JPH02116751U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02116751U JPH02116751U JP2538589U JP2538589U JPH02116751U JP H02116751 U JPH02116751 U JP H02116751U JP 2538589 U JP2538589 U JP 2538589U JP 2538589 U JP2538589 U JP 2538589U JP H02116751 U JPH02116751 U JP H02116751U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal structure
- metal
- layers
- utility
- scope
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案を実施したメタル構造を示す図
であり、第２図はその製造方法を説明するための
図である。第３図は従来例を示す図である。 １……メタル、１Ａ……下層、１Ｂ……中層、
１Ｃ……上層、２ａ，２ｂ，２ｃ……グレイン。
であり、第２図はその製造方法を説明するための
図である。第３図は従来例を示す図である。 １……メタル、１Ａ……下層、１Ｂ……中層、
１Ｃ……上層、２ａ，２ｂ，２ｃ……グレイン。
Claims (1)
- 堆積形成されたメタルより成るメタル構造であ
つて、前記メタルが同種の材料でグレインの大き
さが異なる複数の層から成つていることを特徴と
するメタル構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2538589U JPH02116751U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2538589U JPH02116751U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116751U true JPH02116751U (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=31246077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2538589U Pending JPH02116751U (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02116751U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60193337A (ja) * | 1984-03-14 | 1985-10-01 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH02113531A (ja) * | 1988-10-22 | 1990-04-25 | Nec Corp | 半導体装置の金属膜 |
-
1989
- 1989-03-06 JP JP2538589U patent/JPH02116751U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60193337A (ja) * | 1984-03-14 | 1985-10-01 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH02113531A (ja) * | 1988-10-22 | 1990-04-25 | Nec Corp | 半導体装置の金属膜 |