JPH02122216A - マルチヘッド直線位置センサ - Google Patents
マルチヘッド直線位置センサInfo
- Publication number
- JPH02122216A JPH02122216A JP27546388A JP27546388A JPH02122216A JP H02122216 A JPH02122216 A JP H02122216A JP 27546388 A JP27546388 A JP 27546388A JP 27546388 A JP27546388 A JP 27546388A JP H02122216 A JPH02122216 A JP H02122216A
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、マルチヘッド直線位置センサに係わり、殊に
油圧又は空圧等で伸縮する圧力シリンダ等の直線的な伸
縮量を高精度に検出するに好適なマルチヘッド直線位置
センサに関する。
油圧又は空圧等で伸縮する圧力シリンダ等の直線的な伸
縮量を高精度に検出するに好適なマルチヘッド直線位置
センサに関する。
（従来の技術）
先ず、従来の被検体について述べれば、例えば、圧力シ
リンダであれば、その伸縮ロンドの表面に、又はこのロ
ンドに取り付けた移動スケルの表面に、機械加工によっ
て、ロンド材料又はスケール材料とは異なる磁気特性を
有する線材料を等間隔に複数条理め込んで線状バタンと
したもの、又は単に凹凸を設は線状バタンとしたもの等
がある。次に、かかる被検体の直線位置センサについて
述べれば、１個の直線位置センサを前記被検体の表面直
上に備え、被検体の伸縮又は移動に伴い前記位置センサ
が検出する磁気特性の変化をカウントして被検体の伸縮
量又は移動量を検知するのが一般である。
リンダであれば、その伸縮ロンドの表面に、又はこのロ
ンドに取り付けた移動スケルの表面に、機械加工によっ
て、ロンド材料又はスケール材料とは異なる磁気特性を
有する線材料を等間隔に複数条理め込んで線状バタンと
したもの、又は単に凹凸を設は線状バタンとしたもの等
がある。次に、かかる被検体の直線位置センサについて
述べれば、１個の直線位置センサを前記被検体の表面直
上に備え、被検体の伸縮又は移動に伴い前記位置センサ
が検出する磁気特性の変化をカウントして被検体の伸縮
量又は移動量を検知するのが一般である。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、従来の被検体に対して１個の直線位置セ
ンサの構成では、被検体の伸縮量や移動量を高精度に測
定しようとする場合、線状バク−ンを密にするしかなく
、この場合、従来の被検体が上述の通り機械加工により
線状バタンを形成せられているため、加工上の困難、ロ
ンドであればパターンの凹凸によるシリンダ内からの油
や空気の漏れの発生、更には磁気特性の相互干渉による
検出精度の低下等の不都合が生ずる。従って、線状パタ
ーンを密にするには限界があった。
ンサの構成では、被検体の伸縮量や移動量を高精度に測
定しようとする場合、線状バク−ンを密にするしかなく
、この場合、従来の被検体が上述の通り機械加工により
線状バタンを形成せられているため、加工上の困難、ロ
ンドであればパターンの凹凸によるシリンダ内からの油
や空気の漏れの発生、更には磁気特性の相互干渉による
検出精度の低下等の不都合が生ずる。従って、線状パタ
ーンを密にするには限界があった。
本発明は、かかる従来技術の問題点に着目し、従来の被
検体であっても、高精度で伸縮量や移動量を測定し得る
直線位置センサを提供することを目的とする。
検体であっても、高精度で伸縮量や移動量を測定し得る
直線位置センサを提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するため、本発明に係わるマルチヘッド
直線位置センサは、複数個の位置検知ヘッドが、表面に
母材と異なる磁気性でなる複数条の線状パターンを備え
る被検体表面直上でこの表面に対向して配置され、かつ
、前記線状パターンの間隔内に納まるように配置された
構成とした。
直線位置センサは、複数個の位置検知ヘッドが、表面に
母材と異なる磁気性でなる複数条の線状パターンを備え
る被検体表面直上でこの表面に対向して配置され、かつ
、前記線状パターンの間隔内に納まるように配置された
構成とした。
（実施例）
以下実施例を第１図〜第３図を参照し説明する。第１図
は３個のヘッドＳ１、Ｓ２、Ｓ３の例である。本実施例
では油圧シリンダを対象に、このマルチヘッド直線位置
センサＳを油圧シリンダのへソドキャノプに装着し、マ
ルチヘッド直線位置センサＳはその各ヘットＳ１、Ｓ２
、Ｓの検知面がロッド２の表面上に位置するように備え
た構成とした。つまり、ロッド２が被検体であって、こ
のロッド２が図示左右に伸縮するときの伸縮量をこのマ
ルチヘッド直線位置センサＳで検出する構成である。詳
しくは、ヘッドＳ１、Ｓ２、Ｓ３の各々ば等間隔！で配
列した構成であって、更にロット２の表面の線状パター
ン１の間隔りに対し、Ｌ〉２！の関係とした構成である
。次に、上記実施例の作用及び効果を第２図及び第３図
で説明すれば、ロッド２を伸縮させると、第２図に示す
出力Ｓｌｌ、Ｓ２．２、Ｓ３３を検出することができる
。これをコンパレータを用い基準値Ｃ以上を拾い上げて
パルス化すると、第３図のパルス出力５１１１．５２２
２．５３３３を検出することができる。
は３個のヘッドＳ１、Ｓ２、Ｓ３の例である。本実施例
では油圧シリンダを対象に、このマルチヘッド直線位置
センサＳを油圧シリンダのへソドキャノプに装着し、マ
ルチヘッド直線位置センサＳはその各ヘットＳ１、Ｓ２
、Ｓの検知面がロッド２の表面上に位置するように備え
た構成とした。つまり、ロッド２が被検体であって、こ
のロッド２が図示左右に伸縮するときの伸縮量をこのマ
ルチヘッド直線位置センサＳで検出する構成である。詳
しくは、ヘッドＳ１、Ｓ２、Ｓ３の各々ば等間隔！で配
列した構成であって、更にロット２の表面の線状パター
ン１の間隔りに対し、Ｌ〉２！の関係とした構成である
。次に、上記実施例の作用及び効果を第２図及び第３図
で説明すれば、ロッド２を伸縮させると、第２図に示す
出力Ｓｌｌ、Ｓ２．２、Ｓ３３を検出することができる
。これをコンパレータを用い基準値Ｃ以上を拾い上げて
パルス化すると、第３図のパルス出力５１１１．５２２
２．５３３３を検出することができる。
これをディジタル化してカウントすれば、１条の線状パ
ターンから３つの位置データを知ることが可能となる。
ターンから３つの位置データを知ることが可能となる。
かかる結果、被検体の線状パターンを密にすることなく
、機械加工の困難、ロッドであればパターンの凹凸によ
る油や空気漏れの発生、又は磁気特性の相互干渉による
検出精度の低下等の不都合の発生を防ぐことができる。
、機械加工の困難、ロッドであればパターンの凹凸によ
る油や空気漏れの発生、又は磁気特性の相互干渉による
検出精度の低下等の不都合の発生を防ぐことができる。
他の実施例として、ヘッドの数が２個のもの又は３個よ
り多く備えたものでもよい。多ければ多いほどよく、ヘ
ッドがｎ個であれば、ｎ倍の精度向上を図ることができ
る。更に目的によってはヘッドの間隔を等間隔ではなく
、またＬ〉２Ｉ！、でなくともよく、要は線状パターン
間隔り内に複数個のヘッドが配置され得る構成であれば
よい。更に本発明に係わるマルチヘッド直線位置センサ
は、単に従来の被検体に対してのみではなく、熱処理に
より異なる磁気特性を付与された線状パターンを備える
被検体に対しても、大きな効果を得ることができる。ち
なみに熱処理により異なる磁気特性を付与した線状パタ
ーンを備える被検体には、浸炭、メツキ、アロイング等
により異なる磁気特性を有する線状パターンを付与され
た被検体、又はレーザ、電子ビーム、イオンビーム等の
高エネルギー密度のビームを母材に照射して異なる磁気
特性を有する線状パターンを付与された被検体、又は、
例えば被検体にカーボンを塗布しこれに前記高エネルギ
ー密度ビームを照射しくつまり、前２者の組み合わせ）
異なる磁気特性を有する線状パターンを付与された被検
体等がある。
り多く備えたものでもよい。多ければ多いほどよく、ヘ
ッドがｎ個であれば、ｎ倍の精度向上を図ることができ
る。更に目的によってはヘッドの間隔を等間隔ではなく
、またＬ〉２Ｉ！、でなくともよく、要は線状パターン
間隔り内に複数個のヘッドが配置され得る構成であれば
よい。更に本発明に係わるマルチヘッド直線位置センサ
は、単に従来の被検体に対してのみではなく、熱処理に
より異なる磁気特性を付与された線状パターンを備える
被検体に対しても、大きな効果を得ることができる。ち
なみに熱処理により異なる磁気特性を付与した線状パタ
ーンを備える被検体には、浸炭、メツキ、アロイング等
により異なる磁気特性を有する線状パターンを付与され
た被検体、又はレーザ、電子ビーム、イオンビーム等の
高エネルギー密度のビームを母材に照射して異なる磁気
特性を有する線状パターンを付与された被検体、又は、
例えば被検体にカーボンを塗布しこれに前記高エネルギ
ー密度ビームを照射しくつまり、前２者の組み合わせ）
異なる磁気特性を有する線状パターンを付与された被検
体等がある。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明に係わるマルチヘッド直線
位置センサによれば、従来の被検体を何ら変更すること
なく、高精度の測定を実施することができる。
位置センサによれば、従来の被検体を何ら変更すること
なく、高精度の測定を実施することができる。
第１図は本発明に係わるマルチへ・ンド直線位置センサ
の一実施例を示す図、第２図及び第３図は実施例の作用
及び効果を示す図である。 ｌ・・・線状パターン ２・・・ロッドＣ・・・基準
値 ！・・・ヘッド間隔Ｌ・・・線状パターン間隔 Ｓ・・・マルチヘッド直線位置センサ Ｓ ■ ２ 、 ヘラ ト
の一実施例を示す図、第２図及び第３図は実施例の作用
及び効果を示す図である。 ｌ・・・線状パターン ２・・・ロッドＣ・・・基準
値 ！・・・ヘッド間隔Ｌ・・・線状パターン間隔 Ｓ・・・マルチヘッド直線位置センサ Ｓ ■ ２ 、 ヘラ ト
Claims (1)
- 複数個の位置検知ヘッドが、表面に母材と異なる磁気性
でなる複数条の線状パターンを備える被検体表面直上で
この表面に対向して配置され、かつ、前記線状パターン
の間隔内に納まるように配置された構成を特徴とするマ
ルチヘッド直線位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27546388A JPH02122216A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | マルチヘッド直線位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27546388A JPH02122216A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | マルチヘッド直線位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02122216A true JPH02122216A (ja) | 1990-05-09 |
Family
ID=17555887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27546388A Pending JPH02122216A (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | マルチヘッド直線位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02122216A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010515870A (ja) * | 2007-01-16 | 2010-05-13 | シャエフラー カーゲー | ローラー軸受におけるローラーを案内するための櫛状側板リテーナ及びローラー軸受 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP27546388A patent/JPH02122216A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010515870A (ja) * | 2007-01-16 | 2010-05-13 | シャエフラー カーゲー | ローラー軸受におけるローラーを案内するための櫛状側板リテーナ及びローラー軸受 |
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