一実施例の斜視図1 and 2 are perspective views showing the processing of a magnetic core in order of steps in an embodiment of the method for manufacturing a composite magnetic head of the present invention, and FIG. 3 is an example of the method for manufacturing a composite magnetic head of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing the composite magnetic head formed in the example. FIG. 4 is a partial plan view showing the sliding surface of the composite magnetic head shown in FIG. 3. 10...Metal magnetic film 12...First gap layer 14...Second gap layer Fig. 2 Perspective view of one embodiment
Claims (1)
ップ層を被着形成し、この第１のギャップ層の界面にＣ
ｒから成る第２のギャップ層を被着形成したことを特徴
とする複合型磁気ヘッドの製造方法。A first gap layer made of Cr_2O_3 is deposited on the interface of the metal magnetic film, and carbon is deposited on the interface of the first gap layer.
1. A method of manufacturing a composite magnetic head, characterized in that a second gap layer made of R is deposited.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7632589A JPH02254606A (en) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | Production of composite magnetic head |
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| JPH02254606A true JPH02254606A (en) | 1990-10-15 |
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Country Status (1)
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| JP (1) | JPH02254606A (en) |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7632589A patent/JPH02254606A/en active Pending
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