JPH02110842A - Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method - Google Patents
Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording methodInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、レーザー光等の熱および光を用いて情報の記
録、再生を行なう光磁気記録ディスク等の光磁気記録媒
体および光磁気記録媒体に光磁気記録を行なう光磁気記
録方法に関する。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention relates to a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical recording disk, which records and reproduces information using heat and light such as a laser beam, and a magneto-optical recording medium. The present invention relates to a magneto-optical recording method for performing magneto-optical recording.
〈従来の技術〉
光磁気記録媒体の記録層には、希土類元素−遷移金属の
非晶質磁性薄膜が用いられている。<Prior Art> A rare earth element-transition metal amorphous magnetic thin film is used in the recording layer of a magneto-optical recording medium.
希土類元素としては、Gd、Tb、Dy等、遷移金属と
しては、Fe、Co等が好ましく用いられ、特に、C/
N比が高いことから、GdDyFeCo、TbDyFe
Coからなる記録層が提案されている。As rare earth elements, Gd, Tb, Dy, etc. are preferably used, as transition metals, Fe, Co, etc. are preferably used, and in particular, C/
Since the N ratio is high, GdDyFeCo, TbDyFe
A recording layer made of Co has been proposed.
例えば、特開昭60−83305号公報では、Fe−C
o−Dy系においてDyの一部をTbまたはGdで置換
しており、その実施例には、(Fe++I、Cob )
7aTb6Gd+e (ただし、o<b≦0.4)が
記載されている。 そして、その効果は、カー回転角の
増大によるC/N比の向上である。For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-83305, Fe-C
In the o-Dy system, a part of Dy is replaced with Tb or Gd, and examples thereof include (Fe++I, Cob)
7aTb6Gd+e (however, o<b≦0.4) is described. The effect is an improvement in the C/N ratio due to an increase in the Kerr rotation angle.
また、特開昭60−9855号公報には、TbDyFe
Coが開示されており、その実施例には、CO3a、s
F e ae、sD y+x、aT b 9.2、CO
+ 、oF e g2.5D y!、7 T b 10
.2が記載されている。 そして、その効果は、磁歪値
の減少とカー回転角の増大との相乗効果によるS/N比
の向上である。Furthermore, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-9855, TbDyFe
Examples include CO3a, s
F e ae, sD y+x, aT b 9.2, CO
+ , oF e g2.5D y! , 7 T b 10
.. 2 is listed. The effect is an improvement in the S/N ratio due to the synergistic effect of the decrease in the magnetostriction value and the increase in the Kerr rotation angle.
さらに、特開昭60−107751号
公報の実施例には、(D yo、 T b o、 y
)(F 8 o、y COo、s )。8、すなわち、
D V s T b 14F e saCO24が記載
されている。Furthermore, in the example of JP-A-60-107751, (D yo, T b o, y
) (F8o,yCOo,s). 8, i.e.
D V s T b 14F e saCO24 is described.
そして、その効果は、キューリー温度の低下とカー回転
角の増大によるS/N比の向上である。The effect is an improvement in the S/N ratio due to a decrease in the Curie temperature and an increase in the Kerr rotation angle.
さらにまた、特開昭60−233810号公報には、比
較例として(F e o、s COol)o、a(Tb
o、 D310.s)。 および(F e 。Furthermore, in JP-A-60-233810, (F e o, s COol) o, a (Tb
o, D310. s). and (F e .
COO,l)0.79 (T b o、s D 3’
o、s)o、a+、すなわち、それぞれF 8tzCO
a T b +oD 5’ +oおよびF e 71C
Oa T b +o、sD y+o、sが記載されてい
る。COO,l)0.79 (T b o,s D 3'
o, s) o, a+, i.e. F 8tzCO respectively
a T b +oD 5' +o and F e 71C
Oa T b +o, sD y+o, s are described.
これらの他、特開昭60−98611号公報、同59−
217249号公報にもTbDyF3C0は開示されて
いるが、その効果としては、カー回転角の増大、飽和磁
化の向上、キュリー温度の低下等である。In addition to these, JP-A No. 60-98611, JP-A No. 59-
TbDyF3C0 is also disclosed in Japanese Patent No. 217249, and its effects include an increase in Kerr rotation angle, an improvement in saturation magnetization, and a decrease in Curie temperature.
しかし、上記公報に記載されている組成範囲では、C/
N比の向上が不十分であったり、情報記録・消去時に必
要とされる磁界強度が大きなものとなる。However, in the composition range described in the above publication, C/
The improvement in the N ratio may be insufficient, or the magnetic field strength required during information recording/erasing becomes large.
すなわち、光磁気記録媒体は、情報記録時および消去時
に外部から磁界が印加されるが、これらに必要な磁界強
度(以下、Hextという)は、上記の各公報に記載さ
れているような組成のものでは、比較的大きな磁界、例
えば3000e以上必要であるため磁界発生装置が大型
化し、従って、光磁気記録媒体の記録・再生装置も大型
化してしまう。 また、上記組成の記録層では、情報消
去時に必要な磁界強度も当然高いものとなる。In other words, a magnetic field is externally applied to a magneto-optical recording medium when recording and erasing information, and the magnetic field strength (hereinafter referred to as "Hext") required for these is determined by the composition described in each of the above-mentioned publications. However, since a relatively large magnetic field, for example, 3000 e or more is required, the magnetic field generating device becomes large in size, and therefore the recording/reproducing device for the magneto-optical recording medium also becomes large. Furthermore, in the recording layer having the above composition, the magnetic field strength necessary for erasing information is naturally high.
また、近年、独立した消去過程を設けず情報の重ね書き
により消去を行なういわゆるオーバーライド法に対する
要求から、一定の強度の光を照射しながら変調された磁
界により記録を行なう磁界変調記録が注目されているが
、この場合、上記の各公報に記載の記録層では大きな印
加磁界強度を必要とするためにインダクタンスの大きな
コイルを用いる必要がある。 インダクタンスの大きな
コイルでは磁界反転時間を短くできないため、高速記録
が困難である。In addition, in recent years, magnetic field modulation recording, which performs recording using a modulated magnetic field while irradiating light with a constant intensity, has attracted attention due to the demand for the so-called override method, which erases information by overwriting information without providing an independent erasing process. However, in this case, since the recording layer described in each of the above-mentioned publications requires a large applied magnetic field strength, it is necessary to use a coil with a large inductance. High-speed recording is difficult because a coil with large inductance cannot shorten the magnetic field reversal time.
このため、本発明者等は、Tb、DyおよびCoの原子
%で表わされる含有量が
20.5≦Tb+Dy≦31.0
0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
Co≦15.0
であり、残部が実質的にFeである記録層を有する光磁
気記録媒体およびこの光磁気記録媒体を用いた高速記録
可能な磁界変調型光磁気記録方法を提案している(特願
昭63−77394号) この光磁気記録媒体は、C
/N比が高く、しかも、Hextを低く押えることがで
きるものである。Therefore, the present inventors determined that the content expressed in atomic percent of Tb, Dy, and Co is 20.5≦Tb+Dy≦31.0 0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
We have proposed a magneto-optical recording medium having a recording layer in which Co≦15.0 and the remainder is substantially Fe, and a magnetic field modulation type magneto-optical recording method that enables high-speed recording using this magneto-optical recording medium ( (Japanese Patent Application No. 63-77394) This magneto-optical recording medium is
/N ratio is high, and Hext can be kept low.
特願昭63−77394号に記載の光磁気記録媒体の記
録層はHextが小さいため、インダクタンスの小さな
コイルを用いることができ、高速記録が可能であるが、
さらに高速記録を行なうために、よりインダクタンスの
小さなコイルを用いる場合、コイルと記録層との距離を
近接させなければならない。Since the recording layer of the magneto-optical recording medium described in Japanese Patent Application No. 63-77394 has a small Hext, a coil with small inductance can be used and high-speed recording is possible.
Furthermore, when a coil with a smaller inductance is used to perform high-speed recording, the distance between the coil and the recording layer must be made close.
しかし、記録層を有する一対の基板を、記録層を内側に
して張り合せて構成される両面記録型の光磁気記録媒体
、あるいは、片面記録型であっても基板の記録層上に基
板と同程度の厚さの保護板を有する光磁気記録媒体では
、基板あるいは保護板の厚さのために、コイルと記録層
とを近接させることが困難である。 このため、よりイ
ンダクタンスの小さなコイルを用いる場合は、記録層上
に、例えば、有機系物質から構成される厚さ1〜100
μmの保護コートを設けた片面記録型の光磁気記録媒体
として用いることが好ましい。 しかし、このような保
護コートでは耐食性が十分とはいえない。However, a double-sided recording type magneto-optical recording medium is constructed by laminating a pair of substrates each having a recording layer with the recording layer on the inside, or even in a single-sided recording type, the recording layer is placed on the same substrate as the substrate. In a magneto-optical recording medium having a protective plate with a certain thickness, it is difficult to bring the coil and the recording layer close to each other due to the thickness of the substrate or the protective plate. For this reason, when using a coil with smaller inductance, for example, a coil with a thickness of 1 to 100 mm made of an organic material is coated on the recording layer.
It is preferable to use it as a single-sided recording type magneto-optical recording medium provided with a protective coat of μm. However, such a protective coat cannot be said to have sufficient corrosion resistance.
このため、本発明者等は、特願昭63−77394号に
記載の光磁気記録媒体の記録層に、4A族元素、5A族
元素、6A族元素、8族元素、3B族元素、C,Stお
よびPのうちから選ばれる少なくとも1種以上の元素を
、添加元素として添加した光磁気記録媒体を提案してい
る(特願昭63−140764号) この光磁気記録
媒体は、上記添加元素の添加により記録層の耐食性を向
上させたものである。For this reason, the present inventors added a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, a group 3B element, C, We have proposed a magneto-optical recording medium in which at least one element selected from St and P is added as an additive element (Japanese Patent Application No. 140764/1983). This addition improves the corrosion resistance of the recording layer.
また、本発明者等は、特願昭63−77394号および
特願昭63−140764号に記載°の光磁気記録媒体
の記録層に、Geおよび/またはSrを添加元素として
添加した光磁気記録媒体を提案している(特願昭63−
142462号) この光磁気記録媒体は、高温・高
湿下での保存後あるいは繰り返し再生後においても、記
録層の感度変化がきわめて小さいものである。In addition, the present inventors have developed a magneto-optical recording medium in which Ge and/or Sr are added as additive elements to the recording layer of the magneto-optical recording medium described in Japanese Patent Application No. 63-77394 and Japanese Patent Application No. 63-140764. We are proposing a medium (patent application 1986-
No. 142462) This magneto-optical recording medium exhibits extremely small changes in the sensitivity of the recording layer even after storage under high temperature and high humidity conditions or after repeated reproduction.
さらに、本発明者等は、特願昭63−77394号、特
願昭63−140764号および特願昭63−1424
62号に記載の光磁気記録媒体の記録層に、Bi、Cu
、SnおよびPbから選択される元素の1種以上を添加
元素として添加した光磁気記録媒体を提案している(特
願昭63−143335号)。 この光磁気記録媒体は
、C/N比がさらに向上している。Furthermore, the present inventors have disclosed that
In the recording layer of the magneto-optical recording medium described in No. 62, Bi, Cu
has proposed a magneto-optical recording medium in which one or more elements selected from , Sn, and Pb are added as an additive element (Japanese Patent Application No. 143335/1982). This magneto-optical recording medium has a further improved C/N ratio.
〈発明が解決しようとする課題〉
しかし、光磁気記録媒体のC/N比に対する要求は厳し
く、さらに高いC/N比を有する光磁気記録媒体が求め
られている。<Problems to be Solved by the Invention> However, there are strict requirements for the C/N ratio of magneto-optical recording media, and a magneto-optical recording medium having an even higher C/N ratio is required.
本発明は、情報記録時および消去時に外部から印加され
る磁界の強度を低(押えることができ、しかもC/N比
がきわめて高い光磁気記録媒体およびこの光磁気記録媒
体を用いた高速記録可能な磁界変調型光磁気記録方法を
提供することを目的とする。The present invention provides a magneto-optical recording medium that can reduce the intensity of the magnetic field applied from the outside when recording and erasing information and has an extremely high C/N ratio, and a magneto-optical recording medium that enables high-speed recording using this magneto-optical recording medium. The purpose of the present invention is to provide a magnetic field modulation type magneto-optical recording method.
く課題を解決するための手段〉 このような目的は、下記の本発明により達成される。Means to solve problems〉 Such objects are achieved by the invention described below.
すなわち、本発明は、下記(1)〜(9)■ある。That is, the present invention has the following (1) to (9).
(1)Tb、DyおよびCoの原子%で表わされる含有
量が
20.5≦Tb+Dy≦31.0
0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
Co≦15.0
であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記基板と前記記録層との間に中間層を有する光磁
気記録媒体であって、前記中間層が、金属または半金属
の2種以上と、酸素および窒素とを含有することを特徴
とする光磁気記録媒体。(1) The content expressed in atomic percent of Tb, Dy and Co is 20.5≦Tb+Dy≦31.0 0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
A magneto-optical recording medium having a recording layer on a substrate in which Co≦15.0 and the remainder being substantially Fe, and an intermediate layer between the substrate and the recording layer, wherein the intermediate layer 1. A magneto-optical recording medium characterized in that the medium contains two or more metals or metalloids, oxygen and nitrogen.
(2)前記金属または半金属が、ケイ素とアルミニウム
とである上記(1)に記載の光磁気記録媒体。(2) The magneto-optical recording medium according to (1) above, wherein the metal or metalloid is silicon and aluminum.
(3)前記中間層が、Y、ランタノイド元素およびアク
チノイド元素から選ばれる1種以上の元素を含有する上
記(1)または(2)に記載の光磁気記録媒体。(3) The magneto-optical recording medium according to (1) or (2) above, wherein the intermediate layer contains one or more elements selected from Y, a lanthanide element, and an actinide element.
(4)上記(1)ないしく3)のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、4A族元素、5A族元素、
6A族元素、8族元素、3B族元素、C,SiおよびP
のうちから選ばれる少なくとも1種以上の元素を、添加
元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。(4) A group 4A element, a group 5A element,
Group 6A elements, Group 8 elements, Group 3B elements, C, Si and P
A magneto-optical recording medium characterized in that at least one element selected from among these is added as an additive element.
(5)前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、
前記5A族元素がV、NbおよびTaであり、前記6A
族元素がCr、MoおよびWであり、前記8族元素がN
iおよびPtであり、前記3B族元素がBおよびAβで
ある上記(4)に記載の光磁気記録媒体。(5) the Group 4A elements are Ti, Zr and Hf;
The 5A group elements are V, Nb and Ta, and the 6A
The group elements are Cr, Mo and W, and the group 8 element is N.
The magneto-optical recording medium according to (4) above, wherein the group 3B elements are B and Aβ.
(6)上記(1)ないしく5)のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Geおよび/またはSrを
添加元素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒
体。(6) A magneto-optical recording medium characterized in that Ge and/or Sr are added as additional elements to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to 5) above.
(7)上記(1)ないしく6)のいずれかに記載の光磁
気記録媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびP
bから選択される元素の1種以上を添加元素として添加
したことを特徴とする光磁気記録媒体。(7) For the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to 6), Bi, Cu, Sn and
A magneto-optical recording medium characterized in that one or more of the elements selected from b. is added as an additive element.
(8)記録層中の前記添加元素の含有量の合計が、1〜
20at%である上記(4)ないしく7)のいずれかに
記載の光磁気記録媒体。(8) The total content of the additive elements in the recording layer is 1 to
The magneto-optical recording medium according to any one of (4) to 7) above, wherein the content is 20 at%.
(9)上記(1)ないしく8)のいずれかに記載の光磁
気記録媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照
射しながら、変調された磁界を印加することにより光磁
気記録を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。(9) A method for performing magneto-optical recording on the magneto-optical recording medium according to any one of (1) to 8) above, wherein the magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. A magneto-optical recording method characterized by performing the following.
以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。Hereinafter, the specific configuration of the present invention will be explained in detail.
第1図に、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示す
。FIG. 1 shows a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention.
第1図に示される光磁気記録媒体1は、基板2上に保護
層3、中間層4、記録層5、保護層6、保護コート7を
順次有する。The magneto-optical recording medium 1 shown in FIG. 1 has a protective layer 3, an intermediate layer 4, a recording layer 5, a protective layer 6, and a protective coat 7 on a substrate 2 in this order.
中間層4は、カー回転角を増大させ、C/N比の向上の
ために設けられるものであり、本0発明では、2種以上
の金属または半金属と、酸素および窒素とを含有する。The intermediate layer 4 is provided to increase the Kerr rotation angle and improve the C/N ratio, and in the present invention contains two or more metals or metalloids, oxygen and nitrogen.
これらの元素を含有することにより、C/N比が向上し
、また、耐食性も向上する。By containing these elements, the C/N ratio is improved and the corrosion resistance is also improved.
このような2種以上の金属または半金属の対象となりつ
るものとしては、Si、Aβ、Ti、Zn、B、Y、ラ
ンタノイド元素、アクチノイド元素等が挙げられる。Examples of such two or more metals or metalloids include Si, Aβ, Ti, Zn, B, Y, lanthanide elements, actinide elements, and the like.
これらのうち、Siおよび、412を必須元素として含
むことが好ましく、特に、SLおよびAI2に加え、Y
、ランタノイド元素およびアクチノイド元素から選ばれ
る1種以上の元素を含有することが好ましい。Among these, it is preferable to include Si and 412 as essential elements, and in particular, in addition to SL and AI2, Y
, lanthanide elements, and actinide elements.
このような中間層において、ケイ素とアルミニウムは、
通常酸化物および窒化物の形で含有され、非晶質を形成
する。In such an intermediate layer, silicon and aluminum are
Usually contained in the form of oxides and nitrides, forming an amorphous substance.
また、イツトリウム、ランタノイド元素およびアクチノ
イド元素のうちから選ばれる1種以上の元素のうち、特
にイツトリウムおよびランタノイド元素のうちの1種類
以上が含有されるのが好ましい。Furthermore, among one or more elements selected from yttrium, lanthanide elements, and actinide elements, it is particularly preferable that one or more of yttrium and lanthanide elements be contained.
これらを含有することによって、記録感度やC/N比が
より良好なものになる。By containing these, recording sensitivity and C/N ratio become better.
そして、特にイツトリウム(Y)、ランタン(La)、
セリウム(Ce) プラセオジム(Pr)、ネオジム
(Nd)、サマリウム(Sm)およびユーロピウム(E
u)からなる群から選ばれた元素の1種以上が含有され
ると、より一層好ましい結果が得られる。 このとき、
記録感度、C/N比等の記録、再生特性のみならず、耐
久性、耐食性等の面でもより良好な結果が得られるから
である。In particular, yttrium (Y), lanthanum (La),
Cerium (Ce) Praseodymium (Pr), Neodymium (Nd), Samarium (Sm) and Europium (E
When one or more elements selected from the group consisting of u) is contained, even more favorable results can be obtained. At this time,
This is because better results can be obtained not only in terms of recording and reproducing characteristics such as recording sensitivity and C/N ratio, but also in terms of durability, corrosion resistance, etc.
また、スパッタリングに用いるターゲットにこれらの元
素を含有させることにより緻密なターゲットが得られ、
その結果、ターゲットの冷却効率が向上し、スパッタリ
ング時の輻射熱が抑えられる。In addition, by including these elements in the target used for sputtering, a dense target can be obtained.
As a result, the cooling efficiency of the target is improved and radiant heat during sputtering is suppressed.
これら、イツトリウム、ランクメイド元素およびアクチ
ノイド元素のうちの1種以上(以下これらをRとする)
は、保護層中にて上記非晶質と混合含有されるものであ
るが、元素単体あるいは化合物いずれの形で含有されて
もよい。One or more of these, yttrium, rank-maid elements, and actinide elements (hereinafter referred to as R)
is contained in a mixture with the amorphous substance in the protective layer, but it may be contained in the form of either a single element or a compound.
化合物として含有される場合は、通常酸化物の形で含有
されることが好ましい。When contained as a compound, it is usually preferably contained in the form of an oxide.
中間層中の上記化合物は、その組成において化学量論的
な組成比をはずれていてよい。The compounds in the intermediate layer may deviate from the stoichiometric ratio in their composition.
これらの元素と酸素および窒素とを含有することにより
、C/N比および耐食性が向上する他、中間層の光透過
率が向上して反射光量が増加するため、サーボ信号強度
が大きくなり、安定なサーボを行なうことができる。By containing these elements and oxygen and nitrogen, in addition to improving the C/N ratio and corrosion resistance, the light transmittance of the intermediate layer is improved and the amount of reflected light is increased, so the servo signal strength is increased and stable. It is possible to perform various servo operations.
なお、この場合、これらの元素の1種でも欠けたときに
は、このような効果は実現しない。In this case, if even one of these elements is missing, such an effect will not be achieved.
本発明において、中間層中のSi+Nの含有量は、好ま
しくは20〜95at%、より好ましくは20〜84a
t%である。In the present invention, the content of Si+N in the intermediate layer is preferably 20 to 95 at%, more preferably 20 to 84 at%.
t%.
この値が上記範囲未満であると屈折率が低くなりエンハ
ンス効果が低下してしまう他、耐食性が低下する。If this value is less than the above range, the refractive index will be low and the enhancement effect will be reduced, as well as the corrosion resistance will be reduced.
この値が上記範囲を超えると膜応力が大きくなるため、
膜形成装置の使用回数が多くなると装置の真空槽内にダ
ストが生じ、中間層にピンホールが生じる。 また、光
透過率が低下するため反射率が低下してしまい、サーボ
信号強度が低(なり、安定なサーボを行なうことが困難
になる。If this value exceeds the above range, the membrane stress will increase, so
When the film forming apparatus is used many times, dust is generated in the vacuum chamber of the apparatus, and pinholes are formed in the intermediate layer. Furthermore, since the light transmittance decreases, the reflectance decreases, and the servo signal strength becomes low, making it difficult to perform stable servo.
また、Si+Nは20〜65at%であると光透過率の
点でより好ましい。Moreover, it is more preferable that Si+N is 20 to 65 at% from the viewpoint of light transmittance.
SLの含有量は、5〜45at%であることが好ましい
。The content of SL is preferably 5 to 45 at%.
Affの含有量は、1〜33at%であることが好まし
い。 このとき膜質は安定かつ緻密となり耐食性が向上
する。The content of Aff is preferably 1 to 33 at%. At this time, the film quality becomes stable and dense, and corrosion resistance improves.
Rの含有量は、0.1〜35at%であることが好まし
い。 0.1 at%未満であると上記のような効果が
実現せず、35at%を超えると耐食性が低下してしま
う。The content of R is preferably 0.1 to 35 at%. If it is less than 0.1 at%, the above effects will not be achieved, and if it exceeds 35 at%, corrosion resistance will deteriorate.
なお、保護層中の各元素の含有量は、オージェ、ESC
A、SIMS等によって測定すればよい。The content of each element in the protective layer is Auger, ESC
A. It may be measured by SIMS or the like.
これら各元素のさらに好ましい含有量の組み合わせを、
下記(1)および(2)に示す。A more preferable combination of contents of each of these elements,
This is shown in (1) and (2) below.
(1)Si+Nの含有量は20〜95at%、好ましく
は20〜84at%、さらに好ましくは20〜65at
%である。(1) The content of Si+N is 20 to 95 at%, preferably 20 to 84 at%, more preferably 20 to 65 at%
%.
Siの含有量は5〜45at%、より好ましくは5〜3
8at、%である。The content of Si is 5 to 45 at%, more preferably 5 to 3
8at.%.
Aflの含有量は1〜20at%、より好ましくは2〜
1oat%である。The content of Afl is 1 to 20 at%, more preferably 2 to 20 at%.
It is 1oat%.
Rの含有量は、2〜35at%、より好ましくは6〜3
5at%である。The content of R is 2 to 35 at%, more preferably 6 to 3
It is 5at%.
(2)Si+Nの含有量は20〜90at%、好ましく
は20〜84at%、さらに好ましくは20〜65at
%である。(2) The content of Si+N is 20 to 90 at%, preferably 20 to 84 at%, more preferably 20 to 65 at%
%.
Siの含有量は8〜40at%、より好ましくは8〜3
6at%である。The content of Si is 8 to 40 at%, more preferably 8 to 3
It is 6at%.
Aj2の含有量は3〜33at%、より好ましくは3〜
25at%である。The content of Aj2 is 3 to 33 at%, more preferably 3 to 33 at%.
It is 25at%.
Rの含有量は、0.1〜2at%、より好ましくは0.
1at%以上2at%未満、さらに好ましくは0.2〜
1.9at%である。The content of R is 0.1 to 2 at%, more preferably 0.
1 at% or more and less than 2 at%, more preferably 0.2 to
It is 1.9at%.
なお、このような中間層材質を、後述する記録層の上(
基板反対側)に保護層として設けて、前記中間層4と併
用することもできる。Note that such an intermediate layer material is used on the recording layer (described later).
It can also be provided as a protective layer on the opposite side of the substrate and used in combination with the intermediate layer 4.
併用する場合には、これら中間層と保護層の組成はそれ
ぞれ同一であっても、また本発明の所定の範囲内でそれ
ぞれ異なった組成としてもよい。When used together, the compositions of the intermediate layer and the protective layer may be the same or different within the prescribed range of the present invention.
このような中間層は、各種気相成膜法、例えば、2種以
上の異なる組成からなるターゲットを用いた多元スパッ
タ法あるいは酸素を用いる反応性スパッタ法等のスパッ
タ法、蒸着法、イオンブレーティング法、プラズマCV
D、光CVD等によって形成される。Such an intermediate layer can be formed by various vapor phase deposition methods, for example, sputtering methods such as multi-source sputtering method using targets with two or more different compositions or reactive sputtering method using oxygen, vapor deposition method, and ion blating method. law, plasma CV
D. Formed by photo-CVD or the like.
そして、特に、上記各元素を含有する焼結体をターゲッ
トとして用いるスパッタ法あるいは複数のターゲットを
用いる多元スパッタ法を用いることが好ましい。In particular, it is preferable to use a sputtering method using a sintered body containing each of the above elements as a target or a multi-source sputtering method using a plurality of targets.
そして、このような中間層の厚さは、30〜300nm
、特に50〜200nmとすることが好ましい。The thickness of such an intermediate layer is 30 to 300 nm.
, particularly preferably from 50 to 200 nm.
さらに、膜厚をλ/4n(λは使用レーザー波長、nは
中間層の屈折率)に設定したとき、エンハンス効果の点
で、より好ましい結果を得る。Furthermore, when the film thickness is set to λ/4n (λ is the wavelength of the laser used and n is the refractive index of the intermediate layer), more favorable results are obtained in terms of the enhancement effect.
また、中間層中の不純物として、成膜雰囲気中に存在す
るAr、N*等が入ってもよい。Furthermore, Ar, N*, etc. present in the film forming atmosphere may be included as impurities in the intermediate layer.
その他、Fe20s 、CuO1CrzOa、M n
Ox %Co 01Nip、As5es等が全体の1.
0wt%程度以下含有されてもよい。Others: Fe20s, CuO1CrzOa, Mn
Ox %Co 01Nip, As5es, etc. are 1.
It may be contained in an amount of about 0 wt% or less.
保護層3および保護層6は、記録層5の耐食性向上のた
めに設けられるものであり、これらは少なくとも一方、
好ましくは両方が設けられることが好ましい。 これら
保護層は、各種酸化物、炭化物、窒化物、硫化物あるい
はこれらの混合物からなる無機薄膜から構成されること
が好ましい。 また、前述したように、上記の中間層材
質で形成してもよい。 保護層の層厚は30〜300n
m程度であることが耐食性向上の点から好ましい。The protective layer 3 and the protective layer 6 are provided to improve the corrosion resistance of the recording layer 5, and at least one of them is
Preferably both are provided. These protective layers are preferably composed of inorganic thin films made of various oxides, carbides, nitrides, sulfides, or mixtures thereof. Further, as described above, the intermediate layer may be formed of the above-mentioned materials. The thickness of the protective layer is 30-300n
From the viewpoint of improving corrosion resistance, it is preferable that the thickness is about m.
このような保護層は、スパッタ法等の各種気相成膜法等
によって形成されることが好ましい。Such a protective layer is preferably formed by various vapor phase deposition methods such as sputtering.
本発明において、記録層5は、上記組成を有する。In the present invention, the recording layer 5 has the above composition.
Tb、 DyおよびCoの組成範囲を上記のように限定
した理由は、以下のとおりである。The reason why the composition ranges of Tb, Dy and Co are limited as described above is as follows.
Tb+Dyが上記範囲未満であると、磁場感度が低下し
てHextが3000e程度以上必要となり、また、H
cが低下し、C/N比の低下を招く。If Tb+Dy is less than the above range, the magnetic field sensitivity will decrease and Hext will need to be about 3000e or more, and H
c decreases, leading to a decrease in the C/N ratio.
Tb+Dyが上記範囲を超えると、磁場感度が低下して
Hextが3000e程度以上必要となり、また、Hc
が低下し、C/N比の低下を招く他、信頼性が低下する
。When Tb+Dy exceeds the above range, magnetic field sensitivity decreases, Hext needs to be about 3000e or more, and Hc
This causes a decrease in the C/N ratio and also decreases reliability.
Tb/ (Tb+Dy)が上記範囲未満であると、He
xtが3000e程度以上となり、また、キュリー点が
低下して熱安定性が低下する。When Tb/(Tb+Dy) is less than the above range, He
xt becomes approximately 3000e or more, and the Curie point decreases, resulting in a decrease in thermal stability.
rb/(Tb+Dy)が上記範囲を超えると、Hext
が3000e程度以上となる。When rb/(Tb+Dy) exceeds the above range, Hext
is about 3000e or more.
なお、2.5≦Tb≦5.0かつ18.0≦Dy≦26
.0であると、さらに良好な特性を得ることができ、特
にHextが低下する。In addition, 2.5≦Tb≦5.0 and 18.0≦Dy≦26
.. When it is 0, even better characteristics can be obtained, and especially Hext is reduced.
coが上記範囲未満であると、記録層の耐食性が不十分
となり信頼性が低下する。 また、キュリー点が低下し
、熱安定性が低くなる。If co is less than the above range, the corrosion resistance of the recording layer will be insufficient and reliability will decrease. In addition, the Curie point is lowered and the thermal stability is lowered.
coが上記範囲を超えると、C/N比が低下し、Hex
tも増大してしまう。When co exceeds the above range, the C/N ratio decreases and Hex
t also increases.
そして、これらの元素を除いた残部が、実質的にFeと
される。The remainder after removing these elements is substantially Fe.
本発明では、このような構成の記録層に、下記X群、Y
群および2群から選択される元素が、少なくとも1種以
上添加されていてもよい。In the present invention, the following X group and Y group are added to the recording layer having such a configuration.
At least one element selected from Group 2 and Group 2 may be added.
X群;4A族元素、5A族元素、6A族元素、8族元素
、3B族元素、C,SiおよびPのうちから選ばれる少
なくとも1種以上の元素。Group X: at least one element selected from Group 4A elements, Group 5A elements, Group 6A elements, Group 8 elements, Group 3B elements, C, Si, and P.
なお、この場合、4A族元素としてはTi、Zrおよび
Hfが、5A族元素としてはV、NbおよびTaが、6
A族元素としてはCr、MoおよびWが、8族元素とし
てはNiおよびPtが、3B族元素としてはBおよびA
J2が好ましい。In this case, the 4A group elements are Ti, Zr and Hf, the 5A group elements are V, Nb and Ta, and the 6A group elements are V, Nb and Ta.
Group A elements include Cr, Mo, and W, Group 8 elements include Ni and Pt, and Group 3B elements include B and A.
J2 is preferred.
Y群二Geおよび/またはS r 。Y group 2 Ge and/or Sr.
2群:Bi、Cu、SnおよびPbから選択される元素
の1種以上。Group 2: one or more elements selected from Bi, Cu, Sn, and Pb.
上記X群を添加することにより、記録層の耐食性が向上
する。By adding the above group X, the corrosion resistance of the recording layer is improved.
上記Y群を添加することにより、記録層の非晶質状態が
安定化するという効果が実現する。By adding the above Y group, the effect of stabilizing the amorphous state of the recording layer is realized.
すなわち、高温・高温状態下で保存された場合に生じる
記録層の感度変化(アニール効果)が防止される。 ま
た、繰り返し再生による記録層の感度変化も防止される
。 なお、上記X群のうち、Bおよび/またはSiの添
加によっても、この効果は実現する。In other words, changes in sensitivity of the recording layer (annealing effect) that occur when the recording layer is stored at high temperatures and under high temperature conditions are prevented. Furthermore, changes in sensitivity of the recording layer due to repeated reproduction are also prevented. Note that this effect can also be achieved by adding B and/or Si among the above-mentioned group X.
上記2群を添加することにより、カー回転角が増大し、
C/N比が向上する。 なお、上記X群のうち、Crお
よび/またはNiの添加によっても、この効果は実現す
る。By adding the above two groups, the Kerr rotation angle increases,
C/N ratio improves. Note that this effect can also be achieved by adding Cr and/or Ni among the above-mentioned group X.
これら添加元素の記録層中における含有量比、すなわち
、Tb、Dy、Go、Feおよび添加元素の含有量の合
計に対する添加元素の含有量の比率は、1〜20at%
、特に2〜10at%であることが好ましい。 含有量
がこの範囲であると、上記各効果はきわめて高いものと
なる。The content ratio of these additive elements in the recording layer, that is, the ratio of the content of the additive element to the total content of Tb, Dy, Go, Fe, and the additive element is 1 to 20 at%.
, particularly preferably 2 to 10 at%. When the content is within this range, each of the above effects will be extremely high.
このような記録層5は、気相成膜法、特にスパッタ法に
より設層されることが好ましく、通常、非晶質状態であ
る。Such a recording layer 5 is preferably formed by a vapor phase deposition method, particularly a sputtering method, and is usually in an amorphous state.
また、記録層5の層厚は、通常、lO〜11000n程
度である。Further, the thickness of the recording layer 5 is usually about 10 to 11,000 nm.
基板2は、ガラスあるいは樹脂製、特にアクリル樹脂、
ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン
樹脂等から構成されることが好ましく、記録光および再
生光に対して透明なものである。 また、その厚さは通
常0.5〜3mm程度とされ、外形形状は、ディスク状
あるいはその他目的に応じて選定される。The substrate 2 is made of glass or resin, especially acrylic resin,
It is preferably made of polycarbonate resin, epoxy resin, polyolefin resin, etc., and is transparent to recording light and reproduction light. Further, the thickness thereof is usually about 0.5 to 3 mm, and the external shape is selected to be disc-shaped or other depending on the purpose.
保護コート7は耐食性の向上のために設けられるもので
あり、種々の有機系の物質から構成されることが好まし
いが、特に、電子線、紫外線等の放射線により硬化可能
なアクリル系二重結合を有する放射線硬化型化合物を、
放射線硬化させた物質から構成されることが好ましい。The protective coat 7 is provided to improve corrosion resistance, and is preferably made of various organic substances, but in particular, it is made of acrylic double bonds that can be cured by radiation such as electron beams and ultraviolet rays. A radiation-curable compound having
Preferably, it is constructed from radiation-cured material.
また、保護コート7の厚さは、通常、1〜100μm程
度とすることが好ましい。Moreover, it is preferable that the thickness of the protective coat 7 is usually about 1 to 100 μm.
これらの各層から構成される光磁気記録媒体lは、記録
層5を内側にして2組の光磁気記録媒体1が接着されて
両面記録型の媒体とすることができ、また、保護コート
7上に保護板を接着して片面記録型の媒体とすることが
できる。The magneto-optical recording medium 1 composed of these layers can be made into a double-sided recording medium by bonding two sets of magneto-optical recording media 1 with the recording layer 5 on the inside. A protective plate can be attached to the media to create a single-sided recording medium.
しかし、磁気ヘッドと媒体との距離を小さ(することが
でき高速記録が可能であることから、保護板を設けない
構成の片面記録型の媒体とすることが好ましい。However, since the distance between the magnetic head and the medium can be kept small and high-speed recording is possible, it is preferable to use a single-sided recording type medium without a protective plate.
なお、保護板を設ける場合、保護板としては、通常、基
板2と同質のものを用いればよいが、透明である必要は
なく、その他の材質も用いることができる。 また、接
着は、公知のいずれの接着剤を用いてもよく、例えばホ
ットメルト系接着剤、熱硬化性接着剤、嫌気性接着剤等
である。In addition, when a protective plate is provided, it is usually sufficient to use the same material as the substrate 2, but it does not have to be transparent, and other materials can also be used. Further, any known adhesive may be used for adhesion, such as a hot melt adhesive, a thermosetting adhesive, an anaerobic adhesive, etc.
次に、上記の本発明の光磁気記録媒体を用いた本発明の
光磁気記録方法について説明する。Next, the magneto-optical recording method of the present invention using the magneto-optical recording medium of the present invention described above will be explained.
本発明の光磁気記録方法は、光を照射しながら変調され
た磁界を印加することにより記録を行なう磁界変調型の
記録方法である。The magneto-optical recording method of the present invention is a magnetic field modulation type recording method in which recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light.
通常、磁界は基板の記録層設層面側から印加される。
本発明では、磁界印加用の磁気ヘッドは、通常の非接触
型の磁気ヘッドあるいは空気浮上型の浮上型ヘッドのい
ずれを用いてもよいが、磁気ヘッドと媒体との距離を小
さ(することができ高速記録が可能であることから、浮
上型磁気ヘッドを用いることが好ましい。Usually, the magnetic field is applied from the side of the substrate on which the recording layer is provided.
In the present invention, the magnetic head for applying a magnetic field may be either a normal non-contact type magnetic head or an air floating type floating head, but it is possible to reduce the distance between the magnetic head and the medium. It is preferable to use a floating magnetic head because it enables high-speed recording.
なお、磁気ヘッドと記録層との距離は、通常の非接触型
のヘッドで0.5mm程度、浮上型ヘッドで5〜20μ
m程度であるため、本発明では、通常、保護板を設けな
い構成の片面記録型の媒体を用いる。The distance between the magnetic head and the recording layer is approximately 0.5 mm for a normal non-contact type head, and 5 to 20 μm for a floating type head.
Therefore, in the present invention, a single-sided recording medium without a protective plate is usually used.
本発明では、媒体の記録層面での磁界強度は、3000
e以下、好ましくは2500e以下、さらに好ましくは
2000e以下であることが好ましい。In the present invention, the magnetic field strength on the recording layer surface of the medium is 3000
It is preferably less than e, preferably less than 2500e, more preferably less than 2000e.
磁界強度をこの範囲とすることにより、インダクタンス
の小さいコイルを用いることができる。 そのため、磁
界反転時間を短くすることができ、例えば5MHz以上
の高速記録が可能となる。By setting the magnetic field strength within this range, a coil with small inductance can be used. Therefore, the magnetic field reversal time can be shortened, and high-speed recording of, for example, 5 MHz or more is possible.
光は、通常、磁界と反対側から照射される。Light is typically emitted from the opposite side of the magnetic field.
記録パワーは、通常、1〜10mW程度、記録層面での
光のスポット径は、通常、0.5〜3μm程度である。The recording power is usually about 1 to 10 mW, and the spot diameter of the light on the surface of the recording layer is usually about 0.5 to 3 μm.
〈実施例〉
以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに詳
細に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be explained in further detail by giving specific examples of the present invention.
[実施例1]
直径130mm、厚さ1.2mmのビスフェノールA系
の光デイスクグレードポリカーボネート樹脂からなる基
板2上に、ガラス製の保護層3を高周波マグネトロンス
パッタにより40nmの層厚に設層し、この保護層3上
に、下記表1に示される種々の組成を有する中間層4を
スパッタ法、場合により多元スパッタ法により設層した
。 なお、組成は、オージェ分光分析にて測定した。
また、膜厚は、各サンプルについて全てえ/4で算出し
たエンハンスの最適膜厚(80〜150nm)とした。[Example 1] On a substrate 2 made of bisphenol A-based optical disk grade polycarbonate resin with a diameter of 130 mm and a thickness of 1.2 mm, a protective layer 3 made of glass was deposited to a layer thickness of 40 nm by high-frequency magnetron sputtering. On this protective layer 3, an intermediate layer 4 having various compositions shown in Table 1 below was formed by a sputtering method, and in some cases a multi-source sputtering method. Note that the composition was measured by Auger spectroscopy.
Further, the film thickness was the optimum film thickness for enhancement (80 to 150 nm) calculated using E/4 for each sample.
次に、中間N4上に、下記表2に示される組成の記録層
5を、スパッタにより層厚80nmに設層した。 なお
、Tb、D、yおよびCoの含有量比(at%)は、T
b、Dy、CoおよびFeの含有量の合計を100とし
たときの値である。 また、添加元素の含有量比(at
%)は、Tb%Dy、co、Feおよび添加元素の含有
量の合計を100としたときの値である。Next, a recording layer 5 having a composition shown in Table 2 below was formed on the intermediate layer N4 by sputtering to a thickness of 80 nm. Note that the content ratio (at%) of Tb, D, y, and Co is T
This is the value when the total content of b, Dy, Co and Fe is set to 100. In addition, the content ratio (at
%) is a value when the total content of Tb%Dy, co, Fe and additional elements is set to 100.
さらに、記録層5上に、保護層3と同組成の保護層6を
高周波マグネトロンスパッタにより層厚1100nに設
層し、この保護層6上に、保護コート7を設層した。
なお、保護コート7は、多官能オリゴエステルアクリレ
ートと光増感剤とを含む塗布組成物をスピンナーコート
により保護層6上に塗布し、その後、紫外線を15秒間
照射して架橋硬化させることにより設層した。 保護コ
ート7の厚さは5μmとした。Further, a protective layer 6 having the same composition as the protective layer 3 was formed on the recording layer 5 to a thickness of 1100 nm by high-frequency magnetron sputtering, and a protective coat 7 was formed on this protective layer 6.
The protective coat 7 is formed by applying a coating composition containing a polyfunctional oligoester acrylate and a photosensitizer onto the protective layer 6 using a spinner coat, and then cross-linking and curing it by irradiating it with ultraviolet rays for 15 seconds. Layered. The thickness of the protective coat 7 was 5 μm.
このようにして、各種組成の中間層および記録層を有す
る光磁気記録媒体サンプルを得た。In this way, magneto-optical recording medium samples having intermediate layers and recording layers of various compositions were obtained.
なお、サンプルNo、9は、中間層4を設層しない比較
サンプルとした。Note that sample No. 9 was a comparative sample in which the intermediate layer 4 was not provided.
上記サンプルに対し、下記の測定を行なった。The following measurements were performed on the above sample.
(1)C/N比
線速4.Om/sec
周波数]、 M Hz
記録パワー(830nm)2.0〜6.0mW再生パワ
ー(830nm)1.0mW
RB W 30 k Hz
V B W 100 Hz
にて測定した。 なお、記録時の磁界強度は、3000
eとした。(1) C/N ratio linear velocity 4. Om/sec frequency], MHz recording power (830 nm) 2.0 to 6.0 mW reproducing power (830 nm) 1.0 mW RB W 30 kHz V B W 100 Hz. The magnetic field strength during recording was 3000
It was set as e.
(2)反射率
平坦部での波長830nmに対する反射率を、分光光度
計にて測定した。(2) Reflectance Reflectance at a wavelength of 830 nm at a flat portion was measured using a spectrophotometer.
(3)耐食性
初期のピットエラーレート(BER)と80℃・80%
RHにて1000時間保存した後のBERを測定し、そ
の増加量(ΔBER)を求めた。 表2に示す評価は、
下記の通りである。(3) Corrosion resistance Initial pit error rate (BER) and 80℃/80%
The BER after storage at RH for 1000 hours was measured, and the amount of increase (ΔBER) was determined. The evaluation shown in Table 2 is
It is as follows.
0:変化なし ○:増加量が2倍以下 △:増加量が2倍より大きく5倍以下 X:増加量が5倍より大きい (4)Hext 下記■および■のうち、大きい方をHextとした。0: No change ○: Increase amount is less than double △: Increase amount is greater than 2 times and less than 5 times X: Increase amount is greater than 5 times (4) Hext Among the following ■ and ■, the larger one was designated as Hext.
■印加する磁界強度を増加させながら記録を行ない、C
/N比が一定値に達したときの磁界強度
■最適記録パワーにて印加磁界強度3000eで記録し
た信号に対し、同じ(最適記録パワーにて印加磁界を変
化させて消去を行ない、消し残りが1dB以下となった
ときの磁界強度(5)保磁力(Hc)
(6)キュリー点(Tc)
結果を表2に示す。■ Recording is performed while increasing the applied magnetic field strength, and C
/Magnetic field strength when the N ratio reaches a certain value ■For the signal recorded with the applied magnetic field strength of 3000e at the optimum recording power, the same (erasing is performed by changing the applied magnetic field at the optimum recording power, and no unerased remains) Magnetic field strength when it becomes 1 dB or less (5) Coercive force (Hc) (6) Curie point (Tc) The results are shown in Table 2.
[実施例2]
実施例1で作製した各光磁気記録媒体サンプルに対し、
磁界変調によりオーバーライド記録(独立した消去過程
を設けず、重ね書きにより消去すること)を行ない、記
録後の各サンプルのC/N比を測定した。[Example 2] For each magneto-optical recording medium sample produced in Example 1,
Override recording (erasing by overwriting without providing an independent erasing process) was performed by magnetic field modulation, and the C/N ratio of each sample after recording was measured.
磁界変調記録は、一定強度のレーザー光を基板の記録層
設層面の反対側から照射しながら、基板の記録層設層面
側に設けた小型コイルにより500kHzの矩形波交番
磁界を記録層面に印加することにより行なった。 記録
層面と小型コイルとの距離は0.2mm、記録層面での
磁界強度は2500e、線速は4.0m/sとした。In magnetic field modulation recording, a 500 kHz square wave alternating magnetic field is applied to the recording layer surface using a small coil installed on the recording layer layer side of the substrate while irradiating a constant intensity laser beam from the side opposite to the recording layer layer surface of the substrate. This was done by doing this. The distance between the recording layer surface and the small coil was 0.2 mm, the magnetic field strength at the recording layer surface was 2500 e, and the linear velocity was 4.0 m/s.
なお、記録層面での磁界強度を上げるために記録層面と
小型コイルとの距離を0.1mmとしたところ、基板の
フレやソリのために小型コイルが保護コート7に接触し
、記録が不可能であった。In addition, when the distance between the recording layer surface and the small coil was set to 0.1 mm in order to increase the magnetic field strength on the recording layer surface, the small coil came into contact with the protective coat 7 due to deflection and warpage of the substrate, making recording impossible. Met.
このような磁界変調記録を、同一トラックに対し10回
行なった。Such magnetic field modulation recording was performed 10 times on the same track.
C/N比は、実施例1と同様に、再生パワー1.0mW
にて再生を行ない測定した。The C/N ratio is the same as in Example 1, with a reproduction power of 1.0 mW.
It was regenerated and measured.
45dB以上のC/N比が得られた場合を○、C/N比
が45dB未満の場合をXとして評価した。A case where a C/N ratio of 45 dB or more was obtained was evaluated as O, and a case where the C/N ratio was less than 45 dB was evaluated as X.
結果を、表2に示す。 なお、表2に示される各サンプ
ルが有する中間層の組成を表1に示す。The results are shown in Table 2. Note that Table 1 shows the composition of the intermediate layer of each sample shown in Table 2.
表 1 中間層 No。Table 1 middle class No.
t
中間層組成 (at%)
AA ON R
3L+N
I
I
1、aI
I
a 12
ム 4
Y+S1m18
[実施例3]
実施例1で作製した各サンプルを用いて、再生パワー1
.5mWにて連続再生試験を行なった。t Intermediate layer composition (at%) AA ON R 3L+N I I 1, aI I a 12 M 4 Y+S1m18 [Example 3] Using each sample prepared in Example 1, the reproduction power 1
.. A continuous reproduction test was conducted at 5 mW.
サンプルNo、106では、約500回の連続再生によ
りC/N比が劣化しはじめたが、その他のサンプルでは
、1000回以上の連続再生を行なってもC/N比の劣
化はみられなかった。For sample No. 106, the C/N ratio began to deteriorate after approximately 500 continuous playbacks, but for the other samples, no deterioration in the C/N ratio was observed even after 1000 or more continuous playbacks. .
[実施例4]
上記サンプルNo、2〜8の記録層に、前記した添加元
素X群、7群および7群の1種以上を添加したサンプル
を作製し、上記と同様な耐食性測定およびC/N比の測
定を行なった。[Example 4] Samples were prepared in which one or more of the above-mentioned additive elements X group, 7 group, and 7 group were added to the recording layers of sample Nos. 2 to 8 above, and the same corrosion resistance measurements and C/ The N ratio was measured.
また、80℃・80%RHにて1000時間保存後の感
度の変化率および繰り返し再生後の感度の変化率も測定
した。In addition, the rate of change in sensitivity after storage for 1000 hours at 80° C. and 80% RH and the rate of change in sensitivity after repeated playback were also measured.
添加元素に前記X群中から選択された元素が含まれた場
合、耐食性はさらに向上した。Corrosion resistance was further improved when the additive element included an element selected from Group X.
また、添加元素に前記Y群中から選択された元素が含ま
れた場合、感度の変化率は、きわめて小さいものであっ
た。 なお、上記X群のうち、Bおよび/またはSLの
添加によっても。Furthermore, when the additive element included an element selected from the Y group, the rate of change in sensitivity was extremely small. In addition, also by adding B and/or SL among the above-mentioned group X.
この効果は実現した。This effect was achieved.
添加元素に前記2群中から選択された元素が含まれた場
合、C/N比がさらに向上した。When the additive element included an element selected from the above two groups, the C/N ratio was further improved.
なお、上記X群のうち、Crおよび/またはNiの添加
によっても、この効果は実現した。Note that this effect was also achieved by adding Cr and/or Ni among the above-mentioned group X.
上記各実施例の結果から、本発明の効果が明らかである
。The effects of the present invention are clear from the results of the above examples.
すなわち、本発明サンプルは、C/N比がきわめて高い
。 また、反射率が高(、耐食性も高いものである。That is, the sample of the present invention has an extremely high C/N ratio. It also has high reflectance (and high corrosion resistance).
しかも、Hextが2500e以下と低(、Hcが高く
、また、Tcが100℃より高いため熱安定性が高い。Moreover, the Hext is low at 2500e or less (Hc is high, and the Tc is higher than 100°C, so the thermal stability is high.
また、記録層面の磁界強度2500eにて磁界変調によ
りオーバーライド記録を行なった場合、本発明サンプル
はオーバーライド後も良好なC/N比を示し、オーバー
ライドにより消去が良好に行なわれていることがわかる
。Further, when override recording was performed by magnetic field modulation at a magnetic field strength of 2500e on the recording layer surface, the sample of the present invention showed a good C/N ratio even after overriding, indicating that erasing was performed well by overriding.
く作用〉
光磁気記録媒体は、レーザー光等の照射により、所定の
組成を有する記録層の温度なキュリー点付近まで上昇さ
せ、このとき外部から磁界を印加することにより情報の
記録を行なう。Effect> In a magneto-optical recording medium, information is recorded by raising the temperature of a recording layer having a predetermined composition to around the Curie point by irradiation with laser light or the like, and applying a magnetic field from the outside at this time.
情報の記録は、一定強度の磁界を印加しながら、変調さ
れた光により記録を行なう光変調記録、あるいは一定の
強度の光を照射しながら、変調された磁界により記録を
行なう磁界変調記録によりなされる。Information is recorded using optical modulation recording, which records using modulated light while applying a magnetic field of a certain intensity, or magnetic field modulation recording, which records using a modulated magnetic field while applying light of a certain intensity. Ru.
光磁気記録媒体の情報の消去は、外部から記録層のHc
以上の−様な磁界を印加して消去を行なう全面消去(バ
ルクイレーズ)法によるか、レーザー光等の照射により
記録層の温度を上昇させ、記録層の磁化反転に必要な強
度の外部磁界を印加して行なう。Information on a magneto-optical recording medium can be erased by externally applying Hc to the recording layer.
Either by the bulk erase method, which erases by applying a magnetic field similar to the one described above, or by raising the temperature of the recording layer by irradiating it with laser light, etc., an external magnetic field of the strength necessary to reverse the magnetization of the recording layer is applied. Apply it.
また、磁界変調により記録を行なう場合、独立した消去
過程を設けず、情報の重ね書きにより消去を行なういわ
ゆるオーバーライド法により記録・消去を行なうことが
できる。Further, when recording is performed by magnetic field modulation, recording and erasing can be performed by a so-called override method in which erasing is performed by overwriting information without providing an independent erasing process.
〈発明の効果〉
本発明の光磁気記録媒体は、所定の組成の中間層を有す
るため、C/N比がきわめて高い。<Effects of the Invention> Since the magneto-optical recording medium of the present invention has an intermediate layer having a predetermined composition, the C/N ratio is extremely high.
また、本発明の光磁気記録媒体は、情報の記録および消
去時に外部から印加される磁界の強度(Hext)を比
較的低(抑えることができる。 従って、本発明によれ
ば、光磁気記録媒体の記録・再生装置を小型化できる。Further, the magneto-optical recording medium of the present invention can suppress the intensity (Hext) of the magnetic field applied from the outside when recording and erasing information. Therefore, according to the present invention, the magneto-optical recording medium The recording/playback device can be downsized.
また、本発明の光磁気記録媒体を用いて磁界変調記録を
行なう本発明の光磁気記録方法によれば、Hextを低
(抑えることができるためにインダクタンスの小さなコ
イルを用いることができ、磁界反転時間を短(して高速
記録を行なうことができる。Furthermore, according to the magneto-optical recording method of the present invention in which magnetic field modulation recording is performed using the magneto-optical recording medium of the present invention, Hext can be kept low (suppressed), so a coil with small inductance can be used, and magnetic field reversal is possible. It is possible to perform high-speed recording in a short amount of time.
第1図は、本発明の光磁気記録媒体の好適実施例を示す
断面図である。
符号の説明
l・・・光磁気記録媒体、
2・・・基板、
3・・・保護層、
4・・・中間層、
5・・・記録層、
6・・・保護層、
7・・・保護コート
FIG、1FIG. 1 is a sectional view showing a preferred embodiment of the magneto-optical recording medium of the present invention. Explanation of symbols 1... Magneto-optical recording medium, 2... Substrate, 3... Protective layer, 4... Intermediate layer, 5... Recording layer, 6... Protective layer, 7... Protective coat FIG, 1
Claims (1)
量が 20.5≦Tb+Dy≦31.0 0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
Co≦15.0 であり、残部が実質的にFeである記録層を基板上に有
し、前記基板と前記記録層との間に中間層を有する光磁
気記録媒体であって、 前記中間層が、金属または半金属の2種以上と、酸素お
よび窒素とを含有することを特徴とする光磁気記録媒体
。 (2)前記金属または半金属が、ケイ素とアルミニウム
とである請求項1に記載の光磁気記録媒体。 (3)前記中間層が、Y、ランタノイド元素およびアク
チノイド元素から選ばれる1種以上の元素を含有する請
求項1または2に記載の光磁気記録媒体。 (4)請求項1ないし3のいずれかに記載の光磁気記録
媒体の記録層に対し、4A族元素、5A族元素、6A族
元素、8族元素、3B族元素、C、SiおよびPのうち
から選ばれる少なくとも1種以上の元素を、添加元素と
して添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。 (5)前記4A族元素がTi、ZrおよびHfであり、
前記5A族元素がV、NbおよびTaであり、前記6A
族元素がCr、MoおよびWであり、前記8族元素がN
iおよびPtであり、前記3B族元素がBおよびAlで
ある請求項4に記載の光磁気記録媒体。 (6)請求項1ないし5のいずれかに記載の光磁気記録
媒体の記録層に対し、Geおよび/またはSrを添加元
素として添加したことを特徴とする光磁気記録媒体。 (7)請求項1ないし6のいずれかに記載の光磁気記録
媒体の記録層に対し、Bi、Cu、SnおよびPbから
選択される元素の1種以上を添加元素として添加したこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。 (8)記録層中の前記添加元素の含有量の合計が、1〜
20at%である請求項4ないし7のいずれかに記載の
光磁気記録媒体。 (9)請求項1ないし8のいずれかに記載の光磁気記録
媒体に光磁気記録を行なう方法であって、光を照射しな
がら、変調された磁界を印加することにより光磁気記録
を行なうことを特徴とする光磁気記録方法。[Claims] (1) The content expressed in atomic % of Tb, Dy and Co is 20.5≦Tb+Dy≦31.0 0.088≦Tb/(Tb+Dy)≦0.226.0≦
A magneto-optical recording medium having a recording layer on a substrate in which Co≦15.0 and the remainder being substantially Fe, and an intermediate layer between the substrate and the recording layer, the intermediate layer 1. A magneto-optical recording medium characterized in that the medium contains two or more metals or metalloids, oxygen and nitrogen. (2) The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the metal or metalloid is silicon and aluminum. (3) The magneto-optical recording medium according to claim 1 or 2, wherein the intermediate layer contains one or more elements selected from Y, a lanthanide element, and an actinide element. (4) For the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 3, a group 4A element, a group 5A element, a group 6A element, a group 8 element, a group 3B element, C, Si, and P are added. A magneto-optical recording medium characterized in that at least one element selected from among these is added as an additive element. (5) the Group 4A elements are Ti, Zr and Hf;
The 5A group elements are V, Nb and Ta, and the 6A
The group elements are Cr, Mo and W, and the group 8 element is N.
5. The magneto-optical recording medium according to claim 4, wherein the group 3B elements are B and Al. (6) A magneto-optical recording medium characterized in that Ge and/or Sr are added as additional elements to the recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 5. (7) The recording layer of the magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 6 is characterized in that one or more elements selected from Bi, Cu, Sn, and Pb are added as an additive element. magneto-optical recording medium. (8) The total content of the additive elements in the recording layer is 1 to
8. The magneto-optical recording medium according to claim 4, wherein the content is 20 at%. (9) A method for performing magneto-optical recording on the magneto-optical recording medium according to any one of claims 1 to 8, wherein the magneto-optical recording is performed by applying a modulated magnetic field while irradiating light. A magneto-optical recording method characterized by:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26350488A JPH02110842A (en) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26350488A JPH02110842A (en) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02110842A true JPH02110842A (en) | 1990-04-24 |
Family
ID=17390447
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---|---|---|---|
JP26350488A Pending JPH02110842A (en) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02110842A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02195544A (en) * | 1989-01-24 | 1990-08-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Magneto-optical disk |
US7416794B2 (en) | 2004-03-25 | 2008-08-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, method for manufacturing recording medium and magnetic recording apparatus |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP26350488A patent/JPH02110842A/en active Pending
Cited By (2)
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