JPH02212308A - Manufacture of ceramic oxide having supercondctivity - Google Patents

Manufacture of ceramic oxide having supercondctivity

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JPH02212308A
JPH02212308A JP1328119A JP32811989A JPH02212308A JP H02212308 A JPH02212308 A JP H02212308A JP 1328119 A JP1328119 A JP 1328119A JP 32811989 A JP32811989 A JP 32811989A JP H02212308 A JPH02212308 A JP H02212308A
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JP
Japan
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ammonium
aminopolycarboxylic acid
metal
acid
manufacturing
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Application number
JP1328119A
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Japanese (ja)
Inventor
Rudolph Pebler Alfred
アルフレッド・ルドルフ・ペブラー
Robert George Charles
ロバート・ジョージ・チャールズ
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CBS Corp
Original Assignee
Westinghouse Electric Corp
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Publication date
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E40/00Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

Abstract

PURPOSE: To mix component metals thoroughly, to enable continuous treatment, and to obtain a superconductor by subjecting the droplets of aerosol of individual aqueous ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid solutions of respective metal components of the desired conductive oxide to flash decomposition and to oxidation.
CONSTITUTION: (i) Individual aqueous ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid solution of respective metal components of the ceramic metal oxide to be formed is prepared. (ii) The above respective ammonium-metal- aminocarboxylic acid solutions are mixed in stoichiometric ratio giving the desired ceramic metal oxide to be formed by means of decomposition, by which a precursor solution is prepared. (ii) The aerosol of droplets of the precursor solution is prepared in an oxygen-containing air flow. (iv) Subsequently, the above droplets in the air flow are subjected to flash decomposition and to oxidation, to produce ceramic oxide metal grains as a product.
COPYRIGHT: (C)1990,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、金属−エチレンジアミン四酢酸溶液のごとき
金属−アミノポリカルボン酸溶液のエアロゾル熱分解に
よって超電導性を有するセラミック酸化物を製造する方
法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application] The present invention relates to a method for producing ceramic oxides having superconductivity by aerosol pyrolysis of metal-aminopolycarboxylic acid solutions such as metal-ethylenediaminetetraacetic acid solutions. .

[従来の技術コ 超電導性材料は1911年以来公知であるが、近年のニ
オブまたはバナジウム合金にあっても、超電導モードで
の作動には4゜にで沸騰する液体ヘリウムを用いた極め
て高価な冷却を必要とする。
[Prior Art] Superconducting materials have been known since 1911, but even modern niobium or vanadium alloys require extremely expensive cooling using liquid helium boiling at 4° to operate in superconducting mode. Requires.

アメリカ特許第4,411,959号および第4。U.S. Pat. Nos. 4,411,959 and 4.

575.927号(ブラギンスキら)は、針金状で超電
導体製造用に用いられる、直径が1μ!より小さい粒子
状のニオビウムまたはバナジウム化合物を開示している
No. 575.927 (Braginski et al.) is wire-shaped and used for superconductor production, and has a diameter of 1 μ! Discloses smaller particulate niobium or vanadium compounds.

通常Y B a *Cu @01〜Bまたはrl:2:
3セラミツク酸化物」と記載される斜方晶系(0丁th
o−rombic)イツトリウム−バリウム−銅酸化物
材料のごときアルカリ土類金属−銅酸化物を含むペロブ
スカイト(perovskite)関連セラミック酸化
物は、よく知られた「高温」超電導性材料である。
Normal Y B a *Cu @01~B or rl:2:
Orthorhombic crystal system (0-th ceramic oxide)
Perovskite-related ceramic oxides, including alkaline earth metal-copper oxides such as yttrium-barium-copper oxide materials, are well-known "high temperature" superconducting materials.

この1:2:3セラミツク酸化物材料は93°に領域で
電気的超電導性を示すこと、すなわち本質的に電気抵抗
を失うことが見いだされている。
This 1:2:3 ceramic oxide material has been found to exhibit electrical superconductivity in the 93° region, ie, essentially loses its electrical resistance.

1:2:3セラミツク酸化物類およびその他のアルカリ
土類金属−銅酸化物をベースとするセラミックスは、相
対的に安価で豊富に存在する液体窒素の沸点77°によ
り十分高い温度において、超電導モードで動作すること
ができ、高電流磁石の複合巻線、エネルギー貯蔵コイル
、遠距離送電等に広く使用される可能性をもっている。
Ceramics based on 1:2:3 ceramic oxides and other alkaline earth metal-copper oxides exhibit superconducting mode at temperatures sufficiently high due to the 77° boiling point of relatively cheap and abundant liquid nitrogen. It has the potential to be widely used in composite windings of high-current magnets, energy storage coils, and long-distance power transmission.

超電導の領域で興味のあるその他の最近のセラミック酸
化物としては、P・ハルダー(Halder)らがサイ
エンス誌(Science) 、 241巻1198〜
1200(1988年)に記載したような(Biまたは
Tl)、(BaまたはS r ) Caa−+Cuno
m [式%式%] B i *CIL ts r *Cu *0s−aのご
とき、ビスマスおよびタリウムをベースとした銅(n)
酸塩がある。
Other recent ceramic oxides of interest in the area of superconductivity include P. Halder et al., Science, Vol. 241, 1198-
(Bi or Tl), (Ba or Sr) Caa-+Cuno as described in 1200 (1988)
Copper (n) based on bismuth and thallium, such as m [Formula %Formula %] B i *CIL ts r *Cu *0s-a
There are acid salts.

これらアルカリ土類金属−酸化銅をベースとしたセラミ
ック酸化物は、通常適当な金属の酸化物または炭酸塩を
適当なモル比で混合し、焼結することによって形成され
る。例えばl:2:3セラミツク酸化物をつくるには、
Y * Oss B 71 CO*およびCuOをY:
Ba:Cuのモル比が1:2:3になるように混合し、
空気中900℃にて約12時間加熱すると、Y B a
 *c u *C)r−x塊が得られる。しかし、この
ようなプロセスでは、製品の超電導性を最大にするのに
必要な均質性が得られない。また、かかるプロセスは、
非常に時間のかかるバッチプロセスであって、数回の焼
結/再粉砕サイクルを要することもある。さらに、製造
された粒子から薄膜をつくることも困難である。
These alkaline earth metal-copper oxide based ceramic oxides are usually formed by mixing appropriate metal oxides or carbonates in appropriate molar ratios and sintering. For example, to make l:2:3 ceramic oxide,
Y*Oss B 71 CO* and CuO to Y:
Mix so that the molar ratio of Ba:Cu is 1:2:3,
When heated in air at 900℃ for about 12 hours, YB a
*c u *C) r-x mass is obtained. However, such processes do not provide the homogeneity necessary to maximize the superconductivity of the product. In addition, this process
It is a very time consuming batch process and may require several sintering/regrinding cycles. Furthermore, it is also difficult to create thin films from the manufactured particles.

1988年1月27日出願のアメリカ特許出願第149
223号(チャールズら)は、当該金属の硝酸塩の水溶
液を用い、エアロゾル熱分解によって従来の問題を解決
する試みを開示している。
U.S. Patent Application No. 149 filed January 27, 1988
No. 223 (Charles et al.) discloses an attempt to solve the conventional problem by aerosol pyrolysis using an aqueous solution of the nitrate of the metal.

そこでは、硝酸塩水溶液、例えばY−Ba−Cu硝酸塩
溶液の極めて小さい液滴を超音波によって酸素含有ガス
気流中に分散させ、つぎにフラッシュ分解および酸化を
行い、1μmより小さい粉末を得る。金属成分を溶解す
ることによって緊密な混合が達成され、フラッシュ分解
および酸化によって処理中の均質性が保たれる。フラッ
シュ分解および酸化は、火炎中、管状炉中またはプラズ
マトーチ中、約600℃〜1,000℃の間で達成され
、粒子の回収はガスフィルターおよび/または静電沈降
装置によって行う。
There, very small droplets of an aqueous nitrate solution, for example a Y--Ba--Cu nitrate solution, are dispersed by ultrasound into an oxygen-containing gas stream, followed by flash decomposition and oxidation to obtain powders smaller than 1 μm. Intimate mixing is achieved by dissolving the metal components, and homogeneity is maintained during processing by flash decomposition and oxidation. Flash decomposition and oxidation is accomplished in a flame, in a tube furnace or in a plasma torch between about 600<0>C and 1,000<0>C, and particle recovery is performed by gas filters and/or electrostatic precipitators.

このプロセスは、T−Ba−Cu超電導体には極めて好
適であるが、BiまたはT1を含有する高温超電導体に
適用するには変更が必要である。
Although this process is very suitable for T-Ba-Cu superconductors, modifications are required for application to high temperature superconductors containing Bi or T1.

これをBi、Tl等の金属にまで拡張するには、硝酸塩
溶液を硝酸で強度に酸性として、オキシ硝酸塩の析出を
防止しなければならない。この高度の酸性は装置を腐食
する恐れがある。また排気流中に高濃度の窒素酸化物を
生じる可能性があり、それらが再び酸化物粒子と反応し
て硝酸塩を再形成することがある。
In order to extend this to metals such as Bi and Tl, the nitrate solution must be made strongly acidic with nitric acid to prevent precipitation of oxynitrates. This high degree of acidity can corrode equipment. It can also produce high concentrations of nitrogen oxides in the exhaust stream, which can again react with oxide particles to reform nitrates.

同様に、1988年2月lO日出願のアメリカ特許出願
第154393号(チャールズら)も、固体のY、Ba
およびCuのβ−ジケトン錯体を約150℃〜350℃
の間で気化させて蒸気を発生させ、これを酸素含有気流
中に分散させ、つぎに高温の基板と接触させて、セラミ
ック薄膜を生成することによ°って、従来の問題を解決
する試みを開示している。この化学蒸着法は、優れた均
質膜を生じるが、セラミック酸化物粒子の製造には簡単
には利用できない。
Similarly, U.S. Patent Application No. 154393 (Charles et al.) filed on February 1, 1988 also describes
and Cu β-diketone complex from about 150°C to 350°C.
Attempts to solve the conventional problem by producing a thin ceramic film by vaporizing between is disclosed. Although this chemical vapor deposition method produces excellent homogeneous films, it is not easily applicable to the production of ceramic oxide particles.

[発明が解決しようとする課題] 硝酸塩溶液を用いるときに必要な低い溶液pHにより生
じる諸問題を回避すると共に成分金属の緊密な混合をも
たらし、かつ、連続的処理を可能とするBiまたはTl
含有超電導性酸化物粉末の製造法が必要とされている。
[Problem to be Solved by the Invention] Bi or Tl that avoids the problems caused by the low solution pH required when using nitrate solutions, provides intimate mixing of the component metals, and allows continuous processing.
What is needed is a method for making superconducting oxide powders containing superconducting oxide powders.

本発明の主たる一目的はかかるプロセスを提供すること
である。
One primary objective of the present invention is to provide such a process.

[課題を解決するための手段] 従って、本発明は、(i)形成されるべきセラミック金
属酸化物の各金属成分の個々のアンモニウム−金属−ア
ミノポリカルボン酸の水溶液を形成する工程、(ii)
個々のアンモニウム−金属−アミノポリカルボン酸溶液
を、分解により形成されるべき所望のセラミック金属酸
化物を与える化学量論比にて混合し、前駆体溶液を得る
工程、(1ii)酸素含有気流中に前駆体溶液の小滴の
エアロゾルを形成する工程および(iv)その気流中で
該小液滴をフラッシュ分解および酸化して、セラミック
金属酸化物粒子を製品として製造する工程からなること
を特徴とする超電導能をもつ混合セラミック金属酸化物
の製造法にある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention comprises the steps of: (i) forming an aqueous solution of the individual ammonium-metal-amino polycarboxylic acids of each metal component of the ceramic metal oxide to be formed; )
(1ii) mixing the individual ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid solutions in a stoichiometric ratio giving the desired ceramic metal oxide to be formed by decomposition to obtain a precursor solution; (1ii) in an oxygen-containing gas stream; (iv) flash decomposition and oxidation of the droplets in the air stream to produce ceramic metal oxide particles as a product. A method for producing a mixed ceramic metal oxide with superconducting ability.

これらの粒子は、フィルター上または静電式沈降装置に
よって集めることができ、あるいは加熱した基板上に厚
い膜として沈着させることができる。反応生成物中に用
いられる金属成分は、YlBa、Cu、Ca、Sr、T
lおよびBiからなる群から選ぶのが好ましい。反応生
成物の一つは、金属成分としてCuを含むことになるで
あろう。
These particles can be collected on a filter or by an electrostatic sedimentation device, or deposited as a thick film on a heated substrate. Metal components used in the reaction product include YlBa, Cu, Ca, Sr, T
Preferably, it is selected from the group consisting of 1 and Bi. One of the reaction products will contain Cu as the metal component.

反応生成物用溶液のアミノポリカルボン酸成分は、エチ
レンジアミン四酢酸(EDTA)より誘導されたもので
あることが好ましい。
Preferably, the aminopolycarboxylic acid component of the reaction product solution is derived from ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA).

本発明方法は、高度に酸性の溶液を用いることなしに、
連続プロセスで、粒子を通じて均一な分布を有する金属
セラミック酸化物粒子を製造することができる。
The method of the invention does not require the use of highly acidic solutions.
In a continuous process, metal-ceramic oxide particles can be produced with a uniform distribution throughout the particles.

本発明のより明瞭な理解のために、添付の図面を参照し
ながら、本発明の好適な具体例について記載する。
For a clearer understanding of the invention, preferred embodiments of the invention will now be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は、超電導性を有する混合セラミック金属酸化物
を製造する工程を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a process for manufacturing a mixed ceramic metal oxide having superconductivity.

第2A図および第2B図は、各々、実施例において形成
されたY−Ba−Cu酸化物粒子のX線回折スペクトル
図および対照であるW、ウオングーング(貰ong−N
g )ら、r B a 麦Y Cu 307−XのX線
粉末特性」、アドバンシズ・イン・セラミック・マテリ
アルズ(Adv、 Cerasic  Mat、)第2
巻第3B号特別号、565〜576頁(1987年)か
らとったB a *Y Cu sow□のX線回折スペ
クトル図である。
FIGS. 2A and 2B are X-ray diffraction spectra of the Y-Ba-Cu oxide particles formed in the examples and the contrast W, Wong-N, respectively.
g) et al., "X-ray powder properties of barley Y Cu 307-X", Advances in Ceramic Materials (Adv, Cerasic Mat,) No. 2
FIG. 3 is an X-ray diffraction spectrum diagram of B a *Y Cu sow □ taken from Volume 3B Special Issue, pages 565-576 (1987).

第3A図および第3B図は、各々実施例において形成さ
れたB1〜5r−Ca−Cu酸化物粒子のX線回折スペ
クトル図、および対照であるH。
FIGS. 3A and 3B are X-ray diffraction spectra of B1-5r-Ca-Cu oxide particles formed in Examples and H as a control, respectively.

マエダら、「希土類元素を含まない新規な高Tc酸化物
超電導体」、ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプラ
イド・フィジックス(japan、 J。
Maeda et al., “Novel high Tc oxide superconductor without rare earth elements,” Japanese Journal of Applied Physics (Japan, J.

Appl、 Phys、)第27巻第2号L209〜2
10頁(1988年)からとったB15rCaCutO
xのX線回折スペクトル図である。
Appl, Phys,) Volume 27 No. 2 L209-2
B15rCaCutO taken from page 10 (1988)
It is an X-ray diffraction spectrum diagram of x.

本発明の方法で製造されるセラミック酸化物は、YBa
mCusOt−xセラミックのごときイツトリウム含有
アルカリ土類金属−銅酸化物類、(Bi)x(Haまた
は5r)Can−1CunOzセラミツクスのごときビ
スマス含有アルカリ土類金属−銅酸化物類および(Tl
)x(Baまたは5r)Can−tcunozセラミッ
クス[式中、(3/2)x+2n+2−δ)のごときタ
リウム含有アルカリ土類金属−銅酸化物類を包含する。
The ceramic oxide produced by the method of the present invention is YBa
Yttrium-containing alkaline earth metal-copper oxides such as mCusOt-x ceramics, bismuth-containing alkaline earth metal-copper oxides such as (Bi)x(Ha or 5r)Can-1CunOz ceramics, and (Tl
) x (Ba or 5r) Can-tcunoz ceramics, including thallium-containing alkaline earth metal-copper oxides such as (3/2)x+2n+2-δ).

これらセラミック金属酸化物類は、第1図に示した工程
に従って形成される。工程(i)では、形成されるべき
セラミック金属酸化物の各金属成分について、個々のア
ンモニウム−金属−アミノポリカルボン酸反応生成物溶
液が形成される。好ましい金属類は、Y、Ba、Cu、
Ca、Sr。
These ceramic metal oxides are formed according to the process shown in FIG. In step (i), a separate ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction product solution is formed for each metal component of the ceramic metal oxide to be formed. Preferred metals are Y, Ba, Cu,
Ca, Sr.

T1およびBiからなる群より選ばれる。いずれの場合
にも、Cuを存在させる。例えば、YBavcu*c)
r−x粒子を製造する場合には、少なくとも3種の、少
なくとも1種はYを含有し、少なくとも1種はBaを含
有し、少なくとも1種はCuを含有する反応生成物溶液
が形成される。殆どの場合、最終の金属セラミック酸化
物に必要な各々の金属について1種だけの反応生成物溶
液を用いる。BiおよびTl含有酸化物類とは異なり、
超電導体YBatcuso、−*は硝酸塩溶液を用いて
も生成は容易であるが、その調製は、本明細書中、本発
明アミノポリカルボン酸法一般を説明するのに役立つ。
Selected from the group consisting of T1 and Bi. In either case, Cu is present. For example, YBavcu*c)
When producing r-x particles, at least three reaction product solutions are formed, at least one containing Y, at least one containing Ba, and at least one containing Cu. . In most cases, only one reaction product solution is used for each metal needed in the final metal-ceramic oxide. Unlike Bi- and Tl-containing oxides,
Although the superconductor YBatcuso,-* is easily produced using nitrate solutions, its preparation serves herein to illustrate the general aminopolycarboxylic acid process of the present invention.

これらアンモニウム−金属−アミノポリカルボン酸反応
生成物の形成を以下(こ−例として、銅および下記の化
学構造式を有するエチレンジアミン四酢酸[H,(ED
TA)]を用いて説明する。
The formation of these ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction products is described below (for example, copper and ethylenediaminetetraacetic acid [H, (ED
This will be explained using TA)].

(カルボン酸)(アミノ)(アルキレン)(アミノ)(
カルボン酸)母体となる殆ど不溶性の酸H,(EDTA
)を水に懸濁させて、撹拌し、つぎに化学量論量の希N
H,OHで半中和する。次式のように、生じたジアンモ
ニウム塩は完全に溶解する: H,(EDTへ)+2NH,OH→ (NH4)tHt(EDTA)+2H*0つぎに、第二
の反応として、次の2つがいずれも可能である: (NH4)tHt(EDTA)+Cu (OH)*”(
NH4)*Cu (EDTA)+HtOまたは (NH4)tHt(EDTA)+Cu (COs)−(
NH4)*Cu (EDTA)+C*0+HtO最初の
反応では、新しく沈澱させた水酸化銅の化合量論量を洗
浄した固体として加え、加熱しながら、澄明な溶液が得
られるまで撹拌する。第二の反応は、水酸化物に替えて
対応する炭酸塩を使用できる°場合もあることを示して
いる。これらの反応は2価金属であるCu”″について
のものである。Tl”のごとき3価金属は、一般的には
、例えば(NH4)T l (EDTA)なる化合物を
与え、これは溶液中で解離して、NH,”イオンおよび
Tl (EDTA)−イオンとなる。同様に、BI3゛
は(NH,)B i (EDTA)なる化合物を与え、
これは溶液中で(NH,)”イオンとBi(EDTA)
−イオンに解離する。
(carboxylic acid) (amino) (alkylene) (amino) (
Carboxylic acid) host almost insoluble acid H, (EDTA
) in water, stirred, and then added with a stoichiometric amount of dilute N
Semi-neutralize with H,OH. The resulting diammonium salt completely dissolves as follows: H, (to EDT) + 2NH, OH→ (NH4)tHt(EDTA) + 2H*0 Then, as a second reaction, the following two Both are possible: (NH4)tHt(EDTA)+Cu (OH)*”(
NH4)*Cu (EDTA)+HtO or (NH4)tHt(EDTA)+Cu (COs)-(
NH4)*Cu(EDTA)+C*0+HtO In the first reaction, a combined stoichiometric amount of freshly precipitated copper hydroxide is added as a washed solid and stirred with heating until a clear solution is obtained. The second reaction shows that in some cases the corresponding carbonate can be used instead of the hydroxide. These reactions are for the divalent metal Cu''''. Trivalent metals, such as Tl'', typically give compounds such as (NH4)Tl (EDTA), which dissociate in solution to form NH,'' and Tl (EDTA)- ions. . Similarly, BI3' gives the compound (NH,)B i (EDTA),
This shows that (NH,)'' ions and Bi (EDTA) in solution.
- dissociates into ions.

場合によっては、水酸化物を直接酸に加え:Cu (O
H)t+H4(EDTA)−H*Cu (EDTA)+
21〜110とし、つぎに中和する: H* Cu (E D T A ) + 2 N H4
0H→(NH4)*Cu (EDTA)+2H*0のが
より便利であることが見出されている。ここでは、殆ど
不溶性の2種の反応物を一緒に水に懸濁させ、加熱しな
がら、澄明な溶液が得られるまで撹拌する。これに続い
て、化学量論量のNH。
In some cases, the hydroxide is added directly to the acid: Cu(O
H)t+H4(EDTA)-H*Cu(EDTA)+
21 to 110 and then neutralize: H* Cu (EDTA) + 2 N H4
It has been found that 0H→(NH4)*Cu (EDTA)+2H*0 is more convenient. Here, two nearly insoluble reactants are suspended together in water and stirred with heating until a clear solution is obtained. This is followed by a stoichiometric amount of NH.

OHを加えて、(N H4) ! Cu (E D T
 A )を得る。望ましくないイオン性副生物が生じな
い限り、他の反応も利用できる。かかる溶液は、硝酸塩
溶液とは異なり強酸性ではなく、7近く、通常6゜5〜
7.5のpHを有する。
Add OH, (NH4)! Cu (E D T
A) is obtained. Other reactions may also be used as long as they do not result in undesirable ionic by-products. Such solutions, unlike nitrate solutions, are not strongly acidic and have a pH close to 7, usually between 6°5 and 6°5.
It has a pH of 7.5.

以上、要するに、金属水酸化物または金属炭酸塩は、水
酸化アンモニウムのごときアンモニウム化合物およびエ
チレンジアミン四酢酸のごときアミノポリカルボン酸と
種々の順序で反応させることができる。最終のアンモニ
ウム−銅−アミノポリカルボン酸反応生成物、すなわち
アンモニウム−銅−エチレンジアミン四酢酸反応生成物
は、錯体であって、そのアニオン構成成分は下記の化学
構造式を有する[式中では、分かり易いように、Cuの
環構造結合は破線で示しである]:金属−(EDTA)
錯体は、上記の通り、アニオンである。それゆえ、電荷
を相殺するカチオンが存在しなければならない。
In summary, a metal hydroxide or metal carbonate can be reacted with an ammonium compound such as ammonium hydroxide and an aminopolycarboxylic acid such as ethylenediaminetetraacetic acid in various orders. The final ammonium-copper-aminopolycarboxylic acid reaction product, i.e., the ammonium-copper-ethylenediaminetetraacetic acid reaction product, is a complex whose anionic component has the following chemical structure [wherein For clarity, the bond in the Cu ring structure is indicated by a broken line]: Metal-(EDTA)
The complex, as described above, is an anion. Therefore, cations must be present to cancel out the charge.

本発明の方法には、最終の超電導性生成物中には現れな
いカチオンを使用しなければならない。
The method of the invention requires the use of cations that do not appear in the final superconducting product.

加熱により破壊され、揮発性の生成物に転化するカチオ
ンしか使用できない。かかるカチオンは、アンモニウム
(NH,)イオンおよび有機置換アンモニウムイオン、
例えばテトラメチルアンモニウムイオン[(CHI)、
N] ”に限定される。本明細書において「アンモニウ
ム」とは、置換アンモニウム型をも包含する。Na”や
に°のごとき1価金属カチオンは、最終製品である混合
酸化物中に入ってくるので、明確に排除される。
Only cations can be used that are destroyed by heating and converted to volatile products. Such cations include ammonium (NH,) ions and organic substituted ammonium ions,
For example, tetramethylammonium ion [(CHI),
N]". As used herein, "ammonium" also includes substituted ammonium types. Monovalent metal cations such as Na'' are specifically excluded as they enter the final mixed oxide product.

前記諸反応で使用される一主成分であるアミノポリカル
ボン酸の形成法は周知であり、例えば特定の一タイプに
ついてアメリカ特許第2130505号[ムンツ(Mu
nz) ]明細書中に教示されている。本発明の場合、
反応生成物溶液中で酸成分を与えるべきアミノポリカル
ボン酸に要求される主要な条件は=(1)分子が少なく
とも1個の塩基性窒素原子と少なくとも2個、好ましく
は3〜5個のカルボキシル基を含んでいること、および
(2)該窒素原子と該カルボキシル基の分子内配列が、
金属と反応したときに、金属と共にいくつかの環構造[
構造式(n)参照]が形成されるようなものでなければ
ならないことである。
Methods for forming aminopolycarboxylic acids, one of the main components used in the above reactions, are well known; for example, one particular type is described in U.S. Pat. No. 2,130,505 [Munz
nz) ] taught in the specification. In the case of the present invention,
The main conditions required for the aminopolycarboxylic acid to provide an acid component in the reaction product solution are = (1) the molecule has at least one basic nitrogen atom and at least 2, preferably 3 to 5 carboxyl atoms; (2) the intramolecular arrangement of the nitrogen atom and the carboxyl group,
When reacting with a metal, some ring structures [
Refer to structural formula (n)].

これら2つの要件を満たす化合物は多数知られている。Many compounds are known that meet these two requirements.

好ましい化合物は、容易に入手できて安価なエチレンジ
アミン四酢酸[構造式(■)]である。その他の好適な
アミノポリカルボン酸の例としては、ジエチレントリア
ミン五酢酸[構造式(III)] 、ヒドロキシエチル
エチレンジアミン三酢酸[構造式(■)]およびニトリ
ロ三酢酸[構造式(■)]などが挙げられる。
A preferred compound is ethylenediaminetetraacetic acid [structural formula (■)], which is readily available and inexpensive. Examples of other suitable aminopolycarboxylic acids include diethylenetriaminepentaacetic acid [structural formula (III)], hydroxyethylethylenediaminetriacetic acid [structural formula (■)], and nitrilotriacetic acid [structural formula (■)]. It will be done.

C)1.C0OH 第1図に示した工程(ii )では、種々の反応生成物
溶液を、分解により形成されるべき所望のセラミック金
属酸化物を与えるような化学量論比で組み合わせる。例
えば、Y B a ICu 307−Xが分解時の所望
の酸化物である場合には、前記に従いアンモニウム−Y
−(EDTA) 、アンモニウム−Ba−(EDTA)
およびアンモニウム−Cu(EDTA)の各溶液を、Y
、、BaおよびCuについてl:2:3のモル比で混合
して、金属酸化物前駆体溶液、すなわち加熱により金属
酸化物を生成しうる溶液を得る。(Bi)x (Sr)
Can−tcuno++を得るには、Bi、Sr、Ca
およびCuを含有するアンモニウム−(EDTA)溶液
類を使用し、(T 1)X(S r)Can−1cun
oxno場合には、T15Sr、CaおよびCuを含有
するアンモニウム−(EDTA)溶液類を使用する。工
程(ii )では、種々の反応生成物溶液を約25℃程
度で混合する。
C)1. C0OH In step (ii), shown in Figure 1, the various reaction product solutions are combined in stoichiometric ratios to give the desired ceramic metal oxide to be formed by decomposition. For example, if Y Ba ICu 307-X is the desired oxide upon decomposition, ammonium-Y
-(EDTA), ammonium-Ba-(EDTA)
and ammonium-Cu(EDTA) solutions, Y
, Ba and Cu in a molar ratio of 1:2:3 to obtain a metal oxide precursor solution, ie a solution capable of producing metal oxides upon heating. (Bi)x (Sr)
To obtain Can-tcuno++, Bi, Sr, Ca
(T1)X(Sr)Can-1cun using ammonium-(EDTA) solutions containing
In the oxno case, ammonium-(EDTA) solutions containing T15Sr, Ca and Cu are used. In step (ii), various reaction product solutions are mixed at about 25°C.

工程(iii )では、前駆体溶液小滴のエアロゾルま
たはミストを酸素含有気流中で形成させる。超音波室内
加湿器を改造したもの、あるいは他の適当な装置を用い
、空気流中で前駆体溶液を超音波撹拌することによって
、エアロゾルスプレーの微細ミストを形成することがで
きる。
In step (iii), an aerosol or mist of precursor solution droplets is formed in an oxygen-containing air stream. A fine mist of an aerosol spray can be formed by ultrasonically agitating the precursor solution in a stream of air using a modified ultrasonic room humidifier or other suitable device.

工程(1v)では、それら小滴をフラッシュ分解および
酸化して、生成物であるセラミック金属酸化物粒子を生
成する。場合によっては、所望の構造を得るために、セ
ラミック酸化物粒子をO3中で750℃〜950℃にお
いて焼なまず必要がある。
In step (1v), the droplets are flash decomposed and oxidized to produce product ceramic metal oxide particles. In some cases, it may be necessary to anneal the ceramic oxide particles in O3 at 750<0>C to 950<0>C to obtain the desired structure.

粉末製造の場合には、フラッシュ分解、酸化を、種々の
熱源、例えば火炎、管状炉あるいはプラズマトーチを用
いて行うことができ、反応は一般に600°C〜t、o
oo℃の温度で生ずる。生成物は、種々のフィルターお
よび静電沈降装置を含む既知の手段によって回収できる
。粉末はつぎに、当業者に周知な方法によりセラミック
ペレットなどに加工し、超電導体の形状に加工すること
ができる。例えば、ペレットを適当な金属管または適当
な金属板の間に入れ、引抜き(drawn )または圧
延して、伝導体フィラメントまたはリボンを製造するこ
とができる。
In the case of powder production, flash decomposition, oxidation can be carried out using various heat sources, such as flames, tube furnaces or plasma torches, and the reaction is generally carried out at temperatures between 600°C and t,o.
Occurs at temperatures of 0°C. The product can be recovered by known means including various filters and electrostatic precipitators. The powder can then be processed into a superconductor shape, such as into ceramic pellets, by methods well known to those skilled in the art. For example, the pellets can be placed between suitable metal tubes or suitable metal plates and drawn or rolled to produce conductive filaments or ribbons.

エアロゾルは、700℃〜t、ooo℃に加熱された基
板類と接触させることによってもフラッシュ分解し、酸
化することができる。この場合、エアロゾルを中間温度
に予熱してもよいが、かかる中間温度は、前駆体溶液を
分解、酸化するに有効な温度よりも低くする。金属製基
板を含めてその他のタイプの基板も使用できるが、セラ
ミック基板を用いるのが一般的であろう。配向結晶基板
、とくにチタン酸ストロチウムのごとき単結晶ペロブス
カイト基板が好ましい。例えば超音波ミストは帯電して
いる可能性があり、基板上または基板背面に逆の電荷が
あれば、小液滴または粒子を基板へ引き寄せる。このた
め基板上への酸化物沈積の効率を向上すべく、静電的に
沈着(deposition)を増強する方式を用いて
もよい。
The aerosol can also be flash decomposed and oxidized by contacting with substrates heated to 700°C to t,ooo°C. In this case, the aerosol may be preheated to an intermediate temperature, which is lower than the temperature effective to decompose and oxidize the precursor solution. Although other types of substrates can be used, including metal substrates, it will be common to use ceramic substrates. Oriented crystal substrates, particularly single crystal perovskite substrates such as strotium titanate, are preferred. For example, an ultrasonic mist can be electrically charged, and any opposite charge on or behind the substrate will attract small droplets or particles to the substrate. Therefore, in order to improve the efficiency of oxide deposition on the substrate, a method of electrostatically enhancing the deposition may be used.

工程(iv )では、極めて微細な液滴の極めて速やか
な反応が生ずるので、フラッシュ分解および酸化の間に
起こり、加熱された基板上に金属酸化物の粒子または膜
を形成する一連の反応を正確に知ることはできない。し
かし、l:2:3セラミツク酸化物の形成については、
液体エアロゾル粒子が、通常700℃〜1,000℃の
範囲での水溶媒のフラッシュ蒸発、段階的分解および酸
化物残分の反応による結晶性混合酸化物の形成を包含す
る一連のプロセスを経て、混合酸化物粒子に転化するも
のと考えられる。
Step (iv) involves a very rapid reaction of extremely fine droplets, allowing us to accurately trace the sequence of reactions that occur during flash decomposition and oxidation to form metal oxide particles or films on the heated substrate. It is impossible to know. However, for the formation of l:2:3 ceramic oxide,
The liquid aerosol particles undergo a series of processes including flash evaporation of the water solvent, stepwise decomposition and reaction of the oxide residues to form a crystalline mixed oxide, typically in the range of 700°C to 1,000°C. It is thought that it is converted into mixed oxide particles.

[実施例] 以下、実施例によって本発明を説明する。[Example] The present invention will be explained below with reference to Examples.

1:2:3金属セラミツク酸化物であるYBalCus
Ot−xの粒子を、(1)アンモニウム−イツトリウム
−エチレンジアミン四酢酸、(2)アンモニウム−バリ
ウム−エチレンジアミン四酢酸および(3)アンモニウ
ム−銅−エチレンジアミン四酢酸の金属酸化物前駆体溶
液の混合物から調製した。これら個々のアンモニウム−
金属−アミノポリカルボン酸は、エチレンジアミン四酢
酸を水に懸濁させ、水酸化アンモニウムと反応させてジ
アンモニウム塩を形成させ、続いて約30℃〜35℃で
撹拌しながら、新しく沈澱させた金属水酸化物を加えて
、澄明な溶液とすることによって、形成した。これら酸
−アンモニウム−金属を、Y。
1:2:3 metal ceramic oxide YBalCus
Particles of Ot-x are prepared from a mixture of metal oxide precursor solutions of (1) ammonium-yttrium-ethylenediaminetetraacetic acid, (2) ammonium-barium-ethylenediaminetetraacetic acid, and (3) ammonium-copper-ethylenediaminetetraacetic acid. did. These individual ammonium-
The metal-aminopolycarboxylic acid is prepared by suspending ethylenediaminetetraacetic acid in water and reacting with ammonium hydroxide to form the diammonium salt, followed by mixing the freshly precipitated metal with stirring at about 30°C to 35°C. Formed by adding hydroxide to give a clear solution. These acid-ammonium-metals are Y.

BaおよびCuについて1:2:3のモル比で混合し、
単位濃度を[Y] =0.01モル/12.  [Ba
]=0.02モル/12、[Cu]=0.03モル/Q
とした。
Ba and Cu are mixed in a molar ratio of 1:2:3,
The unit concentration is [Y] =0.01 mol/12. [Ba
]=0.02 mol/12, [Cu]=0.03 mol/Q
And so.

混合金属酸化物前駆体溶液を、超音波トランスデュサー
を用いた改造可搬式超音波室内加湿装置に入れた。この
トランスデュサーは約1.7メガヘルツで振動し、極め
て微細な溶液のエアロゾルミストを形成した。このエア
ロゾルを酸素ガス流と混合し、ついで4Q/分の流速で
、1000℃に保たれた管状抵抗炉中の石英管に通した
。炉内での金属酸化物前駆体エアロゾル液滴の総滞留時
間は約2秒であった。管状反応器の内径は2.5c16
00℃以上の加熱帯域の長さは25cmであった。
The mixed metal oxide precursor solution was placed in a modified portable ultrasonic room humidifier using an ultrasonic transducer. The transducer vibrated at approximately 1.7 MHz and created an extremely fine aerosol mist of solution. This aerosol was mixed with a flow of oxygen gas and then passed through a quartz tube in a tubular resistance furnace maintained at 1000° C. at a flow rate of 4 Q/min. The total residence time of the metal oxide precursor aerosol droplets in the furnace was approximately 2 seconds. The inner diameter of the tubular reactor is 2.5c16
The length of the heating zone above 00°C was 25 cm.

エアロゾル液滴は、酸素存在下のフラッシュ分解を受け
て、金属セラミック酸化物粒子を形成した。これら粒子
をポリテトラフルオロエチレン製ミリポアフィルタ−上
に捕集した。捕集した粒子の直径は約0.1μm−1μ
mであった。捕集した粒子のサンプルについて、第2A
図に示すX線回折スペクトルを得、Y B a ICu
 5C)r−xについての参照用のX線回折スペクトル
第2B図と比較した。比較により、Y B iL tc
 u *07−x粒子が得られたことがわかる。
The aerosol droplets underwent flash decomposition in the presence of oxygen to form metal-ceramic oxide particles. These particles were collected on a polytetrafluoroethylene Millipore filter. The diameter of the collected particles is approximately 0.1μm-1μ
It was m. For the sample of collected particles, the second
The X-ray diffraction spectrum shown in the figure was obtained, and Y B a ICu
5C) Comparison with reference X-ray diffraction spectrum for r-x, Figure 2B. By comparison, Y B iL tc
It can be seen that u*07-x particles were obtained.

先に一般的に記載したのと同様にして、(1)アンモニ
ウム−ビスマス−エチレンジアミン四酢酸、(2)アン
モニウム−カルシウム−エチレンジアミン四酢酸、(3
)アンモニウム−ストロチウム−エチレンジアミン四酢
酸および(4)アンモニウム−銅−エチレンジアミン四
酢酸の金属酸化物前駆体溶液混合物を調製した。この金
属酸化物前駆体溶液を超音波加湿器に入れて極めて微細
なエアロゾルミストを発生させ、これを酸素気流と混合
したのち、流速4Q/分で、900℃に保持した管状抵
抗炉に通した。ここでは、小液滴から形成された金属セ
ラミック酸化物粒子を管状静電沈降装置中で捕集した。
(1) ammonium-bismuth-ethylenediaminetetraacetic acid, (2) ammonium-calcium-ethylenediaminetetraacetic acid, (3) as generally described above.
Metal oxide precursor solution mixtures of (4) ammonium-strotium-ethylenediaminetetraacetic acid and (4) ammonium-copper-ethylenediaminetetraacetic acid were prepared. This metal oxide precursor solution was placed in an ultrasonic humidifier to generate an extremely fine aerosol mist, which was mixed with an oxygen stream and then passed through a tubular resistance furnace maintained at 900°C at a flow rate of 4Q/min. . Here, metal-ceramic oxide particles formed from small droplets were collected in a tubular electrostatic precipitator.

静電的に捕集した粉末をついで酸素中850℃で約12
時間焼なました。
The electrostatically collected powder was then heated in oxygen at 850°C for approximately 12
Annealed for an hour.

第3A図に示したそのX線回折スペクトルを第3B図に
示した参照用のX線回折スペクトルと比較すると、B1
5rCaCutOxが形成されたことがわかる。
Comparing the X-ray diffraction spectrum shown in Figure 3A with the reference X-ray diffraction spectrum shown in Figure 3B, B1
It can be seen that 5rCaCutOx was formed.

[発明の効果コ 本発明の製造法によれば、高度に酸性の溶液を用いるこ
となしに、連続プロセスで、粒子を通じて均一な分布を
有する金属セラミック酸化物粒子を製造することができ
る。
[Effects of the Invention] According to the production method of the present invention, metal-ceramic oxide particles having a uniform distribution throughout the particles can be produced in a continuous process without using highly acidic solutions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、超電導能をもつ混合セラミック金属酸化物を
製造する工程を示すブロック図である。 第2A図および第2B図は、各々、実施例において形成
されたY−Ba−Cu酸化物粒子のX線回折スペクトル
図、および対照のBatYCuaO7−5のX線回折ス
ペクトル図である。 第3A図および第3B図は、各々実施例において形成さ
れたB1〜9r−Ca−Cu酸化物粒子のX線回折スペ
クトル図、および対照のB15rCaCu*OxのX線
回折スペクトル図である。 FIG、1 FIG、2Δ FIG、2B
FIG. 1 is a block diagram showing a process for manufacturing a mixed ceramic metal oxide with superconducting ability. FIG. 2A and FIG. 2B are an X-ray diffraction spectrum of Y-Ba-Cu oxide particles formed in Examples and an X-ray diffraction spectrum of BatYCuaO7-5 as a control, respectively. FIG. 3A and FIG. 3B are X-ray diffraction spectra of B1-9r-Ca-Cu oxide particles formed in Examples and an X-ray diffraction spectrum of B15rCaCu*Ox as a control, respectively. FIG, 1 FIG, 2Δ FIG, 2B

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)(i)形成されるべきセラミック金属酸化物の各
金属成分の個々のアンモニウム−金 属−アミノポリカルボン酸の水溶液を形成 すること、 (ii)前記個々のアンモニウム−金属−アミノポリカ
ルボン酸溶液を、分解により形 成されるべき所望のセラミック金属酸化物 を与える化学量論比で混合し、前駆体溶液 を得ること、 (iii)酸素含有気流中にて該前駆体溶液の小液滴の
エアロゾルを形成すること、およ び (iv)気流中の前記小液滴をフラッシュ分解および酸
化して、製品としてのセラミッ ク金属酸化物粒子を製造すること を特徴とする超電導性を有するセラミック 金属酸化物混合物の製造法。
(1) (i) forming an aqueous solution of the individual ammonium-metal-amino polycarboxylic acids of each metal component of the ceramic metal oxide to be formed; (ii) said individual ammonium-metal-amino polycarboxylic acids; (iii) mixing the solutions in a stoichiometric ratio to give the desired ceramic metal oxide to be formed by decomposition to obtain a precursor solution; (iii) forming small droplets of the precursor solution in an oxygen-containing gas stream; a superconducting ceramic metal oxide mixture, characterized in that: forming an aerosol; and (iv) flash decomposing and oxidizing said small droplets in an air stream to produce ceramic metal oxide particles as a product. manufacturing method.
(2)工程(i)で形成される反応生成物溶液中の少な
くとも一種の金属がCuであることを特徴とする前記請
求項1記載の製造法。
(2) The method according to claim 1, wherein at least one metal in the reaction product solution formed in step (i) is Cu.
(3)反応生成物溶液中の金属がY、Ba、Cu、Ca
、Sr、TiおよびBiの中から選ばれることを特徴と
する前記請求項2記載の製造法。
(3) The metals in the reaction product solution are Y, Ba, Cu, Ca
, Sr, Ti, and Bi.
(4)工程(i)で形成された反応生成物溶液中に存在
するアミノポリカルボン酸成分が、1分子当たり少なく
とも1個の塩基性窒素原子および少なくとも2個のカル
ボン酸基を有するアミノポリカルボン酸から導かれたも
のであることを特徴とする前記請求項1、2または3記
載の製造法。
(4) The aminopolycarboxylic acid component present in the reaction product solution formed in step (i) is an aminopolycarboxylic acid component having at least one basic nitrogen atom and at least two carboxylic acid groups per molecule. 4. The method according to claim 1, wherein the method is derived from an acid.
(5)工程(i)で形成された反応生成物溶液中に存在
するアミノポリカルボン酸成分が、金属イオンと反応し
たときに金属と共にいくつかの環構造が形成されるよう
に相互に配列された塩基性窒素原子およびカルボン酸基
(ともに複数)を各分子中に有するアミノポリカルボン
酸から導かれたものであることを特徴とする請求項1、
2または3記載の製造法。
(5) The aminopolycarboxylic acid components present in the reaction product solution formed in step (i) are mutually arranged so that several ring structures are formed together with the metal when they react with the metal ion. Claim 1, characterized in that the aminopolycarboxylic acid is derived from an aminopolycarboxylic acid having a basic nitrogen atom and a plurality of carboxylic acid groups in each molecule,
The manufacturing method described in 2 or 3.
(6)アンモニウム−金属−アミノポリカルボン酸を含
有する前駆体溶液を工程(ii)で混合し、pHが6.
5〜7.5の前駆体溶液を得ることを特徴とする前記請
求項1〜5のいずれか1つに記載の製造法。
(6) The precursor solution containing ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid is mixed in step (ii) and the pH is 6.
6. Process according to any one of the preceding claims, characterized in that a precursor solution of 5 to 7.5 is obtained.
(7)工程(i)で形成された個々のアンモニウム−金
属−アミノポリカルボン酸反応生成物がアンモニウム−
Y−アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ba−アミ
ノポリカルボン酸およびアンモニウム−Cu−アミノポ
リカルボン酸の混合物であることを特徴とする前記請求
項1〜6のいずれか1つに記載の製造法。
(7) The individual ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction products formed in step (i) are
7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that it is a mixture of Y-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ba-aminopolycarboxylic acid and ammonium-Cu-aminopolycarboxylic acid.
(8)工程(i)で形成された個々のアンモニウム−金
属−アミノポリカルボン酸反応生成物がアンモニウム−
Bi−アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Sr−ア
ミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ca−アミノポリ
カルボン酸およびアンモニウム−Cu−アミノポリカル
ボン酸の混合物であることを特徴とする前記請求項1〜
6のいずれか1つに記載の製造法。
(8) The individual ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction products formed in step (i) are
Claims 1 to 3, characterized in that it is a mixture of Bi-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Sr-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ca-aminopolycarboxylic acid and ammonium-Cu-aminopolycarboxylic acid.
6. The manufacturing method according to any one of 6.
(9)工程(i)で形成された個々のアンモニウム−金
属−アミノポリカルボン酸反応生成物がアンモニウム−
Tl−アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Sr−ア
ミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ca−アミノポリ
カルボン酸およびアンモニウム−Cu−アミノポリカル
ボン酸の混合物であることを特徴とする前記請求項1〜
6のいずれか1つに記載の製造法。
(9) The individual ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction products formed in step (i) are
Claims 1 to 3, characterized in that it is a mixture of Tl-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Sr-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ca-aminopolycarboxylic acid and ammonium-Cu-aminopolycarboxylic acid.
6. The manufacturing method according to any one of 6.
(10)工程(i)で形成された個々のアンモニウム−
金属−アミノポリカルボン酸反応生成物がアンモニウム
−Bi−アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ba−
アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ca−アミノポ
リカルボン酸およびアンモニウム−Cuアミノポリカル
ボン酸−の混合物であることを特徴とする前記請求項1
〜6のいずれか1つに記載の製造法。
(10) Individual ammonium formed in step (i)
The metal-aminopolycarboxylic acid reaction product is ammonium-Bi-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ba-
Claim 1, characterized in that it is a mixture of aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ca-aminopolycarboxylic acid, and ammonium-Cu aminopolycarboxylic acid.
7. The manufacturing method according to any one of .
(11)工程(i)で形成された個々のアンモニウム−
金属−アミノポリカルボン酸反応生成物がアンモニウム
−Tl−アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ba−
アミノポリカルボン酸、アンモニウム−Ca−アミノポ
リカルボン酸およびアンモニウム−Cu−アミノポリカ
ルボン酸の混合物であることを特徴とする前記請求項1
〜6のいずれか1つに記載の製造法。
(11) Individual ammonium formed in step (i)
The metal-aminopolycarboxylic acid reaction product is ammonium-Tl-aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ba-
Claim 1 characterized in that it is a mixture of aminopolycarboxylic acid, ammonium-Ca-aminopolycarboxylic acid and ammonium-Cu-aminopolycarboxylic acid.
7. The manufacturing method according to any one of .
(12)アンモニウム−金属−アミノポリカルボン酸反
応生成物がアンモニウム−金属−エチレンジアミン四酢
酸であることを特徴とする前記請求項1〜11のいずれ
か1つに記載の製造法。
(12) The method according to any one of claims 1 to 11, wherein the ammonium-metal-aminopolycarboxylic acid reaction product is ammonium-metal-ethylenediaminetetraacetic acid.
(13)工程(ii)において溶液類を約25℃で混合
することを特徴とする前記請求項1〜12のいずれか1
つに記載の製造法。
(13) Any one of claims 1 to 12, characterized in that in step (ii), the solutions are mixed at about 25°C.
The manufacturing method described in.
(14)工程(iii)において、該エアロゾルが、前
駆体溶液の超音波撹拌によって生成された微細ミストで
あることを特徴とする前記請求項1〜13のいずれか1
つに記載の製造法。
(14) In step (iii), the aerosol is a fine mist generated by ultrasonic stirring of the precursor solution.
The manufacturing method described in.
(15)工程(iv)において、600℃〜1,000
℃の温度を有する熱源の存在下で小液滴をフラッシュ分
解および酸化することを特徴とする前記請求項1〜14
のいずれか1つに記載の製造法。
(15) In step (iv), 600°C to 1,000°C
Claims 1 to 14 characterized in that the small droplets are flash decomposed and oxidized in the presence of a heat source having a temperature of °C.
The manufacturing method according to any one of.
(16)工程(iv)において700℃〜1,000℃
に加熱された基体との接触によって小液滴をフラシュ分
解および酸化することを特徴とする前記請求項1〜14
のいずれか1つに記載の製造法。
(16) 700°C to 1,000°C in step (iv)
Claims 1 to 14 characterized in that the droplets are flash decomposed and oxidized by contact with a substrate heated to
The manufacturing method according to any one of.
(17)生成物である金属セラミック酸化物粒子を75
0℃〜950℃でO_2中において焼きなますことを特
徴とする前記請求項1〜16のいずれか1つに記載の製
造法。
(17) 75% of the product metal ceramic oxide particles
17. Process according to any one of the preceding claims, characterized in that it is annealed in O_2 at 0<0>C to 950<0>C.
JP1328119A 1988-12-19 1989-12-18 Manufacture of ceramic oxide having supercondctivity Pending JPH02212308A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001068529A1 (en) * 2000-03-14 2001-09-20 Nagase Chemtex Corporation Composition for forming thin metal oxide film
WO2011096233A1 (en) * 2010-02-05 2011-08-11 日鉄ハード株式会社 Thermal spray material and method for forming a sprayed coating
WO2011096231A1 (en) * 2010-02-05 2011-08-11 日鉄ハード株式会社 Thermal spray material and method for forming a sprayed coating

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