JPH02201183A - Case for magnetic resistance sensor - Google Patents

Case for magnetic resistance sensor

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Publication number
JPH02201183A
JPH02201183A JP1020072A JP2007289A JPH02201183A JP H02201183 A JPH02201183 A JP H02201183A JP 1020072 A JP1020072 A JP 1020072A JP 2007289 A JP2007289 A JP 2007289A JP H02201183 A JPH02201183 A JP H02201183A
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JP
Japan
Prior art keywords
case
stainless steel
magnetic
case body
solder layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP1020072A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sadami Tomita
冨田 貞美
Fumio Igarashi
文雄 五十嵐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Powdered Metals Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE:To protect a magnetic resistance sensor from atmospheric conditions of temperature, humidity, dust, moisture, oil, etc., by interposing a metallic spacer and a solder layer between a cover member and the junction surface of a case main body. CONSTITUTION:A metallic spacer 12 and a solder layer 13 are provided between a front cap 3 as the cover member and a junction surface 1a of a case main body. Consequently, the cap 3 is set to the case main body 1 with the solder layer 13 compressed in atmospheric conditions of humidity, temperature, moisture, dust, oil, etc., and air-tightness is sufficiently kept, and therefore, an electric circuit and a magnetic resistance element 2 in the case for magnetic resistance sensor are not affected. This case is more superior in oscillation-proof property in the condition of mechanical oscillation or the like because the spacer 12 and the solder layer 13 are interposed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、磁気式角度検出器などに使用される強磁性
抵抗体を用いた磁気センサ用ケースに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a case for a magnetic sensor using a ferromagnetic resistor used in a magnetic angle detector or the like.

(従来の技術) 近年、精密加工機械の位置決めを正確に行なうために、
サーボモータ等の回転軸に取付けた円板あるいはドラム
状の磁気記録媒体の発生する磁気信号を強磁性薄膜等よ
り形成した磁気抵抗体を複数個並列に配置することによ
り読取る技術が注目されてきている。
(Prior art) In recent years, in order to accurately position precision processing machines,
A technology that reads magnetic signals generated by a disc or drum-shaped magnetic recording medium attached to a rotating shaft of a servo motor or the like by arranging multiple magnetoresistive elements made of ferromagnetic thin films in parallel has been attracting attention. There is.

すなわち、従来の光学式ロータリエンコーダに代わるも
のとして、構成要素が少なくて済み、しかもサーボモー
タ等の静止時から高速回転時までの幅広い速度領域に適
合し、かつ、温度変化の少ない磁気抵抗センサを用いた
磁気式角度検出器が開発されてきている。
In other words, as an alternative to the conventional optical rotary encoder, we have developed a magnetoresistive sensor that requires fewer components, is compatible with a wide speed range from static to high-speed rotation of servo motors, and has little temperature change. Magnetic angle detectors have been developed.

この磁気式角度検出器は、温度、湿度、塵埃。This magnetic angle detector can detect temperature, humidity, and dust.

水分、脂分などの雰囲気条件に加え、ヒートショック、
機械的振動などの熱的・機械的な苛酷な条件下で使用さ
れるため、温度、湿度、水分、塵埃。
In addition to atmospheric conditions such as moisture and fat, heat shock,
Because it is used under harsh thermal and mechanical conditions such as mechanical vibration, temperature, humidity, moisture, and dust.

油分などの雰囲気条件に影響されないように、角度検出
器のケース本体内に収容されている磁気抵抗センサを保
護できるような構成が肝要となる。
It is important to have a configuration that can protect the magnetoresistive sensor housed within the case body of the angle detector so that it is not affected by atmospheric conditions such as oil.

また、磁気式角度検出器において、その磁気抵抗素子を
サーボモータ等の磁気記録媒体に近接させて磁気記録媒
体の発生する磁気信号を読取るようになっているため、
前記キャップには数十ミクロン程度の薄い非磁性ステン
レス箔を用い、かつ磁界信号をキャッチする磁気抵抗体
は、回転する磁気記録媒体と厳密な平行度とギャップ間
隔で配設することが必要である。
In addition, in a magnetic angle detector, the magnetic resistance element is placed close to a magnetic recording medium such as a servo motor to read the magnetic signal generated by the magnetic recording medium.
It is necessary to use a thin non-magnetic stainless steel foil of about several tens of microns for the cap, and to arrange the magnetoresistive element that catches magnetic field signals with strict parallelism and gap spacing to the rotating magnetic recording medium. .

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、従来の技術では、ステンレス月料からな
る磁気抵抗センサ用のケース本体に、薄いステンレス箔
からなる前面キャップを、寸法精度の高い状態で取付け
ることは困難視されている。
(Problem to be solved by the invention) However, with the conventional technology, it is difficult to attach a front cap made of thin stainless steel foil to a magnetoresistive sensor case body made of stainless steel with high dimensional accuracy. being watched.

従って、従来にあっては、磁気式角度検出器に使用され
る強磁性抵抗体を用いた磁気センサ用ケースに精度の高
いものが得られず、磁気記録媒体と磁気センサとの配設
の際の寸法精度が出しにくいという問題があった。
Therefore, in the past, it has not been possible to obtain a highly accurate case for a magnetic sensor using a ferromagnetic resistor used in a magnetic angle detector, and when arranging the magnetic recording medium and the magnetic sensor, There was a problem that it was difficult to achieve dimensional accuracy.

また、ケース本体と前面キャップとの接合部に隙間がで
きて、そこから水分、油分、塵埃などが浸透しケース本
体内の磁気抵抗センサの誤動作の原因になったり、また
前面キャップがヒートショック・機械的振動などにより
」二記ケース本体から剥離したりして、静止時から高速
回転までの幅広い速度領域でサーボモータ等の回転体の
位置決めが正確にてきなくなるなど諸々の問題が生じる
おそれがあった。
In addition, a gap may form at the joint between the case body and the front cap, allowing moisture, oil, dust, etc. to penetrate through the gap and cause the magnetic resistance sensor inside the case body to malfunction, and the front cap to be exposed to heat shock. There is a risk that the product may peel off from the case body due to mechanical vibrations, etc., resulting in various problems such as inaccurate positioning of rotating bodies such as servo motors in a wide speed range from static to high-speed rotation. Ta.

この発明は、−1−述してきた諸々の問題点に鑑みてな
されたもので、その目的とするところは、寸法精度が高
く、カリ温度、湿変、塵埃、水分、油分、などの雰囲気
条件から磁気抵抗センサのケース本体内に収納されてい
る磁気抵抗センサを保護し、ヒートショック・機械的振
動にも耐えることができ、しかも常にサーボモータ等の
回転体の位置決めが、静止時から高速回転時まで正確に
なし得る磁気抵抗センサ用ケースを提供することを目的
とする。
This invention was made in view of the various problems mentioned in -1-, and its purpose is to achieve high dimensional accuracy, and to improve atmospheric conditions such as potash temperature, humidity, dust, moisture, and oil. It protects the magnetoresistive sensor housed inside the magnetoresistive sensor case body from heat shock and mechanical vibration, and can always position rotating objects such as servo motors from rest to high speed rotation. It is an object of the present invention to provide a case for a magnetoresistive sensor that can be used accurately up to the time.

(課題を解決するための手段) この発明は、上記の目的を達成するために、平坦に仕上
げられた接合面を有するステンレス材料からなるケース
本体と、 そのケース本体の接合面に装着される非磁性ステンレス
箔からなる蓋部材と、 」1記蓋部材と上記ケース本体の接合面との間に介在さ
せた一定厚さの金属製スペーサおよびハンダ層とから構
成し、さらにステンレス箔からなる」1記蓋部材は、そ
の熱膨脹係数が装着される側の−に記ケース本体のステ
ンレス材料よりも大きく、しかもフォトエツチング加工
を施して形成することにより気密性と寸法精度が高く上
記雰囲気条件にも影響されず、しかもヒートショック・
機械的振動にも十分耐え得る磁気センサ用ケースを構成
したことを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention includes a case body made of stainless steel material having a flat joint surface, and a non-contact case body attached to the joint surface of the case body. It consists of a lid member made of magnetic stainless steel foil, a metal spacer and a solder layer of a certain thickness interposed between the lid member and the joint surface of the case body, and further made of stainless steel foil. The cover member has a coefficient of thermal expansion larger than that of the stainless steel material of the case body on the side to which it is attached, and is formed using a photo-etching process to ensure airtightness and dimensional accuracy, which also affects the above atmospheric conditions. No heat shock.
The magnetic sensor case is characterized by having a magnetic sensor case that can sufficiently withstand mechanical vibrations.

(作用) 上記構成からなるこの発明の磁気抵抗センサ用ケースに
よれば、上記各種条件下において次のように作用する。
(Function) According to the magnetoresistive sensor case of the present invention having the above-mentioned configuration, the case operates as follows under the various conditions described above.

まず、前面キャップ面を基準に接着などのノコ法により
磁気抵抗素子を固定することができるので、磁気抵抗媒
体に対して磁気抵抗体を精度良く配設できる。
First, since the magnetoresistive element can be fixed by a sawing method such as adhesion with the front cap surface as a reference, the magnetoresistive element can be accurately disposed with respect to the magnetoresistive medium.

次に、湿度、温度、水分、塵埃、油分などの雰囲気条件
の下では、ハンダ層が圧縮された状態で、ケース本体に
前面キャップが装着されており、気密性が十分保持され
ているので、磁気抵抗センザ用ケース内の電気回路や磁
気抵抗素子が影響されることはなくなる。
Next, under atmospheric conditions such as humidity, temperature, water, dust, and oil, the solder layer is compressed and the front cap is attached to the case body, which maintains sufficient airtightness. The electrical circuit and magnetoresistive element inside the magnetoresistive sensor case will not be affected.

次に、ヒートショック等の熱的条件下にあっては、ハン
ダ層を介したことでケース本体と前面キャップとの熱膨
張率の差からくる歪みを吸収するので、剥離や変形によ
り接合部に隙間が生じたりするのが防止される。
Next, under thermal conditions such as heat shock, the solder layer absorbs the strain caused by the difference in coefficient of thermal expansion between the case body and the front cap, so the bonded part may be damaged due to peeling or deformation. This prevents gaps from forming.

機械的振動などの条件下では、従来の接着剤による接合
に比べ、スペーサとハンダ層を介在させたことにより数
段優れた耐震性を有する。また、非磁性のステンレス箔
が前面キャップに用いられているので、電気ノイズなど
の影響は極力防止され、磁気抵抗体のセンサとしての役
割が有効に果たせることになる。
Under conditions such as mechanical vibration, the spacer and solder layer provide superior earthquake resistance compared to conventional adhesive bonding. Furthermore, since non-magnetic stainless steel foil is used for the front cap, the effects of electrical noise and the like are prevented as much as possible, allowing the magnetic resistor to effectively fulfill its role as a sensor.

(実施例) 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。(Example) Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第1図は、この発明の磁気抵抗センサ用ケースが、磁気
式角度検出器として使用される場合の実施例で、図中2
0はサーボモータ、30は磁気式角度検出器(以下角度
検出器き称する)、31は増幅回路である。
FIG. 1 shows an embodiment in which the magnetoresistive sensor case of the present invention is used as a magnetic angle detector.
0 is a servo motor, 30 is a magnetic angle detector (hereinafter referred to as angle detector), and 31 is an amplifier circuit.

サーボモータ20の回転軸20aには、第2図に示すよ
うに円板状の磁気記録媒体21が設けられていて、その
端面21aにはN極S極が交互に5己録されている。
As shown in FIG. 2, a disc-shaped magnetic recording medium 21 is provided on the rotating shaft 20a of the servo motor 20, and five north and south poles are recorded alternately on the end surface 21a.

磁気記録媒体21の端面21aと開口するように第3図
に示す角度検出機器30の磁気抵抗センサの役割を果た
す磁気抵抗素子2が配設されている。この磁気抵抗素子
2には、磁気抵抗体22が等間隔で8本並列に設けられ
ている。
A magnetoresistive element 2 serving as a magnetoresistive sensor of an angle detection device 30 shown in FIG. 3 is disposed so as to be open to the end surface 21 a of the magnetic recording medium 21 . In this magnetoresistive element 2, eight magnetoresistive bodies 22 are provided in parallel at equal intervals.

第3図で示すように、磁気センサ用ケースAは、ステン
レス材料からなるケース本体1とそのケース本体1に装
着される非磁性ステンレス箔からなる蓋部材である前面
キャップ3と背面キャップ4とから構成されている。す
なわち、ケース本体1に前面キャップ3が装着されると
、その中に磁気抵抗素子2.素子基板5.フレキシブル
配線板6゜両面プリント配線板7.集積回路基板81人
出力端子9などが内蔵される。また、入出力端子9を紅
白したワイヤ10は、ケーブル11にてまとめられ、最
終的には磁気抵抗センサ用ケースA内に樹脂を注入した
後、背面キャップ4で密封することにより角度検出器3
0の磁気センサ部30aが完成する。
As shown in FIG. 3, the magnetic sensor case A consists of a case body 1 made of stainless steel, a front cap 3 and a back cap 4 that are lid members made of non-magnetic stainless steel foil attached to the case body 1. It is configured. That is, when the front cap 3 is attached to the case body 1, the magnetic resistance elements 2. Element substrate 5. Flexible wiring board 6゜Double-sided printed wiring board 7. An integrated circuit board 81, output terminals 9, etc. are built-in. In addition, the wires 10 with red and white input/output terminals 9 are bundled together with a cable 11, and finally, after injecting resin into the magnetoresistive sensor case A, the angle detector 3 is sealed with a rear cap 4.
The magnetic sensor section 30a of No. 0 is completed.

この発明の磁気抵抗センサ用ケースAは、温度。Case A for a magnetoresistive sensor of the present invention is a temperature sensor.

湿度、塵埃、水分、油分などの雰囲気条件に加え、ヒー
トショック・機械的振動などの苛酷な条件下で使用され
るため、この条件に耐え得るように、第4図ないし第6
図で示すような順序で作られている。
In addition to the atmospheric conditions such as humidity, dust, moisture, and oil, it is used under severe conditions such as heat shock and mechanical vibration.
They are made in the order shown in the figure.

まず、ケース本体1の平坦な切削加工端面で形成した接
合面1aに、ステンレス箔からなる金属製スペーサ12
を避けてペースト状のハンダ層13が印刷されている。
First, a metal spacer 12 made of stainless steel foil is attached to the joint surface 1a formed by the flat cut end surface of the case body 1.
A paste-like solder layer 13 is printed while avoiding.

印刷厚さはスペーサ12の厚みより厚く印刷されている
The printing thickness is thicker than the thickness of the spacer 12.

そして、第4図に示すように、ケース本体1の接合面1
aに、金属スペーサ12と非磁性ステンレス箔からなる
前面キャップ3とを載せ、次いで位置合わせビン14を
ケース本体1に設けた孔16に合わせて挿入し、錘15
を載せセットが完了する。
Then, as shown in FIG. 4, the joint surface 1 of the case body 1
a, place the metal spacer 12 and the front cap 3 made of non-magnetic stainless steel foil, then insert the alignment bottle 14 into the hole 16 provided in the case body 1, and insert the weight 15.
The set is completed.

このようにして、加熱炉中に送り、約300℃でハンダ
のりフローを行なって、ハンダ付けを完了した。
In this manner, it was sent into a heating furnace and solder flow was performed at about 300° C. to complete soldering.

なお、前面キャップ3は、オーステナイト系ステンレス
鋼、例えばJIS規格による5US316の箔をフォト
エツチング加工により無歪状態で磁気抵抗素子2を装着
するためのフォトエツチングにより取付部3aおよびハ
ンダ付けの位置合せ貫通孔3bなどが形成され、かつ、
所望の形状に形成されている。
The front cap 3 is made of austenitic stainless steel, such as 5US316 foil according to the JIS standard, by photo-etching so that the mounting portion 3a and soldering positioning holes are formed by photo-etching in order to mount the magnetoresistive element 2 in a stress-free state. Holes 3b etc. are formed, and
It is formed into a desired shape.

そして、前面キャップ3のステンレス箔の熱膨脹係数は
15.9xlO−6/C’で、一方ケース本体1側は、
比較的ニッケル量の高い合金、例えばJIS規格5US
33Qの丸棒を機械加工して作成し、その熱膨脹係数は
14.4X10’/C°で、前面キャップ3のステンレ
ス箔よりも小さいもので形成されている。この理由はハ
ンダ付は作業の冷却過程で両部材の熱収縮量の差で前面
キャップ3を撓ませないことにある。
The thermal expansion coefficient of the stainless steel foil on the front cap 3 is 15.9xlO-6/C', while on the case body 1 side,
Alloys with relatively high nickel content, such as JIS standard 5US
It is made by machining a 33Q round bar, and its coefficient of thermal expansion is 14.4 x 10'/C°, which is smaller than the stainless steel foil of the front cap 3. The reason for this is that soldering does not cause the front cap 3 to bend due to the difference in the amount of heat shrinkage between the two members during the cooling process.

第6図は、ハンダ付けが完了したケース本体1への前面
キャップ3の取付状態を示したもので、ハンダ層13が
スペーサ12の厚さに圧縮され、スペーサ12の平坦面
に面一になるようケース本体1に前面キャップ3がハン
ダ層13を介して撓みのない状態で、かつ、気密性が保
たれた状態で装着されている。また、前面キャップ3の
平坦面からなる取付部3aには、磁気抵抗素子2の端面
が気密性と寸法精度を保った状態で取付けられている。
FIG. 6 shows the state in which the front cap 3 is attached to the case body 1 after soldering. The solder layer 13 is compressed to the thickness of the spacer 12 and becomes flush with the flat surface of the spacer 12. A front cap 3 is attached to the case body 1 via a solder layer 13 without bending and with airtightness maintained. Furthermore, the end face of the magnetoresistive element 2 is attached to the attachment portion 3a, which is a flat surface of the front cap 3, while maintaining airtightness and dimensional accuracy.

(効果) この発明は、上記したように、ケース本体に装着される
蓋部材が非磁性ステンレス箔で形成されかつ、蓋部材に
磁気抵抗素子を直接に接着するようにしたものであるか
ら、磁気式角度検出器の組立てが著しく容易となる。ま
た、この発明による磁気センサ用ケースは、温度、湿度
、塵埃、水分。
(Effects) As described above, in this invention, the lid member attached to the case body is made of non-magnetic stainless steel foil, and the magnetic resistance element is directly bonded to the lid member. Assembling the angle detector becomes significantly easier. In addition, the magnetic sensor case according to the present invention is capable of handling temperature, humidity, dust, and moisture.

油分などの雰囲気条件下でも磁気抵抗センサのケース本
体内に収納される電気回路および磁気センサを保護し、
ヒートショック・機械的振動にも耐え得ることができ、
しかも常にサーボモータ等の回転体の位置決めが、静止
時から高速回転時まで幅広い回転領域で正確になし得る
ことになるなど多くの効果を奏する。
Protects the electric circuit and magnetic sensor housed inside the magnetoresistive sensor case body even under atmospheric conditions such as oil.
Can withstand heat shock and mechanical vibration,
Furthermore, there are many effects such as the ability to always accurately position a rotating body such as a servo motor in a wide range of rotations from standstill to high speed rotation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明が用いられる角度検出器をサーボモー
タに適用した一実施例を示す概略平面図、第2図はサー
ボモータに取付けた磁気記録媒体と磁気抵抗素子との配
置関係を示す斜視図、第3図はこの発明の磁気抵抗セン
サ用ケースの一実施例を示す要部拡大断面図、第4図な
いし第6図はこの発明のケース本体への前面キャップの
取付状態を示す各々要部拡大断面図、要部拡大平面図、
要部拡大断面図である。 1・・・ケース本体 1a・・・接合面 3・・・前面キャップ 12・・・金属製スペーサ 13・・・ハンダ層 特許出願人  日立粉末冶金株式会社
FIG. 1 is a schematic plan view showing an embodiment in which an angle detector according to the present invention is applied to a servo motor, and FIG. 2 is a perspective view showing the arrangement relationship between a magnetic recording medium and a magnetoresistive element attached to the servo motor. 3 are enlarged cross-sectional views of essential parts showing an embodiment of the case for a magnetoresistive sensor of the present invention, and FIGS. 4 to 6 are respective main parts showing how the front cap is attached to the case body of the present invention. Enlarged sectional view, enlarged plan view of main parts,
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of main parts. 1...Case body 1a...Joint surface 3...Front cap 12...Metal spacer 13...Solder layer Patent applicant Hitachi Powder Metallurgy Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 平坦に仕上げられた接合面を有するステンレス材料
からなるケース本体と、 そのケース本体の接合面に装着される非磁性ステンレス
箔からなる蓋部材と、 上記蓋部材と上記ケース本体の接合面との間に介在させ
た一定厚さの金属製スペーサおよびハンダ層と、から構
成したことを特徴とするオーステナイト系ステンレス製
の磁気抵抗センサ用ケース。 2 特許請求の範囲第1項記載のステンレス箔からなる
蓋部材は、熱膨脹係数が装着される側の上記ケース本体
のステンレス材料よりも大きく、かつ、フォトエッチン
グ加工を施すことにより形成されていることを特徴とす
るオーステナイト系ステンレス製の磁気抵抗センサ用ケ
ース。
[Claims] 1. A case body made of a stainless steel material and having a flat joint surface, a lid member made of non-magnetic stainless steel foil attached to the joint surface of the case body, and the lid member and the case. A case for a magnetoresistive sensor made of austenitic stainless steel, characterized by comprising a metal spacer of a constant thickness and a solder layer interposed between the case and the joint surface of the main body. 2. The lid member made of stainless steel foil as set forth in claim 1 has a coefficient of thermal expansion larger than that of the stainless steel material of the case body on the side to which it is attached, and is formed by photo-etching. A magnetoresistive sensor case made of austenitic stainless steel featuring:
JP1020072A 1989-01-30 1989-01-30 Case for magnetic resistance sensor Pending JPH02201183A (en)

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