JPH0219706A - 表面測定方法 - Google Patents
表面測定方法Info
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- JPH0219706A JPH0219706A JP16899188A JP16899188A JPH0219706A JP H0219706 A JPH0219706 A JP H0219706A JP 16899188 A JP16899188 A JP 16899188A JP 16899188 A JP16899188 A JP 16899188A JP H0219706 A JPH0219706 A JP H0219706A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、表面測定方法に関し、とりわけ、電気伝導
体の表面測定方法に関するものである。
体の表面測定方法に関するものである。
第２図はＪＩＳ Ｂ ０６５１（１９５５）に規定
されている従来の触針式表面粗さ測定機のうち、電気的
拡大方式のもので、試料（１１）に接触する触針（１２
）は送り装ｆｔ（１３）Ｋ取付けられており、触針（１
２）に結合された検出装＠（１４）は増幅器（１５）を
経て制御・記録装置（１６）に接続されている。
されている従来の触針式表面粗さ測定機のうち、電気的
拡大方式のもので、試料（１１）に接触する触針（１２
）は送り装ｆｔ（１３）Ｋ取付けられており、触針（１
２）に結合された検出装＠（１４）は増幅器（１５）を
経て制御・記録装置（１６）に接続されている。
以上の装置による表面測定は、送り装ｆ（１３）によっ
て触針（１２）は試料（１１）の表面上を接触しながら
移動し試料（１１）の表面粗さは触針（１２）の上下運
動として検知される。触針（１２）の上下運動は検出装
置１（Ｉｆ）によって電気信号に変換され、この信号は
増幅器（１５）により増幅され、制御装置（１６）で処
理された後、記録される。
て触針（１２）は試料（１１）の表面上を接触しながら
移動し試料（１１）の表面粗さは触針（１２）の上下運
動として検知される。触針（１２）の上下運動は検出装
置１（Ｉｆ）によって電気信号に変換され、この信号は
増幅器（１５）により増幅され、制御装置（１６）で処
理された後、記録される。
従来の表面測定方法は、以上のような物理的な接触によ
る計測のほか、光、′１を子等の散乱を利用した方法も
あるが、いずれの場合も１局所的（ミクロ）な表面粗さ
の評価に対しては適しているが、広い面積についての粗
さの積分量や平均値等のマク０（全体的）な評価には適
していないという問題点があった。
る計測のほか、光、′１を子等の散乱を利用した方法も
あるが、いずれの場合も１局所的（ミクロ）な表面粗さ
の評価に対しては適しているが、広い面積についての粗
さの積分量や平均値等のマク０（全体的）な評価には適
していないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためＫなされ
たもので、広い面積に渡る表面粗さの積分量を評価でき
る表面測定方法を得ることを目的とする。
たもので、広い面積に渡る表面粗さの積分量を評価でき
る表面測定方法を得ることを目的とする。
この発明に係る表面測定方法は、試料片を高周波空洞内
壁に配置し、空洞のＱ値および共振周波数を測定するこ
とによって試料の表面の粗さおよび抵抗値を評価するも
のである。
壁に配置し、空洞のＱ値および共振周波数を測定するこ
とによって試料の表面の粗さおよび抵抗値を評価するも
のである。
この発明においては、試料片の表市粗さは＾周波電流に
対する抵抗値として測定される。
対する抵抗値として測定される。
以下、この発明の一実施例を第１図を多照して説明する
。図において、良等体により作られた円管形の筒周改共
掘空洞（１）に高周波電力入力部（２）および高周波ピ
ックアップ部（３）が接続されている。
。図において、良等体により作られた円管形の筒周改共
掘空洞（１）に高周波電力入力部（２）および高周波ピ
ックアップ部（３）が接続されている。
共洞内壁には導体でなる試料片（４）が取付けられてい
る。（５）はスペクトルアナライザである。
る。（５）はスペクトルアナライザである。
共振空洞（１）の共振のＱ値および共振周改数ωは、ω
Ｌ Ｑ ＝□ ・・・・・・（１）で表わ
される。（１）式でＬは空洞のインダクタンス、Ｒは空
洞内壁の高周波抵抗を表わす。いま、穿洞（１）の内壁
面上に表面測定を行いたい面を上にして試料片（４）を
固定する。この際、空洞（１）の内壁と試料片（４）と
の間の電気的接触は十分に良くとられなければならない
。
Ｌ Ｑ ＝□ ・・・・・・（１）で表わ
される。（１）式でＬは空洞のインダクタンス、Ｒは空
洞内壁の高周波抵抗を表わす。いま、穿洞（１）の内壁
面上に表面測定を行いたい面を上にして試料片（４）を
固定する。この際、空洞（１）の内壁と試料片（４）と
の間の電気的接触は十分に良くとられなければならない
。
空洞（１）の共振により励起される表面電流の一部は試
料片（４）を流れ、試料片（４）の表面抵抗値により空
洞（１）のＱ値が変化する。
料片（４）を流れ、試料片（４）の表面抵抗値により空
洞（１）のＱ値が変化する。
角周波数ωの高周波に対する電流の表皮厚δはμ０ω
で与えられる。ただし、ρ：電気伝導率、μ０：真窒の
透磁率である。
透磁率である。
例えば、銅については、ρ＝１．７ Ｘ １０−”Ω・
ｍを用いてμＯ＝４πＸ Ｉ Ｑ−１？、ω／２π＝１
３０ＭＨｚとすると、δ′：６μ尻 である。
ｍを用いてμＯ＝４πＸ Ｉ Ｑ−１？、ω／２π＝１
３０ＭＨｚとすると、δ′：６μ尻 である。
試料片（４）の表面抵抗は流れる電流の経路の長さに比
例するが、表面の粗さがδ以上であると電流の全経路に
対する粗さＫよる沿面距離の比が大きくなり抵抗値が変
化する。
例するが、表面の粗さがδ以上であると電流の全経路に
対する粗さＫよる沿面距離の比が大きくなり抵抗値が変
化する。
ＩＬ
従って表面のＸさの情報が表面抵抗値を介してＱ ｆｌ
ｌの変化として表われ、Ｑ値を測定することにより試料
片表面の様子を測定できる・ なお、上記実施例では円管形の共振空洞を用いているが
、共振空洞の形状は任意でよく、電気的な共振回路を形
成していれはよい。
ｌの変化として表われ、Ｑ値を測定することにより試料
片表面の様子を測定できる・ なお、上記実施例では円管形の共振空洞を用いているが
、共振空洞の形状は任意でよく、電気的な共振回路を形
成していれはよい。
また、上記実施例では表面粗さの測定を目的としている
が、単なる抵抗測定に適用してもよい。
が、単なる抵抗測定に適用してもよい。
以上のように、この発明によれば、表面粗さを高周波電
流に対する抵抗値として測定するので、試料片の大面積
に渡る粗さの積分量を容易に評価することができる。
流に対する抵抗値として測定するので、試料片の大面積
に渡る粗さの積分量を容易に評価することができる。
第１図はこの発明の一実施例を１８明するための装置の
概略斜視図、第２図は従来の表面測定装置の立面図であ
る。 （１）・ｅ高周波共振空洞、（２）・−高周波電力入力
部、（３）・・高周波ピックアップ部、（４）・・試料
片、（５）−−スペクトルアナライザ。 １：ｆ１１園ｙＬ六仮空洞 ４：萩ｙｐｒＪ’Ｊ
概略斜視図、第２図は従来の表面測定装置の立面図であ
る。 （１）・ｅ高周波共振空洞、（２）・−高周波電力入力
部、（３）・・高周波ピックアップ部、（４）・・試料
片、（５）−−スペクトルアナライザ。 １：ｆ１１園ｙＬ六仮空洞 ４：萩ｙｐｒＪ’Ｊ
Claims (1)
- 高周波共振空洞の内壁に電気伝導体でなる試料片を配置
し、前記高周波共振空洞のＱ値、共振周波数の変化を測
定することにより前記試料片の表面粗さの評価をする表
面測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16899188A JPH0219706A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 表面測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16899188A JPH0219706A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 表面測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0219706A true JPH0219706A (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=15878330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16899188A Pending JPH0219706A (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | 表面測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0219706A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004043760A1 (de) * | 2004-01-15 | 2005-08-11 | Daimlerchrysler Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen von Geometriemerkmalen eines Hohlraums |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP16899188A patent/JPH0219706A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004043760A1 (de) * | 2004-01-15 | 2005-08-11 | Daimlerchrysler Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen von Geometriemerkmalen eines Hohlraums |
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