JPH02122069U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02122069U JPH02122069U JP2959189U JP2959189U JPH02122069U JP H02122069 U JPH02122069 U JP H02122069U JP 2959189 U JP2959189 U JP 2959189U JP 2959189 U JP2959189 U JP 2959189U JP H02122069 U JPH02122069 U JP H02122069U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- infrared lamp
- single crystal
- radiation
- spheroidal mirror
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す赤外線加熱単
結晶製造装置の縦断面図、第２図は従来の単結晶
製造装置を示す縦断面図である。 １１，１２……回転楕円面鏡、１３，１４……
ランプ、１５……被加熱部、１６……原料棒、１
７……結晶棒、２４……ランプバルブ、２６……
封止部、２８，２９……遮光物（板）。
結晶製造装置の縦断面図、第２図は従来の単結晶
製造装置を示す縦断面図である。 １１，１２……回転楕円面鏡、１３，１４……
ランプ、１５……被加熱部、１６……原料棒、１
７……結晶棒、２４……ランプバルブ、２６……
封止部、２８，２９……遮光物（板）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 原料棒及び結晶棒間の被加熱物を、赤外線ラン
プからの赤外線を反射させる回転楕円面鏡を用い
て加熱する赤外線加熱単結晶製造装置において、 赤外線ランプ電極封止部に、赤外線ランプから
の輻射と、回転楕円面鏡によつて反射された赤外
線ランプからの輻射を遮る遮光物を配置したこと
を特徴とする赤外線加熱単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2959189U JPH02122069U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2959189U JPH02122069U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02122069U true JPH02122069U (ja) | 1990-10-04 |
Family
ID=31253937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2959189U Pending JPH02122069U (ja) | 1989-03-14 | 1989-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02122069U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017058087A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 本田技研工業株式会社 | 乾燥装置 |
-
1989
- 1989-03-14 JP JP2959189U patent/JPH02122069U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017058087A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 本田技研工業株式会社 | 乾燥装置 |