JPH02222846A - 磁場測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気センサをロボットに搭載した磁場測定装
置を用い、ロボットの移動制御により磁気センサを被測
定１ｔｉａ石の空隙内に挿入して空隙磁場分布を測定す
る磁場測定方法に関する。

Ｃ従来の技術〕 例えば放射線の応用分野で使用される加速器に組み込ん
だ偏向電磁石は、電磁石空隙の磁場分布として１０−’
オーダの均一度が要求される。このような高精密電磁石
については、磁気的性能評価のために電磁石の空隙磁場
分布を測定することが必要である。

一方、前記した電磁石の空隙磁場分布の測定には、電磁
石の空隙平面に対して敗錦ピッチで磁場の強さを測定す
る必要があり、その測定点数が多くなる０例えば偏向角
６０度、半径３ＱＯＯ＊ｍ。

空隙幅ｚｏｏｔｍの偏向ｉ！電磁石ついて、５１皇ピツ
チで空隙平面の磁場分布を測定する場合には、その測定
点数は約２６０００にも及ぶことになる。

また、このような高精度電磁石の磁場分布を測定する場
合には、磁場測定装置の機能として磁場測定値の相対精
度が１０−４以下、空隙平面内における磁気センサの位
置決め精度が±０．１＋ｎ以下である高い測定精度が要
求される。

ところで、前記したＭ測定電磁石の空隙磁場分布の測定
に使用するｔｆｉｌＪ測定装置として、第８図に示すよ
うな磁場測定装置が従来より使用されている０図におい
て、１は被測定電磁石で、１ａは鉄心、　ｔｂはコイル
、１ｃは外装フレーム、１ｄは磁場分布測定の対象とな
る空隙平面である。

一方、前記空隙平面１ｄの磁場分布を測定する磁場測定
装置２は、先端に磁気センサとしてのホール素子３を内
蔵したプローブユニット４と、該プローブユニット４を
搭載して２次元方向に移動操作する直角座標形ロボット
５と、ロボット５の制御、およびホール素子３の出力信
号を取り込んで磁場測定のデータ処理を行うコンピュー
タ６との組合わせからなる。なお、ホール素子３は温度
係数が大きいことから、高い測定精度を得るために通常
はホール素子を↑ｎ温保持するようにしており、例えば
第９図に示すように、ホール素子３をヒータ＆１７ａＧ
ｔｋ装したヒータブロック７とともにプローブユニット
の外装保護ケース８に格納されている。

次に前記した磁場測定装ｒａ２を用いて被測定電磁石１
に対する空隙平面１ｄの磁場分布を測定する従来方法の
手順を第１０図により説明する。まず、電磁石１の外装
フレームＩＣ上には、空隙平面１ｄの中心と対応ずゐ位
置に位置合わせ用のピン９をあらかじめ植設しておく６
次に、ロボット５を電磁石１の近傍に掘付けた状態で、
空隙平面１ｄの磁場分布測定に先立ってプローブユニッ
ト４を取付けたロボット５のハンド部５ａと前記ピン９
との間の距離Ｌ１を測定し、ハンド部５ａとプローブユ
ニット４の先端に内蔵したホール素子３との間の距Ｊｌ
ｌＬ２゜およびホール素子３の幾何学的中心と素子の磁
気的最大感度部３ａの位置との間の距離Ｌ３のデータと
ともにその実測データをコンピュータ６　（第８図）に
入力する。一方、コンピュータ６は前記した距ｊｉｌＬ
１．　Ｌ２．　Ｌ３の関係から、Ｎ磁石１の空隙平面１
ｄの中心位置に対するホール素子３　（磁気的な最大感
度部）の相対位置を演算によって求め、これを基に電磁
石１と磁場測定装置２のロボット５との幾何学的な相関
位置を見出す。

これにより磁場測定の準備が整い、次に前記した幾何学
的な相関位置を基に、コンピュータ６からの壬旨令によ
りロボット５を移動制御してホール素子３を外方から電
磁石１の空隙平面１ｄへ進入させ、かつ空隙内の各測定
点を走査して磁場測定を行う、そして、ホール素子３の
出力をコンピュータ６が取り込んでデータ処理して１１
石ｌの空隙平面１ｄの磁場分布を求める。なお、ロボッ
ト５の移動制御、磁場積出債の取り込み１および測定デ
ータの処理などは全てコンピュータ６の自動プログラム
で実行される。

（発明が解決しようとする課題〕 ところで、前記した磁場測定ｖｔ！の位置合わせ方法で
は次記のような問題がある。すなわち、＋１１第１０図
で述べたように、従来方法では磁場測定時の準備作業と
して、距離Ｌ１．　Ｌ２．　Ｌ３をロボットとは別な測
定手段を用いて個別に実測し、その距離データを基に被
測定ｉｔ電磁石対する磁気センサの磁場測定点の位置合
わせを行うようにしている。このために各距離の実測値
に僅かでも誤差があるとその誤差分が位置合わせ精度に
影響するために、ｉｔ　！ｆｆ石の空隙磁場測定に要求
されるホール素子３の位置決め精度（±０．ｌａｇ）を
十分に満たすことができず、この位置決め誤差が磁場分
布の測定結果に誤差として現れる。

（２）第９図で示したように、磁気センサとしてのホー
ル素子３は外装ケース８に覆われていて外方からでは目
視できないために、ホール素子３をプローブユニット４
に組み込んだ状態では距離Ｌ２を直接実測できない、そ
こで従来ではホール素子３を外装ケース８に収容する以
前の段階で個々の寸法管理を行って距離Ｌ２を求めるよ
うにしているが、この方法では部品の組立精度に誤差が
あると、この組立誤差がそのまま磁場１１１ｔ１定精度
の低下に影響する。

（３）ホール素子３における磁気的な最大感度部の幾何
学的な位置は素子によってバラツキがあり、このことも
磁場測定精度に影響を及ぼす。

（４）さらに、ホール素子は測定対象となる電磁石の磁
場の大きさに適合した仕様のものを選択して使用する必
要がある。したがって被測定を磁石の磁場の大きさが異
なる場合には、その都度プローブユニット４に組み込ま
れているホール素子３を別仕様のものに交換することに
なるが、その場合に組立精度面での再現性が困鑓である
ことから、完配した各距離の測定を改めて行わなければ
ならず、磁＃Ｘ４測定の準備段階で行う作業に極めて手
間が掛かる。

本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、Ｍｉ
場測測定装置ロボットに搭載した磁気センサを巧みに活
用することにより、簡易な手順で被測定電磁石とロボッ
トとの相関位置を見出して磁気センサの正確な位１合わ
せができるようにした磁場測定方法を提供することを目
的とする。

〔ｌ￥！題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明による測定方法では
、磁場のピークがピン中心に発生するピン磁石を！磁石
側の所定位置に設け、電磁石の空隙磁場測定に先立ち、
前記ピン磁石の発生する磁場ピーク点をロボットの移動
操作により磁気センサで検索して該ピン磁石の位置を１
＆準に１を磁石とロボットとの間の幾何学的を相関位置
を見出し、この相関位置を基に磁気センサを電磁石の磁
場測定点に位置合ねせを行うものとする。

そして、前記の磁場測定方法において、ピン磁石の磁場
ピーク点、を自動検索するためには、ピン磁石の中心位
置を含む周辺に複数の測定節点を定めた直交座標系の検
索＄■域を設定し、かつ磁気センサを前記の各測定節点
へ順次移動して測定した磁場測定データの中から最大値
を示す節点位置を求め、この節点位置を以て直交座標系
上でのピン磁石位置と判定する方法がある。

さらに、ピン磁石位置の自動検索の能率アップを図るた
めに、あらかじめピン磁石に封する磁場分布の近似式を
求めておき、ピン磁石の磁場ピーク点を検索するに際し
て、まずピン「１石の周辺に設定した直交座標系の検索
領域に磁気センサを移動して磁場測定を行い、かつその
測定値から前記の近似式によりピン磁石の磁場ピーク点
の座標位置を演算により推定し、次に前記の推定位置に
磁気センサを移動して得た磁場の実測値と近似式でＳ上
算した磁場の最大値とが一致することを確認してピン磁
石位置と判定する方法も採用できる。

（作用〕 上記において、ピン磁石はその中心位置でＭｉ場のピー
クが発生する円錐形の磁石であり、かつ被測定１を磁石
に対して正確に寸法管理された空隙外の近傍位置、例え
ば電磁石の外装に取付けられている。

ここで、電磁石の空隙磁場測定に先立ち、まずロボット
の移動制御によりプローブユニットの先端に取付けた磁
気センサとしてのホール素子をピン磁石の上方周辺に移
動操作し、ピン磁石の中心点をホール素子の出力が最大
となる位置をコンピュータの移動制御で検索する。この
磁気的墳索によりピン磁石の磁場のピーク位置を検出す
れば、この位置でホール素子の磁気的最大感度部とピン
磁石の中心とが一致することになる。一方、電磁石の空
隙中心に対するピン磁石の取付は位置は、前記のように
あらかじめ正確に寸法管理されており、かつその距離デ
ータはあらかじめ磁場測定装置のコンビエータに入力さ
れてしする。

したがって、前記のようにロボットのコンピュータによ
る自動検索でピン磁石の発生する磁場ピーク点として磁
気的に検出することにより、電磁石と磁場測定装置の据
付は位置との相対位置関係が高精度で簡単に見出せるこ
とになる。また、このピン磁石の位置を被測定電磁石に
封する磁場測定装置の位置合わせ基準点とし、これを起
点にコンピュータ制御によりロボットを操作してホール
素子を１！磁石の空隙内に移動することにより、高い位
置決め精度を維持して電磁石の空隙平面の磁場を測定で
きる。なお、ホール素子を交換した場合でも、前記した
磁気的な検索操作を行うことにより、位置決め精度につ
いて常に高い再現性が得られる。

また、この場合にピン磁石位置の検索方法として、ピン
磁石の中心位置を含む周辺に直交座標系の検索領域、お
よび咳墳索領域内に多数の測定節点を設定し、かつコン
ピュータに与えた検索プログラムにより磁気センサを前
記の各測定節点へ順次移動し、かつここで測定した磁場
測定データの中から最大値を示す節点位置を求めること
により、直交座標系上でのピン磁石位置を自動検索によ
って簡単に求められる。

さらに、あらかじめピン磁石に対する磁場分布の近位式
を実測データから誘導して求めておき、ピン磁石の磁場
ピーク点を検索するに際して、まずピン磁石の周辺に設
定した直交ｗｔｌＩ系の検索領域に磁気センサを移動し
て磁場測定を行い、かつその測定値から前記の近位式に
よりピン磁石の磁場ピーク点の座標位置を演算により推
定し、次に前記の推定位置に磁気センサを移動して得た
磁場の実測値と近位式で計算した磁場の最大値とが一致
することを確認してピン磁石位置と判定する方法を採用
することにより、少ない磁場測定回数でピン磁石の位置
を自足できる。

〔実施例〕

第１図は本発明実施例による磁場測定ｖｉ置、第２図は
電磁石の磁場測定における測定点の表し方を示した第１
図の平面図、第３図は第１図におけるピン磁石の磁場分
布図、第４図、第５図はそれぞれ異なるピン磁石位置の
自動検索プログラムのフローチャート、第６図は第４図
によるピン磁石の検索説明図、第７図は第５図によるピ
ン磁石の検索説明図であり、第８図に対応する同一部品
には同じ符号を付しである。

まず、第１図、第２図において、被測定電磁石１には第
８図における位置合わせ用ピン９の代わりに、空隙平面
１ｄの外側方の三箇所にピン磁石１０が取付アーム１１
を介して電磁石ｌの外装フレーム側２例えばコイル押え
部材１８に取付けられている。

このピン磁石１０は、第３図で表すようにピンの軸中心
位置に磁束密度が集中して磁場のピークが発生するよう
な円錐形状の磁石であり、先端を上に向けて空隙平面１
ｄより若干下方位置に取付けられており、かつ電磁石１
に対する取付は位ｙｌ（図中における空隙平面１ｄの中
心とピン磁石ＩＯの中心との間のｌｆｆ１ｊｌｌｌ　は
あらかじめ正確に寸法管理されている。

かかる構成で、電磁石１の空隙磁場測定を測定するには
、まず、測定準備の手順として、コンピュータ６からの
指令でロボット５を操作し、ホール素子３をピン磁石１
０の上方周辺に移ｖＪさせて磁場測定を行いながらピン
磁石１０の磁場ピーク点を検索する。そしてホール素子
３の出力が最大となる位置を確認すると、この位置でピ
ン磁石ＩＯの中心位置とホール素子３の磁気的最大感度
部とが一致することになる。同時に、コンピュータ６は
前記の磁気的な検索で検出したピン磁石１０の位置に対
応するロボット５の移動量と、ピン磁石１０と電磁石１
の空隙中）ら）に対する既知の距ｆｌＪ１とから、電磁
石１とロボット５との相対位置関係を算出する１次に、
前記の検索で求めたピン磁石１０の検出位置を位置合わ
せ基準点としてコンピュータ６からの指令でロボット５
を移動制御旧〜ホール素子３をあらかじめ設定した電磁
石１の空隙内の各測定点へ順次移動して磁場測定を行い
、その測定データをコンピュータ６が取り込み、そのデ
ータ処理により空隙平面１ｄの磁場分布を求める。

なお、実際には偏向１を磁石である被測定電磁石１の空
隙内における磁場測定点Ｐは、第２図に示すように電磁
石１の偏向角の中心点０を原点とする橿座１（ｒｐ、θ
ｐ）で表される。これに対して、直交座標形の二次元ロ
ボット５に搭載したホール素子３の位置はＸ−Ｙ直交座
標系で表される。ここで第２図におけるホール素子３の
位置をＸ−Ｙ直交座標系の原点とすれば、前記した掻座
標系での磁場測定点Ｐは直交座標系の座ｔ１（Ｘｐ、Ｙ
ｐ）に対応する。したがって座１（Ｘｐ、Ｙｐ）の具体
的な数値を得るには、コンピュータ６に極座欅系と直交
座標系との間の座標変換式を与えて換算すればよいやま
たこの座標変換式を（ｑるには両者の座標系に共通な基
ｉｐ点をを定め、その基準点の座標位置をそれぞれの座
標系から測定することで求めることが可能である。そこ
で、完配したピン磁石１０をπ１記の基準点とし、かつ
次記のように磁場測定装置２のロボット５に搭載したホ
ール素子３でピン磁石１０の磁場を測定することにより
、その測定データを基にロボット側から観測したピン磁
石ＩＯの座標位置を自動的に検索することができる。

次にピン磁石１０の位置を自動構案するプログラムのア
ルゴリズムについて述べる。

自動構案方法［：第４図は自動検索プログラムのアルゴ
リズムのフローチャート、第６図はその検索説明図であ
り、以下述べる各項目の番号は第４図のフローチャート
の各ルーチンに示した番号に対応する。

（１）検索準備、およびデータ人カニ まず、第２図のようにロボット５の操作でホール素子３
をピン磁石１０の近傍にセントする。そして第６図で表
すように、このホール素子３の直交座標位置（Ｘｏ、　
Ｙｏ）として境界！１ｌｉＸｎ、　Ｙｎとの間にピン磁
石１０の中心がＸ−Ｙ平面に投影する座標を含む閉正方
平面Ｓで表した検索領域を設定し、かつ閉正方平面Ｓを
縦、横方向にＮ等分して次式により測定節点間隔ＸＳ＋
　Ｙｓを求める。

Ｘｓ＝　（Ｘｎ−Ｘｏ）　　＋Ｎ＋　Ｙｓ−（Ｙｎ−Ｙ
ｏ）　　十Ｎさらにピン磁石１０の座標位置の観測精度
σを決定し、これらの（直Ｘｏ、　Ｙｏ、　Ｘｎ、　Ｙ
ｎ、　ＸＳ、　Ｙｓ＋　　’をコンピュータ６に入力す
る。

（２）正方平面内の各節点における磁場測定；コンピュ
ータ６によるロボットの移動操作で、ホール素子３を前
項！１１で述べた閉正方平面Ｓ内の各測定節点（節点数
（Ｎ＋１）りへ順次移動し、各節点位置での磁場測定を
行い、その測定データをコンピュータ６のメモリに保存
する。

＋３１　ＩＡ大磁場測定位置の判定； 前記の（２）項でメモリに保存した各測定節点の磁場測
定データの中で最大値を示す節点位置（Ｘｍ。

Ｙｍ）を求める。この場合に節点間ｌｉｄ　（Ｘｓ、　
Ｙｓ）が＋１１項で与えた観測精度σよりも小であれば
、この節点位置（Ｘｍ、　Ｙｍ）がロボット側の直交座
標系から観測したピン磁石の位置であると判定して（６
）項に分岐する。これに対して、節点間１１１Ｑ　（Ｘ
ｓ、　Ｙｓ）が（１）項で与えた観測精度σよりも大で
ある場合には（４）項に分岐して閉正方平面および節点
間隔の再設定を行う。

（４）閉正方平面および節点間隔の再設定前項（３）で
得た最大磁場′測定値の節点位置　（ＸｓＹｍ）を含む
最小正方平面Ｓ°を設定して再検索を行う、具体的には
次式 ％式％ で新たな閉正方平面Ｓ°の領域を定め、この閉正方平面
Ｓ°を次式によりＮ等分して新たな節接点間隔（Ｘｓ、
　Ｙｓ）を再設定する。

Ｘｓ＝　（Ｘｎ−Ｘｏ）十Ｎ、　Ｙｓ−（Ｙｎ−Ｙａ）
　＋Ｎそしてこれらを再設定した後に（２）項に分岐し
て再度検索を行い、最大磁場の節点位置（ＸＩＩ、　Ｙ
ｍ）が観測精度σを満足するまでこの検索手順を繰り返
し行う。

（５）座標変換式の算出； 前項（４）で得た直交座標系から測定したピン磁石１０
の位置に対応する節点位置（Ｘｓ、　’／ＩＩ）と、あ
らかじめ機械的な測定方法によりｉ磁石側の橿座標系（
第２図参照）から測定したピン磁石１０の座標位置とを
用いて橿座標系／直交座標系の間の座標変換式を算出す
る。これで被測定電磁石の空隙平面内の磁場分布測定を
行うためのセットアツプ作業が完了し、次に電磁石の磁
場分布測定を実行する際には、前記した座標変換式を参
照して磁場測定点Ｐの位！（ｒｌ、θｐ）に対応する直
交座標系での位置（Ｘｐ、　Ｖｐ）を求め、ロボット操
作によりホール素子３をこの位置に移動して磁場分布測
定を行う。

自動検索方法■：前記した自動検索方法Ｉでは、検索領
域として設定した閉正方平面Ｓの各測定節点毎に磁場測
定を行うためにピン磁石位置の検索に要する磁場測定回
数が多く、その座標位置の観測に要する時間が多くかか
る。この点を改良したのが自動検索方法■であり、以下
、第５図に示す自動検索プログラムのフローチャート、
および第７図の検索説明図を基にその自動検索プログラ
ムのアルゴリズムを説明する。

ｉｌｌピン磁石の磁場分布の近似武人カニピン磁石１０
は先述のように磁場ピークが磁石中心に発生し、その磁
束密度Ｂの分布は第３図で示したようにピン中心上にピ
ーク点を持つ紡錘形である。そこで、第７図に示すよう
にあらかじめピン磁石１０の先端と離隔距離αだけ隔て
たホール素子３の移動軌跡面における磁場分布を実測し
、かつその測定データの解析からピン磁石１０の磁場分
布をｘ、Ｙの２次関数で表す近似式を求め、この近似式
をコンピュータ６に入力しておく。

（２）検索準備： 第７図に示すようにホール素子３をピン磁石ｌＯの近傍
にセットする０次にこの位置での直交座標位置を（Ｘｏ
、　ＹＯ）とし、かつＸｏを固定としたＹ軸方向での磁
場測定位置Ｙｏ、　Ｙｌ、　Ｙ２．およびピン磁石１０
の庄（位置の観測精度σをコンピュータ６に入力し、ホ
ール素子３を前記の測定位ｆｉＹｏ、　Ｙｌｖ２に順次
移動して磁場測定を行う。

（３）ピン磁石の磁場ピーク点の推定：前項（２）で得
た磁場測定値を＋１１項で述べた近似式に代入し、最大
磁場を示すピン磁石１ｏの磁場ピーク点の座標値ｆｆ（
×−、Ｙｍ）を推定する。なお、（１）項で述べたよう
にピン磁石ＩＯの磁場分布は２次関数で近似できるので
、（２）項では最低３点での磁場測定を行うことで磁場
ピーク点の座標位置が推定できる。

＋４）　Ｘｍ、　　Ｙｓ（７）　ｉｔ　ｉｇ　　（１）
　：前項（３）で推定したピン磁石１０の座標位置（Ｘ
ｓＹｓ）にホール素子３を実際に移動して磁場測定を行
い、この測定値Ｂ°が（１）で与えた近似式から計算し
た磁束密度Ｂの最大値とがあらかじめ定めた精度以内で
一致するならば、この座標位置（Ｘ園。

Ｙｍ）をピン磁石１０の位置と判定して（６）項に分岐
する。また、−敗しない場合には次項（６）に分岐して
ピン磁石の磁場ピーク点の座標位置（Ｘｓ、　Ｙａ）を
再確認する。

ｆ６１Ｘ＋＋、　　Ｙｍ（ＤｉｌｌＬ２　　（ＩＩ　）
：前項（４）で求めた座標位置（Ｘｓ、　Ｙ鋤）を中心
に、該座標位置（Ｘｓ、　Ｙａ）からＸ、Ｙ軸の正負方
向にそれぞれ観測精度σだけ離れた位置での磁場測定を
行い、その測定データから磁場が最大となる座標位置（
Ｘ（Ｙａ）を求めて（６）項に分岐する。

（６）座標変換式の算出： 検索方法１の（５）項で述べたと同様に、前記の（４）
ないしく６）項で得た直交座標系（ロボット５側）より
観測したピン磁石位Ｉｆ　（Ｘｓ、　Ｖｍ）と、極座標
系（偏向？ｌｔ磁石１側）から観測したピン磁石の座標
位置とを突き合わせて座標変換式を算出する。そして、
次に被測定電磁石空隙内の磁場分布を測定する際には、
この座標変換式を参照して磁場測定点Ｐの捲座標（ｒＰ
＋θρ）に対応する直交座標（ＸｐＹｐ）を求め、コン
ピュータからの指令によるロボット操作でホール素子３
をｉＩｔ磁石空隙内の各磁場測定点に移動して磁場分布
を測定する。

なお、このアルゴリズムによるピン磁石１ｏの自動検索
法■は、先述した自動検索方法と比べてピン磁石の位置
判定に必要な磁場測定回数がはるかに少ない測定回数で
済み、ピン磁石位置を自動検索に要する時間の短縮化が
可能である。

すなわち、自動検索法Ｉにおいて、例えばＮ−１０、Ｘ
ｏ＝　　Ｏａｍ、　　　Ｘｎ−１００００ａｍ、　　　
Ｘｓ−１０００ｍｍ、　　　ａ　　＝０．１ｍｍとすれ
ば、ピン磁石ＩＯの位置検索に要する磁場の測定回数の
ｔ２計Ｍｎ＝　　（ｌｌｘｌｌ）　ｘ　４　ｘ　２−９
６８回であり、１節点の磁場測定に要する時間を例えば
３秒とすると、ピン磁石の座標位置の観測に要する時間
子−＝９６Ｂ　ｘ　３　＋６０ｍ４８分となる。

これに対して、自動検索法■によれｌｅｔ’、ピン磁石
の磁場測定回数Ｍｎ−３＋５＋９回、近４１２式＋７）
参照が１回で、かつ近似式の計算時間を１秒とすれば、
ピン磁石の座標位置の観測に要する時間Ｔ隠−（９Ｘ３
＋ｌＸ１）Ｘ２＋６０”ｌ１分となり、自動検索法Ｉと
比べてピン磁石の検索時間を大幅に短縮できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の磁場測定方法により次記
の効果を奏する。

＋１１被測定電磁石と磁場測定装置との位置合わせに際
して、被測定電磁石側に設置した位置合わせ用ピン磁石
の位置を磁場測定装置のロボットに搭載した磁気センサ
を利用して磁気的に検索するようにしたので、従来方法
のような各部距離の実測作業が省略でき、電磁石の磁場
分布測定に際して行うセットアンプ作業の大幅な省力化
が図れるとともに、被測定１！磁石と磁場測定装置との
相対位置の誤差を極力抑えて精度の高い空隙磁場分布測
定を行うことができる。

（２）特に、ピン磁石位置の検索に際して、検索時に得
たピン磁石の磁場測定データを基に近似式を用いてピン
磁石位置の推定、確認を行う自動検索法を採用すること
により、検索所要時間の大幅な短縮化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例による磁場測定装置の構成配置図
、第２図は電磁石の磁場測定における測定点の表し方を
示した第１図の平面図、第３図は第１図におけろピン磁
石の磁場分布図、第４図。 第５図はそれぞれ異なるピン磁石位置の自動検索プログ
ラムのフローチャート、第６図は第４図によるピン磁石
の検索説明図、第７図は第５図によるピン磁石の検索説
明図、第８図は従来における磁場測定装置の構成配置図
、第９図は第８図における磁気センサの構造図、第１０
図は従来方法による磁場測定装置の位置合わせ手順の説
明図である。 図において、 ｌ：被測定電磁石、ｌｄ：空隙平面、２；磁場測定装置
、３：ホール素子（ｉｆｆ気センサ）　　４ニブロープ
ユニツト、５：ロボット、６：コンピエー第２図 第６図 第７図 第９図 第１０図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）磁気センサを二次元ロボットに搭載し、該ロボット
   の移動操作により磁気センサを被測定電磁石の空隙内に
   挿入して空隙平面の磁場分布を測定する磁場測定方法に
   おいて、磁場のピークがピン中心に発生するピン磁石を
   電磁石側の所定位置に設け、電磁石の空隙磁場測定に先
   立ち、ロボットの移動操作により前記ピン磁石の磁場ピ
   ーク点を磁気センサで検索して電磁石とロボットとの間
   の幾何学的を相関位置を見出し、この相関位置を基に磁
   気センサを電磁石空隙内の磁場測定点に位置合わせして
   磁場分布を測定することを特徴とする磁場測定方法。 ２）請求項１に記載の磁場測定方法において、ピン磁石
   の磁場ピーク点を検索するに際し、ピン磁石の中心位置
   を含む周辺に複数の測定節点を定めた直交座標系の検索
   領域を設定し、かつ磁気センサを前記の各測定節点へ順
   次移動して測定した磁場測定データの中から最大値を示
   す節点位置を求め、この節点位置を以て直交座標系上で
   のピン磁石位置と判定することを特徴とする磁場測定方
   法。 ３）請求項１に記載の磁場測定方法において、あらかじ
   めピン磁石に対する磁場分布の近似式を求めておき、ピ
   ン磁石の磁場ピーク点を検索するに際して、まずピン磁
   石の周辺に設定した直交座標系の検索領域に磁気センサ
   を移動して磁場測定を行い、かつその測定値から前記の
   近似式によりピン磁石の磁場ピーク点の座標位置を演算
   により推定し、次に前記の推定位置に磁気センサを移動
   して得た磁場の実測値と近似式で計算した磁場の最大値
   とが一致することを確認してピン磁石位置と判定するこ
   とを特徴とする磁場測定方法。