JPH02110971U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02110971U JPH02110971U JP1843989U JP1843989U JPH02110971U JP H02110971 U JPH02110971 U JP H02110971U JP 1843989 U JP1843989 U JP 1843989U JP 1843989 U JP1843989 U JP 1843989U JP H02110971 U JPH02110971 U JP H02110971U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- permanent magnet
- rotor
- transmission device
- atmosphere side
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例の縦断面図、第
2図は、第1図の―線断面図、第3図は、こ
の考案の別の実施例の縦断面図、第4図は、従来
例の縦断面図である。 1……真空隔離容器、2……固定子、3……回
転子、31……永久磁石(運動伝達装置の真空側
部品)、4……受動体、41……永久磁石(運動
伝達装置の大気側部品)、5……レゾルバ(回転
検出装置)。
2図は、第1図の―線断面図、第3図は、こ
の考案の別の実施例の縦断面図、第4図は、従来
例の縦断面図である。 1……真空隔離容器、2……固定子、3……回
転子、31……永久磁石(運動伝達装置の真空側
部品)、4……受動体、41……永久磁石(運動
伝達装置の大気側部品)、5……レゾルバ(回転
検出装置)。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空隔離容器の真空側に回転子を、大気側
に固定子を配置した真空隔離モータにおいて、 回転子の回転状態を検出する回転検出装置を大
気側に配置したことを特徴とする真空隔離モータ
。 (2) 運動伝達装置を利用して前記回転子の回転
運動を真空隔離容器を隔てて大気側に伝達し、前
記運動伝達装置の大気側部品の回転状態を前記回
転検出装置で検出することを特徴とする請求項1
記載の真空隔離モータ。 (3) 前記運動伝達装置の真空側部品として、回
転子に固定された永久磁石を利用し、 前記運動伝達装置の大気側部品として、真空隔
離容器を隔てて前記永久磁石に対向して配置され
た永久磁石を利用する ことを特徴とする請求項1記載の真空隔離モータ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1843989U JPH02110971U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1843989U JPH02110971U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02110971U true JPH02110971U (ja) | 1990-09-05 |
Family
ID=31233094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1843989U Pending JPH02110971U (ja) | 1989-02-21 | 1989-02-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02110971U (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2006296058A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ |
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JP2012249519A (ja) * | 2012-09-05 | 2012-12-13 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ、搬送装置および半導体製造装置 |
-
1989
- 1989-02-21 JP JP1843989U patent/JPH02110971U/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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