JPH02108339U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02108339U JPH02108339U JP1675289U JP1675289U JPH02108339U JP H02108339 U JPH02108339 U JP H02108339U JP 1675289 U JP1675289 U JP 1675289U JP 1675289 U JP1675289 U JP 1675289U JP H02108339 U JPH02108339 U JP H02108339U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- attached
- boss part
- rotating shaft
- ring plate
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1675289U JPH02108339U (zh) | 1989-02-14 | 1989-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1675289U JPH02108339U (zh) | 1989-02-14 | 1989-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108339U true JPH02108339U (zh) | 1990-08-29 |
Family
ID=31229951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1675289U Pending JPH02108339U (zh) | 1989-02-14 | 1989-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108339U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006178471A (ja) * | 2004-12-23 | 2006-07-06 | Asml Netherlands Bv | フラットパネルディスプレイ基板用の複数基板担持体を用いたリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
| JP2011507266A (ja) * | 2007-12-12 | 2011-03-03 | ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド | ハブを有するウエハキャリア |
| KR101300118B1 (ko) * | 2010-12-15 | 2013-08-26 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 서셉터 및 이를 구비한 화학기상증착장치 |
-
1989
- 1989-02-14 JP JP1675289U patent/JPH02108339U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006178471A (ja) * | 2004-12-23 | 2006-07-06 | Asml Netherlands Bv | フラットパネルディスプレイ基板用の複数基板担持体を用いたリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
| JP4496165B2 (ja) * | 2004-12-23 | 2010-07-07 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | フラットパネルディスプレイ基板用の複数基板担持体を用いたリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
| JP2011507266A (ja) * | 2007-12-12 | 2011-03-03 | ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド | ハブを有するウエハキャリア |
| KR101300118B1 (ko) * | 2010-12-15 | 2013-08-26 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 서셉터 및 이를 구비한 화학기상증착장치 |