JPH02170965A - 耐酸化耐摩耗性被覆鋼材 - Google Patents
耐酸化耐摩耗性被覆鋼材Info
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- JPH02170965A JPH02170965A JP32197588A JP32197588A JPH02170965A JP H02170965 A JPH02170965 A JP H02170965A JP 32197588 A JP32197588 A JP 32197588A JP 32197588 A JP32197588 A JP 32197588A JP H02170965 A JPH02170965 A JP H02170965A
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Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、耐酸化性を向上させた耐摩耗性被覆鋼材に関
する。
する。
工具や金型などの鋼材の表面に、該鋼材の耐摩耗性を向
上させるためにイオンブレーティング法などにより窒化
チタンの被膜を被覆することは知られている。
上させるためにイオンブレーティング法などにより窒化
チタンの被膜を被覆することは知られている。
しかしながら、窒化チタンをはじめとする金属窒化物は
、高温で酸化され易く、生成した脆い酸化物層により、
耐摩耗性を著しく劣化させるという欠点がある。
、高温で酸化され易く、生成した脆い酸化物層により、
耐摩耗性を著しく劣化させるという欠点がある。
また単一組成比のTiA I N膜は、例えばライボル
トヘレウス社のW、D、 ミュンツらを始めとして研
究が行われており、該被膜は耐酸化性に優れているとい
われている(J 、 Vac、 Sci、↑echno
l。
トヘレウス社のW、D、 ミュンツらを始めとして研
究が行われており、該被膜は耐酸化性に優れているとい
われている(J 、 Vac、 Sci、↑echno
l。
A4.2717.1986)。しかしながら、本出願人
らの研究によれば、本質的には窒化チタン被膜中に一種
の欠陥としてアルミニウムを添加させているのであり、
被膜の表面硬度あるいは被膜の密着強度などの機械的特
性は、窒化チタンよりも劣っている。
らの研究によれば、本質的には窒化チタン被膜中に一種
の欠陥としてアルミニウムを添加させているのであり、
被膜の表面硬度あるいは被膜の密着強度などの機械的特
性は、窒化チタンよりも劣っている。
そこで本発明の目的は、上記問題点を解消するために高
温での耐酸化性を向上させた耐摩耗性被覆鋼材を提供す
ることにある。
温での耐酸化性を向上させた耐摩耗性被覆鋼材を提供す
ることにある。
上記目的を達成するために本発明は、鋼材上に組成物T
ixA l 、Nを、原子濃度yが前記鋼材表面で0、
最表層で0.6以下であり、かつ前記鋼材表面から最上
層にわたりx+y=lを満たしつつ連続的に傾斜変化し
、前記へ1がTiNに固溶してなる点に特徴がある。
ixA l 、Nを、原子濃度yが前記鋼材表面で0、
最表層で0.6以下であり、かつ前記鋼材表面から最上
層にわたりx+y=lを満たしつつ連続的に傾斜変化し
、前記へ1がTiNに固溶してなる点に特徴がある。
用いられる該鋼材としては、例えば515Cなどの肌焼
鋼、345Cなどの構造用鋼、5UPIOなどのハネ鋼
、5LIJ2などの軸受鋼、SACMIなどの窒化鋼、
5KD6などの熱間加工用工具ml、 SMDIIなど
の冷間加工用工具畑、5Kl151などの高速度泪、5
US3103などの耐熱鋼、5tlS410などの耐食
耐酸鋼などが挙げられる。
鋼、345Cなどの構造用鋼、5UPIOなどのハネ鋼
、5LIJ2などの軸受鋼、SACMIなどの窒化鋼、
5KD6などの熱間加工用工具ml、 SMDIIなど
の冷間加工用工具畑、5Kl151などの高速度泪、5
US3103などの耐熱鋼、5tlS410などの耐食
耐酸鋼などが挙げられる。
該鋼材上に、被膜の表面層がTiつA I!、Nの組成
をとり、該鋼材表面付近ではy=oの窒化チタンである
被膜を被覆する必要があるが、この際、アルミニウムの
原子濃度yは、被膜の表面に近くなるほど大きくなるよ
うに連続的に傾斜変化させ、かつx+y=lとなること
が必要である。何故ならば、該被膜の特徴は、アルミニ
ウムを被膜の表面層部分にのみ固溶させ、かつ濃度1頃
斜を持たせることにより、窒化チタンの結晶構造を変形
させることなく、アルミニウム固溶層から連続的に窒化
チタン層に移行させていることにあり、窒化チタン被膜
のもつ高い耐摩耗性を極力保持させるものであるからで
ある。但し、被膜表面での最終的なアルミニウム原子濃
度yは、0.6を越えてはス〈らない。
をとり、該鋼材表面付近ではy=oの窒化チタンである
被膜を被覆する必要があるが、この際、アルミニウムの
原子濃度yは、被膜の表面に近くなるほど大きくなるよ
うに連続的に傾斜変化させ、かつx+y=lとなること
が必要である。何故ならば、該被膜の特徴は、アルミニ
ウムを被膜の表面層部分にのみ固溶させ、かつ濃度1頃
斜を持たせることにより、窒化チタンの結晶構造を変形
させることなく、アルミニウム固溶層から連続的に窒化
チタン層に移行させていることにあり、窒化チタン被膜
のもつ高い耐摩耗性を極力保持させるものであるからで
ある。但し、被膜表面での最終的なアルミニウム原子濃
度yは、0.6を越えてはス〈らない。
アルミニウム原子濃度yが0.6までの被膜は、X線回
折測定によると、窒化チタンと同しBl型結晶構造であ
り、アルミニウムが窒化チタン中に完全に固溶している
。
折測定によると、窒化チタンと同しBl型結晶構造であ
り、アルミニウムが窒化チタン中に完全に固溶している
。
また、固溶させるアルミニラl、の濃度yの最大値は、
要求される酸化または摩耗環境の程度により、Q<y≦
0.6の範囲で自由に選択することができ、かつアルミ
ニウム固溶層の厚みも自由に選択することが可能である
。
要求される酸化または摩耗環境の程度により、Q<y≦
0.6の範囲で自由に選択することができ、かつアルミ
ニウム固溶層の厚みも自由に選択することが可能である
。
もし、濃度yが0.6を越えると、アルミニウムが完全
に固溶せず、未同定相が析出する。そのため結晶構造に
変化が現われ、窒化チタンとの整合性が崩れ、耐摩耗性
を低下させるため不都合である。
に固溶せず、未同定相が析出する。そのため結晶構造に
変化が現われ、窒化チタンとの整合性が崩れ、耐摩耗性
を低下させるため不都合である。
また、該アルミニウム濃度を連続的に変化させず、アル
ミニウム添加層と窒化チタン層を分けて製膜した場合で
も、二層の接合面の不整合性から同様の結果を招くので
不都合である。
ミニウム添加層と窒化チタン層を分けて製膜した場合で
も、二層の接合面の不整合性から同様の結果を招くので
不都合である。
本発明の被膜は、イオンブレーティング法、CVD法、
スパンクリング法などの公知の方法を用いて製膜しても
良いが、2種類以上の金属イオンを供給し、かつ耐摩耗
性などの強固な付着力を要求される被膜に対しては、特
にイオンブレーティング法が望ましい。
スパンクリング法などの公知の方法を用いて製膜しても
良いが、2種類以上の金属イオンを供給し、かつ耐摩耗
性などの強固な付着力を要求される被膜に対しては、特
にイオンブレーティング法が望ましい。
該被膜をイオンブレーティング法で製膜する際、蒸発源
として金属チタンおよび金属アルミニウムの2つを用い
るが、該金属アルミニウムのかわりにアルミニウムの原
子濃度が50%以下のチタン。
として金属チタンおよび金属アルミニウムの2つを用い
るが、該金属アルミニウムのかわりにアルミニウムの原
子濃度が50%以下のチタン。
アルミニウム合金を用いても良い。金属の蒸発およびイ
オン化の方法は特に制限されず、金属を蒸発させる方法
は、イオンブレーティング装置に備わった公知の抵抗加
熱や電子銃加熱などのどれでも良く、蒸発した金属のイ
オン化も公知のアーク放電、グロー放電、高周波放電な
どのいずれでも良い。
オン化の方法は特に制限されず、金属を蒸発させる方法
は、イオンブレーティング装置に備わった公知の抵抗加
熱や電子銃加熱などのどれでも良く、蒸発した金属のイ
オン化も公知のアーク放電、グロー放電、高周波放電な
どのいずれでも良い。
チタンとアルミニウムの組成比を任意に制御する方法は
、2つの蒸発源の蒸発量を変化させても良いし、シャン
ターなどの遮蔽物の開閉による方法を用いても良い。
、2つの蒸発源の蒸発量を変化させても良いし、シャン
ターなどの遮蔽物の開閉による方法を用いても良い。
反応性ガスとしては、窒化物を生成させるための反応性
ガスで、窒素あるいはアンモニアまたはこれらの混合ガ
スを用いる。該反応性ガスを反応容器中に導入し、鋼材
に負のバイアス電圧を印加し、チタンとアルミニウムの
組成比を上記方法により制御して本発明の被膜を製膜す
る。
ガスで、窒素あるいはアンモニアまたはこれらの混合ガ
スを用いる。該反応性ガスを反応容器中に導入し、鋼材
に負のバイアス電圧を印加し、チタンとアルミニウムの
組成比を上記方法により制御して本発明の被膜を製膜す
る。
尚、本出願人の研究によれば、窒化チタンの表面層にア
ルミニウムを固溶させると、アルミニウムの表面への拡
散により表面に熱的に安定なアルミニウムの酸化物層(
A/、0.など)が選択的に生成され、それが保護層の
役割をして窒化チタンの酸化の進行を抑制するものと判
IThされる。
ルミニウムを固溶させると、アルミニウムの表面への拡
散により表面に熱的に安定なアルミニウムの酸化物層(
A/、0.など)が選択的に生成され、それが保護層の
役割をして窒化チタンの酸化の進行を抑制するものと判
IThされる。
17mm角、厚み2龍のステンレス鋼(SUS304’
)基板を有機溶剤で洗浄し、真空アーク放電型イオンブ
レーティング装置に取付けた。
)基板を有機溶剤で洗浄し、真空アーク放電型イオンブ
レーティング装置に取付けた。
蒸発源としてはチタンターゲットと、チタンとアルミニ
ウムの原子組成比が50%ずつの合金ターゲットを用い
た。
ウムの原子組成比が50%ずつの合金ターゲットを用い
た。
まず真空度をI X 10−5Torr以下にした後、
チタンイオン衝撃により、鋼材の洗浄、加熱を行った。
チタンイオン衝撃により、鋼材の洗浄、加熱を行った。
次に反応ガスとし°ζ窒素ガスを導入して、装置内圧力
を30 mTorrとした。
を30 mTorrとした。
製膜の第一段階として、まずチタンクーゲットに90A
の電流を流し、真空アーク放電でチタンイオンを放出さ
せて、−300Vのバイアス電圧が印加された鋼材上に
窒化チタンを45分間製膜した。その後、チタンターゲ
ットの電流値を徐々に下げながら、チタン・アルミニウ
ム合金ターゲットの電流値を徐々に上げてアルミニウム
イオンを供給し、両ターゲットの電流値によりチタンと
アルミニウムの組成比を制御しながら、TiつAβ、N
濃度傾斜)模を15分間製膜した。
の電流を流し、真空アーク放電でチタンイオンを放出さ
せて、−300Vのバイアス電圧が印加された鋼材上に
窒化チタンを45分間製膜した。その後、チタンターゲ
ットの電流値を徐々に下げながら、チタン・アルミニウ
ム合金ターゲットの電流値を徐々に上げてアルミニウム
イオンを供給し、両ターゲットの電流値によりチタンと
アルミニウムの組成比を制御しながら、TiつAβ、N
濃度傾斜)模を15分間製膜した。
製膜した被膜のチタンとアルミニウムの組成比は、X線
光電子分光法(X P S)により測定して、最表層で
x : y=0.6 : 0.4であった。
光電子分光法(X P S)により測定して、最表層で
x : y=0.6 : 0.4であった。
得られた被覆鋼材の被膜のX線回折測定を行ったところ
、窒化チタンと同様の回折スペクトルが得られた。尚、
このX線回折測定は、グラフアイ)(002)モノクロ
メータ−を備えたデイフラクトメーターを使用し、Cu
Kα線によった。
、窒化チタンと同様の回折スペクトルが得られた。尚、
このX線回折測定は、グラフアイ)(002)モノクロ
メータ−を備えたデイフラクトメーターを使用し、Cu
Kα線によった。
この被覆鋼材の耐酸化性を見るため、該被?iI鋼材を
500cc/minの流量で大気を流し、700°Cに
保持した電気炉中に一時間放置した。比較例として、上
記製膜装置で作製した窒化チタン被覆鋼材も同様の環境
下に置いた。
500cc/minの流量で大気を流し、700°Cに
保持した電気炉中に一時間放置した。比較例として、上
記製膜装置で作製した窒化チタン被覆鋼材も同様の環境
下に置いた。
その後、両試料を二次イオン質量分析計(SIMS)に
より深さ方向分析を行った。第1図および第2図に本発
明の被膜の酸化試験前後の深さ方向のプロファイルを、
第3図および第4図に窒化チタンの被膜の酸化試験前後
の深さ方向のプロファイルを示す。横軸は表面からの深
さをスパッタリング時間で表わし、縦軸は被膜中の物質
の…対的な量を表わしている。
より深さ方向分析を行った。第1図および第2図に本発
明の被膜の酸化試験前後の深さ方向のプロファイルを、
第3図および第4図に窒化チタンの被膜の酸化試験前後
の深さ方向のプロファイルを示す。横軸は表面からの深
さをスパッタリング時間で表わし、縦軸は被膜中の物質
の…対的な量を表わしている。
窒化チタンの場合、試験前ではほとんど認められていな
い酸化チタン(TiOz)が相当量生成しており、X線
回折測定でも酸化チタン(TiO□)の回折スペクトル
しか検出されない。
い酸化チタン(TiOz)が相当量生成しており、X線
回折測定でも酸化チタン(TiO□)の回折スペクトル
しか検出されない。
それに比べ本発明の被膜では酸化チタン(TiOz)層
は表面層にとどまり、酸化の進み具合が窒化チタンより
も遅いことを示している。
は表面層にとどまり、酸化の進み具合が窒化チタンより
も遅いことを示している。
以上のことから明らかなように、本発明は、高温での耐
酸化性を向上させた耐摩耗性被覆鋼材を提供するもので
あり、高温酸化環境下での耐摩耗性を要求される部材に
適用することができ、その効果は極めて大である。
酸化性を向上させた耐摩耗性被覆鋼材を提供するもので
あり、高温酸化環境下での耐摩耗性を要求される部材に
適用することができ、その効果は極めて大である。
図面は、本発明の被膜の耐酸化性を示すもので、500
cc/minの大気流量で、700℃に保持した電気炉
中に一時間放置した被膜の二次イオン質量分析計(SI
MS)による深さ方向のプロファイルを示したものであ
る。 第1図は、本発明の被膜の酸化試験前の深さ方向のプロ
ファイル、第2図は該被膜の酸化試験後の深さ方向のプ
ロファイルである。また、第3図は比較例である窒化チ
タンの被膜の酸化試験前の深さ方向のプロファイル、第
4図はその酸化試験後の深さ方向のプロファイルである
。
cc/minの大気流量で、700℃に保持した電気炉
中に一時間放置した被膜の二次イオン質量分析計(SI
MS)による深さ方向のプロファイルを示したものであ
る。 第1図は、本発明の被膜の酸化試験前の深さ方向のプロ
ファイル、第2図は該被膜の酸化試験後の深さ方向のプ
ロファイルである。また、第3図は比較例である窒化チ
タンの被膜の酸化試験前の深さ方向のプロファイル、第
4図はその酸化試験後の深さ方向のプロファイルである
。
Claims (1)
- 鋼材上に組成物Ti_xAl_yNを、原子濃度yが前
記鋼材表面で0、最表層で0.6以下であり、かつ前記
鋼材表面から最上層にわたりx+y=1を満たしつつ連
続的に傾斜変化し、前記AlがTiNに固溶してなるこ
とを特徴とする耐酸化耐摩耗性被覆鋼材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32197588A JPH02170965A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 耐酸化耐摩耗性被覆鋼材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32197588A JPH02170965A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 耐酸化耐摩耗性被覆鋼材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02170965A true JPH02170965A (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=18138520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32197588A Pending JPH02170965A (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | 耐酸化耐摩耗性被覆鋼材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02170965A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4408250A1 (de) * | 1993-07-12 | 1995-01-19 | Oriental Engineering Co | Verfahren zum Beschichten der Oberfläche eines Substrats und Beschichtungsmaterial |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02138459A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-28 | Raimuzu:Kk | 複合硬質材料及びその製造方法 |
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1988
- 1988-12-22 JP JP32197588A patent/JPH02170965A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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