JPH02208604A - 光集積回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光集積回路の作成方法に関する。

〔従来の技術〕

双方向通信に用いられる多重波長通信用の光合分波モジ
ュールの例を第９図に示す、これは１．３μｍのレーザ
光を出力するレーザダイオード（以下ＬＤと称する）１
２ｄと、０．７８μｍ及び０．８８μｍの波長光をそれ
ぞれ受光するアバランシェフォトダイオード（以下ＡＰ
Ｄと称する）１２Ｃ１１２ｃにより構成したモジュール
である。このモジュールはＳｉ基板１０上に発光及び受
光の光信号が通る光導波路１１を形成し、次に光ファイ
バ１２ａ、フィルタ１２ｂ、ＡＰＤ１２ｃ、ＬＤ１２ｄ
等の光部品１２を設置するための複数のガイド１３．１
３．・・・　を形成し、次に前記光フアイバ１２ａ１フ
イルタ１２ｂ、、ＡＰＤ１２ｃ、ＬＤ１２ｄ等の光部品
１２のそれぞれを前記光導波路１１と光軸が一致するよ
うに調心した後、接着固定して作成していた。ちなみに
、１４はＡＰＤ位置決めマーク、１５はミラーチップで
ある。

（発明が解決しようとする課題〕 しかしながら上記の作成方法はＳｉ基板１０上に光部品
１２を一つ一つ作りつけて作成するので作業をパラレル
に行なうことができないので時間がかかっていた。また
回路構成が異なると、光導波路１１の作成から光部品１
２までの設置を新しく行なわなければならず、多種多様
な光集積回路への対応が困難であった。また光ファイバ
１２ａ。

フィルタ１２ｂ、ＡＰＤ１２ｃＳＬＤ１２ｄ等の光部品
１２を設置するためにそれぞれにガイド１３を作らねば
ならない、また更幌光部品１２と光導波路１１のフィー
ルド分布が大きく異なる場合、その整合のためにレンズ
等の光学部品が必要だったり、光導波路端面をレンズ状
に加工しなければならず、回路内が複雑となり、作成作
業も困難となっていた。

本発明の目的は上記の問題点を解消し、簡単に多種多様
な光集積回路を作成することができる光集積回路の作成
方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、基板上に光導波路を配置した光導波路回路板上に、光
部品を搭載して一体化した光集積回路を構成する光集積
回路の作成方法において、前記光部品は予め光導波路と
光軸を一致させて接続した所定寸法のチップ部品となし
、前記光導波路回路板には、前記光部品を搭載する個所
に、前記チップ部品を収納した時に相互の光導波路の光
軸が一致する収納部を予め設けておき、作成時に前記チ
ップ部品を前記収納部に収納することにより光集積回路
を構成することを特徴とするものである。

特に、光導波路回路板内の光導波路を綱の目状に構成す
るとともに前記光導波路の交点に同一寸法のチップ部品
収納用の収納部を設けておくと、光集積回路の作成をよ
り一層容易に行なうことができる。

以下、本発明を第１図ないし第５図に基づいて詳細に説
明する。まず第１図に示すように基板１上に第一クラッ
ド層２、コア層３を作成した後、該コア層３を所定のパ
ターンにエツチングして光導波路５を形成し、更に第二
クラッド層４を作成し、埋込型導波路７ｊとする０次に
該埋込型導波路７ｊの所望の位置に所望の寸法をもつ六
６を所望の数だけ作成し、光導波路回路板７とする０次
に第２図に示すように基板ｌａ上に第一クラッド層２　
ａ　ｓコア層３ａを作成した後、チップ片に切断し、チ
ップ片ごとに前記コア層３ａを所定のパターンにエツチ
ングして光導波路５ａを形成し、更に第二クラフト層４
ａを作成し、埋込型導波路チップ９ｊとする０次に各埋
込型導波路チップ９ｊ上に光ファイバ（図示せず）、フ
ィルタ８ｂ（第５図参照）、ＡＰＤ８ｃ　（第４図参照
）、ＬＤ８ｄ（第３図参照）等の光部品８を設置できる
ように穴６ａをあけ、切削加工を施し、光部品８を挿嵌
後光軸調整をして接着剤等で固定してチップ部品９とな
す、以後、光ファイバ（図示せず）、フィルタ８　ｂ、
ＡＰＤｅ　ｃ％ＬＤ８ｄ等の光部品８に対するチップ部
品９をそれぞれ光フアイバチップ（図示せず）、フィル
タチップ９ｂ（第５図参照）、ＡＰＤチップ９ｃ（第４
図参照）、ＬＤチップ９ｄ（第３図参照）等と称するこ
とにする。

最後に、前記光導波路回路板７の各人６に前記所定のチ
ップ部品９を挿嵌し、接着剤等で固定すると光集積回路
ができあがる。この際、光導波路回路板７の六６とチッ
プ部品９とは、前記穴６に前記チップ部品９を挿嵌した
時に前記光導波路板７の光導波路５とチップ部品９の光
導波路５ａの光軸が一致するように予め加工されている
ので、両光導波路５．５ａの光軸が一致することになる
。

第３図はＬＤチップ９ｄを前記光導波路回路板７の六６
に挿嵌したようすを示す断面図であり、ここでは特にＬ
Ｄチップ９ｄ内の光導波路５ａはフィールド整合導波路
とするため第一クラッド層２ａ、コア層３ａの膜厚をテ
ーパ化し、更にコア層３ａの屈折率を連続的に変化させ
たものである。

第４図はＡＰＤチップ９Ｃを前記光導波路回路板７の六
６に挿嵌したようすを示す断面図である。

また第５図はフィルタチップ９ｂを前記光導波路回路板
７の穴に挿嵌したようすを示す上面図である。このチッ
プ部品９内の光導波路５ａと前記光導波路回路板７内の
光導波路５の光軸が一致するように前記チップ部品９の
上下左右を研磨しておく必要がある。なお前記光導波路
回路板７に設けられたチップ部品収納用の穴（収納部）
６の入口部の寸法は精度高くできるが、深さ方向の精度
、即ち底面の平面度は必ずしも良くないのが一般的であ
るので、穴６の深さはチップ部品９の寸法よりも深くし
ておき組立時に充填剤等を注入して平面度を高めるよう
にすると良い。

次に本発明の別の実施例を第６図ないし第８図に基づい
て説明する０本例は埋込型導波路７ｊ内の光導波路５を
第６図に示すように基盤の目のように作成しておき、そ
の交点に同一寸法の穴６を作成し光導波路回路板７とし
たものである。チップ部品９は先に述べたようにして作
成するがチップ部品９内の光導波路５ａは前記光導波路
５と一致するように前後左右いずれかの方向に設けられ
ている。またチップ部品９の寸法は前記光導波路回路板
７の穴６に合せてどの種類のものもすべて同一寸法に構
成されている。チップ部品９の例としては第３図に示す
ようなＬＤチップ９ｄ及び第４図に示すようなＡＰＤチ
ップ９Ｃの他に第７図に示すフィルタチップ９ｂ、第８
図に示す光分岐チップ９ｅがあるがこの他にも曲がりチ
ップ、カップラーチップ等が考えられる。このような光
導波路回路板７とチップ部品９を用いれば、各チップ部
品９の光導波路５への設置場所、方向を組み合せること
により任意の機能を有する光集積回路が容易に作成でき
る。また、導波路構造は埋込型に限られるものではなく
、リッヂ型、装荷型いずれも適用可能である。

なお、本発明において光導波路としては石英系、半導体
系または高分子系いずれも適用可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の光集積回路の作成方法によ
れば、チップ部品と光導波路回路板とを別々に作ってお
くことができ、組立時には前記チップ部品を前記光導波
路回路板のチップ部品収納部に容易に収納できるため作
業能率が向上するとともに多種多様な光集積回路への対
応が容易となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る光導波路回路板の一実施例を示す
斜視図、第２図は本発明に係るチップ部品の斜視図、第
３図は光導波路回路板にＬＤチップを収納したようすを
示す断面図、第４図は光導波路回路板にＡＰＤチップを
収納したようすを示す断面図、第５図は光導波路回路板
にフィルタチップを収納したようすを示す上面図、第６
図は本発明に係る光導波路回路板の他の実施例を示す上
面図、第７図は光導波路回路板にフィルタチップを収納
したようすを示す上面図、第８図は光導波路回路板に光
分岐チップを収納したようすを示す上面図、第９図は従
来の光合分波モジュールの構成を示す斜視図である。 １、ｌａ〜基板、　２，２ａ〜ミル第一クラッド３．３
ａ〜ミルコア　４．４ａ〜ミル第二クラッド５．５ａ〜
光導波路、６，６ａ〜穴、７〜光導波路回路板、　７ｊ
−埋込型導波路、　８〜光部品、８ｂ〜フイルタ、　　
８ｃｍＡＰＤ、８ｄ〜ＬＤ。 ９〜チップ部品、　９ｊ〜埋込型導波路チツプ、９ｂ〜
フイルタチツプ、　　９Ｃ〜ＡＰＤチツプ、９ｄ〜ＬＤ
チツプ、　９Ｃ〜光分岐チップ。 特許出願人　　　古河電気工業株式会社第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に光導波路を配置した光導波路回路板上に、光部
   品を搭載して一体化した光集積回路を構成する光集積回
   路の作成方法において、前記光部品は予め光導波路と光
   軸を一致させて接続した所定寸法のチップ部品となし、
   前記光導波路回路板には、前記光部品を搭載する個所に
   、前記チップ部品を収納した時に相互の光導波路の光軸
   が一致する収納部を予め設けておき、作成時に前記チッ
   プ部品を前記収納部に収納することにより光集積回路を
   構成することを特徴とする光集積回路の作成方法。