JPH0225077U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0225077U JPH0225077U JP1988102765U JP10276588U JPH0225077U JP H0225077 U JPH0225077 U JP H0225077U JP 1988102765 U JP1988102765 U JP 1988102765U JP 10276588 U JP10276588 U JP 10276588U JP H0225077 U JPH0225077 U JP H0225077U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- top plate
- fixed
- piezoelectric element
- base
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Turning (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
第1図及び第3図は本考案のそれぞれ異る実施
例である圧電素子を利用した加振装置の概略断面
図、第2図は第1図の装置の平面図を示す。第4
図は従来の圧電素子を利用した加振装置であつて
、aは平面図、bは概略断面図である。 1…テーブル、2,2′…薄金属板、3…延長
部、3′…延長部上面、4,4″…振動上板、4
′…振動上板上面、5…圧電素子、6…ベース、
7…スプリング(予圧部材)、8…ボルト(予圧
部材)。
例である圧電素子を利用した加振装置の概略断面
図、第2図は第1図の装置の平面図を示す。第4
図は従来の圧電素子を利用した加振装置であつて
、aは平面図、bは概略断面図である。 1…テーブル、2,2′…薄金属板、3…延長
部、3′…延長部上面、4,4″…振動上板、4
′…振動上板上面、5…圧電素子、6…ベース、
7…スプリング(予圧部材)、8…ボルト(予圧
部材)。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベースと、ベース上に圧電素子を介して配
置された振動上板と、前記ベースに固定された延
長部にその外方部を固定されその内方部を前記振
動上板に固定されて前記圧電素子の振動方向には
可動にかつ振動方向と直角方向に不動に振動上板
を剛性をもつて支持する可撓性保持部材と、前記
圧電素子と振動上板とを離れないように予圧をも
つて両者間を互に押圧させる予圧部材と、を含む
圧電素子を利用した加振装置。 (2) 前記保持部材は弾性薄金属板であり、前記
延長部は前記ベースに固定されかつ前記振動上板
を取囲むリング状をなし、延長部上面と振動上板
上面とは同一平面をなし、前記金属板は前記振動
上板及び延長部をおおうようにかつ両者間の空間
をシールするよう配置され、前記振動上板は振動
上板に固定された前記金属板に固着されたテーブ
ルを含む請求項1記載の圧電素子を利用した加振
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988102765U JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988102765U JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0225077U true JPH0225077U (ja) | 1990-02-19 |
JPH0730137Y2 JPH0730137Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31332976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988102765U Expired - Lifetime JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0730137Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008096404A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Isuzu Motors Ltd | 擬似燃焼加振装置 |
WO2013015324A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | 株式会社ニコン | 電子機器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102361544B1 (ko) * | 2019-12-19 | 2022-02-11 | 한국기계연구원 | 초음파 진동을 이용한 정밀 절삭가공장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5260477A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-18 | Fujitsu Ltd | Hammer driving device |
JPS6113900A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Pioneer Electronic Corp | トランスデユ−サ |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP1988102765U patent/JPH0730137Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5260477A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-18 | Fujitsu Ltd | Hammer driving device |
JPS6113900A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Pioneer Electronic Corp | トランスデユ−サ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008096404A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Isuzu Motors Ltd | 擬似燃焼加振装置 |
WO2013015324A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | 株式会社ニコン | 電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0730137Y2 (ja) | 1995-07-12 |