JPH02166403A - 可変形鏡 - Google Patents
可変形鏡Info
- Publication number
- JPH02166403A JPH02166403A JP32506388A JP32506388A JPH02166403A JP H02166403 A JPH02166403 A JP H02166403A JP 32506388 A JP32506388 A JP 32506388A JP 32506388 A JP32506388 A JP 32506388A JP H02166403 A JPH02166403 A JP H02166403A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- change
- support member
- thermal expansion
- temp
- variable length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 14
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003702 image correction Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［概要１
光学系の収差等に基づく画像の歪みを補正するために用
いる可変形鏡に関し、 温度の変化によって形状の変わらない可変形鏡を提供す
ることを目的とし、 支持部材と、該支持部材上に保持された絶縁支持部材と
、該絶縁支持部材上に配置された、変形可能の鏡と、該
絶縁支持部材内に埋め込まれ、該鏡を該支持部材に結合
する複数の可変長支持部材とを有し、前記可変長支持部
材は、２印加電圧に応じて長さを変化させ、かつ正また
は負の熱膨張係数を有する圧電素子と、前記圧電素子に
接続され、圧電素子とは反対方向の熱膨張係数を有する
支持棒との組合せを含むように構成する。
いる可変形鏡に関し、 温度の変化によって形状の変わらない可変形鏡を提供す
ることを目的とし、 支持部材と、該支持部材上に保持された絶縁支持部材と
、該絶縁支持部材上に配置された、変形可能の鏡と、該
絶縁支持部材内に埋め込まれ、該鏡を該支持部材に結合
する複数の可変長支持部材とを有し、前記可変長支持部
材は、２印加電圧に応じて長さを変化させ、かつ正また
は負の熱膨張係数を有する圧電素子と、前記圧電素子に
接続され、圧電素子とは反対方向の熱膨張係数を有する
支持棒との組合せを含むように構成する。
［産業上の利用分野］
本発明は光学的画像処理に関し、特に光学系の収差等に
基づく画像の歪みを補正するために用いる可変形鐘に関
する。
基づく画像の歪みを補正するために用いる可変形鐘に関
する。
画像形成処理のためレンズや鐘等の光学素子が用いられ
る０球面を利用したこれらの光学系の画像の歪みは一定
の法則に基づいて生じるものであるが、組合わせる素子
の種類、配置等により種々様々な表れ方をする。
る０球面を利用したこれらの光学系の画像の歪みは一定
の法則に基づいて生じるものであるが、組合わせる素子
の種類、配置等により種々様々な表れ方をする。
近年のコンピュータの発展により、歪みを含むめには大
皿の演算処理と大規模なメモリ容量が必憂である。そこ
でハードウェア的にｌ１ｆｆｉの処理をして、コンピュ
ータの負担を軽減することが要求されている。
皿の演算処理と大規模なメモリ容量が必憂である。そこ
でハードウェア的にｌ１ｆｆｉの処理をして、コンピュ
ータの負担を軽減することが要求されている。
可変形鐘は、光学系の収差を補正するような非球面等を
形成してコンピュータへ入力する前の画像をハードウェ
ア的に補正することにより上記の要求を満たすものであ
る。
形成してコンピュータへ入力する前の画像をハードウェ
ア的に補正することにより上記の要求を満たすものであ
る。
［従来の技術］
従来の可変形鐘としては、例えば内野研二著「圧電／電
歪アクチュエータ」 （森北出版）に記載されているも
のがある。この例を第２図に示す。
歪アクチュエータ」 （森北出版）に記載されているも
のがある。この例を第２図に示す。
第２図において、剛体よりなる基板５１上に柔軟性のあ
る高分子マトリクス５２が保持され、この上に表面にア
ルミニウム蒸着膜等を設けたガラス鏡５３が支持されて
いる。ガラス鐘５３と剛体基板５１との間は複数のＰＺ
Ｔ （ジルコン酸チタン酸鉛）の圧電棒５４ｉで連結さ
れている。ガラス１ｉｉ５３の真菌に共通電＠ ５８
ａが形成されて、各圧電棒５４ｉの一方の電極に接続さ
れ、圧ｔＳ５４ｉの他端にはアドレス＠ １１５８ ｂ
が形成されている。このアドレス電極５８ｂを介して各
圧電棒５４ｉに所望の電圧を選択的に印加することによ
り、各圧電棒５４ｉは伸縮してガラス鏡に所望の曲面を
形成する。このようにして可変形鏡６０が形成される。
る高分子マトリクス５２が保持され、この上に表面にア
ルミニウム蒸着膜等を設けたガラス鏡５３が支持されて
いる。ガラス鐘５３と剛体基板５１との間は複数のＰＺ
Ｔ （ジルコン酸チタン酸鉛）の圧電棒５４ｉで連結さ
れている。ガラス１ｉｉ５３の真菌に共通電＠ ５８
ａが形成されて、各圧電棒５４ｉの一方の電極に接続さ
れ、圧ｔＳ５４ｉの他端にはアドレス＠ １１５８ ｂ
が形成されている。このアドレス電極５８ｂを介して各
圧電棒５４ｉに所望の電圧を選択的に印加することによ
り、各圧電棒５４ｉは伸縮してガラス鏡に所望の曲面を
形成する。このようにして可変形鏡６０が形成される。
［発明が解決しようとする課題］
圧電材料等の構造材は熱膨張をするが、従来の可変形鏡
やこれを利用した画像伝送系での温度補償は特に考慮さ
れていなかった。従って、可変形鏡６０の温度が変化す
るとガラス′ｍ５３に力を加えるＰＺＴの圧電棒５４ｉ
の長さが変わり、その結果ガラス鏡５３の形状が温度に
よって変化するという欠点を生じていた。
やこれを利用した画像伝送系での温度補償は特に考慮さ
れていなかった。従って、可変形鏡６０の温度が変化す
るとガラス′ｍ５３に力を加えるＰＺＴの圧電棒５４ｉ
の長さが変わり、その結果ガラス鏡５３の形状が温度に
よって変化するという欠点を生じていた。
本発明の目的は、温度の変化によって形状の変わらない
可変形鏡を提供することである。
可変形鏡を提供することである。
［課題を解決するための手段Ｊ
第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の原理説明図である。第
１図（Ａ）は可変形鏡１０の構造を概略的に示す、ｍ体
の支持部材１の上にある程度の柔軟性ないし可撓性を有
する絶縁支持部材２が保持され、その上に鐘３が保持さ
れている。この！ａ３は複数本の可変長支持部材４ｉに
よって剛体支持部材１に連結され、機械的に支持されて
いる。各可変長支持部材４ｉは負ないし正の熱Ｓ張係数
を有する積層型等の圧電素子５と正ないし負の熱膨張係
数を有する金属等の支持棒６を含む、これらの圧電素子
５は電圧印加手段８を介して制御電源９に接続されてい
る。
１図（Ａ）は可変形鏡１０の構造を概略的に示す、ｍ体
の支持部材１の上にある程度の柔軟性ないし可撓性を有
する絶縁支持部材２が保持され、その上に鐘３が保持さ
れている。この！ａ３は複数本の可変長支持部材４ｉに
よって剛体支持部材１に連結され、機械的に支持されて
いる。各可変長支持部材４ｉは負ないし正の熱Ｓ張係数
を有する積層型等の圧電素子５と正ないし負の熱膨張係
数を有する金属等の支持棒６を含む、これらの圧電素子
５は電圧印加手段８を介して制御電源９に接続されてい
る。
正の熱Ｓ張係数を有し、圧電素子が負の熱膨張係数を持
つ場合で説明する。
つ場合で説明する。
今、周囲温度がΔＴ上昇したとする。負の熱膨８！係数
を有する圧電素子５は第１図（Ｂ）に示すように−Δｅ
の長さ変化を示す、一方正の熱膨張係数を有する支持棒
６はすΔＱの長さ変化を起こす、この機に積層型圧電素
子５の温度変化による伸縮と支持棒６の温度変化による
伸縮とが互いに打ち消し合うようにすることによって、
可変長支持部材４ｉ全体としての温度による伸縮を補償
できる。
を有する圧電素子５は第１図（Ｂ）に示すように−Δｅ
の長さ変化を示す、一方正の熱膨張係数を有する支持棒
６はすΔＱの長さ変化を起こす、この機に積層型圧電素
子５の温度変化による伸縮と支持棒６の温度変化による
伸縮とが互いに打ち消し合うようにすることによって、
可変長支持部材４ｉ全体としての温度による伸縮を補償
できる。
通常の使用状況においては、使用温度範囲内で圧電素子
５と支持棒６との熱＃縮は温度に対して線型であると近
似できるので、両者の長さの比を適当に選ぶことによっ
て、良好な温度補償が得られる。
５と支持棒６との熱＃縮は温度に対して線型であると近
似できるので、両者の長さの比を適当に選ぶことによっ
て、良好な温度補償が得られる。
［作用］
可変形鐘！Ｏの周囲温度が変化すると各構造材料は温度
に応じて伸縮する。金属等の支持棒６が［実ｊａｉｓ］ 第３図（Ａ＞、（Ｂ）に本発明の１実施例による可変形
鐘を示す。
に応じて伸縮する。金属等の支持棒６が［実ｊａｉｓ］ 第３図（Ａ＞、（Ｂ）に本発明の１実施例による可変形
鐘を示す。
第３図（Ａ）は可変形ｆｉ１０の部分破断斜視図である
。剛体支持部材（図示せず）の上にポリエチレン、テフ
ロン等の高分子マトリックスから成る絶縁支持部材２２
が配置されその上に例えばアルミニウム等の金属反射膜
を設けたガラス等の鏡２３が配置されている。ガラスの
鏡２３の裏面には銅層等の共通ｔ！２８ａが形成されて
いる。この共通ｔｆ！と剛体支持部材との間を絶縁支持
部材２２に埋め込まれた形で設けられた複数の可変長支
持部材２４ｉが連結している。各可変長支持部材２４ｉ
は第３図（Ｂ）に示すように、例えば鉛系複合へロブス
カイトのセラミクスで形成された圧電素子２５ａ、２５
ｂ、２５ｃ、２５ｄ−−からなる積層型圧電素子２５と
金属棒２６とを付き合わせ、エボシキ樹脂等の接着剤で
接続した構造を持つ、各圧電素子２５ａ、２５ｂ、２５
ｃｍ・はそれぞれ両側面に正を極、負ｔ！ｆｌを備えて
いるが、図中上面では負電極を絶縁体で覆って正電極の
みを露出し、下面では正電極を絶縁体で覆って負電極の
みを露出している。上面に露出した正電極は導体３１に
よってまとめて導出され、下面に露出した負電極は導体
３２によってまとめて導出される。このようにして導体
対３１．３２の間に複数の圧電素子２５ａ、２５ｂ、２
５ｃ・・・が並列に接続される１図では、導体３２が可
変支持部材２４の端面にのび共通電極２８ａと接続され
るようにされている。
。剛体支持部材（図示せず）の上にポリエチレン、テフ
ロン等の高分子マトリックスから成る絶縁支持部材２２
が配置されその上に例えばアルミニウム等の金属反射膜
を設けたガラス等の鏡２３が配置されている。ガラスの
鏡２３の裏面には銅層等の共通ｔ！２８ａが形成されて
いる。この共通ｔｆ！と剛体支持部材との間を絶縁支持
部材２２に埋め込まれた形で設けられた複数の可変長支
持部材２４ｉが連結している。各可変長支持部材２４ｉ
は第３図（Ｂ）に示すように、例えば鉛系複合へロブス
カイトのセラミクスで形成された圧電素子２５ａ、２５
ｂ、２５ｃ、２５ｄ−−からなる積層型圧電素子２５と
金属棒２６とを付き合わせ、エボシキ樹脂等の接着剤で
接続した構造を持つ、各圧電素子２５ａ、２５ｂ、２５
ｃｍ・はそれぞれ両側面に正を極、負ｔ！ｆｌを備えて
いるが、図中上面では負電極を絶縁体で覆って正電極の
みを露出し、下面では正電極を絶縁体で覆って負電極の
みを露出している。上面に露出した正電極は導体３１に
よってまとめて導出され、下面に露出した負電極は導体
３２によってまとめて導出される。このようにして導体
対３１．３２の間に複数の圧電素子２５ａ、２５ｂ、２
５ｃ・・・が並列に接続される１図では、導体３２が可
変支持部材２４の端面にのび共通電極２８ａと接続され
るようにされている。
圧電素子２５ａ、２５ｂ、２５ｃ ・・・は積層されて
積層型圧電素子２５を形成するが、全体として負の熱膨
張係数を持つ０例えば、東北金属−により入手できる積
層型圧電素子の例（ＮＬＡ、５ｘ５ｘ１８Ｉｌｌの熱膨
張を第４図の特性３４に示す、ここでは、３０℃に置け
る長さを基準として変化分を示した。
積層型圧電素子２５を形成するが、全体として負の熱膨
張係数を持つ０例えば、東北金属−により入手できる積
層型圧電素子の例（ＮＬＡ、５ｘ５ｘ１８Ｉｌｌの熱膨
張を第４図の特性３４に示す、ここでは、３０℃に置け
る長さを基準として変化分を示した。
金属棒２６はＳＵＳ、銅、真鍮、アルミニウム、等の適
当な材料で作ることができる６例として長さ５．４■の
銅製の棒の熱膨張を第４図の特性３６に示した。この銅
棒２６を上述の積層型圧電素子２５と組み合わせると全
体としての可変支持部材２４の熱膨張は特性３８のよう
になり、図示の範囲で実質的に一定で変化しない。
当な材料で作ることができる６例として長さ５．４■の
銅製の棒の熱膨張を第４図の特性３６に示した。この銅
棒２６を上述の積層型圧電素子２５と組み合わせると全
体としての可変支持部材２４の熱膨張は特性３８のよう
になり、図示の範囲で実質的に一定で変化しない。
なお、主な金属の線膨張率（２０℃）は理科年表によれ
ば以下のようであり、一定長の積層型圧電素子と組合せ
る金属棒の長さを選択することによって、全体としての
線１７７５Ｍ率をほぼＯにすることができる。
ば以下のようであり、一定長の積層型圧電素子と組合せ
る金属棒の長さを選択することによって、全体としての
線１７７５Ｍ率をほぼＯにすることができる。
の大きい苛酷な状況における画像伝送を良好に行うこと
ができる。
ができる。
以上実施例に沿って説明したが、本発明はこれに制限さ
れるものでなく、特許請求の範囲内で種々の変更、修正
、組合せ等ができることは当業者に自明であろう。
れるものでなく、特許請求の範囲内で種々の変更、修正
、組合せ等ができることは当業者に自明であろう。
線膨張率（ＸＩＯ’）
ニッケル ブロンズ
１４．２ ２２．０ １１．８ １６．５ １
３．４ １５．９さらに積層型圧電素子を用い
ることにより、従来と同様の電圧を用いて数倍から数十
倍の長さ変化を生じさせることができる。このため動作
電圧の低減、可変長支持部材の小型化、調節具の増大等
が可能となる。
３．４ １５．９さらに積層型圧電素子を用い
ることにより、従来と同様の電圧を用いて数倍から数十
倍の長さ変化を生じさせることができる。このため動作
電圧の低減、可変長支持部材の小型化、調節具の増大等
が可能となる。
そして、本実施例に示すような可変形鐘を用いて画像処
理装置を構成することにより、温度変化［発明の効果］ 以上、説明したように本発明によれば温度変化によって
曲率の変化しない可変形鏡を得ることができる。
理装置を構成することにより、温度変化［発明の効果］ 以上、説明したように本発明によれば温度変化によって
曲率の変化しない可変形鏡を得ることができる。
これを用いれば、従来の可変形鐘を恒温に保つことや、
可変形鏡の制御に温度というパラメータの入ることが省
け、可変形鏡による画像補正システムの高信頼化に寄与
するところが大きい。
可変形鏡の制御に温度というパラメータの入ることが省
け、可変形鏡による画像補正システムの高信頼化に寄与
するところが大きい。
第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の原理説明図であり、（
Ａ）は可変形鏡の断面図、（Ｂ）は可変形鏡内の可変長
支持部材の熱膨張を説明する概念図、 第２図は従来技術を示し、可変形銀の１部破断斜視図、 第３図（Ａ）、〈８）は本発明の実施例を示し、（Ａ）
は可変形銀の１部破断斜視図、＜８）は可変形鏡内の可
変長支持部材の概略断面図、第４図は可変長支持部材の
温度特性を示す図である。 図において 支持部材゛。 絶縁支持部材 鏡 可変長支持部材 圧電素子 支持棒 電圧印加手段 制御電源 可変形銀 受光系 ４ｉ ２８ａ、２８ｂ モニタ部 制御部 絶縁支持部材 （高分子マトリクス） 鏡 可変長支持部材 積層型圧電素子 金属棒 電極 （Ａ＞可変形銀 第２図 （Ｂ）可変長支持部材 本発明の原理説明図 第１図 （Ａ）可変形部 ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、 ・・圧電素子（Ｂ’）可変
長支持部材 本発明の実施例 第３図 温度（σ） 可変長支持部材の温度特性 第４図
Ａ）は可変形鏡の断面図、（Ｂ）は可変形鏡内の可変長
支持部材の熱膨張を説明する概念図、 第２図は従来技術を示し、可変形銀の１部破断斜視図、 第３図（Ａ）、〈８）は本発明の実施例を示し、（Ａ）
は可変形銀の１部破断斜視図、＜８）は可変形鏡内の可
変長支持部材の概略断面図、第４図は可変長支持部材の
温度特性を示す図である。 図において 支持部材゛。 絶縁支持部材 鏡 可変長支持部材 圧電素子 支持棒 電圧印加手段 制御電源 可変形銀 受光系 ４ｉ ２８ａ、２８ｂ モニタ部 制御部 絶縁支持部材 （高分子マトリクス） 鏡 可変長支持部材 積層型圧電素子 金属棒 電極 （Ａ＞可変形銀 第２図 （Ｂ）可変長支持部材 本発明の原理説明図 第１図 （Ａ）可変形部 ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、 ・・圧電素子（Ｂ’）可変
長支持部材 本発明の実施例 第３図 温度（σ） 可変長支持部材の温度特性 第４図
Claims (1)
- （１）、支持部材（１）と、該支持部材上に保持された
絶縁支持部材（２）と、該絶縁支持部材上に配置された
、変形可能の鏡（３）と、該絶縁支持部材内に埋め込ま
れ、該鏡を該支持部材に結合する複数の可変長支持部材
（４ｉ）とを有し、前記可変長支持部材は、印加電圧に
応じて長さを変化させ、かつ正または負の熱膨張係数を
有する圧電素子（５）と、前記圧電素子に接続され、圧
電素子とは反対方向の熱膨張係数を有する支持棒（６）
との組合せを含むことを特徴とする可変形鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32506388A JPH02166403A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 可変形鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32506388A JPH02166403A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 可変形鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02166403A true JPH02166403A (ja) | 1990-06-27 |
Family
ID=18172740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32506388A Pending JPH02166403A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 可変形鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02166403A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698892A1 (de) * | 1994-08-23 | 1996-02-28 | Forschungszentrum Karlsruhe GmbH | Stützelement zur Kompensation der thermischen Ausdehnung |
| WO2001084894A1 (en) * | 2000-05-03 | 2001-11-08 | Intel Corporation | Circuit card assembly having controlled expansion properties |
| US6486589B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-11-26 | Intel Corporation | Circuit card assembly having controlled vibrational properties |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP32506388A patent/JPH02166403A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698892A1 (de) * | 1994-08-23 | 1996-02-28 | Forschungszentrum Karlsruhe GmbH | Stützelement zur Kompensation der thermischen Ausdehnung |
| WO2001084894A1 (en) * | 2000-05-03 | 2001-11-08 | Intel Corporation | Circuit card assembly having controlled expansion properties |
| US6359372B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-03-19 | Intel Corporation | Circuit card assembly having controlled expansion properties |
| US6486589B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-11-26 | Intel Corporation | Circuit card assembly having controlled vibrational properties |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Susini et al. | Compact active/adaptive x‐ray mirror: Bimorph piezoelectric flexible mirror | |
| US4280756A (en) | Piezoelectric bi-morph mirror actuator | |
| US4438364A (en) | Piezoelectric actuator | |
| US5281887A (en) | Two independent spatial variable degree of freedom wavefront modulator | |
| JPS6239721B2 (ja) | ||
| GB1597615A (en) | Electro-acoustic device | |
| JPH10136665A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2007509375A (ja) | 変形可能なミラーホルダに関する改良 | |
| US7967456B2 (en) | Scalable size deformable pocket mirror with on-pocket bimorph actuator | |
| RU2069883C1 (ru) | Мозаичное адаптивное биморфное зеркало | |
| Huisman et al. | High pixel number deformable mirror concept utilizing piezoelectric hysteresis for stable shape configurations | |
| JPH02166403A (ja) | 可変形鏡 | |
| JP2008040299A (ja) | 形状可変ミラー及び形状可変ミラーの製造方法 | |
| JP2009196060A (ja) | 駆動機構 | |
| US5710657A (en) | Monomorph thin film actuated mirror array | |
| JP2008040296A (ja) | 形状可変ミラー | |
| JPH1172605A (ja) | 曲率可変ミラーおよびレンズ | |
| Jagourel et al. | Adaptive optics: a bimorph mirror for wavefront correction | |
| Susini et al. | R&D program on bimorph mirrors at the ESRF | |
| RU2099754C1 (ru) | Деформируемое зеркало на основе многослойной активной биморфной структуры | |
| JPH0455355B2 (ja) | ||
| JP4231220B2 (ja) | 形状可変鏡及びその制御方法並びに光ディスク情報入出力装置 | |
| JPH06275884A (ja) | 圧電素子 | |
| Riva et al. | Smart structures for deformable mirrors actuated by piezocomposites | |
| JP2006003814A (ja) | 形状可変ミラー素子 |