JPH02176620A - スキャナー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用コ 本発明はトーションバー共振スキャナーに関する。

［従来の技術］ 共振スキャナーは、トーションバネ、光学素子及びトル
ク発生素子の３つの基本部品を有する。

典型的な応用においては、共振スキャナーは感光表面を
横切ってラスク一方式で合焦光線を動がすために使用す
る。スキャナーは所定範囲の角度に亘って正弦振動する
捻れ振り子として作動する。

作動周波数は、トーションバネのバネ率及び回転部分の
回転慣性により一定に保持される。共振スキャナーに使
用するトーションバネは典型的には大きな機械的なｒＱ
Ｊを有する。

トーションバーは多量のエネルギを蓄積する能力及び小
さな回転慣性を有するため、他の型式のバネよりも高い
周波数を許容する。しかし、トションバーは、回転モー
ドで首尾良く作動している間でさえも、いくつかの不当
な振動モードにより不安定となる。最も一般的な不当な
振動モードは、横軸自励振動による動揺又は曲げモード
である。実際、トーションバーは典型的には、トーショ
ンバーにより支持した光学素子を部分的にのみ拘束して
所望の捻りモードで運動させるように、捻りにおける高
効率と曲げにおける高効率とが同じになっている。

トーションバー共振スキャナーは他の構造に比へ多数の
利点を有する。例えば、構造が簡単であり、パワーの消
費が少なく、高周波数で作動できる。２種の型式のトー
ションバー共振スキャナが知られており、一方はトーシ
ョンバーとハウジングとの間での中実装着型式のもので
あり、他方はトーションバーとハウジングとの間での端
部装着型式のものである。

米国特許第３，６６６．９７４号明細書には中実装着型
式の共振スキャナーが開示されている。

このスキャナーにおいては、単一のトーションロッドを
使用し、その中央部をバネ装着体で支持し、装着体の両
側のロンド部分を反対方向に回転させる。装着体は固定
の節点に位置し、２つの反対方向に振動するトーション
ロッドの両側部分間の最高の機械的な連結を提供すると
共に、ロンドの両側部分から支持フレーム構造体へのト
ルク力の伝達を減少させる。従って、極めて小さなトル
ク発生振動しか支持フレーム構造体へ伝達させないよう
にして、システムの効率を維持している。

米国特許第３，６４２，３４４号明細書には、一対の可
撓性部材を介してフレームに両端を接続したトーション
ロッドを有する端部装着型式のトションバー発振器が開
示されている。この装置は２つの共振周波数で作動する
。装置を高共振周波数で作動させたとき、トーションロ
ッド上の鏡及びトーションロッド端部のロータが反対方
向に振動し、鏡とロータとの相対慣性モーメントに依存
した地点において、鏡とロータとの間のトーションロッ
ド上に一対の節点を提供する。この構成においては、ト
ーションロッドの中実装着を排除することにより、トー
ションロッドの所望の振動の減衰を阻止すると共に、ト
ーションロッドからスキャナーを装着した装置への振動
の伝達をも阻止するようにしている。この構成において
は、トーションロッドの両端に設けたカウンタウェイト
が振動鏡においてピックアップから取出された増幅信号
に応じて作動せしめられるロータとして作用する。

［発明の構成］ 本発明の一形態によれば、　（イ）回転周波数ｆＡのた
め少なくとも１つの節点Ａをバネ上で画定する段階と、
　（ロ）振動周波数ｆＢのため少なくとも１つの節点Ｂ
をバネ上で画定する段階と、（ハ）前記節点Ｂからある
距離離れた前記節点Ａにおいてバネ上に、周波数ｆＢで
の振動の伝達を内部で減衰させることのできる少なくと
も１つのダンパを配置する段階とを有する共振スキャナ
ーのバネを隔離する方法が提供される。

本発明の一実施例においては、所望の回転振動を阻害す
ることなく不当な（非所望の）振動モードを減衰する位
置でスキャナーのトーションバー上に設けたダンパを具
備する。トーションバーはダンパのみを介してスキャナ
ーのハウジングに物理的に連結している。

本発明の実施例によれば、捻りに対して剛直なダンパは
、一端に鏡装着部を有し他端にトルク源を有するトーシ
ョンバーの捻り節点に位置する。

代りに、２つのダンパを設け、これらのダンパを、一端
に少なくとも１つのカウンタウェイトを有する対称的な
トーションバー上の鏡装着部の両側に位置した対応する
捻り節点に配置してもよい。

−実ｍ例において、トーションバーのためのハウジング
を設ける。ハウジングは室を画定し、２つのダンパリン
グを備えたバッファインサートを有するダンパを室内に
装着する。トーションバーは第１座を画定し、第１ダン
パリングを第１座に装着してスリーブ（カラー）の内壁
に係合させる。

スリーブの外壁はバッファインサートの内壁に係合させ
る。バッファインサートの外壁はハウジングの室の内壁
に係合させる。スリーブはまた第２座を画定し、第２ダ
ンパリングを第２座に装着して室の内壁に係合させる。

本発明の特徴は、　（イ）張力状態下におかれたときに
トーションバーの実質的な回転が生じないようなしかも
（ロ）他の振動モードからの実質的な動揺（不安定）が
生じないような地点でスキャナーのトーションバー上に
捻りに対して剛直なダンパを配置できることである。こ
のダンパはトションバーとハウジングとの間のみを物理
的に連結している。従って、ダンパはトーションバーに
沿って最大の捻り連結を提供すると共に、トーションバ
ー上の不当な振動を減衰し、また同時に外部の素子に対
するトーションバーの接続を最少化する。ダンパは粘弾
性材料でつくるとよい。

本発明の別の形態によれば、トーションバーの端部に設
けたカウンタウェイトは２コイルモータのロータとして
作用し、第１コイルはモータを駆動し、第２コイルはロ
ータの速度を感知する。本発明の一実施例において、ト
ーションバースキャナーは感知コイルと、駆動コイルと
、中央の開口を有するボビンとを備え、ボビンはスキャ
ナーのハウジングに装着することができ、２つのコイル
は互いにほぼ直角にボビンに巻かれており、カウンタウ
ェイトはロータを画定すると共にボビン内に取付けでき
る。

このコイル構成の一つの特徴は、コイル及びロータがト
ルク源として作用できることである。このコイル構成の
別の特徴は、２つのコイル間に生じる電気的な結合が最
少であり、コイルとトーションバーとの間に物理的な結
合を何等必要としないことである。

本発明の他の形態によれば、不当な横軸振動の節点とは
別の位置において所望の回転周波数のための少なくとも
１つの節点を画定するに当り、次に示す諸式からＮを求
めて、少なくとも１つの所望の節点を位置決めし、次い
で、この所望の節点から離れた地点で少なくとも１つの
不当な節点を再度位置決めする。なお、Ｎは鏡から測定
した一定の節点の位置に等しい。

Ａ＝Ｆ／ＥＬＸ　（Ｌ２／２＋ａＬ） ＋ＭＬ／Ｅ　１： Ｙ２＝　Ｆ／Ｅ　Ｌ　Ｘ　（Ｌ”／　３　＋　ａ　Ｌ２
＋　ａ”Ｌ）＋　Ｍ／　Ｅ　Ｌ　Ｘ　（Ｌ　／　２　＋
ａ　Ｌ　）　＋　Ｙ　１Ｆ＝　（２πｆ）　２装２ｍ２ ＝　−（２ｘ　ｆ　）　２装１ｍ１ Ｍ＝（２πｆ）　２ＡＪ Ｏ＝　（ＦＮ３／３＋ＭＮ２／２＋ｆ　（Ｌ−Ｎ＋ａ　
）　Ｘ　Ｎ２／　２）　　（１／　Ｅ　Ｉ　）　＋Ｙ１
゜ここに、Ａは休止位置からの磁石の偏向角度、Ｆは磁
石の重心での反力、Ｍはトーションバーの磁石端部での
合計モーメント、Ｙ工は休止位置からの鏡の変位量、Ｙ
２は休止位置からの磁石の変位量、ａは磁石の重心から
トーションバーの端部までの距離、Ｎは鏡から測定した
節点の位置、Ｌは鏡と磁石との間のトーションバーの合
計長さ、ｍｌは光学素子の質量の１／２、ｍ２はカウン
タウェイトの質量、Ｊはトーションバーの軸線に直角な
方向のカウンタウェイトの回転慣性、Ｅはヤング率、■
はトーションバーの慣性面積モーメントである。

本発明の更に別の形態によれば、共振回転する機械的な
装置が提供され、この装置は、ベース（フレーム）に装
着したトーションバネと、トーションバーの長手方向に
沿った第１節点で実質的な回転を生じさせない所望の回
転モードで回転運動できるように該トーションバネに支
持された質量体とを備え、この機械的な装置が第１節点
から離れた第２節点で共振運動を生じない可能な共振運
動の非所望モードを有し、第１節点が、所望のモードで
の回転を実質上減衰せずに非所望モードでの運動を実質
上阻止すべく、非所望モートの共振運動を減衰できるダ
ンパ内に保持されている。

［実施例コ １ｇ 当業者にとっては、光源からの情報担持光線を鏡の表面
から制御された状態で反射させ、所望のラスタ一方式で
目標物（対象物）を走査する共振スキャナーの作動につ
いては、理解できると考える。この特徴は第１図から判
る。第１図において、共振スキャナー２０は発振器組立
体４０を収容したフレーム３０を有する。発振器組立体
は鏡２８を備え、光源からの光線をこの鏡の表面で反射
させて対象物の表面をラスタ一方式で走査する。

組立体４０はトーションバーＴの両端に位置した２つの
カウンタウェイト１９．２０′を有する。

トーションバーＴは４つのバネ素子２１．２２．２３．
２４を有し、バネ素子２１．２２は単一のバネロッドＴ
□を画定し、バネ素子２３．２４も同様に単一のバネロ
ッドＴ２を画定する。ロッドＴ工、Ｔ２には２つのダン
パ装着部６０．６２がそれぞれ形成しである。

鏡装着部２９はバネ材料（例えば、チタン）をフライス
加工して形成してあり、鏡２８を装着部２９に取付けた
ときに、半径方向のバランス及び＝２０− 対称性がバネロッドＴ１に対して得られるようになって
いる。装着部２９は捻りに対して剛直であり、第１及び
第２装着ポスト２９ａ、２９ｂを具備する。これらの装
着ポストは好適には、鏡装着部に一体のフランジであり
、バネ素子２２．２３の装着ポスト２２ａ、２３ｂをそ
れぞれ収容し、これらと共働する。更に、各対の装着ポ
スト２２ａ、２９ａ及び２３ｂ、２９ｂは（例えばエポ
キシ樹脂で）−緒に結合され、それによってロッドＴ１
、Ｔ２は捻りに対して剛直な鏡装着部２９を介して有効
に剛直に連結される。また、トーションバーＴの端部に
画定された装着ポスト２１ａ、２４ｂのそれぞれに対応
するカウンタウェイト１９．２０を同様の方法で装着す
る。

第２図を参照すると、ダンパ装着部６０．６２はトーシ
ョンバーＴ上に形成されていてダンパ２５．３３をそれ
ぞれ装着する。組立体４０はダンパ２５．３３を介して
ハウジングに装着されるようになっている。ただし、第
１．２図にはそのような装着状態を示さない。ダンパ２
５．３３は、後述するように、スキャナーの所望の捻り
振動周波数を提供するため、捻り節点４８．４９にそれ
ぞれ位置決めされる。

一方又は両方のカウンタウェイトを電気モータのロータ
として適当に駆動する場合のように、組立体４０に充分
なトルクを加えたとき、所望のラスター走査パターンを
達成するための所望の振動パターンが確立され、鏡２８
はカウンタウェイト１９．２０とは反対の方向に捻り振
動する。この場合、このような振動の所望の節点は地点
４８．４９において確立される。

第１図に示すように、カウンタウェイト２０は電気モー
タＭ工のロータの付加的な機能を果す。

モータＭ工はフレーム３０に装着しであるが、ロータ　
（カウンタウェイト）２０′には物理的に結合していな
い。その結果、発振器とフレーム（従って、外界）との
物理的結合は２つのダンパのみを介して行なわれる。

詳細には、第１図のダンパ組立体、特にダンパ組立体Ａ
を参照すると、この組立体Ａはダンパ装着部６０に装着
したＯ−リング２５を有し、このＯ−リングはアルミニ
ウムスリーブ６３の自由端の内部にかん合しである。ス
リーブ６３はフォム樹脂製スリーブの如きバッファイン
サート６７内に強固に着座している。バッファインサー
ト６７はハウジング３０の内壁６５に係合してハウジン
グ３０内に強固に装着されている。スリーブ６３の第２
端部の外周に装着部６４を形成し、この装着部に○−リ
ング２６を収容する。このように装着したＯ−リング２
６は装着部６４とフレム（ハウジング）３０の内壁との
間にがん合される。このような構成においては、０−リ
ング２５．２６及びバッファインサート６７はそれぞれ
好適には減衰材料でつくる。従って、トーションバＴが
捻りに対する応答性を維持した状態で、トーションバー
Ｔと外界との間の振動伝達は最少となる。第２のダンパ
組立体はダンパ装着部６２の近傍に位置するが、第１図
にはその詳細を示さない。

ここで、第３図を参照すると、別の実施例に係るスキャ
ナー５０は単一のメタルシャフトＳから＝２３一 つくった２つのバネ素子３５．３８を有するトーション
バーＴｉを具備する。シャフトＳの一端に形成された鏡
装着部４６に鏡３４が取付けである。

シャフトＳはバネ素子３５により鏡装着部４６に連結し
た拡大装着部４３をも有する。拡大装着部４３は、Ｏ−
リング３６．３７の如き適当な減衰材料をそれぞれ取付
ける第１の座○□及び第２の座０２を画定する。装着部
４３は好適には捻りに対して充分剛直であり、トーショ
ンバーＴｉにトルクを加えたときにＯ−リング３６．３
７間に実質的な回転差を生じさせないようにしている。

シャフトＳの細長いバネ素子３８はバネ素子３５とは反
対側で拡大装着部４３に連結し、拡大半径のカップリン
グ３９で終端している。カップリング３９は、シャフト
Ｓのこの端部をモータＭ２のロータとして作用させるよ
うに、磁極片４７を取附けることができる。２つの共働
するハウジング部分４４．４５は、装着部４３及びダン
パ２５．３３を挟んだ状態でクランプし、これらの素子
４３．２５．３３と共働してスキャナーのだめの捻りに
対して安定した装着体を提供する。

第３図には示さないが、これらのハウジング部分及びモ
ータは共通のフレームに装着しであることに留意された
い。

この実施例の作動においては、モータＭ２が往復周波数
でシャフトＳを駆動して、鏡及びロータを反対方向の位
相で振動させる。この場合、振動の所望の周波数のため
の捻り節点は装着部４３に位置する。それ故、この実施
例は、所望の捻り振動を制限せずに、ハウジングへの減
衰接続を提供する。

通常、上述の型式の如きスキャナーはスキャナー駆動信
号を正確に決定するためのセンサを具備する。モータＭ
工、Ｍ２は駆動−コイル３１．４１及び感知コイル３２
．４２を有するものとして示した。このような構成にお
いて、感知コイルはロータの速度を連続的に感知し、感
知信号を制御ユニットへ送って駆動コイルへ供給すべき
駆動信号を決定する。

コイル３１．３２（又は４１．４２）は、これら２つの
コイルが互いに直角になるように、単一のボビンに巻か
れている。コイル３１は駆動子として作用し、コイル３
２はセンサとして作用する。

この構成は駆動コイルと感知コイルとの間の結合を最小
化し、実際のロータ速度を反映するコイル３２からの一
層正確な感知信号を提供する。その結果、スキャナーも
一層正確に駆動せしめられる。

実際、感知コイルで感知した速度信号が適当な増幅器へ
フィードバックされたときに、スキャナは所望の周波数
で自己振動するように駆動せしめられる。第１図に示す
ようなスキャナーは、ピクからピークまでの３０’の角
度に亘って２００ヘルツの如き周波数で振動するように
構成することができる。第４図に示すようなスキャナー
は、ピークからピークまでの２°の角度に亘って１２．
０００ヘルツの如き周波数で振動するように構成するこ
とができる。しかし、このような振動周波数（及び角度
変位）は、後述するように、単なる設計上の選択事項に
すぎず、これに限定されない。

共振スキャナーのトーションバーは低周波数及び高周波
数で種々の振動モードからの妨害を受ける。例えば、　
（使用者がハウジングにぶつかった場合に生じるような
）外界からの振動や（カウンタウェイトが反対方向に回
転し始める場合に生じゆるような）内部の不連続運動に
より、装置の挙動は劣化する。はぼ所望の振動パターン
で振動している場合でさえも、例えば曲げモードで、ト
ーションバーを変形させることが可能である。この曲げ
モードは、回避しなければならないものと考えられる最
も重大な妨害影響となる振幅及び低周波数を有する種々
の不当な振動を折々伴う。

第４図を参照すると、非所望の（不当な）横軸（曲げ）
振動モードの節点５２．５３を示す。トーションバーＴ
を適当に設計することにより、節点５２．５３を、所望
の捻り節点たる節点４８．４９　（第２図）から離れオ
フセットした位置にそれぞれ発生させることができる。

この目的のために、ダンパ２５．３３の配置が重要とな
る。

詳細には、捻りモードの所望の節点が節点４８．４９に
おいて生じ、不当な並進（曲げ）モードの節点５２．５
３が節点４８．４９以外のトーションバーＴ上の位置に
生じるとすれば、節点４８．４９にダンパ２５．３３を
配置すると、トーションバーの素子間の最大捻り連結が
可能になり、並進モードの横軸動揺を減衰、抑制できる
。他の任意の不当な振動モードに関しても、その節点が
節点４８．４９から離れた位置に位置している場合は、
同様な作用が生じる。

ダンパ２５．３３のために適当な材料を使用した場合、
トーションバースキャナーにおいて、外界からの不安定
（動揺）を含む非所望の振動を減衰できることに留意さ
れたい。本発明の構成においては、ダンパ２５．３３を
介してのみ組立体４０をフレーム３０に減衰可能に装着
することにより、このような動揺はトーションバーから
隔離できる。それ故、ダンパ２５．３３は好適には、ス
コッチダンプ（Ｓｃｏｔｃｈｄａｍｐ）　Ｓ　Ｊ　２０
１５　Ｘ（商標名）又は類似の製品の如く、減衰ゴム又
は粘弾性ポリマーでつくる。

捻り節点の適当な位置の決定は思考錯誤法により行なう
ことができる。要点は、最高の機械的な利点を考慮し、
所望の節点と非所望の節点とが′トーションバー上で最
大に離間するようにすることである。所望の捻り節点又
は又は不当な曲げ（及びその他の）節点の最適な位置は
、関連する特定のモードについての各節点位置に対して
次の諸式からＮを求めることにより、計算できる。なお
、Ｎは鏡の位置から測定した節点の位置である。

Ａ＝Ｆ／ＥＬＸ　（Ｌ２／２＋ａＬ） ＋ＭＬ／Ｅ　Ｉ Ｙ２＝Ｆ／ＥＬＸ　（Ｌ３／３＋ａＬ２＋ａ”Ｌ）＋Ｍ
／　Ｅ　Ｌ　Ｘ　（ｆ／　２　＋　ａ　Ｌ）　＋　Ｙ１
Ｆ＝　（２πｆ）　２Ｙ２ｍ２ ＝　−（２ｘ　ｆ　）　”Ｙ１ｍ１ Ｍ＝（２πｆ）”ＡＪ Ｏ＝　（ＦＮ’／３＋ＭＮ”／２＋ｆ　　（Ｌ−Ｎ十ａ
）ｘＮ２／２）　　（１／ＥＩ）＋Ｙ２＝−ここに、Ａ
は休止位置からの磁石の偏向角度、Ｆは磁石の重心での
反力、Ｍはトーションバーの磁右端部での合計モーメン
ト、Ｙ工は休止位置からの鏡の変位量、Ｙ２は休止位置
からの磁石の変位量、ａは磁石の重心からトーションバ
ーの端部までの距離、Ｎは鏡から測定した節点の位置、
Ｌは鏡と磁石との間のトーションバーの合計長さ、ｍｌ
は光学素子の質量の１／２、ｍ２はカウンタウェイトの
質量、Ｊはトーションバーの軸線に直角な方向のカウン
タウェイトの回転慣性、Ｅはヤング率、■はトーション
バーの慣性面積モーメントである。

捻り節点の位置を計算するに当り、捻り振動の周波数は
捻り節点の両側の構造体に対して同じ値に維持しなけれ
ばならない。この周波数は次式により計算することがで
きる。

ｆ＝１／２π÷に／Ｐ ここに、ｆは周波数（単位はヘルツ）、Ｋは捻りバネ率
、Ｐは鏡又は磁石の回転慣性である。

また、節点の両側のトルクも等しくしなければならない
。トルクについての式は、 Ｔ＝Ｐ　（２πｆ）２θ であり、ここに、θは中心からの偏向角度、Ｔはトルク
（単位はダイン・ｃｍ）である。

ロータとして作用できるようにカウンタウェイト２０を
磁性材料でつくった第１図の本発明のスキャナーの実施
例においては、トーションバーのバネ索子２２．２３は
、０．０３１３インチ（約０．８ｍｍ）の直径と０．８
７８インチ（約２２．３ｍｍ）の長さとを有し、バネ素
子２１．２４の直径はバネ素子２２．２３と同じにし、
長さは０．４３９インチ（約１１．２ｍｍ）とし、これ
らのバネ素子間に装着部を位置させた（従って捻り節点
は装着部６０．６２に位置させた）。

磁石の直径は０．４６９インチ（約１１．９ｍｍ）とし
、長さは０．４８フインチ（約１２．４ｍｍ）とした。

鏡の直径は０．９９インチ（約２５ｍｍ）とした（融解
石英）。磁石重心からトーションバ一端部までの距離は
０．２９３インチ（約７．４ｍ　ｍ　）とした。鏡と磁
石との間のトーションバの合計長さは１．３１フインチ
（約３３．５ｍｍ）とした。光学素子の質量の１／２は
３゜８０グラ＝３１− ムとした。カウンタウェイト１９の質量は１０．３７グ
ラムとした。トーションバーの軸線に直角な方向のカウ
ンタウェイトの回転慣性は２．２８６ｇ−０ｍ２とした
。駆動モータは＃２９のワイヤでつくり、感知コイル４
１も＃２９のワイヤでつくり、それぞれ１００回巻いた
。

上式により、上述の寸法を有するスキャナーでは、所望
の捻り節点から０．４４インチ（約１１．２ｍｍ）だけ
離れた曲げ節点を決定した。

横軸共振の周波数は計算では３８ヘルツであった。

６０’の角度のピークからピークまでの光学範囲で走行
するスキャナーで測定する同じ方向に走査されるライン
間の最大離間の測定単位（メジャー）であるトレース間
のばらつきは１０秒の測定周期に亘って約１／２アーク
秒であった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の好適な実施例に係るスキャナの部分断
面立面図、 第２図は発振器組立体の概念図、 一、’、；：）３２− 第３図は本発明の別の実施例の斜視図、第４図は発振器
組立体の上面図である。 符号の説明 ２０：スキャナー １９．２ｏ′　：カウンタウェイト ２１−２４：バネ素子 ２５．３３：ダンパ　　　３０：フレーム４８．４８：
節点 手 続 補 正 書 平成 元年１２月２日 平成１年特許願第２３５５０３号 ２、発明の名称 スキャナー 補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所 名　称　　ゼネラル・スキャニング・インコーポレデッ
ド ４、代理人 住所 東京都千代田区大手町二丁目２番１号 新大手町ビル　２０６区

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、バネと； 回転周波数ｆＡのため前記バネ上に画定した少なくとも
   １つの節点Ａと； 振動周波数ｆＢのため前記バネ上に画定した少なくとも
   １つの節点Ｂと； 周波数ｆＢでの振動の伝達を減衰させることのできる少
   なくとも１つのダンパと； を備え、 前記ダンパが前記節点Ｂからある距離離れた前記節点Ａ
   において前記バネ上に位置している、スキャナー。 ２、請求項１に記載のスキャナーにおいて、更にハウジ
   ングを備え、前記バネが前記ダンパを介してのみ該ハウ
   ジングに物理的に連結しており、該ダンパが前記回転周
   波数ｆＡでの前記バネの捻り振動を伝達できるスキャナ
   ー。 ３、請求項１に記載のスキャナーにおいて、前記バネの
   節点Ａが前記ダンパを取付けるダンパ装着部を有するス
   キャナー。 ４、請求項１に記載のスキャナーにおいて、更に、少な
   くとも１つのカウンタウェイトを有しかつ前記バネに連
   結したトルク源を備えているスキャナー。 ５、請求項４に記載のスキャナーにおいて、更に、負荷
   装着部を備え、この負荷装着部が前記バネ上の前記節点
   Ａの第１側部に位置し、前記少なくとも１つのカウンタ
   ウェイトが前記節点Ａの第２側部に位置しているスキャ
   ナー。 ６、請求項１に記載のスキャナーにおいて、前記ダンパ
   が粘弾性ポリマー材料でできているスキャナー。 ７、請求項１に記載のスキャナーにおいて、更に、ハウ
   ジングを備え、該ハウジングがその内部に室を有し、前
   記ダンパがバッファインサートと、第１及び第２の２つ
   のダンパリングと、カラーとを具備し、前記バネが第１
   の座を画定しており、前記第１ダンパリングが前記第１
   の座に装着されていて前記カラーの内壁に係合しており
   、該カラーの外壁が前記バッファインサートの内壁に係
   合しており、該バッファインサートの外壁が前記室の内
   壁に係合しており、前記カラーが第２の座を画定してお
   り、前記第２ダンパリングが前記第２の座に装着されて
   いて前記室の前記内壁に係合しているスキャナー。 ８、請求項７に記載のスキャナーにおいて、更に、少な
   くとも１つのカウンタウェイトを有しかつ前記バネに連
   結したトルク源を備えているスキャナー。 ９、請求項７に記載のスキャナーにおいて、更に、負荷
   装着部を備え、この負荷装着部が前記バネ上の前記節点
   Ａの第１側部に位置し、前記少なくとも１つのカウンタ
   ウェイトが前記節点Ａの第２側部に位置しているスキャ
   ナー。 １０、請求項１に記載のスキャナーにおいて、前記バネ
   がトーションロッドであるスキャナー。 １１、請求項７に記載のスキャナーにおいて、前記バネ
   がトーションロッドであるスキャナー。 １２、請求項７に記載のスキャナーにおいて、更に、第
   ２バネと、第１周波数Ａのため前記第２バネ上に画定し
   た少なくとも１つの節点と、第２周波数Ｂのため該第２
   バネ上に画定した少なくとも１つの別の節点と、周波数
   Ａでの振動の伝達を減衰させることのできる第２ダンパ
   とを備えたスキャナー。 １３、請求項１２に記載のスキャナーにおいて、前記第
   ２バネが前記第２ダンパを介してのみ前記ハウジングに
   物理的に連結しており、該第２ダンパが前記回転周波数
   Ａでの該第２バネの捻り振動を伝達できるスキャナー。 １４、請求項１３に記載のスキャナーにおいて、前記ハ
   ウジングが第２の室を有し、前記第２ダンパが第２バッ
   ファインサートと、第１及び第２の２つの付加的なダン
   パリングと、第２カラーとを具備し、前記第２バネが第
   １の座を画定しており、前記第１の付加的なダンパリン
   グが前記第２バネの前記第１の座に装着されていて前記
   第２カラーの内壁に係合しており、該第２カラーの外壁
   が前記第２バッファインサートの内壁に係合しており、
   該第２バッファインサートの外壁が前記第２の室の内壁
   に係合しており、前記第２カラーが第２の座を画定して
   おり、前記第２の付加的なダンパリングが前記第２の座
   に装着されていて前記第２の室の前記内壁に係合してい
   るスキャナー。 １５、請求項１４に記載のスキャナーにおいて、前記第
   １及び第２バネが前記ダンパを介してのみ前記ハウジン
   グに物理的に連結しており、これらのダンパが前記回転
   周波数Ａでの前記バネの捻り駆動を伝達できるスキャナ
   ー。 １６、請求項１５に記載のスキャナーにおいて、更に、
   前記バネのいずれかに連結したトルク源と、前記バネの
   いずれかに連結したカウンタウェイトとを備えたスキャ
   ナー。 １７、請求項４に記載のスキャナーにおいて、更に、感
   知コイルと、駆動コイルと、中央が開口したボビンとを
   備え、該ボビンがハウジングに装着可能であり、これら
   のコイルが互いにほぼ直角に前記ボビンに巻かれており
   、前記カウンタウェイトがロータを画定し、かつ前記コ
   イルと該ロータとをモータとして作用させるように前記
   ボビン内に取付けられるスキャナー。 １８、請求項８に記載のスキャナーにおいて、更に、感
   知コイルと、駆動コイルと、中央が開口したボビンとを
   備え、該ボビンがハウジングに装着可能であり、これら
   のコイルが互いにほぼ直角に前記ボビンに巻かれており
   、前記カウンタウェイトがロータを画定し、かつ前記コ
   イルと該ロータとをモータとして作用させるように前記
   ボビン内に取付けられるスキャナー。 １９、少なくとも第１軸線を有しこの軸線のまわりでト
   ルクを受けるように配置されたバネと、このバネが前記
   軸線のまわりでトルクを受けるときに該バネの回転が実
   質上存在しない地点に配置された少なくとも１つのダン
   パと、 ハウジングと、 を備え、 前記ダンパが、前記ハウジングに連結されるように位置
   し、かつ前記バネから前記ハウジングへの及び該ハウジ
   ングから該バネへの振動の伝達を有効に減衰できる、 スキャナー。 ２０、請求項１９に記載のスキャナーにおいて、更に、
   前記バネに接続したトルク源を備え、該トルク源が前記
   ダンパの末端に位置し、負荷装着部が該ダンパの近傍に
   位置しているスキャナー。 ２１、請求項１９に記載のスキャナーにおいて、前記ダ
   ンパが粘弾性ポリマーでできているスキャナー。 ２２、請求項１９に記載のスキャナーにおいて、前記ト
   ルク源がカウンタウェイトを有し、前記スキャナーが更
   に、感知コイルと、駆動コイルと、中央が開口したボビ
   ンとを備え、該ボビンが前記ハウジングに装着可能であ
   り、これらのコイルが互いにほぼ直角に前記ボビンに巻
   かれており、前記カウンタウェイトがロータを画定し、
   かつ前記バネに接続したトルク源を提供すべく前記コイ
   ルと該ロータとをモータとして作用させるように前記ボ
   ビン内に取付けられるスキャナー。 ２３、共振スキャナーのバネから動揺を隔離する方法に
   おいて、 （イ）回転周波数ｆＡのため少なくとも１つの節点Ａを
   前記バネ上に提供する段階と、 （ロ）振動周波数ｆＢのため少なくとも１つの節点Ｂを
   前記バネ上に提供する段階と、 （ハ）前記節点Ｂからある距離離れた前記節点Ａにおい
   て前記バネ上に、周波数ｆＢでの振動の伝達を内部で減
   衰させることのできる少なくとも１つのダンパを提供す
   る段階と、 を有する前記隔離方法。 ２４、請求項２３に記載の方法において、前記段階（イ
   ）が次の諸式よりＮを求めることを含む方法。 Ａ＝Ｆ／ＥＬ×（Ｌ＾２／２＋ａＬ） ＋ＭＬ／ＥＩ Ｙ＿２＝Ｆ／ＥＬ×（Ｌ＾３／３＋ａＬ＾２＋ａ＾２Ｌ
   ）＋Ｍ／ＥＬ×（Ｌ＾２／２＋ａＬ）＋Ｙ＿１Ｆ＝（２
   πｆ）＾２Ｙ＿２ｍ＿２ ＝−（２πｆ）＾２Ｙ＿１ｍ＿１ Ｍ＝（２πｆ）＾２ＡＪ ０＝（ＦＮ＾３／３＋ＭＮ＾２／２＋ｆ（Ｌ−Ｎ＋ａ）
   Ｎ＾２／２）（１／ＥＩ）＋Ｙ＿１ （ここに、 Ａは休止位置からの磁石の偏向角度、 Ｆは磁石の重心での反力、 Ｍはトーションバーの磁石端部での合計モーメント、 Ｙ＿１は休止位置からの鏡の変位量、 Ｙ＿２は休止位置からの磁石の変位量、 ａは磁石の重心からトーションバーの端部までの距離、 Ｎは鏡から測定した節点の位置、 Ｌは鏡と磁石との間のトーションバーの合計長さ、 ｍ＿１は光学素子の質量の１／２、 ｍ＿２はカウンタウェイトの質量、 Ｊはトーションバーの軸線に直角な方向のカウンタウェ
   イトの回転慣性、 Ｅはヤング率、 Ｉはトーションバーの慣性面積モーメント である） ２５、請求項２３に記載の方法において、前記段階（ロ
   ）が次の諸式よりＮを求めることを含む方法。 Ａ＝Ｆ／ＥＬ×（Ｌ＾２／２＋ａＬ） ＋ＭＬ／ＥＩ Ｙ＿２＝Ｆ／ＥＬ×（Ｌ＾３／３＋ａＬ＾２＋ａ＾２Ｌ
   ）＋Ｍ／ＥＬ×（Ｌ／２＋ａＬ）＋Ｙ＿１ Ｆ＝（２πｆ）＾２Ｙ＿２ｍ＿２ ＝−（２πｆ）＾２Ｙ＿１ｍ＿１ Ｍ＝（２πｆ）＾２ＡＪ ０＝（ＦＮ＾３／３＋ＭＮ＾２／２＋ｆ（Ｌ−Ｎ＋ａ）
   Ｎ＾２／２）（１／ＥＩ）＋Ｙ＿１ （ここに、 Ａは休止位置からの磁石の偏向角度、 Ｆは磁石の重心での反力、 Ｍはトーションバーの磁石端部での合計モーメント、 Ｙ＿１は休止位置からの鏡の変位量、 Ｙ＿２は休止位置からの磁石の変位量、 ａは磁石の重心からトーションバーの端部までの距離、 Ｎは鏡から測定した節点の位置、 Ｌは鏡と磁石との間のトーションバーの合計長さ、 ｍ＿１は光学素子の質量の１／２、 ｍ＿２はカウンタウェイトの質量、 Ｊはトーションバーの軸線に直角な方向のカウンタウェ
   イトの回転慣性、 Ｅはヤング率、 Ｉはトーションバーの慣性面積モーメント、である） ２６、共振回転する機械的な装置において、ベースに装
   着したトーションバネと、 前記トーションバネの長手方向に沿った第１節点で実質
   的な回転を生じさせない所望の回転モードで回転運動で
   きるように該トーションバネに支持された質量体と、 を備え、 前記機械的な装置が前記第１節点から離れた第２節点で
   共振運動を生じない可能な共振運動の非所望モードを有
   し、 前記所望のモードでの回転を実質上減衰させずに前記非
   所望モードでの運動を実質上阻止すべく、前記第１節点
   が前記非所望モードの共振運動を減衰できるダンパ内に
   保持されている、 共振回転する機械的な装置。