JPH0222584A - 超音波距離計 - Google Patents

超音波距離計

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JPH0222584A
JPH0222584A JP17327688A JP17327688A JPH0222584A JP H0222584 A JPH0222584 A JP H0222584A JP 17327688 A JP17327688 A JP 17327688A JP 17327688 A JP17327688 A JP 17327688A JP H0222584 A JPH0222584 A JP H0222584A
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polymer piezoelectric
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recessed part
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JP17327688A
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Hiroshi Owada
大和田 博
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、超音波を空中に送受信して距離を測定する超
音波距離計に関するものである。
更に詳述すれば、本発明は、超音波距離計の送受波器の
構造の改善に関するものである。
〈従来の技術〉 第7図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
図において、1aはセラミックス糸よりなる円筒状の圧
電振動子である。2aは音静マツチング層を兼ねたプラ
スチックス製のケースである。3aは圧電振動子1aの
制動のためのタンピング材である。4aは圧電振動子1
aよりの超音波の送・受信音の方向変換を行い指向性を
持たすための反射傘である。
以上の構成において、 (1)超音波の送信の場合 圧電振動子1aに電気パルスを印加すると、圧電振動子
1aは半径方向に呼吸振動を起こし、外周部の法線方向
の空気中に向かって超音波を発生する。この超音波は、
反射傘4aにより進行方向を変換され第8図に示すよう
なドーナツ状のビームとなって第7図の下方に進行する
(2)超音波の受信の場合 第7図の下方から入射してきた超音波は、反射$4aに
より収束されて、ゲース2aを通過して、圧電振動子1
aの外周部に応力を与える。圧電振動子1aは、加えら
れた応力に応じて、電極感に電界を発生する。
〈発明が解決しようとする課題〉 この様な原理にもとすく超音波距離計においては、以下
の特性が要求される。
(1)高タンピンク特性 超音波距離計は対象に向かって超音波を放射し、反射し
て帰ってくるまでの時間tを測定することにより対象ま
での距1lfLを求める計器である。
ここに、 L=(1/2)Ct         (1)0;伝撤
媒木中の音速 しかし、セラミックス系の圧電振動子1aは、一般に大
きな慣性を持つため、第9図(A)にしめず電気駆動パ
ルスがなくなったあとにも、第9図(B)に示すように
、減衰性の振動すが続く、これを、残留振動すと言うこ
とにすると、測定対象までの距離が短い場合には、第9
図(C)に示すごとく、残留振動すが残っている間に、
反射波Cが到達してしまい、両者の分離・判別が不可能
になることかある。すなわち、至近距離の測定が1杢■
イ仁となる。
逆に、測定対象までの距離が長い場合には、第9図(1
))に示すごとく、反射波振幅が、極めて小さくなるの
で、受信電圧を電気的に大きく増幅する必要が生ずる。
この際、同時に残留振動すによる起電力も増幅するため
、残留振動すの方を間違って検出しないためには、残留
振動すの振幅が反射波Cの振幅よりも小さくなる時点ま
で、反射波Cの検出禁止領kii (不感帯)eを、第
9図(E)に示すごとく、設けておく必要がある。
以上の事から、遠距離を測定しようとすれば、近距離の
測定が不可能となり、一方、近距離まで測定できるよう
にする(不感帯を短くする。)と、反射の小いさい遠距
離の測定が困誼になるという問題が生ずる。
この事態を避けるために、一般には、第7図にしめずダ
ンピング材3aにより、圧電振動子1aに制動を掛ける
方法がとられているが、この方法には、次の2つの問題
が存在している。
■ 広い温度範囲において、満足すべき、あるいは、適
切な制動効果を有するダンピング材の選定が極めて難し
い、すなわち、多くの粘性物質は、温度によりその物性
が大きく変化するため、現実には、低温から高温まで必
要充分な制動特性の得られるダンピング材がなかなか見
出せない。
■ タンピング材により制動を加えることは、振動を抑
制する事を意味し、送信時の発生音圧の減少につながる
(2)高い効率の送受信特性 省エネルギー、安全性等の面から低電力で音の送受信を
行える事か望ましい。
しかし、第7図従来例に示す送受波器は、以下の2つの
問題を有する。
■ ダンピング材3aにより制動を加えている為、所望
の振動子振動振幅を得るためには、圧電振動子1a単体
の場合よりかなり大きな駆動電力、例えば10倍、電圧
で表現するとIKV程度を与える必要かある。
■ 圧電振動子1aの音響インピーダンス(ρC1;密
度、C;音速)は、空気の音響インピーダンスより約5
桁大きいため、圧@gA動子1aが振動しても、空気中
に伝わるエネルギーは極めて僅かである。これを改善す
るために、音響マツチング層として、圧電振動子1aよ
り音響的に柔かい(音響インピーダンスρCの小いさい
)プラスチックよりなるゲース2aを介して、空気中に
音を放出することが行なわれている。また、このプラス
ナック層2aの厚さは1/4波長のときが、エネルギー
の伝搬効率が最大となる。しかし、温度変化によりプラ
スチックの音速か変化すると、等価的なプラスチック層
厚さが1/4波長からずれる事になり、音の伝搬効率が
悪化する。結局、マツチチング層2aの存在は、送受信
特性の温度変化となって現れる。
(3)シンプルな構造 以上のべなように、第7図従来例の送受波器は、その特
性を理想的なものに近ずけるために、圧電振動子1a以
外に、ダンピング材3a、音皆マツチング層2aという
ような附随する要素を必要とし、その結果、逆に、温度
変化等に対して、これらの要素により特性が大きく影皆
を受Hる結果となっている。
理想的には、これらの余分な要素は無いことが望ましい
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、シンプルな構造で、高ダンピング特性
を有し、効率を良くするために、高分子圧EMを利用し
、かつ、機械的外力によりその高分子圧電膜が破損しに
くくかつ高分子圧電膜の接着不良による高分子圧電膜の
機能低下を防止できる超音波距離計を提供するにある4 く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、円柱状の保持体
と、該保持体の周面の両端部を残して深さか極めて浅く
リング状に設番1られた凹部と、前記保持体の周面の前
記凹部以外の部分に接着剤により接着され該凹部と室を
構成する円筒状の高分子圧電膜と、該高分子圧電膜の外
周面と内周面とにそれぞれ設けられた電極と、前記凹部
の両端面にそれぞれリング状に設けられ前記接着剤が前
記凹部の底面に侵入するのを防止する防止溝と、前記保
持体の一端に頭部側が取付けられ送受信する#i行波に
前記保持体の軸方向の指向性を付与する円錐状の反射傘
と、前記保持体に設けられ前記室と外部とを連通ずる均
圧孔とを備える送受波器を具備してなる超音波距離計を
構成したものである。
く作用〉 以上の構成において、高分子圧電膜に電気パルスを印加
すると、高分子圧電膜は半径方向に呼吸振動を起こす、
この呼吸振動によって発生された超音波は、反射傘によ
り進行方向を変換され、ドーナツ状のビームとなって進
行する。
一方、高分子圧電膜に外部から圧力が加われば、高分子
圧電膜の伸縮が生じ、電極間に電圧を発生ずる。
しかして、凹部は保持体の周面の両端部を残し・て深さ
が極めて浅くリング状に設けられているので、機械的外
力により高分子圧電膜が破損しにくい、かつ、高分子圧
電膜を保持体の周面の凹部以外の部分に接着剤により接
着する場合に、接着剤が凹部の底面に侵入するのを防止
する防止溝が設けられているので、高分子圧電膜の接着
不良を生ずる事がなく、高分子圧電膜の機能低下を防止
できる。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉 第1図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、lは円筒状の高分子圧電膜である。
高分子圧電膜1は、第2図に示す如く、円周方向αに延
伸した後、第3図に示す如く、円筒状に形成される。こ
の場合は、ポリフッ化ビニリデン(IJ V 1) F
)が用いられている。
11.12は高分子圧電膜1の両面に設けられた電極で
ある。111,112は電極11.12に、それぞれ一
端が取付けられたリード線である。
2は高分子圧電膜1を、その呼吸振動を阻害しないよう
に、上下端面において、保持する円柱状の保持体である
。保持体2は、耐候性等に勝れたプラスチック、例えば
、テフロン、塩化ビニール等が用いられている。
21は保持体2の周面の両端部を残して深さがわ;めて
浅くリンク状に設けられ、高分子圧電膜1と室3を構成
する凹部である。
211は凹部21の両端面にそれぞれリング状に設けら
れ接着剤が凹部21の底面に侵入するのを防止する防止
溝である。
11は高分子圧電膜1の一端に頭部側が取付けられ、送
受信する超音波に指向性を付与する円錐状の反射傘であ
る。
5は保持体2に設けられ室3と外部とを連通ずる均圧孔
である。
以上の構成において、高分子圧電膜1に電気パルスを印
加すると、高分子圧電11!■は延伸方向αに伸縮する
が、高分子圧電膜1は円筒状に形成されているので、半
径方向の呼吸振動に変換される。
この呼吸振動によって発生された超音波は、反射され、
ドーナツ状のビームとなって第1図の下方に進行する。
一方、高分子圧電膜1に外部から圧力か加われば、高分
子圧電膜1の伸縮が生じ、電極11.12間に電圧を発
生する。
すなわち、第1図に示した送受波器は、第11図従来例
と同様の動作を行う。
しかして、凹部21は保持体2の周面の両端部を残して
深さが極めて浅くリンク状に設けられているので、機械
的外力により高分子圧電膜1か破損しに<<、かつ、高
分子圧電膜1を保持体2の周面の凹部21以外の部分に
接着剤により接着する場合に、接着剤が凹部21の底面
に侵入するのを防止する防市涌211が設けられている
ので、高分子圧電膜1の接着不良を生ずる事がなく、高
分子圧電膜1の機能低下を防止できる。
高分子圧電膜1は、 (1)音響インピーダンスが小さく、水、空気等とのマ
ツチングかとりやすい。
(2)内部でのエネルギー減衰が大きく、継続時間の短
いパルスの送受信ができる。
(3)可撓性があるため薄膜への製造・加工が容易であ
る。
という特徴を有する。
これらの特徴を生かし、第1図に示したように、膜の長
さ方向の振動を半径方向の振動に変換して使用する。
二のときの膜の共振周波数t’oは、膜の曲率半生(¥
をR1弾性率をE、密度をρで示せば、(2)式となる
fo = (1/ (2πR) l  (E/ρ)11
2・・・・・・ (2) よって、今、仮に、E=11.3X10’  <N/m
2)、ρ=1.8X 10’ 8Kg/m)とすれば、
第1図において、保持体2の半径を10mmとすること
により、約40KHzの超音波の送受信が可能となる。
以下、高分子圧電膜1利用による利点を、セラミックス
系の圧電振動子との比教において具体的に説明する。
(1)送f8の場合 ■ 空気中に放射される音圧の絶対値は、振動源の周波
数および放射面積が同一なら振動源の速度Vに比例する
。この速度Vは、周波数一定なら振動源の変位Xに比例
するから、高分子圧電膜1に加える電圧■と変位Xの変
換効率について考えてみる。
高分子圧電膜1の両111jに設けられた電極1112
間にVなる電圧を加えたとすると、高分子圧電膜1の延
伸方向すなわち円筒の外周の伸びΔ!は次式により算出
出来る。
Δl/ l l = l S l =d3 + E=d
3+V/l                    
・・・・・・ (3)ここに、2は高分子圧電li!1
の長さ(=2πr、r−半径)、tは高分子圧電WAl
の厚さ、d3jは圧電歪定数である。
(3)式より、Δaは、圧電歪定数dllが大きい1よ
と、厚さしが小いさいほど、大きな値となる小か分る。
が大きいほど、高分子圧電膜1の呼吸振動の振幅Xも大
きくなる。
高分子圧電Il!1の圧電歪定数d31の値は、般に、
セラミックス系の圧電振動子1a、たとえば、P Z 
’I”の圧電歪定数a3+より一桁小さいか、逆に板厚
tは、極めて小いさいものを作る事が可能である。結局
、総合的にP Z Tよりも数倍効率良く、大きなΔl
/lを得る事が出来る。
−例をあげると、高分子圧電膜1の圧電歪定数d 3 
+ = 10 X 10−”  (C/ N ) 、厚
さt=4μm、PZ’rの圧電歪定数d3+=100X
10−+2 (C/Nl厚さt=2.czmとすると、
Δ!/lの値は(圧@膜/PZT)=5となる。
すなわち、セラミックス系の圧電振動子は、衝撃に弱い
所から1107zオーダーの厚さの円筒膜を作るのは不
可能であるのにたいして、高分子圧電膜1は、極めて薄
くすることかできるので、圧電歪定数d31が小さいこ
とを補10することができる。
■ 高分子圧電膜1は、高分子であるために、内部にお
けるエネルギーの減衰が大きい。これは振動の高ダンピ
ング効果となって現れ、従来例の超音波送受波器の様に
、特別なダンピング材3aにより制動を加える必要がな
い。
■ このことは、さらに、タンピンク材3aによる振動
振幅の減少(従来例では、例えば、約1/10以下に減
少していた。)を避けることができる。前記0項におけ
る効率の差を考え合せると、同じ電圧Vを印加した場合
に得られる振幅Xの値は、従来例の数10倍〜数100
倍もの大きさに達する。
■ 一方、振動子から空気中へのエネルキーの透過率T
は ’!”=42I22/(ZI+22)’   <4)Z
、;振動子の音響インピーダンス Z2 :空気のj¥嬰ゼインビータン スし、めされる。
高分子圧i= PEA I ノZ 7% 3 X 10
 ’  (N S / m’ ) 、PZ′rのZ+ 
”e30X10’ (NS/mコ)、空気のZ2 ’に
400 (N S/m2)をあてはめると、 ’l’+ /T2 = (0,53X] 0−” )/
 (0−053X10−2)=10 T、、高分子圧電膜1と空気との透過率’r’ 2 ;
 F’ Z Tと空気との透過率PZTを使用する従来
例では、この透過率の低さを改善するために、音響マツ
チング層2aを使用しているか、高分子圧電膜1では、
とくにその様な手段を用いなくても、比較的良い効率で
伝搬か−jtf能となる。
(2)受信の場合 ■ 受信時に外部から加わったカF(方向は高分子圧電
膜1の延伸方向)により、高分子圧電膜1の両面間に発
生する開放端電圧Vは、次式により示される。
IEI”IV/ll=g3 +  ・ρ=g3 。
F/l  −t ’−l VI  = g 3 1  ・ F/1   
       (5)ρ;応力 g3.:電圧出力定数 高分子圧電Wi1の電圧出力定数g31の値は、セラミ
ックス系、例えば、p z ′rの電圧出力定数g3+
の約10〜20倍の値を持つから、同しカFでも、大き
なIVIが得られる。
■ 送信の場合の項で述べたダンピング材有無の効果は
、受信時にも成立するから、総合的に受信時にも数10
〜200倍以上の効率アップが可能となる。
以上の結果、本発明によれば、従来のセラミックス系振
動子を使用した方法と同等以上の機能および送受信効率
を、1/1000以下の消費パワーで実現出来る。
次に、試作した送受波器の特性を、具体例をあげて説明
する。
保持体2の半径を10mm、高さ30mmとして、50
μmの厚さの品分イー圧電11!1が、上端下端部をそ
れぞれ2mm幅で保持体2に張りあわせ支持された装置
において、反射′44の全面800mmの距離における
送信および受信感度は以下のび(が得られた。
送信 ;  1 20d)3  (OdB=2x10−
鴫 、ubar)受信;−30dB (OdFl=IV
/、czbar)これは、第】1図従来例の送受波器と
比較して、送受信合計で500〜1000倍の特性向上
を示すものである。
なお、送受信感度の1lljll定においては、駆動回
路の駆動電圧を10Vp−pとし、高分子圧電IIケ1
のキャパシタンス成分による無効成分を消すなめに、適
切なインダクタンスで、両者の整合をとっている。
また、高分子圧電膜1の厚さは、上記具体例では、50
μmとしたが、この厚さが余り薄いと、円筒状にした場
合、送受信に必要な自己の張力を維持出来ない。また、
製作も困難になる等の問題か生じる。
一方、あまり厚いと、前記(3)式により、送受信感度
が減少するという問題が生じる。
使用可能な現実的な値としては、25〜10μmが適切
である。
第5図は、第1図の構成において、均圧孔5の有無によ
る、送受信総合感度の比較を行ったグラフである。■は
均圧孔5が無い場合、■は均圧孔5かある場合を示す。
周囲圧力の変化により、圧力が増大した場合に、均圧孔
5がない場合には、圧力の増加にともなって、感度が急
激に減少するのに対し、均圧孔5がある場合には、感度
の減少は生じていない。
第6図は、送受波器の前方3mにおける、反射傘4から
の反射音の大きさを示した指向性をあられず。
反射$4の効果により、半減角4度以内の鋭い指向性が
得られ、距離計、あるいは、レベル計として理想的な特
性を実現出来る。
この結果、 (1)高分子圧電膜1自身の内部減衰が大きいため、ダ
ンピンク材を使用しなくても、高ダンピング特性の超音
波の送受信が可能となる。
(2)ダンピング材を使用しないため、それによるエネ
ルギー損失がなく、高い効率の送受信が可能となる。
(3)高分子圧電膜1の音響インピーダンスは、セラミ
ックス系振動子の音響インピーダンスより一桁小いさい
ので、空気中への音の送受信効率が良い。
(4)高分子圧電膜1の厚さは、薄くすることが出来る
ので、送信時には電界強度を大きくでき、送信効率(高
分子圧電膜1の変位量)が増大出来る。
また、受信時には、この薄さは、出力に影響を及ぼさな
い。一方、高分子圧電膜1自芽の有する高い圧電出力定
数g3.によって、高い開放端電圧が得られる。すな、
わち、送受信効率とも、大きな+f+L[ユか可能とな
る。
(5)ダンピング材、音響マツチング層等を用いる必要
が無いため、これらの物性変化に基因する温度特性の変
化を避ける事が出来る。
(6)したかって、第7図従来例に比して、高性能を極
めて低消費パワーで実現可能である。
(7)均圧孔5を有することにより、感度が周囲圧力の
影響を受けない送受波器を実現出来る。
(8)反射中4を使用することにより、距離計用として
最適な、良好な指向性を持った送受波器を実現出来る。
(9)凹部21は保持体2の周面の両端部を残して深さ
が極めて浅くリング状に設けられているので、機械的外
力により高分子圧電11!1が破損しにくい、かつ、高
分子圧電M1を保持体2の周面の凹部21以外の部分に
接着剤により接着する場合に、接着剤が凹部21の底面
に侵入するのを防止する防止溝211が設けられている
ので、高分子圧電II! 1の接着不良を生ずる事がな
く、高分子圧電1摸1の機能低下を防止できる。
なお、前述の実施例においては、保持体2はプラスチッ
ク材よりなると説明したが、スデンレス等の金属とし、
これを高分子圧電膜1の内側電極からの電極引出し部(
リード部)として兼用しても良いことは勿論である。
また、保持体2の材質を、アルミナ等のセラミックスと
すれば、複雑な形状を一体焼成することか11能で追加
工を最小限に押えることができて、製造原価を下げるこ
とができる。
また、セラミックスは、耐候、耐薬品性に勝れていると
いう特徴も有している。
また、セラミックス表面に金属コーティング(メタライ
ジング)を施せば、これを内側電極の引出し部として利
用できるという利点を付加できる。
また、高分子圧電膜1を第3図のように、両端部で重ね
合わせて、円筒状にする場合に、第4図に示すように保
持体2の側面の一部を凸部として残しておき、この部分
に、高分子圧@膜1の重ね合せ部分を持ってきて、外部
から押し板で押圧固定する等して、重ね合せ部分の固定
をより確実にするようにしても良い。
なお、前述の実施例においては、高分子圧電膜1はポリ
フッ化ビニリデン(PVDE)からなると説明したが、
これに限ることはなく、例えば、フッ化ビニリデンとト
リフルオロエチレンの共重合体(P (VDF−TrF
F:)) 、7ツ化ビニリチンとテトラフルオロエチレ
ンの共重合体(P(VD F−’l”e FE ) )
 、または、シアノビニリデンと酢酸ビニルとの交互共
重合体(P (VCN−VAC))でもよく、要するに
、良好な圧電性を示すものであれば良い、これらの材料
においては、延伸操作は必ずしも必要ではなく、高電圧
印加による分極操作のみでもよい。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、円柱状の保持体と、保
持体の周面の両端部を残して深さが極めて浅くリング状
に設けられた凹部と、前記保持体の周面の前記凹部以外
の部分に接着剤により接着され該凹部と室を構成する円
筒状の高分子圧電膜と、該高分子圧電膜の外周面と内周
面とにそれぞれ設けられた電極と、前記凹部の両端面に
それぞれリング状に設けられ前記接着剤が前記凹部の底
面に侵入するのを防止する防止溝と、前記保持体の一端
に頭部側が取付けられ送受信する超音波に前記保持体の
軸方向の指向性を付与する円錐状の反射傘と、前記保持
体に設けられ前記室と外部とを連通ずる均圧孔とを備え
る送受波器を具備してなる超音波距離計 を構成した。
この結果、 (1)高分子圧電膜自身の内部減衰が大きいため、ダン
ピング材を使用しなくても、高ダンピング特性の超音波
の送受信が可能となる。
(2)ダンピング材を使用しないため、それによるエネ
ルギー損失かなく、高い効率の送受信が可能となる。
(3)高分子圧電膜の音響インピーダンスは、セラミッ
クス系振動子の音!、?インピーダンスより一桁小いさ
いので、空気中への音の送受信効率が良い (4)高分子圧電膜の厚さは、薄くすることが出来るの
で、送信時には電界強度を大きくでき、送信効率(高分
子圧電膜の変位量)が増大出来る。
また、受信時には、この薄さは、出力に影響を及ぼさな
い、一方、高分子圧電膜自身の有する高い圧電出力定数
によって、高い開放端電圧が得られる。すなわち、送受
信効率とも、大きな向上が可能となる。
(5)ダンピング材、音響マツチング層等を用いる必要
か無いため、これらの物性変化に基因する温度特性の変
化を避ける事が出来る。
(6)したがって、従来例に比して、高性能を極めて低
消費パワーで実現可能である。
(7)均圧孔を有することにより、感度が周囲圧力の影
響を受けない送受波器を実現出来る。
(8)反射傘を使用することにより、距離計用として最
適な、良好な指向性を持った送受波器を実現出来る。
(9)凹部は保持体の周面の両端部を残して深さが極め
て浅く、リング状に設けられているので、機械的外力に
より高分子圧電膜が破損しにくく、かつ、高分子圧電膜
を保持体の周面の凹部以外の部分に接着剤により接着す
る場合に、接着剤が凹部の底面に侵入するのを防止する
、防止溝が設けられているので、高分子圧電膜の接着不
良を生ずる事がなく、高分子圧電膜のn能低下を防止で
きる。
従って、本発明によれば、シンプルなm造で高タンピン
グ特性を有し、効率を良くするために、高分子圧電1模
を利用し、かつ機械的外力によりその高分子圧電膜が破
損しにくくかつ高分子圧電膜の接着不良による高分子圧
電膜の機能低士を防止できる超音波距離計を実現するこ
とが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第2図は
第1図の部品説明図、第3図から第6図は第1図の動作
説明図、第7図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第8図、第9図は第7図の動作説明図で
ある。 1・・・高分子圧電膜、11.12・・・電極、111
゜121・・・リード線、2・・・保持体、21・・・
凹部、211・・・防止溝、3・・・室、4・・・反射
傘、5・・・均圧孔。 第 図 S 丈ηlE子L \/I’l1才を イ 図 第 図 第 図 第 ヰ 図 第 図 第 ? 図 C4θヤ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  円柱状の保持体と、 該保持体の周面の両端部を残して深さが極めて浅くリン
    グ状に設けられた凹部と、 前記保持体の周面の前記凹部以外の部分に接着剤により
    接着され該凹部と室を構成する円筒状の高分子圧電膜と
    、 該高分子圧電膜の外周面と内周面とにそれぞれ設けられ
    た電極と、 前記凹部の両端面にそれぞれリング状に設けられ前記接
    着剤が前記凹部の底面に侵入するのを防止する防止溝と
    、 前記保持体の一端に頭部側が取付けられ送受信する超音
    波に前記保持体の軸方向の指向性を付与する円錐状の反
    射傘と、 前記保持体に設けられ前記室と外部とを連通する均圧孔
    とを備える送受波器を具備してなる超音波距離計。
JP17327688A 1988-07-12 1988-07-12 超音波距離計 Pending JPH0222584A (ja)

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