JPH02165442A - Optical disk and production thereof - Google Patents
Optical disk and production thereofInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はビデオディスク、ディジタルオーディオディス
ク（例えばコンパクトディスク）、静止画、文書ファイ
ルなどのディジタル信号を記録。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention records digital signals such as video discs, digital audio discs (eg, compact discs), still images, document files, etc.
再生する光ディスクおよび元ディスクの製造方法に関す
るものである。The present invention relates to a method for manufacturing an optical disc to be reproduced and an original disc.
従来の技術
一般に、光ディスクはその情報密度が大きいこと、ノイ
ズが少ないことなどから情報媒体として有望視され、ビ
デオディスク、ディジタルオーディオディスクとして商
品化されている。2. Description of the Related Art In general, optical discs are considered promising as information media because of their high information density and low noise, and have been commercialized as video discs and digital audio discs.
第６図に従来の一般的なディジタルオーディオディスク
であるコンパクトディスクの概要を示す。FIG. 6 shows an outline of a compact disc, which is a conventional general digital audio disc.
これはＰＣＭ１換されたディジタル信号が樹脂基板にピ
ット列状に記録され、半導体レーザ光により再生される
ものである。第６図において、１はディスク、２は樹脂
基板、３は樹脂基板２に刻まれたピット列状のディジタ
ル信号部、４はその表面に形成された反射膜、６は反射
膜４に設けられた保護膜、６は保護膜６に設けられたレ
ーベル印刷膜、７は再生用の半導体レーザ光である。In this method, a digital signal converted to PCM1 is recorded in a pit array on a resin substrate, and is reproduced by a semiconductor laser beam. In FIG. 6, 1 is a disk, 2 is a resin substrate, 3 is a digital signal part in the form of a pit row carved on the resin substrate 2, 4 is a reflective film formed on the surface of the digital signal part, and 6 is a reflective film provided on the reflective film 4. 6 is a label printing film provided on the protective film 6, and 7 is a semiconductor laser beam for reproduction.
反射膜４はディジタル信号を再生するため、保護膜６は
反射膜を保護するため、レーベル印刷膜６はディスクを
識別するだめに各々必要なものである。The reflective film 4 is necessary for reproducing digital signals, the protective film 6 is necessary for protecting the reflective film, and the label printing film 6 is necessary for identifying the disc.
従来は１反射膜と七てアルミニウム薄膜が、反射率を十
分満足すること、反射膜を形成する薄膜形成装置の設備
費用が安くつくことなどにより、真空蒸着などの方法で
樹脂基板上に形成されていた。Conventionally, reflective films and aluminum thin films have been formed on resin substrates by methods such as vacuum evaporation because they have sufficient reflectance and the cost of equipment for thin film forming equipment to form reflective films is low. was.
また、イオンブレーティング蒸着法にて金（Ａｕ）薄膜
を反射膜として用いる方法が特開昭６３−２００３３７
公報に示されている。In addition, a method of using a gold (Au) thin film as a reflective film by ion blating vapor deposition method was disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-200337.
It is shown in the official gazette.
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、一般にアルミニウ
ムは非常に酸化されよい材料であり、しかも保護膜とし
て紫外線硬化型樹脂が数μｍ設けられているだけである
ため、空気中の水分を吸収し、容易にアルミニウム反射
膜が酸化されるなどの課題を有していた。Problems to be Solved by the Invention However, in the above structure, aluminum is generally a material that is easily oxidized, and since only a few micrometers of ultraviolet curable resin is provided as a protective film, This has had problems such as absorbing moisture and easily oxidizing the aluminum reflective film.
特開昭６３−２００３３７公報に示されている方法によ
れば、公知のように金の反射膜は耐食性は大きいが、全
単体の反射膜であるため価格が高くつくこと、設備費用
がかかることなどの課題がある。According to the method disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-200337, the gold reflective film has high corrosion resistance as is well known, but since it is a single reflective film, it is expensive and equipment costs are high. There are issues such as:
本発明は上記課題に鑑み、信頼性が高く、経時変化の少
ないディスクを提供するものである。In view of the above problems, the present invention provides a disk that is highly reliable and shows little change over time.
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明は、ディジタル信号が
形成された樹脂基板上に、アルミニウム（ＡＮ）の組成
比が２０〜９０２ＬｔＯｆｆｌｉＣ％である。アルミニ
ウム（ム／）とチタニウム（Ｔｉ）との合金薄膜で形成
された反射膜を有するものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention provides a resin substrate on which digital signals are formed, with a composition ratio of aluminum (AN) ranging from 20 to 902 LtOffliC%. It has a reflective film formed of an alloy thin film of aluminum (M/) and titanium (Ti).
作用
本発明は上記した構成によって、ディジタル信号が形成
された樹脂基板上に、アルミニウム（ムａ）の組成比が
２０〜９ｏａｔＯｍｉＣ％である、アルミニウム（ＡＮ
）とチタニウム（Ｔｉ）との合金薄膜で形成された反射
膜を有する光ディスクを提供するものである。Effect of the present invention With the above-described configuration, an aluminum (AN
) and titanium (Ti).
実施例
以下本発明の一実施例の光ディスクについて図面を参照
しながら説明する。EXAMPLE Hereinafter, an optical disc according to an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明の光ディスクを示す要部拡大図である。FIG. 1 is an enlarged view of the main parts of the optical disc of the present invention.
２はビット列状のディジタル信号３が形成された樹脂基
板、８は上記樹脂基板２上に設けられたアルミニウム（
Ａｌ）の組成比が２０〜９ｏａｔｏｍｉｃ ％である。2 is a resin substrate on which a bit string-like digital signal 3 is formed; 8 is an aluminum plate provided on the resin substrate 2;
The composition ratio of Al) is 20 to 9 atomic %.
厚さ１０００人のアルミニウム（ムｅ）とチタニウム（
Ｔｉ）との合金薄膜の反射膜である。1000mm thick aluminum (mue) and titanium (
This is a reflective film made of an alloy thin film with Ti).
６は反射膜８に設けられた保護膜、６は保護膜６に設け
られたレーベル印刷膜である。6 is a protective film provided on the reflective film 8, and 6 is a label printing film provided on the protective film 6.
第２図は本発明の光ディスクの製造方法であるスパッタ
装置の断面図を示す。９はスパッタ装置であり、１０は
予備真空室、１１はスパッタ室。FIG. 2 shows a sectional view of a sputtering apparatus which is a method of manufacturing an optical disk according to the present invention. 9 is a sputtering device, 10 is a preliminary vacuum chamber, and 11 is a sputtering chamber.
１２はディスク取出用の予備真空室、１３はアルミニウ
ム（ＡＮ）とチタニウム（Ｔｉ）とにより構成されたス
パッタ用ターゲットである。12 is a preliminary vacuum chamber for taking out the disk, and 13 is a sputtering target made of aluminum (AN) and titanium (Ti).
スパッタ用ターゲット１３は、アルミニウム（Ａｌ）の
組成比が２０〜ｓｏａｔｏｍｉｃ４ｆ、ｉ）る、アルミ
ニウム（Ａｎ）とチタニウム（Ｔｉ）との合金薄膜反射
膜を形成するため、アルミニウム（ム４）とチタニウム
（Ｔｉ）との面積比を変化させている。The sputtering target 13 is made of aluminum (An) and titanium (Ti) in order to form an alloy thin reflective film of aluminum (An) and titanium (Ti) with a composition ratio of 20 to soatomic4f, i). The area ratio with Ti) is changed.
通常、アルミニウム（ム１１）の方がチタニウム（Ｔｉ
）に比べてスパッタリング効率が高いため、アルミニ
ウムの面積（ｔ）は所要の組成比よりも少なくする。Usually, aluminum (Mu11) is better than titanium (Ti).
), the area (t) of aluminum is made smaller than the required composition ratio.
実験例として、アルミニウム（Ａｌ）とチタニウム（Ｔ
ｉ）との面積比を可変し１．アルミニウムの組成比をｏ
、ｔｓｏ 、ｓｏ 、 １００１００ａｔｏ ％にし
た場合の各種特性を測定値を示す。As an experimental example, aluminum (Al) and titanium (T
i) by varying the area ratio with 1. The composition ratio of aluminum is o
, tso, so, and 100100ato%.
第３図に、コンパクトディスクにアルミニウム（Ａｌ）
とチタニウム（Ｔｉ）との合金薄膜で形成された反射膜
を設けた場合の反射率を示す。アルミニウムの組成比を
ｏ＆ｔＯｍｉＣ％つまりチタニウム（Ｔ１）の場合の反
射率は６０係、アルミニウムの組成比を５０！ＬｔＯ！
１ｌｉｃ ％にした場合の反射率は７３係、アルミニウ
ムの組成比を８０ａｔｏｍｉｃ％にした場合の反射率は
８０％、アルミニラムの組成比を１００係つまりアルミ
ニウム（ムｅ）の場合は反射率は８６％であった。Figure 3 shows that the compact disc is made of aluminum (Al).
The reflectance is shown in the case where a reflective film formed of an alloy thin film of titanium (Ti) and titanium (Ti) is provided. When the composition ratio of aluminum is o&tOmiC%, that is, the reflectance in case of titanium (T1) is 60, and the composition ratio of aluminum is 50! LtO!
When the composition ratio of aluminum is 1lic%, the reflectance is 73%, when the composition ratio of aluminum is 80atomic%, the reflectance is 80%, and when the composition ratio of aluminum is 100%, that is, when aluminum is used, the reflectance is 86%. Met.
反射率と、後述の８０℃、９６壬の環境における経時変
化特性等とから、アルミニウム（Ａで）の組成比が２０
〜９０ａｔｏｍｉｃ％であるアルミニウム（Ａｌ）とチ
タニウム（Ｔｉ）との合金薄膜が反射膜として適してい
ることが判明した。Based on the reflectance and the aging characteristics in an environment of 80°C and 96mm, which will be described later, the composition ratio of aluminum (at A) is 20%.
It has been found that an alloy thin film of aluminum (Al) and titanium (Ti) having a content of ~90 atomic % is suitable as a reflective film.
発明の効果
以上のように本発明の、ディジタル信号が形成された樹
脂基板上に、アルミニウム（Ａｌ）の組成比が２０〜９
ｏａｔｏｍｉｃ％である。アルミニウム（ムロ）とチタ
ニウム（Ｔｉ）との合金薄膜で形成された反射膜を有す
る本発明の光ディスクの欠陥を程度を示すエラーフラッ
グ数の、８０℃、９５チの環境における経時変化を第４
図に示す。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, on the resin substrate on which digital signals are formed, the composition ratio of aluminum (Al) is 20 to 9.
oatomic%. The fourth graph shows the change over time in the number of error flags indicating the degree of defects of the optical disk of the present invention having a reflective film formed of an alloy thin film of aluminum (Muro) and titanium (Ti) in an environment of 80° C. and 95° C.
As shown in the figure.
図に示されるように、本発明の光ディスクは従来のアル
ミニウム（Ａｌ）反射膜と比べて、アルミニウムの組成
比を５０．８０＆ｔＯｍｉＣ％にした場合のエラーフラ
ッグ数の増加が少なく、優れた経時変化特性を示すこと
が分かる。As shown in the figure, compared to the conventional aluminum (Al) reflective film, the optical disc of the present invention shows a smaller increase in the number of error flags when the aluminum composition ratio is set to 50.80&tOmiC%, and has excellent aging characteristics. It can be seen that this shows that
このように、ディジタル信号が形成された樹脂基板上に
、アルミニウム（人ｅ）の組成比が２０〜９０ａｔｏｍ
ｉｃ％である、アルミニウム（人ｅ）とチタニウム（Ｔ
ｉ）との合金薄膜で形成された反射膜を有することを特
徴とする光ディスクは。In this way, on the resin substrate on which digital signals are formed, the composition ratio of aluminum (human e) is 20 to 90 atoms.
ic%, aluminum (human e) and titanium (T
An optical disc is characterized in that it has a reflective film formed of a thin alloy film of i).
アルミニウム（ムａ）反射膜に比べて優れた経時変化特
性を示すこと、チタニウム（Ｔｉ）反射膜に比べて反射
率が大きいこと、全単体の蒸着に比べて安価であり設備
費用が安くつくこと、およびアルミニウム（Ａｌ）とチ
タニウム（Ｔｉ）との合金薄膜反射膜の耐食性が優れて
いることなど、信頼性が高い光ディスクを提供すること
ができる。It exhibits superior aging properties compared to aluminum (Mu) reflective films, has a higher reflectance than titanium (Ti) reflective films, and is cheaper and requires lower equipment costs than the vapor deposition of a single element. , and the aluminum (Al) and titanium (Ti) alloy thin reflective film has excellent corrosion resistance, making it possible to provide a highly reliable optical disc.
第１図は本発明の光ディスクを示す要部断面図拡大図、
第２図は本発明の光ディスクの製造方法であるスパッタ
装置の断面図、第３図はアルミニウム（ムＥ）の組成比
を変化させた場合の反射率を示す線図、第４図は８０℃
、９５チの環境におけるエラーフラッグ数の経時変化特
性図、第６図ａ、ｂ、ｃは光ディスクの一種であるコン
パクトディスクの平面図、断面図および要部拡大図であ
る。
２・・・・・・樹脂基板、３・・・・・・ディジタル信
号、８・・・・・アルミニウム（ム／りの組成比が２０
〜９゜ａｔｏｍｉｃ％であるアルミニウム（ムａ）とチ
タニウム（Ｔｉ）との合金薄膜で形成された反射膜、９
・・・・・スパッタ装置、１０・・・・・・予備真空室
、１１・・・・・・スパッタ室、１２・・・・・・ディ
スク取出用の予備Ｘ空室、１３・・・・・・アルミニウ
ム（Ａｌ）とチタニウム（Ｔ１）とにより構成されたス
パッタ用ターゲット。
代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名Ｚ
′−［詣基」反
３− ディジタル４号
５− 昧：Ｊ狭
６−１−レーベル１１ ′！ｆＩＩＩ濃８°−゛アルミ
ニクム（ＡツノＹ−テグニフム（Ｔ＾ハり金食簿朕亙訂
獲
第１図
乙
９−スに−７，９−瑛１
７０−予備Ｘ隻鼠
ｒｔ “−スノマ・ノダエ
＋２−゛ティスゲ取工用予備真気！
栴
図
第
図
〃
アルミニクム（ル轡に７．ジ
呼
間
（−Ｉ？ＪＬ）
第
図FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part showing an optical disc of the present invention;
Fig. 2 is a cross-sectional view of a sputtering apparatus which is a method for manufacturing an optical disk of the present invention, Fig. 3 is a graph showing the reflectance when the composition ratio of aluminum (muE) is changed, and Fig. 4 is a graph at 80°C.
Figures 6a, b, and c are a plan view, a sectional view, and an enlarged view of the main parts of a compact disc, which is a type of optical disc. 2...Resin substrate, 3...Digital signal, 8...Aluminum (Mu/Ri composition ratio is 20
A reflective film formed of an alloy thin film of aluminum (Mu) and titanium (Ti) with ~9° atomic%, 9
... Sputtering device, 10 ... Preliminary vacuum chamber, 11 ... Sputtering chamber, 12 ... Spare X empty room for disk ejection, 13 ... ...A sputtering target made of aluminum (Al) and titanium (T1). Name of agent: Patent attorney Shigetaka Awano and 1 other person Z
'-[Pilgrimage] anti-3-Digital 4 No. 5-Madhi: J narrow 6-1-Label 11'! fIII Thick 8°-゛Aluminum (A Horn Y-Tegnihum (T^ Harikin Shokuryo 朕亚应臇Fig. 1 Otsu9-Sni-7,9-Ei1 70-Spare・Nodae+2-゛Preparation for Tisuge Tori work! Figure 1. Aluminum (7. Ji-koma (-I?JL) Figure 1)
Claims (2)
ミニウム（Ａｌ）の組成比が２０〜９０ａｔｏｍｉｃ％
である、アルミニウム（Ａｌ）とチタニウム（Ｔｉ）と
の合金薄膜で形成された反射膜を有することを特徴とす
る光ディスク。(1) On the resin substrate on which digital signals are formed, the composition ratio of aluminum (Al) is 20 to 90 atomic%.
An optical disc characterized by having a reflective film formed of a thin alloy film of aluminum (Al) and titanium (Ti).
より構成されたスパッタ用ターゲットを用い、アルミニ
ウム（Ａｌ）とチタニウム（Ｔｉ）との面積比を変化さ
せ、樹脂基板上に、スパッタリング法により、アルミニ
ウム（Ａｌ）の組成比が２０〜９０ａｔｏｍｉｃ％であ
るアルミニウム（Ａｌ）とチタニウム（Ｔｉ）との合金
薄膜反射膜を形成することを特徴とする光ディスク製造
方法。(2) Using a sputtering target composed of aluminum (Al) and titanium (Ti), changing the area ratio of aluminum (Al) and titanium (Ti), sputtering sputtering onto a resin substrate 1. A method for manufacturing an optical disc, comprising forming an alloy thin reflective film of aluminum (Al) and titanium (Ti) in which the composition ratio of (Al) is 20 to 90 atomic %.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63319101A JPH02165442A (en) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | Optical disk and production thereof |
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|---|---|
| JPH02165442A true JPH02165442A (en) | 1990-06-26 |
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| JP63319101A Pending JPH02165442A (en) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | Optical disk and production thereof |
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| JP (1) | JPH02165442A (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63224050A (en) * | 1987-03-13 | 1988-09-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Optical disk |
| JPS6479951A (en) * | 1987-09-21 | 1989-03-24 | Kanegafuchi Chemical Ind | Optical disk |
-
1988
- 1988-12-16 JP JP63319101A patent/JPH02165442A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63224050A (en) * | 1987-03-13 | 1988-09-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Optical disk |
| JPS6479951A (en) * | 1987-09-21 | 1989-03-24 | Kanegafuchi Chemical Ind | Optical disk |
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