JPH02143571A - 電子線センサ材料 - Google Patents
電子線センサ材料Info
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- JPH02143571A JPH02143571A JP63296330A JP29633088A JPH02143571A JP H02143571 A JPH02143571 A JP H02143571A JP 63296330 A JP63296330 A JP 63296330A JP 29633088 A JP29633088 A JP 29633088A JP H02143571 A JPH02143571 A JP H02143571A
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- Japan
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- crystal
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Links
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Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）やＥＰＭＡ装置
等に用いられる電子線センサ材料に関するものである。
等に用いられる電子線センサ材料に関するものである。
［従来の技術及び解決すべき課題］
従来、電視線センサとして粉末状のＣｅ：ＹＡＧ蛍光体
が用いられていた。しかし、螢光体粉末では紫外線によ
って劣化したり、高密度の電子線によって損傷を起すな
どの問題があった。最近、耐久性および耐力のあるＣｅ
：ＹＡＧ単結晶が注目されている。しかし、単結晶の場
合、電子線が表面から反射されたり、固体内に電子線が
侵入しても非弾性散乱によって再び表面から飛び出した
りするために、粉末層内で反射電子が粒子間で多重散乱
するような粉末螢光体より発光効率が劣る。
が用いられていた。しかし、螢光体粉末では紫外線によ
って劣化したり、高密度の電子線によって損傷を起すな
どの問題があった。最近、耐久性および耐力のあるＣｅ
：ＹＡＧ単結晶が注目されている。しかし、単結晶の場
合、電子線が表面から反射されたり、固体内に電子線が
侵入しても非弾性散乱によって再び表面から飛び出した
りするために、粉末層内で反射電子が粒子間で多重散乱
するような粉末螢光体より発光効率が劣る。
セリウムイオンはＹＡＧ単結晶内で３価になるが、比較
的不安定であるために酸素欠陥などによって４価に変わ
り、電子線による発光効率が悪くなる場合がある。その
ために、発光効率の良い安定な螢光イオンを含む単結晶
か要求されている。
的不安定であるために酸素欠陥などによって４価に変わ
り、電子線による発光効率が悪くなる場合がある。その
ために、発光効率の良い安定な螢光イオンを含む単結晶
か要求されている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、電子線センサ材料であるＣｅ３＋ドープ酸化
物単結晶にＣｅ３＋の電子線による螢光（カソードルミ
ネッセンス）波長に近い螢光を示し、かつ電価補正の作
用があるＭｎをドープして混入させてなることを特徴と
する。
物単結晶にＣｅ３＋の電子線による螢光（カソードルミ
ネッセンス）波長に近い螢光を示し、かつ電価補正の作
用があるＭｎをドープして混入させてなることを特徴と
する。
Ｍｎは２価のイオンであるが、ＹＡＧ単結晶においては
４価のイオンとして導入される。Ｃｅ ３＋とＭｎ’！
は強い相互作用をもち、Ｍｎ３＋からＣｅ３＋へ無輻射
的にエネルギーを素早く伝達するような増感作用を有す
るため、非弾性散乱電子を効率良く用いることができる
。Ｍｎ３＋の発光波長はＣｅ３＋にほぼ一致する。Ｃｅ
３＋イオンはＹＡＧ単結晶内でほとんどが３価のイオン
として存在するが、酸素欠陥によって次式に示すように
４価になる。
４価のイオンとして導入される。Ｃｅ ３＋とＭｎ’！
は強い相互作用をもち、Ｍｎ３＋からＣｅ３＋へ無輻射
的にエネルギーを素早く伝達するような増感作用を有す
るため、非弾性散乱電子を効率良く用いることができる
。Ｍｎ３＋の発光波長はＣｅ３＋にほぼ一致する。Ｃｅ
３＋イオンはＹＡＧ単結晶内でほとんどが３価のイオン
として存在するが、酸素欠陥によって次式に示すように
４価になる。
Ｃｅ ”＋０− ： Ｃｅ”＋０２−
通常これを防ぐ方法として、育成後、酸素アニーリング
を行なうが完全ではない。このようなＣｅ”のイオンに
対してＭ ｎ ’＋はＣｅイオンを電荷補正し３価にす
ることができる。そのため、結晶内にＭｎをドープする
ことによってアニーリングが不必要となり、安定な電子
線センサ材料が得られる。
を行なうが完全ではない。このようなＣｅ”のイオンに
対してＭ ｎ ’＋はＣｅイオンを電荷補正し３価にす
ることができる。そのため、結晶内にＭｎをドープする
ことによってアニーリングが不必要となり、安定な電子
線センサ材料が得られる。
［実施例］
次に本発明の実施例について説明する。
本実施例では、Ｃｅ３＋ドープ酸化物単結晶であるＣｅ
：ＹＡＧにＭｎをドープした場合について説明する。
：ＹＡＧにＭｎをドープした場合について説明する。
ＹＡＧ単結晶はレーザ用母体あるいは螢光体用母体とし
て優れていることは周知である。単結晶はＮｄ ： Ｙ
ＡＧ単結晶が得られるような比率（３−ｘ）Ｙ、、Ｏ，
，５Ａｌｌ ２ｏ、、ｘＮｄ２０３Ｊの比でＩｒルツボ
に装入溶融され、チョクラルスキー法によって得られる
。本実施例では、Ｃｅ濃度をＩ Ｘ １０１９／ ｃ＋
ｎ３から１−４ Ｘ １０ ”／ ｃｍ ３の間で変化
させて、カソードルミネッセンス強度を測定した。測定
試料は、チョクラルスキー法によって得られた単結晶を
１順の厚さで切断したのち光学鏡面研磨仕上げをし、表
面に金蒸着したものを用いた。この試料を電子ビーム径
１００μｍくり返し速度１００Ｈｚ、電圧１０ｋＶ、電
流Ｉ Ｘ １０−９Ａの条件で評価した。その結果第１
図のような相対値で示される強度のデータが得られた。
て優れていることは周知である。単結晶はＮｄ ： Ｙ
ＡＧ単結晶が得られるような比率（３−ｘ）Ｙ、、Ｏ，
，５Ａｌｌ ２ｏ、、ｘＮｄ２０３Ｊの比でＩｒルツボ
に装入溶融され、チョクラルスキー法によって得られる
。本実施例では、Ｃｅ濃度をＩ Ｘ １０１９／ ｃ＋
ｎ３から１−４ Ｘ １０ ”／ ｃｍ ３の間で変化
させて、カソードルミネッセンス強度を測定した。測定
試料は、チョクラルスキー法によって得られた単結晶を
１順の厚さで切断したのち光学鏡面研磨仕上げをし、表
面に金蒸着したものを用いた。この試料を電子ビーム径
１００μｍくり返し速度１００Ｈｚ、電圧１０ｋＶ、電
流Ｉ Ｘ １０−９Ａの条件で評価した。その結果第１
図のような相対値で示される強度のデータが得られた。
第１図により、Ｃｅ６度が７ ｘ １０１９／ａｍ３か
ら１．２ Ｘ １０ ”／ ｃｍ ’のところで最大螢
光効率が得られることが判明した。
ら１．２ Ｘ １０ ”／ ｃｍ ’のところで最大螢
光効率が得られることが判明した。
一方、Ｃｅ濃度７ Ｘ １． Ｏ”／ ｃｍ３のＣｅ：
ＹＡＧにＭｎを−ＬＯＯｐｐｍ ドープした試料につい
て同じ条件で評価したところＣｅ：ＹＡＧ単結晶より１
０％高い効率が得られた。
ＹＡＧにＭｎを−ＬＯＯｐｐｍ ドープした試料につい
て同じ条件で評価したところＣｅ：ＹＡＧ単結晶より１
０％高い効率が得られた。
［発明の効果コ
以上述べたように本発明によれば、Ｃｅ：ＹＡＧ単結晶
にＭｎをドープすることによって、螢光体粉末より高い
効率で安定な電子線センサ材料が得られる。
にＭｎをドープすることによって、螢光体粉末より高い
効率で安定な電子線センサ材料が得られる。
第１図はＣｅ６度とカソードルミネッセンス強度との関
係を示す図である。 図中１はＣｅ：ＹＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス
強度の最大値に対する相対値を示し、２はＣｅ、Ｍｎ：
ＹＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス強度のＣｅ：Ｙ
ＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス強度の最大値に対
する相対値である。
係を示す図である。 図中１はＣｅ：ＹＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス
強度の最大値に対する相対値を示し、２はＣｅ、Ｍｎ：
ＹＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス強度のＣｅ：Ｙ
ＡＧ単結晶のカソードルミネッセンス強度の最大値に対
する相対値である。
Claims (1)
- １、Ｃｅ＾３＾＋（螢光イオン）ドープ酸化物単結晶に
Ｍｎをドープしてなることを特徴とする電子線センサ材
料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63296330A JPH02143571A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 電子線センサ材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63296330A JPH02143571A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 電子線センサ材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02143571A true JPH02143571A (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=17832142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63296330A Pending JPH02143571A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 電子線センサ材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02143571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103059860A (zh) * | 2012-09-17 | 2013-04-24 | 温州大学 | 一种锰掺杂钇铝石榴石单晶材料及其应用 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP63296330A patent/JPH02143571A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103059860A (zh) * | 2012-09-17 | 2013-04-24 | 温州大学 | 一种锰掺杂钇铝石榴石单晶材料及其应用 |
| CN103059860B (zh) * | 2012-09-17 | 2015-01-07 | 温州大学 | 一种锰掺杂钇铝石榴石单晶材料及其应用 |
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