JPH0225077U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0225077U JPH0225077U JP1988102765U JP10276588U JPH0225077U JP H0225077 U JPH0225077 U JP H0225077U JP 1988102765 U JP1988102765 U JP 1988102765U JP 10276588 U JP10276588 U JP 10276588U JP H0225077 U JPH0225077 U JP H0225077U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- top plate
- fixed
- piezoelectric element
- base
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Turning (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
第１図及び第３図は本考案のそれぞれ異る実施
例である圧電素子を利用した加振装置の概略断面
図、第２図は第１図の装置の平面図を示す。第４
図は従来の圧電素子を利用した加振装置であつて
、ａは平面図、ｂは概略断面図である。 １…テーブル、２，２′…薄金属板、３…延長
部、３′…延長部上面、４，４″…振動上板、４
′…振動上板上面、５…圧電素子、６…ベース、
７…スプリング（予圧部材）、８…ボルト（予圧
部材）。
例である圧電素子を利用した加振装置の概略断面
図、第２図は第１図の装置の平面図を示す。第４
図は従来の圧電素子を利用した加振装置であつて
、ａは平面図、ｂは概略断面図である。 １…テーブル、２，２′…薄金属板、３…延長
部、３′…延長部上面、４，４″…振動上板、４
′…振動上板上面、５…圧電素子、６…ベース、
７…スプリング（予圧部材）、８…ボルト（予圧
部材）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベースと、ベース上に圧電素子を介して配
置された振動上板と、前記ベースに固定された延
長部にその外方部を固定されその内方部を前記振
動上板に固定されて前記圧電素子の振動方向には
可動にかつ振動方向と直角方向に不動に振動上板
を剛性をもつて支持する可撓性保持部材と、前記
圧電素子と振動上板とを離れないように予圧をも
つて両者間を互に押圧させる予圧部材と、を含む
圧電素子を利用した加振装置。 (2) 前記保持部材は弾性薄金属板であり、前記
延長部は前記ベースに固定されかつ前記振動上板
を取囲むリング状をなし、延長部上面と振動上板
上面とは同一平面をなし、前記金属板は前記振動
上板及び延長部をおおうようにかつ両者間の空間
をシールするよう配置され、前記振動上板は振動
上板に固定された前記金属板に固着されたテーブ
ルを含む請求項１記載の圧電素子を利用した加振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988102765U JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988102765U JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225077U true JPH0225077U (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0730137Y2 JPH0730137Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31332976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988102765U Expired - Lifetime JPH0730137Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 圧電素子を利用した振動テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730137Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096404A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Isuzu Motors Ltd | 擬似燃焼加振装置 |
| WO2013015324A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | 株式会社ニコン | 電子機器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102361544B1 (ko) * | 2019-12-19 | 2022-02-11 | 한국기계연구원 | 초음파 진동을 이용한 정밀 절삭가공장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260477A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-18 | Fujitsu Ltd | Hammer driving device |
| JPS6113900A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Pioneer Electronic Corp | トランスデユ−サ |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP1988102765U patent/JPH0730137Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260477A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-18 | Fujitsu Ltd | Hammer driving device |
| JPS6113900A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Pioneer Electronic Corp | トランスデユ−サ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096404A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Isuzu Motors Ltd | 擬似燃焼加振装置 |
| WO2013015324A1 (ja) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | 株式会社ニコン | 電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730137Y2 (ja) | 1995-07-12 |