JPH02159545A - パターン欠陥抽出方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、プリント配線基板の配線パターンあるいは半
導体集積回路の習作に用いるフォトマスク等のパターン
欠陥抽出方法及び装置に関し、特に被検査物の伸縮や傾
きを補正して欠陥抽出を行うパターン欠陥抽出方法及び
装置に関する。

（従来の技術） プリント配線基板の配線パターンあるいは半導体集積は
路のフォトマスク等のパターン欠陥を、設計データ又は
欠陥のないマスタパターンとの比較照合により判定する
場合、検査装置に被検査物を取付けるときに発生する位
置ずれや温度変化等による被検査物の伸縮に起因する誤
判定を防止するため、従来より下記のような方法又は装
置が提案されている。

１）フォトマスク上に形成された被検査パターンと被検
査パターンの設計データとを比較照合し、マスタパター
ンの欠陥判定を行う方法において。

マスタパターン上に設けた合わせマークによりマスタパ
ターンのＸ方向、Ｙ方向の伸縮量及び直交度のずれ（マ
スタパターンの傾き）を求め、これらの伸縮量及び直交
度のずれが一定の許容精度にないものはパターン検査を
行わないようにしたマスク欠陥検査方法（例えば特開昭
６０−２１５２３号公報）。

２）１つの半導体ウェハ上に複数形成された同一パター
ンを比較検査するパターン比較検査装置において、位置
ずれ測定に適したパターン部分を利用して位置ずれを測
定し、該測定した位置ずれに基づいてイメージセンサ（
被検査パターンを映像信号に変換する手段）の位置を移
動することにより、上記位置ずれを補正するようにした
パターン比較検査装置（例えば特開昭６０−３１２３５
号公報）。

（発明が解決しようとする課題） 上記ｌ）の検査方法によれば、Ｘ方向、Ｙ方向の伸縮量
及び直交度のずれが一定の許容範囲になければパターン
検査が行われないため、被検査物の交換等に時間を要し
、検査効率を低下させるという未解決の課題がある。

また上記２）の検査装置によれば、イ１す定した位置ず
れに基づいてイメージセンサの位置補正が行われるため
、イメージセンサの移動に要する時間によって検査効率
が低下するという未解決の課題がある。

本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
であり、被検査物の取付は誤差、あるいは伸縮誤差があ
る場合においても、これらの、！１１差による誤判定が
なくしかも検査効率を向上させることができるパターン
欠陥抽出方法及び装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明は、被検査物のパターン
読み取りデータと、マスタパターンのデータとを比較す
ることにより被検査パターンの欠陥を抽出するパターン
欠陥抽出方法において、少なくとも第１の方向に一次元
的に移動可能な検査テーブル上に被検査物を載置し、該
検査テーブルの前記第１の方向の移動に伴って被検査パ
ターンの前記第１の方向の伸縮量に応じた同期信号を発
生させ、前記第１の方向と交差する第２の方向に移動可
能な撮像手段により前記同期信号に基づいて被検査パタ
ーンを読み取り、該読み取った情報を記憶すると共に該
記憶した２値化情報の配列に変更することにより、彼検
査パターンの前記第２の方向の伸縮量及び傾きの補正を
行うようにしたり、被検査物のパターン読み取りデータ
と、マスタパターンのデータとを比較することにより彼
検査パターンの欠陥を抽出するパターン欠陥抽出装置に
おいて、被検査物を載置する少なくとも第１の方向に一
次元的に移動可能な検査テーブルと、該検査テーブルの
ＯＮ記第１の方向の移動に伴って被検査パターンの前記
第１の方向の伸縮量に応じた同期信号を発生させる同期
信号発生手段と、該同期信号に基づいて被検査パターン
を情報として読み取る、前記第１の方向と交差する第２
の方向に移動可能な撮像手段と、該読み取った情報を記
憶すると共に該記憶した情報を２値化情報の配列に変更
することにより、被検査パターンの前記第２のノｊ向の
伸縮量及び傾きの補正を行うデータ補正手段とを設けた
りしたものである。

（作用） 被検査パターンの第１の方向の伸縮量は、被検査パター
ン読み取り時に補正され、第２の方向の伸縮量及び傾き
は読み取られた２値化情報の配列を変更することにより
補正される。

（実施例） 以下本発明の一実施例を添付図面を参照して説明する。

第１図は本発明に係るパターン欠陥抽出装置主要部のブ
ロック構成図であり、３つのＣＧ　りカメラｌａ、ｌｂ
、ｌｃは第２図に示すように検査テーブル２１に載置さ
れた被検査物２２」ユの被検査パターンを、後述する切
換回路７からの同期信号に基づいて映像信号に変換し、
該映像信号を増幅回路２ａ、２ｂ、２ｃを介して２値化
回路３ａ。

３ｂ、３ｃに入力する。ここで、ＣＯＤカメラｌａ、Ｉ
ｂ、ｌｃは第２図のＸ方向に、また検査テーブル２１は
Ｙ方向に移動可能に構成されており、両者の移動によっ
てＣＣＤカメラｌａ、ｌｂ。

１ｃは相対的に破線で示すように被検査物２２を走査す
る。尚、第２図中のｌＯはリニアスケールであり、検査
テーブル２１の移動距離に比例する数のパルス信号及び
移動力向を示す信号を出力す２値化回路３ａ、３ｂ、３
ｃは、被検査パターンの映像信号を２値化パターンデー
タに変換し、該２値化パターンデータをデータ補正回路
４ａ。

４ｂ、４ｃに入力する。データ補正回路（データ補正手
段）４ａ、４ｂ、４ｃは、後述のように中央制御装置１
３から入力されるＸ方向の伸縮量δＸ及び披検査パター
ンの傾き角Ｏに基づいてパターンデータを補正し、該補
正後のパターンデータを比較検査回路５ａ、５ｂ、５ｃ
に入力する。比較検査回路５ａ、５ｂ、５ｃは、外部記
憶装置１４から供給されるマスタパターンデータ（設計
データあるいは設計図面から読み取った欠陥のないパタ
ーンデータ）と、前記破検査パターンデータとを比較し
、欠陥があるときにはその情報を欠陥出力メモリ６ａ、
６ｂ、６ｃに出力する。また、比較検査回路５ａ、５ｂ
、５ｃは回路制御装置９に接続されており、該回路制御
装置９から入力される被検査パターンをＣＯＤカメラｌ
ａ〜ＩＣで読み取るべき時の信号の立上りと立下がりに
相当する検査領域を指定する信号に基づいて上記比較検
査を行う。

前記リニアスケール１０は、前述のように検査テーブル
２１のＹ方向移動に伴ってその移動量に比例する数のパ
ルス信号とその移動方向を示す信号をスケールアンプ１
１に供給する。スケ−ルア。

ンブ１１は前記パルス信号を更に細分化しく例えば移動
量１１！ｉ１μｍ当り１０発のパルス信号とし）、該細
分化したパルス信号をカウンタ１２に入力すると共に、
検査テーブルの移動方向を示す方向弁別信号を回路制御
装置９に入力する。カウンタ１２は、回路制御装置９に
よりカウント値Ｈの設定及びリセットが行われ、第３図
に示すように入力されるパルス信号（同図（ａ））の数
をカウントし、同図（ｂ）に示すような信号を回路制御
装置９に入力する。

回路制御装置９は、後述のように中央制御装置１３から
入力されるＹ方向の伸縮量δＹに基づいて前記カウンタ
１２のカウント値ｎを設定すると共に、カウンタ１２の
出力信号に基づいてＣＯＤカメラｌａ、ｌｂ、ｌｃの同
期信号ＬＳＩ、Ｉ、Ｓ２゜Ｌ　Ｓ　３を発生し、切換回
路７ａ、７ｂ、７ｃの一方の入力端子に供給する。切換
回路７ａ、７ｂ。

７ｃの他方の入力端子には発振回路８からクロック信号
が供給され、回路制御装置９により切換制御が行われる
。ここで、発振回路８からのクロック信号は、検査テー
ブル２１が移動していないとき、即ち前記パルス信号が
回路制御装置９に入力されないときに、ＧＣＤカメラｌ
ａ、ｌｂ、ｌｃの同期信号として使用されるものである
。

中央制御装置１３は、予め被検査物上のアライメントマ
ーク位置から算出した入方向とＹ方向の伸縮量δＸ、δ
Ｙ及び傾き角θのうち、δＸ、及び０をｎｉｊ記データ
補正回路４ａ、４ｂ、４ｃに、δＹを前記回路制御装置
９に夫々供給すると共に、外部記憶装置１４から比較検
査回路５ａ、５ｂ。

５ｃへのマスタパターンデータの転送制御を行う。

ここで、傾き角Ｏは被検査物が第４図の実線で示す本来
あるべき位置に対し、破線で示すように傾いている場合
の角度Ｏである。また、中央制御装置１３は検査テーブ
ル駆動装置１５及びＣＣＤカメラ駆動装置１６に接続さ
れており、検査テーブル２１のＹ方向の移動及びＣＣＤ
カメラｌａ。

ｌｂ、ＩｃのＸ方向の移動を制御する。

尚、本実施例においては、リニアスケール１０゜スケー
ルアンプＩｔ、カウンタ１２．及び回路制御装置９によ
り同期信号発生手段が構成され、ＣＣＤカメラｌａ、ｌ
ｂ、ｌｃ、増幅回路２ａ。

２ｂ、２ｃ、及び２値化回路３ａ、３ｂ、３ｃにより撮
像手段が構成される。

次に、Ｙ方向の伸縮量δＹに基づく補正について説明す
る。本実施例においては、カウンタ１２の入力信号は検
査テーブル２１の移動用ｆｆ１Ｏ，１ｂ票毎に１発のパ
ルス信号である。

先ずδｙ＝０％、即ちＹ：ｊｆ向の伸縮が全くない場合
には、前記カウンタ１２のカウント値ｎは１００に設定
される。これにより、検査テーブル２１がＹ方向に１０
μｍ　（＝Ｏ，１μ爾Ｘ１００）移動する毎に１発パル
スが発生する同期信号が得られ、該同期信号がＣＣＤカ
メラｌａ、ｌｂ、Ｉｃに供給されて１０μｍ毎の映像信
号（被検査パターンデータ）が増幅回路２ａ、２ｂ、２
ｃ、２値化回路３ａ。

３ｂ、３ｃを介してデータ補正回路４ａ、４ｂ。

４ｃに転送される。

Ｙ方向の伸縮量δｙ＝１％、即ちＹ方向に１％の伸びが
ある場合には、カウント値ｎはｌｏｔに設定される。こ
れにより、検査テーブル２１がＹ方向に１０．Ｉμｓ＋
　（＝Ｏ，ＩμｍＸｌ０１）移動する毎に１発パルスが
発生する同期信号が得られる。従って、この同期信号に
基づいて読み込まれたパターンデータは、Ｙ方向の伸び
が１％あるにも拘らず、上述のδｙ＝ｏの場合と同じデ
ータとなり、１％の伸びがパターンデータ読み込み時に
補正されることになる。

また、δｙ＝０，１％の場合には、カウンタ１２がカウ
ントするパルス信号を入力パルス信号の１．０倍の周波
数のパルス信号とすると共に、カウント値口を１００１
に設定する。カウントするパルス信号の周波数を１０倍
することにより、１パルス当りの検査テーブル２１の移
動量は０．０！μｍとなるので、カウント値ｎ＝Ｉｏ０
＋とすれば検査テーブル２１がＹ方向にＩＯ，０１μｍ
　（＝０．０Ｉ７ｚ＋ｎＸｌ００１）移動する毎に１発
パルスが発生する同期信号が得られる。

この同期信号に基づいて被検査パターンを読み込むこと
により、前述のδｙ＝１％の場合と同様にＹ方向の伸び
が補正される。

このように、Ｙ方向の伸縮補正は被検査パターンの読み
込み時に行われるので、この補正のために検査時間が増
加することがなく、検査効率を向上させることができる
。

上述のようにカウンタ１２によるＹ方向の伸縮補正も可
能であるが、カウンタ１２に設定できる数値は１以上の
整数でなければならないので伸縮量δＹが小さくなると
、該δＹに応じてＣＣＤカメラＩａｘｌｃの読み取り同
期信号発生タイミングの演算が複雑になる。

このため第８図に示す加算装置５１を第１図のカウンタ
１２に代えて用いれば、δＹが小さな値まで検査テーブ
ル２１のＹ方向の移動を制御することができる。以下、
第８図によりδＹと、同期信号ＬＳＩ〜［，５３ＪＩａ
生との関係を述べる。加算装置５１は、中央制御装置１
３によってδＹに応じた設定値Ａがラッチ１５２に供給
される。ラッチ１５２に入力されたＡ値は、加算器５３
のＡ端子（入力端子）に入力される。初期の状態では加
算器５３の端子ＢのＢ１１１！はＯになっている。

加算器５３は、Ａ値とＢ値を加算しその加算値をΣ値と
してΣ端子からラッチ［５４に人力し、該Σ値はラッチ
ＩＩ　５４にプールされる。次にラッチｌｌ５４のトリ
ガ一端子１゛に、検査テーブル２１のＹ方向の移動ｍ０
０１μｒｎ毎に１パルス出る、スケールパルスが入力さ
れる毎に、前記ラッチｌｌ５４にプールされたΣ値が、
加算器５３のＢ端子に入力され前のＢ値と置換更新され
る。その結果再び、加算器５３によりＡ値とＢ値とが加
算された値がΣ端子より出力される。すなわち、設定値
であるＡ値をインクリメント量とし、このインクリメン
ト回数は、ラッチ１１５４のトリガ一端子゛ｒに０．１
μｍ毎に入力（スケールアンプ１１より）される回数に
等しい値だけ行われる。

加算器５３のキャリ端子Ｃからは、加算器５３のΣ値が
最大計数値を越えΣ値から最大計数性分クリアー（除算
）される毎にパルスが１つ発生する。このパルスが回路
制御装置９に入力され、このキャリ端７−Ｃからのパル
ス数の合引値が所定の値に達したとき同期信号ＬＳＩ〜
ＬＳ３が回路制御装置９から出力され、ＣＣＤカメラ１
ａｘｌｃへの同期信号が得られる。

又加算器５３のΣ端子は、Ａ値とＢ値の値が加算された
値となるが、直前のスケールパルスによって、ラッチ［
５４からＢ端子に転送されたＢ値によりΣ値が、加算器
５３の最大計数値を越えたときには（Σ値−最大計数値
）で表わされるオーバーフロー値がΣ端子に残る。次い
で、ラッチ■５４に再びスケールパルスが入ると、前記
Σ端子のオーバーフロー値がＢ端子に転送され、これを
Ｂ値の初期値としてＡ値とＢ値が加算されるΣ値の計算
が繰返される。

すなわち、Σ値が、加算装置５１の最大計数値をオーバ
ーフローして再び、新しい加算に移る時には、前記オー
バーフロー値がＢ値の初期値となる。

次に、被検査物のＹ方向の伸縮量δＹ（以下単にδＹと
いう）との関係で、前記加算器５３のキャリ端子Ｃから
出力されるパルス数の合ｉ［値の設定値、すなわち回路
制御装置９によって同期信号ＬＳＩ−ＬＳ３が、どの様
な設定値になった時、出力されるかの原理について説明
する。

今、δＹに対し、検査テーブル１５がＹ方向に移動しな
ければならない量はδｙ＝ｏ％の時を１００μｍとする
とＹ）ｊ向の検査テーブル１５の最小移動量を０．１μ
ｍとし、この単位毎にラッチ１１５４のトリガ一端子′
ｒに１つのパルスが入力されるとすると、１００μｍ（
δＹ＝０％のとき）ときは＋００ｐｍ／　（０，Ｉμｍ
／ｒ）　＝ＩＱＯＯパルスカウントするとき、丁度１１
００１Ｌ検査テーブル１５が進んだことになる。今、δ
Ｙが伸びた方向について例示すると、各δＹに対しカウ
ント数αは α＝　［＋００＋δＹ（％）］ＸＩＯ・・・（１）とな
り、δＹのサンプルに対し表−１の様に与えられる。従
って、検査テーブルの移動（Ｙ方向に表−１ おけるＣＣＤカメラｌａ〜ｌｃと検査テーブルの相対移
動距離）に伴って、０．１７ｚｍ／ｐのスケールパルス
（リニアスケールｌＯからスケールアンプｔｉを経て加
算装置５１のラッチＩＩのトリガ一端子Ｔに入力される
パルス）をα回カウントしたとき、回路制御装置９より
ＣＣＤカメラｌａ”−１０の同期信号を出力すればよい
ことになる。このことは、加算装置５１のキャリ端子Ｃ
から出力されるパルスの和が表−１に示す関係のα値に
なったときＬＳＩ−Ｌ３３信号を回路制御装置９より出
力すればよいことになる。

今加算装置５１のラッチ１５２に設定され、ラッチ■か
ら加算器５３のＡ端子に入力される値をＡ、加算器５３
の最大ｄｊ゛数値をＦ、加算器５３のキャリ端子Ｃから
パルスが回路制御装置９に出力される回数すなわちサイ
クル数（加算器５３がオーバーフローする回数）をｉと
する。

又ｊが更新されたときの最初の加算器５３のＢ端子にプ
ールされるオーバーフロー値、すなわちＢ値の初期値と
なる値をＸｉとする。ｎｉは、加算器５３のラッチ［１
５４に入力するスケールパルス数である。

第９図は、加算装置の加算の原理を模式的に示したもの
である。ラッチＵ５４に最初のパルス（ｒｌｉ＝１）が
入力されると前のサイクル（ｉ＝ｉ−１回）の時のΣ端
子にプールされているオーバーフロー値（＝Σｉ−＋−
最大計数値）が、Ｂ値としてセットされ、Ａ端子にプー
ルされているＡ値と加算されΣｌ＝Ａ＋Ｘ１−ｔとなる
。

次のパルス（口１＝２）がラッチ［５４に入力されると
Σ端子のΣｉ値がＢ端子に転送されＢ値としてセットさ
れ、同様にＡ値との加算がされ、Σ２＝２Ａ＋Ｘ１−ｔ
となり以下順次繰返される。従って、ｉサイクルでの加
算で加算器５３がオーバ−フローする迄のラッチＩＩ　
５４に入力されるパルス入力数ｎｉは Ｆ＋　ｌ　−Ｘｉ−＋　　　　　　、、、　（２゜ｎｉ
≧　　Ａ−一 を満たす最も小さな整数値である。但し、Ｘ０＝Ａとす
る。

又その時の累積加算数Σｉは Σ１＝ｎｉＡ＋Ｘ１−１但し、Ｘｏ＝Ａ　・＝　（３）
Ｘｊ＝Ｚｉ−（Ｆ＋１）　　　　　　　−（４）１サイ
クルの加算において、曲回、スケールパルスを加算した
ことになり、表−１のδＹに対応するαは、 α＝　Σ　ｎｉ　　　　　　　　　　　　　・・・（５
）ｉ＝１ を満たせば、回路制御装置９Ｊ−り各ＣＣＩ）カメラｌ
ａ、ｌｂ、ｌｃに同期信号１．、　Ｓ　Ｉ　〜□　Ｌ　
Ｓ　３を出力づればよいことになる。

今、最大計数値Ｆ＝９９，９９９としΔ＝９９９とすれ
ば（２）〜（５）式を用いで計算すれば表−２に表−２ 従って、δｙ＝０．Ｉ％時には、同期信号ＬＳＩ〜Ｌ　
Ｓ　Ｊを回路制御装置９が出力する毎に、全スゲールパ
ルス（（ｌ、１７ｔｍ／パルス毎に１パルス）との乗算
（０，Ｉ　Ｘ　１ｏ０１）により求まる１００．１μｍ
だけ、検査テーブルとに　ＣＩ’Ｊカメラｌ　ａ、−１
ｃが相対的に移動したことになる。

同様に上記と同じ条件で計算すると Ａ＝１０００にすると１００μｉ口（δＹ＝＝Ｏ’％）
Ａ＝９９０にすると１９１μｍ（δｙ＝＝１％）の相対
的に移動したことになる６゜ この様にＡの設定値を９９０〜１０００に変化させる（
中央演算装置１３よりラッチ１５２に人力）ことにより
、Ｙ方向の被検査物の伸縮爪を補正できる。又０．０１
％以下の補正は同様に加算オＨの最大計数値Ｆとへの設
定値を桁１ユげすれば出来る。以」ユは、被検査物の伸
びｍ（６７％）について述べたが、縮み承（６７％）に
ついても同様の原理で補止できることは言うまでもない
。又、ＣＣＤカメラＪａ−１ｃと検査テーブルの移動量
をδｙ＝０％のとき１００μｍについて説明したが、こ
れはδＹ＝０．１％の時のα値を便宜的に整数として説
明するためであり、カウンタ１２を用いる時に用いた１
０μｍどする時は、ぞのｌ／】０すれば同様のδＹに対
する補正移動爪を求めることが出来る。

第５図は、データ補正回路４ａ、４ｂ、４ｃの内部構成
を示すブロック図である。同図中、ＷＲは書き込み命令
、ＲＤは読み出し命令、ＡＤはアドレスデータを示して
いる。

前記２値化回路３ａ、３ｂ、３ｃから入力されるパター
ンデータは、書き込み制御回路４２及びラインメモリ４
３に供給され、書き込み制御回路４２からの書き込み命
令とセレクタ４４を介して人力されるアドレスデータど
に基づいてラインメモリ４３に書き込まれる。ラインメ
モリ４３に書き込まれたパターンデータは、読み出し制
御回路４５からの読み出し命令とセレクタ４４を介して
人力されるアドレスデータとに基づいて読み出され、コ
ントロール部４１かもの書き込み命令及びアドレスデー
タに基づいてメモリ４６に書き込まれる。ここで、セレ
クタ４４からラインメモリ４３に入力されるアドレスデ
ータは、読み出し制御回路４５からのセＬ／々ト信号に
より書き込みアドレスデータ又は読み出しアドレスデー
タのいずれかに切換えられる。また、書き込み制御回路
４２及び読み出し制御回路４５は、それぞれコントロー
ル部４１により中央制御装置１３から入力される傾き角
Ｏに基づいて、後述するように傾き角Ｏを補正する（以
下［０補正Ｊという）ように制御される。

メモリ４６に書き込まれたパターンデータは、コントロ
ール部４１からの読み出し命令及びアドレスデータに基
づいて読み出され、コントロール部４１により制御され
るバックアップメモリ４７を介して出力される。ここで
、パターンデータをメモリ４６から読み出す際に、後述
するようにＸ方向の伸縮量δＸの補正が行われる。

第６図は、前記Ｏ補正の原理を示すための図であり、同
図（ａ）はラインメモリ４３に記憶されたパターンデー
タを示し、０〜８の番号を付した画素が本来Ｘ方向の一
直線上にある画素であるにも拘らず、被検査パターンが
Ｏだけ傾いているため、Ｘ方向に対してＯの傾きをもっ
た直線として読み込まれていることを示している。」二
足Ｏ〜８の画素データをこの番号順に読み出して、メモ
リ４６に書き込むことによって同図（ｂ）に示すような
Ｘ方向に直線に変換され、傾き角Ｏが補正される。

第７図は、Ｘ方向の伸縮補正の原理を示すための図であ
り、同図（ａ）が補正前の画素データを示している。こ
こで、例えば１ｌｈｌと尚４の画素データを２回読み出
すようにすれば同図（ｂ）に示すように拡大されたパタ
ーンが得られ、拡大補正即ち被検査パターンが縮んでい
る場合の補正が行われる。また、例えば慮０と隘５の画
素データを読み出さないようにすれば、同図（Ｃ）に示
すような縮小されたパターンが得られ、縮小補正、即ち
被検査パターンが伸びている場合の補正が行われる。

このように、０補正及びＸ方向の伸縮補正は、メモリ内
の破検査パターンデータの配列変更によって行われるの
で、検査効率を向上させることができる。

（発明の効果） 以上詳述したように本発明は、被検査物のパターン読み
取りデータと、マスタパターンのデータとを比較するこ
とにより被検査パターンの欠陥を抽出するパターン欠陥
抽出方法において、少なくとも第１の方向に一次元的に
移動可能な検査テーブル上に被検査物を載置し、該検査
テーブルの前記第１の方向の移動に伴って被検査パター
ンの前記第１の方向の伸縮量に応じた同期信号を発生さ
せ、前記第１の方向と交差する第２の方向に移動可能な
撮像手段により前記同期信号に基づいて被検査パターン
を読み取番ハ該読み取った情報を記憶すると共に該記憶
した２値化情報の配列に変更することにより、被検査パ
ターンのｎ；１記第２の方向の伸縮量及び傾きの補正を
行うようにしたり、被検査物のパターン読み取りデータ
と、マスタパターンのデータとを比較することにより破
検査パターンの欠陥を抽出するパターン欠陥抽出装置に
おいて、被検査物を載置する少なくとも第１の方向に一
次元的に移動可能な検査テーブルと、該検査テーブルの
前記第１の方向の移動に伴って被検査パターンの前記第
１の方向の伸縮量に応じた同期信号を発生させる同期信
号発生手段と、該同期信号に基づいて被検査パターンを
情報として読み取る、前記第１の方向と交差する第２の
方向に移動可能な撮像手段と、該読み取った情報を記憶
すると共に該記憶した情報を２値化情報の配列に変更す
ることにより、被検査パターンの前記第２の方向の伸縮
量及び傾きの補正を行うデータ補正手段とを設けたりし
たので、被検査物の取付は誤差、あるいは伸縮誤差があ
る場合においても、これらの誤差による誤判定を防止し
、しかも検査効率を向」ニさせることができるという効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るパターン欠陥抽出装置主要部のブ
ロック構成図、第２図はＣＯＤカメラ及び検査テーブル
の移動方向を示す図、第３図はカウンタの入出力信号を
示す図、第４図は被検査物が傾いた状態を示す図、第５
図はデータ補正回路内部のブロック構成図、第６図はＯ
補正の原理を示すための図、第７図はＸ方向の伸縮補正
の原理を示すための図、第８図はカウンタ１２に代えて
用いることが出来る加算装置の構成を示す図、第９図は
加算装置の加算の原理を模式的に示す図である。 ｌ　ａ、　　Ｉ　ｂ、　　１　ｒ、−ＣＣＩ）カメラ、
２ａ、２１）。 ２ｃ・・・増幅回路、３ａ、３ｂ、３ｃ・・・２値化回
路、４ａ、４ｂ、４ｃ＝−データ補正回路、５ａ、５ｂ
。 ５ｃ・・・比較検査回路、９・・・回路制御装置、１０
・・・リニアスケール、１１・・・スケールアンプ、１
２・・・カウンタ、１３・・・中央制御装置、Ｉ４・・
・外部記憶装置、１５・・・検査テーブル駆動装置、１
６・・・ＣＣＤカメラ駆動装置、５１・・・加算装置、
５３・・・加算器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検査物のパターン読み取りデータと、マスタパタ
   ーンのデータとを比較することにより被検査パターンの
   欠陥を抽出するパターン欠陥抽出方法において、少なく
   とも第１の方向に一次元的に移動可能な検査テーブル上
   に被検査物を載置し、該検査テーブルの前記第１の方向
   の移動に伴って被検査パターンの前記第１の方向の伸縮
   量に応じた同期信号を発生させ、前記第１の方向と交差
   する第２の方向に移動可能な撮像手段により前記同期信
   号に基づいて被検査パターンを読み取り、該読み取った
   情報を記憶すると共に該記憶した２値化情報の配列に変
   更することにより、被検査パターンの前記第２の方向の
   伸縮量及び傾きの補正を行うことを特徴とするパターン
   欠陥抽出方法。 ２、被検査物のパターン読み取りデータと、マスタパタ
   ーンのデータとを比較することにより被検査パターンの
   欠陥を抽出するパターン欠陥抽出装置において、被検査
   物を載置する少なくとも第１の方向に一次元的に移動可
   能な検査テーブルと、該検査テーブルの前記第１の方向
   の移動に伴って被検査パターンの前記第１の方向の伸縮
   量に応じた同期信号を発生させる同期信号発生手段と、
   該同期信号に基づいて被検査パターンを情報として読み
   取る、前記第１の方向と交差する第２の方向に移動可能
   な撮像手段と、該読み取った情報を記憶すると共に該記
   憶した情報を２値化情報の配列に変更することにより、
   被検査パターンの前記第２の方向の伸縮量及び傾きの補
   正を行うデータ補正手段とを設けたことを特徴とするパ
   ターン欠陥抽出装置。