JPH021385B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH021385B2 JPH021385B2 JP3413883A JP3413883A JPH021385B2 JP H021385 B2 JPH021385 B2 JP H021385B2 JP 3413883 A JP3413883 A JP 3413883A JP 3413883 A JP3413883 A JP 3413883A JP H021385 B2 JPH021385 B2 JP H021385B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- silent discharge
- discharge gas
- gas laser
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 10
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、無声放電ガスレーザ装置における
電極の破壊を検出する装置に関するものである。
電極の破壊を検出する装置に関するものである。
従来この種の無声放電ガスレーザ装置として
は、第１図に示すものが知られている。第１図は
従来の無声放電ガスレーザ装置を示す概略構成図
である。このものは、容器１内にレーザ媒質ガス
２を満し、このレーザ媒質ガス２を、金属の表面
を誘導体で被覆した１対の電極３Ａ，３Ｂの間〓
と、熱交換器４の間を送風機５により循環送風す
る。一方、各電極３Ａ，３Ｂ間には交流電源６に
より高電圧を印加して無声放電７を発生させ、こ
の無声放電７に対向して設置された全反射鏡８と
部分透過鏡９によりレーザ発振を励起し、これに
より、部分透過鏡９からレーザ光１０を出力する
ものである。
は、第１図に示すものが知られている。第１図は
従来の無声放電ガスレーザ装置を示す概略構成図
である。このものは、容器１内にレーザ媒質ガス
２を満し、このレーザ媒質ガス２を、金属の表面
を誘導体で被覆した１対の電極３Ａ，３Ｂの間〓
と、熱交換器４の間を送風機５により循環送風す
る。一方、各電極３Ａ，３Ｂ間には交流電源６に
より高電圧を印加して無声放電７を発生させ、こ
の無声放電７に対向して設置された全反射鏡８と
部分透過鏡９によりレーザ発振を励起し、これに
より、部分透過鏡９からレーザ光１０を出力する
ものである。
第２図は第１図の無声放電ガスレーザ装置にお
ける電極部分を明示する断面図である。図に示す
ように、各電極３Ａ，３Ｂは金属１１の表面を誘
電体１２で被覆してなる構成からなり、この各電
極３Ａ，３Ｂに交流電源６より高電圧を印加する
ことにより無声放電７が発生される。ところで、
誘電体１２は、通常、ガラス等の割れやすい絶縁
物で構成されるため、絶縁破壊などの欠陥が起つ
たり、また、無声放電７の熱によるひび割れ等に
より誘電体１２が破壊するおそれがある。
ける電極部分を明示する断面図である。図に示す
ように、各電極３Ａ，３Ｂは金属１１の表面を誘
電体１２で被覆してなる構成からなり、この各電
極３Ａ，３Ｂに交流電源６より高電圧を印加する
ことにより無声放電７が発生される。ところで、
誘電体１２は、通常、ガラス等の割れやすい絶縁
物で構成されるため、絶縁破壊などの欠陥が起つ
たり、また、無声放電７の熱によるひび割れ等に
より誘電体１２が破壊するおそれがある。
第３図ないし第５図は、第１図の無声放電ガス
レーザ装置における電極破壊時の態様を示す説明
図である。第３図、第４図は各電極３Ａ，３Ｂの
いずれか一方が破壊し、このため、電極３Ａ又は
３Ｂに流れる電流が、破壊点１３において集中し
て流れることになるアーク放電１４となり、この
アーク放電１４のために、電流が容器１の金属部
分１５へ流れる場合を示している。また、第５図
は各電極３Ａ，３Ｂがともに同時に破壊した場合
を示し、この時、交流電源６の出力はアーク放電
１４により短絡された状態になる。
レーザ装置における電極破壊時の態様を示す説明
図である。第３図、第４図は各電極３Ａ，３Ｂの
いずれか一方が破壊し、このため、電極３Ａ又は
３Ｂに流れる電流が、破壊点１３において集中し
て流れることになるアーク放電１４となり、この
アーク放電１４のために、電流が容器１の金属部
分１５へ流れる場合を示している。また、第５図
は各電極３Ａ，３Ｂがともに同時に破壊した場合
を示し、この時、交流電源６の出力はアーク放電
１４により短絡された状態になる。
従来の無声放電ガスレーザ装置は以上のように
構成されているので、各電極３Ａ，３Ｂが破壊す
ると、金属１１から直接に放電電流が流れてアー
ク放電１４となる。このアーク放電１４はレーザ
媒質ガス２を励起する作用がないため、レーザ発
振は停止するという欠点があつた。また、アーク
放電１４の放電電圧は無声放電７の電圧に比べて
非常に低いため、各電極３Ａ，３Ｂが破壊する
と、上記したように交流電源６の出力が短絡され
ることになるので、過電流が流れて交流電源６を
損傷するなどの欠点があつた。
構成されているので、各電極３Ａ，３Ｂが破壊す
ると、金属１１から直接に放電電流が流れてアー
ク放電１４となる。このアーク放電１４はレーザ
媒質ガス２を励起する作用がないため、レーザ発
振は停止するという欠点があつた。また、アーク
放電１４の放電電圧は無声放電７の電圧に比べて
非常に低いため、各電極３Ａ，３Ｂが破壊する
と、上記したように交流電源６の出力が短絡され
ることになるので、過電流が流れて交流電源６を
損傷するなどの欠点があつた。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除
去するためになされたもので、各電極と交流電源
との間にそれぞれコンデンサを直列接続し、抵
抗、電圧源、電流検出器を直列接続したものを各
電極とアース部分との間に接続し、前記電流検出
器より前記各電極の破壊による信号を出力するよ
うにした構成を有し、各電極の破壊による交流電
源の損傷を有効的に防止することができる無声放
電ガスレーザ電極破壊検出装置を提供することを
目的としている。
去するためになされたもので、各電極と交流電源
との間にそれぞれコンデンサを直列接続し、抵
抗、電圧源、電流検出器を直列接続したものを各
電極とアース部分との間に接続し、前記電流検出
器より前記各電極の破壊による信号を出力するよ
うにした構成を有し、各電極の破壊による交流電
源の損傷を有効的に防止することができる無声放
電ガスレーザ電極破壊検出装置を提供することを
目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。第６図はこの発明の一実施例である無声放電
ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成
図で、第１図と同一部分には同一符号を用いて表
示してあり、その詳細な説明は省略する。このも
のは、各電極３Ａ，３Ｂと交流電源６との間にそ
れぞれコンデンサ１６Ａ，１６Ｂを直列接続し、
各電極３Ａ，３Ｂには、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ、
各直流電源１８Ａ，１８Ｂ、各電流検出器１９
Ａ，１９Ｂを直列接続したものをアース部分との
間に接続し、各電極３Ａ，３Ｂの破壊により回路
に電流が流れると、これを各電流検出器１９Ａ，
１９Ｂにより検出し、それぞれ検出信号を各端子
２０Ａ，２０Ｂより出力するように構成されてい
る。しかして、各電極３Ａ，３Ｂは、金属１１の
表面を誘電体１２で被覆してなる構成とされてい
るため、通常、各電極３Ａ，３Ｂは直流電流を通
さず、また、各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂも直流
電流を通さない。このため各電極３Ａ，３Ｂ間に
各抵抗１７Ａ，１７Ｂを介して各直流電源１８
Ａ，１８Ｂを接続しても、これらと直列接続され
ている各電流検出器１９Ａ，１９Ｂには何んらの
電流も流れない。
る。第６図はこの発明の一実施例である無声放電
ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成
図で、第１図と同一部分には同一符号を用いて表
示してあり、その詳細な説明は省略する。このも
のは、各電極３Ａ，３Ｂと交流電源６との間にそ
れぞれコンデンサ１６Ａ，１６Ｂを直列接続し、
各電極３Ａ，３Ｂには、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ、
各直流電源１８Ａ，１８Ｂ、各電流検出器１９
Ａ，１９Ｂを直列接続したものをアース部分との
間に接続し、各電極３Ａ，３Ｂの破壊により回路
に電流が流れると、これを各電流検出器１９Ａ，
１９Ｂにより検出し、それぞれ検出信号を各端子
２０Ａ，２０Ｂより出力するように構成されてい
る。しかして、各電極３Ａ，３Ｂは、金属１１の
表面を誘電体１２で被覆してなる構成とされてい
るため、通常、各電極３Ａ，３Ｂは直流電流を通
さず、また、各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂも直流
電流を通さない。このため各電極３Ａ，３Ｂ間に
各抵抗１７Ａ，１７Ｂを介して各直流電源１８
Ａ，１８Ｂを接続しても、これらと直列接続され
ている各電流検出器１９Ａ，１９Ｂには何んらの
電流も流れない。
第７図ないし第９図は、第６図の無声放電ガス
レーザ電極破壊検出装置における電極破壊時の態
様を示す説明図である。上述したように、各電極
３Ａ，３Ｂが破壊されてアーク放電１４が生じる
と、回路に直流電流が流れるようになる。第７図
には、電極３Ａの破壊により電流検出器１９Ａに
図の矢印で示す方向に直流電流２２が流れ、ま
た、第８図には、電極３Ｂの破壊により電流検出
器１９Ｂに図の矢印で示す方向に直流電流２３が
流れ、さらに、第９図には、各電極３Ａ，３Ｂが
同時に破壊した場合に、各電流検出器１９Ａ，１
９Ｂに図の矢印で示す方向に各直流電流２２，２
３が流れる態様がそれぞれ明示されている。そし
て、各電極３Ａ，３Ｂが破壊したことを、各電流
検出器１９Ａ，１９Ｂのそれぞれの端子２０Ａ，
２０Ｂからの出力信号で知ることができ、この結
果、交流電源６を停止するなどして、その損傷を
未然に防止することができる。ここで、一般にア
ーク放電１４の電圧は低いため、各直流電流１８
Ａ，１８Ｂの電圧は数十ボルトから数百ボルトの
範囲に設定すれば良い。
レーザ電極破壊検出装置における電極破壊時の態
様を示す説明図である。上述したように、各電極
３Ａ，３Ｂが破壊されてアーク放電１４が生じる
と、回路に直流電流が流れるようになる。第７図
には、電極３Ａの破壊により電流検出器１９Ａに
図の矢印で示す方向に直流電流２２が流れ、ま
た、第８図には、電極３Ｂの破壊により電流検出
器１９Ｂに図の矢印で示す方向に直流電流２３が
流れ、さらに、第９図には、各電極３Ａ，３Ｂが
同時に破壊した場合に、各電流検出器１９Ａ，１
９Ｂに図の矢印で示す方向に各直流電流２２，２
３が流れる態様がそれぞれ明示されている。そし
て、各電極３Ａ，３Ｂが破壊したことを、各電流
検出器１９Ａ，１９Ｂのそれぞれの端子２０Ａ，
２０Ｂからの出力信号で知ることができ、この結
果、交流電源６を停止するなどして、その損傷を
未然に防止することができる。ここで、一般にア
ーク放電１４の電圧は低いため、各直流電流１８
Ａ，１８Ｂの電圧は数十ボルトから数百ボルトの
範囲に設定すれば良い。
第１０図はこの発明の実施例である無声放電ガ
スレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成図
である。このものは、電圧源として、第６図に示
す各直流電流１８Ａ，１８Ｂの代わりに各低周波
交流電源２１Ａ，２１Ｂを用いた場合を示してお
り、その他の回路構成は上記第６図のものとほぼ
同様である。通常、交流電源６はその周波数が
10kHz以上の高周波電源である場合が多く、各コ
ンデンサ１６Ａ，１６Ｂは上記の周波数に対して
十分に大きな値に設定されているため、交流電源
６に対して各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂのインピ
ーダンスは十分に低い。しかし、低周波数に対し
ては各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂのインピーダン
スは高くなるので、各低周波交流電源２１Ａ，２
１Ｂによる電流は各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂに
ほとんど流れない。ところで、上記第７図ないし
第９図において述べたように、各電極３Ａ，３Ｂ
が破壊すると、各電流検出器１９Ａ，１９Ｂには
低周波交流電流が流れて、その各端子２０Ａ，２
０Ｂからは出力信号が得られるため、上記第６図
に示す各直流電源１８Ａ，１８Ｂの場合と同様な
効果を奏する。
スレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成図
である。このものは、電圧源として、第６図に示
す各直流電流１８Ａ，１８Ｂの代わりに各低周波
交流電源２１Ａ，２１Ｂを用いた場合を示してお
り、その他の回路構成は上記第６図のものとほぼ
同様である。通常、交流電源６はその周波数が
10kHz以上の高周波電源である場合が多く、各コ
ンデンサ１６Ａ，１６Ｂは上記の周波数に対して
十分に大きな値に設定されているため、交流電源
６に対して各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂのインピ
ーダンスは十分に低い。しかし、低周波数に対し
ては各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂのインピーダン
スは高くなるので、各低周波交流電源２１Ａ，２
１Ｂによる電流は各コンデンサ１６Ａ，１６Ｂに
ほとんど流れない。ところで、上記第７図ないし
第９図において述べたように、各電極３Ａ，３Ｂ
が破壊すると、各電流検出器１９Ａ，１９Ｂには
低周波交流電流が流れて、その各端子２０Ａ，２
０Ｂからは出力信号が得られるため、上記第６図
に示す各直流電源１８Ａ，１８Ｂの場合と同様な
効果を奏する。
第１１図はこの発明のさらに他の実施例である
無声放電ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略
回路構成図である。このものは、交流電源６の出
力をトランス２５により昇圧して各電極３Ａ，３
Ｂに印加した場合を示している。図に示すよう
に、互いに直列接続した各コンデンサ１６Ａ，１
６Ｂをトランス２５の中点に接続し、各コンデン
サ１６Ａ，１６Ｂには、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ、
各直流電源１８Ａ，１８Ｂ及び電流検出器１９を
直列接続したものを並列接続し、また、電流検出
器１９とアース間には各ダイオード２４Ａ，２４
Ｂをそれぞれ接続してなる回路構成図を有する。
これによれば、電流検出器１９は１個だけ設けれ
ば良く、その端子２０から出力信号が得られる。
また、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ等はトランス２５の
アース電位に近い側に接続されているため、各抵
抗１７Ａ，１７Ｂ等には交流電源６の出力する高
電圧が直接に印加されないから、各抵抗１７Ａ，
１７Ｂは低抵抗のものが使用できるとともに、電
流検出器１９の感度を高くすることができるもの
である。
無声放電ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略
回路構成図である。このものは、交流電源６の出
力をトランス２５により昇圧して各電極３Ａ，３
Ｂに印加した場合を示している。図に示すよう
に、互いに直列接続した各コンデンサ１６Ａ，１
６Ｂをトランス２５の中点に接続し、各コンデン
サ１６Ａ，１６Ｂには、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ、
各直流電源１８Ａ，１８Ｂ及び電流検出器１９を
直列接続したものを並列接続し、また、電流検出
器１９とアース間には各ダイオード２４Ａ，２４
Ｂをそれぞれ接続してなる回路構成図を有する。
これによれば、電流検出器１９は１個だけ設けれ
ば良く、その端子２０から出力信号が得られる。
また、各抵抗１７Ａ，１７Ｂ等はトランス２５の
アース電位に近い側に接続されているため、各抵
抗１７Ａ，１７Ｂ等には交流電源６の出力する高
電圧が直接に印加されないから、各抵抗１７Ａ，
１７Ｂは低抵抗のものが使用できるとともに、電
流検出器１９の感度を高くすることができるもの
である。
なお、上記第１１図に示す電流検出器１９とし
て、第１２図に点線で囲む部分により示される電
磁リレー等を使用し、コイル２６に電流が流れて
接点２７をONすることにより、端子２０から出
力信号が得られるようにしても良く、この場合に
は、簡単な構成により電流検出器１９を構成する
ことができる。
て、第１２図に点線で囲む部分により示される電
磁リレー等を使用し、コイル２６に電流が流れて
接点２７をONすることにより、端子２０から出
力信号が得られるようにしても良く、この場合に
は、簡単な構成により電流検出器１９を構成する
ことができる。
以上のように、この発明に係る無声放電ガスレ
ーザ電極破壊検出装置によれば、高周波数の交流
電源に加えて、抵抗、電圧源、電流検出器の直列
回路を各電極とアース部分との間に接続し、電極
破壊時に発生するアーク放電により流れる直流電
流又は低周波交流電流を電流検出器によつて検出
するようにした構成としたことから、電極の破壊
による交流電源の損傷を非常に有効的に防止する
ことができるので、極めて信頼性の高い無声放電
ガスレーザ装置が得られるという優れた効果を奏
するのである。
ーザ電極破壊検出装置によれば、高周波数の交流
電源に加えて、抵抗、電圧源、電流検出器の直列
回路を各電極とアース部分との間に接続し、電極
破壊時に発生するアーク放電により流れる直流電
流又は低周波交流電流を電流検出器によつて検出
するようにした構成としたことから、電極の破壊
による交流電源の損傷を非常に有効的に防止する
ことができるので、極めて信頼性の高い無声放電
ガスレーザ装置が得られるという優れた効果を奏
するのである。
第１図は従来の無声放電ガスレーザ装置を示す
概略構成図、第２図は第１図の無声放電ガスレー
ザ装置における電極部分を明示する断面図、第３
図、第４図及び第５図は、第１図の無声放電ガス
レーザ装置における電極破壊時の態様を示す説明
図、第６図はこの発明の一実施例である無声放電
ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成
図、第７図、第８図及び第９図は、第６図の無声
放電ガスレーザ電極破壊検出装置における電極破
壊時の態様を示す説明図、第１０図はこの発明の
他の実施例である無声放電ガスレーザ電極破壊検
出装置を示す概略回路構成図、第１１図はこの発
明のさらに他の実施例である無声放電ガスレーザ
電極破壊検出装置を示す概略回路構成図、第１２
図は第１１図に適用される電流検出器の一例を示
す図である。 図において、１……容器、２……レーザ媒質ガ
ス、３Ａ，３Ｂ……電極、４……熱交換器、５…
…送風機、６……交流電源、７……無声放電、８
……全反射鏡、９……部分透過鏡、１０……レー
ザ光、１１……金属、１２……誘電体、１３……
破壊点、１４……アーク放電、１５……金属部
分、１６Ａ，１６Ｂ……コンデンサ、１７Ａ，１
７Ｂ……抵抗、１８Ａ，１８Ｂ……直流電源、１
９，１９Ａ，１９Ｂ……電流検出器、２０，２０
Ａ，２０Ｂ……端子、２１Ａ，２１Ｂ……低周波
交流電源、２２，２３……直流電流、２４Ａ，２
４Ｂ……ダイオード、２５……トランス、２６…
…コイル、２７……接点である。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
概略構成図、第２図は第１図の無声放電ガスレー
ザ装置における電極部分を明示する断面図、第３
図、第４図及び第５図は、第１図の無声放電ガス
レーザ装置における電極破壊時の態様を示す説明
図、第６図はこの発明の一実施例である無声放電
ガスレーザ電極破壊検出装置を示す概略回路構成
図、第７図、第８図及び第９図は、第６図の無声
放電ガスレーザ電極破壊検出装置における電極破
壊時の態様を示す説明図、第１０図はこの発明の
他の実施例である無声放電ガスレーザ電極破壊検
出装置を示す概略回路構成図、第１１図はこの発
明のさらに他の実施例である無声放電ガスレーザ
電極破壊検出装置を示す概略回路構成図、第１２
図は第１１図に適用される電流検出器の一例を示
す図である。 図において、１……容器、２……レーザ媒質ガ
ス、３Ａ，３Ｂ……電極、４……熱交換器、５…
…送風機、６……交流電源、７……無声放電、８
……全反射鏡、９……部分透過鏡、１０……レー
ザ光、１１……金属、１２……誘電体、１３……
破壊点、１４……アーク放電、１５……金属部
分、１６Ａ，１６Ｂ……コンデンサ、１７Ａ，１
７Ｂ……抵抗、１８Ａ，１８Ｂ……直流電源、１
９，１９Ａ，１９Ｂ……電流検出器、２０，２０
Ａ，２０Ｂ……端子、２１Ａ，２１Ｂ……低周波
交流電源、２２，２３……直流電流、２４Ａ，２
４Ｂ……ダイオード、２５……トランス、２６…
…コイル、２７……接点である。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 金属の表面を誘導体で被覆した各電極間に交
流電圧を印加し、該各電極間に無声放電を発生さ
せ、レーザ媒質ガスを励起することによりレーザ
光を出力させる無声放電ガスレーザ装置におい
て、前記各電極と交流電源との間にそれぞれコン
デンサを直列接続し、抵抗、電圧源、電流検出器
を直列接続したものを前記各電極と、アース部分
との間に接続し、前記電流検出器より前記各電極
の破壊による信号を出力するようにしたことを特
徴とする無声放電ガスレーザ電極破壊検出装置。 ２ 前記電圧源として、直流電源を用いたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無声放電
ガスレーザ電極破壊検出装置。 ３ 前記電圧源として、低周波交流電源を用いた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無
声放電ガスレーザ電極破壊検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3413883A JPS59159582A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 無声放電ガスレ−ザ電極破壊検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3413883A JPS59159582A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 無声放電ガスレ−ザ電極破壊検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59159582A JPS59159582A (ja) | 1984-09-10 |
| JPH021385B2 true JPH021385B2 (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=12405853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3413883A Granted JPS59159582A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 無声放電ガスレ−ザ電極破壊検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59159582A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61170087A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS6398175A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | Fanuc Ltd | レ−ザ装置 |
| JP4610133B2 (ja) * | 2001-07-18 | 2011-01-12 | 株式会社アマダエンジニアリングセンター | ガスレーザ発振器における電極外放電検出方法 |
-
1983
- 1983-03-02 JP JP3413883A patent/JPS59159582A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59159582A (ja) | 1984-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0477621B1 (en) | A lighting device of discharge lamp | |
| EP1280386B1 (en) | Discharge lamp ignition device, equipment and image forming apparatus | |
| NL8103908A (nl) | Generator voor het starten en bedrijven van een belasting met varierende impedantiekarakteristiek. | |
| NL8101836A (nl) | Ontsteek- en vlamdetectie-inriching. | |
| JPH021385B2 (ja) | ||
| US4876689A (en) | Output voltage detecting device in a laser oscillator | |
| JP2725594B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| EP0886460A1 (en) | Electronic ballast with circuit for detecting rectification by lamp | |
| JPH08160004A (ja) | 移動導電体検出用コイルとそれを用いた移動導電体検出装置 | |
| US3562664A (en) | Gas laser with means for maintaining power output | |
| JP2953086B2 (ja) | 照明装置 | |
| KR820001255B1 (ko) | 아아크 용접기의 전격 방지장치 | |
| US4160190A (en) | Circuit comprising an air gap for driving a laser | |
| US4467247A (en) | High frequency fluorescent lamp circuit | |
| JPH01251591A (ja) | 半波放電検出回路 | |
| JP2789278B2 (ja) | 高周波放電励起レーザ発振器 | |
| JPH0341993B2 (ja) | ||
| JPS6227623B2 (ja) | ||
| JPH0131714B2 (ja) | ||
| JP2649428B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JPH07135075A (ja) | マグネトロン用電源回路 | |
| JPH03178177A (ja) | ガスレーザ発振装置とその制御方法 | |
| JPH04779A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS63213986A (ja) | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 | |
| JPS61228689A (ja) | ガスレ−ザ装置 |