JPH02106809A - Ceramics substrate green sheet molding device - Google Patents

Ceramics substrate green sheet molding device

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JPH02106809A
JPH02106809A JP25922788A JP25922788A JPH02106809A JP H02106809 A JPH02106809 A JP H02106809A JP 25922788 A JP25922788 A JP 25922788A JP 25922788 A JP25922788 A JP 25922788A JP H02106809 A JPH02106809 A JP H02106809A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thickness
slurry
green sheet
doctor blade
controller
Prior art date
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Pending
Application number
JP25922788A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinori Ueno
上野 芳則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH02106809A publication Critical patent/JPH02106809A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To execute adjustment of the thickness of a slurry to be applied automatically with a little time lag by providing a slurry thickness meter by which the thickness of the slurry immediately after being applied is measured, and a controller by which the space of a doctor blade is automatically set. CONSTITUTION:A slurry thickness meter 4 is formed just behind a doctor blade 2 to measure the thickness of a slurry before it is put into a hot air drying oven 5, and a controller 8 is provided by which the space of the doctor blade 2 is automatically adjusted. A coefficient of contraction K is determined from the thickness A0 of the slurry measured by the slurry thickness meter 4 and from the thickness B0 of a green sheet measured after passing through the hot drying oven 5 by a green sheet thickness meter 6. The space D1 of the doctor blade in adjustment condition is calculated from a product standard value G of the thickness of the green sheet, the space D0 of the initial doctor blade 2, and the thickness A0 of the slurry, and from the coefficient of contraction K, so as to automatically adjust the space of the doctor blade 2 based on the value by the controller 8. The green sheet 9 of the thickness of product standard can thus be produced without the generation of time lag.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 セラミック基板グリーンシート成形装置の改良及びグリ
ーンシート成形工程におけるスラリの膜厚制御方法に関
し、 製品規格に正確に合致した厚さのグリーンシートを得る
ことが可能で、製造工程における製品のロスを減少させ
ることが可能なセラミック基板グリーンシー1−成形装
置及びスラリの膜厚制御方法の提供を目的とし、 液槽内のスラリをドクターブレードを用いてキャリアフ
ィルム上に塗布し、前記スラリを塗布した前記キャリア
フィルムを熱風乾燥炉内を通過させてグリーンシートを
成形し、グリーンシート厚み計により測定した前記グリ
ーンシートの厚さを、前記ドクターブレードにフィード
バックしてスラリの塗布厚みの設定の補正を行いながら
、巻き取りドラムで前記グリーンシートを巻き取るセラ
ミック基板グリーンシート成形装置であって、塗布直後
の前記スラリの厚さを測定するスラリ厚み計と、前記ド
クターブレードの間隔を自動設定する制御器とを具備す
るよう構成し、前記セラミック基板グリーンシート成形
装置を用い、塗布直後の前記スラリ厚み計により測定し
た前記スラリの厚さと、前記グリーンシートの厚さと、
前記グリーンシートの製品規格の厚さとを用い、前記制
御器により前記ドクターブレードの間隙を調整するよう
構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding the improvement of a ceramic substrate green sheet forming device and the method of controlling the thickness of slurry in the green sheet forming process, it is possible to obtain a green sheet with a thickness that accurately meets product specifications. With the aim of providing a ceramic substrate green sea 1 molding device and slurry film thickness control method that can reduce product loss in the manufacturing process, the slurry in the liquid tank is transferred onto a carrier film using a doctor blade. The carrier film coated with the slurry is passed through a hot air drying oven to form a green sheet, and the thickness of the green sheet measured by a green sheet thickness meter is fed back to the doctor blade to dry the slurry. A ceramic substrate green sheet forming apparatus that winds up the green sheet with a winding drum while correcting the application thickness setting, the device comprising: a slurry thickness gauge that measures the thickness of the slurry immediately after application; and a doctor blade. and a controller that automatically sets the interval between the slurry and the green sheet, and the thickness of the slurry measured by the slurry thickness meter immediately after application using the ceramic substrate green sheet forming apparatus, and the thickness of the green sheet;
The controller is configured to adjust the gap between the doctor blades using the product standard thickness of the green sheet.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、セラミックグリーンシートの製造に係り、特
にセラミック基板グリーンシート成形装置の改良及びグ
リーンシート成形工程におけるスラリの膜厚制御方法に
関するものである。
The present invention relates to the production of ceramic green sheets, and particularly to improvements in a ceramic substrate green sheet forming apparatus and a method for controlling the thickness of slurry in a green sheet forming process.

セラミック基板グリーンシート成形装置において、製品
規格に合致した厚さのグリーンシートを成形するために
、熱風乾燥炉にて乾燥した後のグリーンシートの厚さを
グリーンシート厚み計で測定し、そのグリーンシートの
厚さをドクターブレードにフィードバックし、ドクター
ブレードの間隔を調整してスラリの厚さの設定を行って
いる。
In ceramic substrate green sheet forming equipment, in order to form a green sheet with a thickness that meets product standards, the thickness of the green sheet after drying in a hot air drying oven is measured using a green sheet thickness meter, and the green sheet is The thickness of the slurry is fed back to the doctor blade, and the spacing between the doctor blades is adjusted to set the slurry thickness.

しかしながら、グリーンシート厚み計の位置とドクター
ブレードの位置が離れているために、グリーンシートの
厚さ調整のフィードバックにタイムラグが生じている。
However, because the position of the green sheet thickness gauge and the position of the doctor blade are far apart, a time lag occurs in feedback for adjusting the thickness of the green sheet.

以−Lのような状況から製品規格に合致した厚さのグリ
ーンシートを、タイムラグが生じないように成形するす
ることが可能なセラミック基板グリーンシート成形装置
及びスラリの膜厚制御方法が要望されている。
Due to the situation described above, there is a need for a ceramic substrate green sheet forming apparatus and a slurry film thickness control method that can form green sheets with a thickness that meets product standards without any time lag. There is.

〔従来の技術] 従来のセラミック基板グリーンシート成形装置及びスラ
リの膜厚制御方法を第3図により説明する。
[Prior Art] A conventional ceramic substrate green sheet forming apparatus and slurry film thickness control method will be explained with reference to FIG.

第3図は従来のセラミック基板グリーンシート成形装置
の概略構造を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a schematic structure of a conventional ceramic substrate green sheet forming apparatus.

図において、液槽1の中のスラリ1aはドクターブレー
ド2の間隔に応じてキャリアフィルム3の表面に均一に
に塗布され、熱風乾燥炉5を通過する間に乾燥されてグ
リーンシート9になり、巻き取りドラム7により巻き取
られる。
In the figure, the slurry 1a in the liquid tank 1 is uniformly applied to the surface of the carrier film 3 according to the spacing between the doctor blades 2, and is dried into a green sheet 9 while passing through a hot air drying oven 5. It is wound up by the winding drum 7.

この場合のグリーンシート9の厚さの調整は、熱風乾燥
炉5を通過した後のグリーンシート9の厚さをグリーン
シート厚み計6で測定し、その値とグリーンシートの厚
さの製品規格値とを比較して作業者が手動操作によりド
クターブレード2の間隔の設定を変更することにより行
っている。
In this case, the thickness of the green sheet 9 can be adjusted by measuring the thickness of the green sheet 9 after passing through the hot air drying oven 5 with a green sheet thickness gauge 6, and using that value and the product standard value for the thickness of the green sheet. This is done by the operator manually changing the setting of the spacing between the doctor blades 2.

厚み計の位置とが熱風乾燥炉を間にして約15mと遠く
離れており、グリーンシート厚み計の測定値によりドク
ターブレードの間隔調整を手動操作により行っているた
めフィードバックにタイムラグが生じており、製品規格
に合致するグリーンシートを得ることが難しいという問
題点があり、またドクターブレードの間隔を調整するま
での間に、この15mの間のグリーンシートが不良にな
るという問題点があった。
The position of the thickness gauge is about 15 meters away from the hot air drying oven, and the distance between the doctor blades is manually adjusted based on the measured value of the green sheet thickness gauge, resulting in a time lag in feedback. There was a problem in that it was difficult to obtain green sheets that met the product specifications, and there was also a problem in that the green sheets within this 15 m distance became defective until the spacing between the doctor blades was adjusted.

本発明は以上のような状況から製品規格に正確に合致し
た厚さのグリーンシートを得ることが可能で、製造工程
における製品のロスを減少させることが可能なセラミッ
ク基板グリーンシート成形装置及びスラリの膜厚制御方
法の提供を目的としたものである。
The present invention provides a ceramic substrate green sheet forming apparatus and a slurry forming apparatus capable of obtaining a green sheet having a thickness that accurately meets product specifications and reducing product loss in the manufacturing process. The purpose is to provide a film thickness control method.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

以上説明の従来のセラミック基板グリーンシート成形装
置においては、スラリを塗布する位置とグリーンシート
の厚さを測定するグリーンシート〔課題を解決するため
の手段〕 本発明のセラミック基板グリーンシート成形装置は、第
1図に示すように液槽1内のステ1月aをドクターブレ
ード2を用いてキャリアフィルム3上に塗布し、このス
ラリを塗布したキャリアフィルム3を熱風乾燥炉5内を
通過させてグリーンシート9を成形し、グリーンシート
厚み計6により測定したグリーンシート9の厚さを、前
記ドクターブレード2にフィードバックしてスラリの塗
布厚みの設定の補正を行いながら、巻き取りドラム7で
グリーンシート9を巻き取るセラミック基板グリーンシ
ート成形装置であって、塗布直後のスラリの厚さを測定
するスラリ厚み計4と、ドクターブレードの間隔を自動
設定する制御器8とを具備するよう構成し、本発明のス
ラリの膜厚制御方法はこのセラミック基板グリーンシー
ト成形装置を用い、塗布直後のスラリ厚み計により測定
したスラリの厚さ八〇と、グリーンシートの厚さB。と
、このグリーンシートの製品規格の厚さGとを用い、制
御器8によりドクターブレードの間隙D+を調整するよ
う構成する。
In the conventional ceramic substrate green sheet forming apparatus described above, the green sheet measures the position where slurry is applied and the thickness of the green sheet. As shown in FIG. 1, the slurry in the liquid tank 1 is applied onto the carrier film 3 using the doctor blade 2, and the carrier film 3 coated with this slurry is passed through the hot air drying oven 5 to make it green. A sheet 9 is formed, and the thickness of the green sheet 9 measured by the green sheet thickness meter 6 is fed back to the doctor blade 2 to correct the setting of the slurry application thickness, while the green sheet 9 is rolled by the winding drum 7. The present invention is a ceramic substrate green sheet forming apparatus for winding up a green sheet, and is configured to include a slurry thickness gauge 4 for measuring the thickness of slurry immediately after coating, and a controller 8 for automatically setting the spacing between doctor blades. The slurry film thickness control method uses this ceramic substrate green sheet forming apparatus, and the slurry thickness is 80 and the green sheet thickness is B, which are measured using a slurry thickness meter immediately after coating. The gap D+ between the doctor blades is adjusted using the controller 8 and the product standard thickness G of this green sheet.

〔作用〕[Effect]

即ち本発明においては、第2図に示すように、ドクター
ブレードの初期の間隔り。でキャリアフィルムに塗布し
た初期のスラリの厚さを、熱風乾燥炉に入る前にスラリ
厚み計を用いて測定し、この値A。と、初期のスラリの
厚さA。と初期のグリーンシー1〜の厚さB。とから求
められるスラリの収縮率と、グリーンシートの厚さの製
品規格値Gから制御器によりドクターブレードの間隔を
調整し、製品規格値の厚さを有するグリーンシートを製
造することが可能となる。
That is, in the present invention, as shown in FIG. 2, the initial spacing of the doctor blades. The initial thickness of the slurry applied to the carrier film was measured using a slurry thickness gauge before entering the hot air drying oven, and this value was A. and the initial slurry thickness A. and early green sea 1 ~ thickness B. It becomes possible to manufacture a green sheet having the thickness of the product standard value by adjusting the spacing of the doctor blades using the controller based on the shrinkage rate of the slurry obtained from and the product standard value G of the thickness of the green sheet. .

即ち、初期状態のスラリの厚さを八。、調整状態のスラ
リの厚さを^い初期状態のグリーンシートの厚さをB。
That is, the thickness of the slurry in the initial state is 8. , the thickness of the slurry in the adjusted state is B, and the thickness of the green sheet in the initial state is B.

、グリーンシートの製品規格値の厚さをGとすると、 Ao  G−(Ao  Bo)  (G  Bo)両辺
を八。で割ると、 となる。
, If the product standard thickness of the green sheet is G, then Ao G-(Ao Bo) (G Bo) Both sides are 8. Dividing by , we get .

み計とグリーンシート厚み計の測定値から求めることが
可能であるから、この値をKとし、ドクターブレードの
間隔調整が適切でスラリの厚さがAtの場合は、BO−
Gとなるから、その場合は、1−    −に 八、 となる。
This value can be determined from the measured values of the green sheet thickness meter and the green sheet thickness meter, so if this value is K, and the spacing of the doctor blade is properly adjusted and the slurry thickness is At, then BO-
G, so in that case, 1--to-8.

ドクターブレードの間隔がり。の場合のスラリの厚さを
八。、ドクターブレードの間隔がDlの場合のスラリの
厚さをA、とすると、 D+      At Do      八〇 であり、ここに(1)式を代入すると、八。(1 K) 即ち、 となり、調整状態のドクターブレードの間隔り、は、初
期状態のドクターブレードの間隔り。と、グリーンシー
トの製品規格値の厚さGと、初期状態のスラリの厚さA
。と、収縮率にとから(2)式により算出することがで
きるので、制御器によってドクターブレードの間隔を自
動的にDlとすることにより、タイムラグを生じないで
規格値のグリーンシートを製造することが可能となる。
Increased spacing between doctor blades. If the thickness of the slurry is 8. , if the thickness of the slurry is A when the spacing between the doctor blades is Dl, then D+ At Do is 80, and substituting equation (1) here, it becomes 8. (1 K) That is, the distance between the doctor blades in the adjusted state is the distance between the doctor blades in the initial state. , the product standard thickness G of the green sheet, and the initial slurry thickness A
. Since it can be calculated from equation (2) from the shrinkage rate and the shrinkage rate, by automatically setting the doctor blade spacing to Dl using the controller, it is possible to manufacture green sheets with standard values without causing a time lag. becomes possible.

〔実施例〕〔Example〕

以下、第1図について本発明の一実施例を説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

第1図は本発明による一実施例のセラミック基板グリー
ンシート成形装置の概略構造を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic structure of a ceramic substrate green sheet forming apparatus according to an embodiment of the present invention.

図に示すように、本実施例はドクターブレード2の直後
にスラリ厚み計4を設けて熱風乾燥炉5に入る前のスラ
リの厚さを測定していることと、ドクターブレード2の
間隔を自動的に調整する制御器8を備えている外は、従
来のセラミック基板グリーンシート成形装置と同じ構造
を有している。
As shown in the figure, in this embodiment, a slurry thickness meter 4 is provided immediately after the doctor blade 2 to measure the thickness of the slurry before entering the hot air drying oven 5, and the spacing between the doctor blades 2 is automatically adjusted. It has the same structure as a conventional ceramic substrate green sheet forming apparatus, except that it is equipped with a controller 8 for adjusting the temperature.

本実施例においては、グリーンシート9の厚さの調整は
、熱風乾燥炉5に入る前にスラリ厚み計4で測定したス
ラリの厚さ(八〇)と、このスラリの厚さと熱風乾燥炉
5を通過した後にグリーンシート厚み計6で測定したグ
リーンシートの厚さ(B、)とから求められる収縮率(
K)と、グリーンシートの厚さの製品規格値(G)と、
初期のドクターブレード2の間隔(Do)と、から算出
した調整状態のドクターブレード2の間隔(Dl)にな
るように、制御器9を用いてドクターブレード2の間隔
を自動的に調整することにより、製品規格の厚さを有す
るグリーンシー1−9をタイムラグを生じさせないで製
造することが可能となる。
In this embodiment, the thickness of the green sheet 9 is adjusted based on the thickness of the slurry (80) measured with the slurry thickness meter 4 before entering the hot air drying oven 5, and the thickness of this slurry and the thickness of the slurry The shrinkage rate (
K), the product standard value of the thickness of the green sheet (G),
By automatically adjusting the spacing of the doctor blades 2 using the controller 9 so that the spacing of the doctor blades 2 in the adjusted state (Dl) is calculated from the initial spacing (Do) of the doctor blades 2. , it becomes possible to manufacture Green Sea 1-9 having the thickness of the product standard without causing a time lag.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明から明らかなように本発明によればスラリ厚
み計と制御器を具備することにより、ドクターブレード
により塗布するスラリの厚さの調整を、制御器により少
ないタイムラグで自動的に行うことが可能となるセラミ
ック基板グリーンシト成形装置を捷供することが可能と
なる。
As is clear from the above description, according to the present invention, by providing a slurry thickness gauge and a controller, the thickness of the slurry applied by the doctor blade can be automatically adjusted by the controller with less time lag. It becomes possible to provide a ceramic substrate green sheet molding apparatus that can produce green sheets.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による一実施例のセラミック基板グリー
ンシート成形装置の概略構造 を示す図、 第2図は本発明の原理図、 第3図は従来のセラミック基板グリーンシート成形装置
の概略構造を示す図、 である。 図において、 1は液槽、 1aはスラリ、 2はドクターブレード、 3はキャリアフィルム、 4はスラ1月ヅみ創、 5は熱風乾燥炉、 6はグリーンシー1−厚み計、 7は巻き取りトラム、 を示す。 8ば制御器、 9はグリーンシー1〜、
Fig. 1 is a diagram showing a schematic structure of a ceramic substrate green sheet forming apparatus according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a diagram showing the principle of the present invention, and Fig. 3 is a diagram showing a schematic structure of a conventional ceramic substrate green sheet forming apparatus. The figure shown is, . In the figure, 1 is the liquid tank, 1a is the slurry, 2 is the doctor blade, 3 is the carrier film, 4 is the slurry scratch, 5 is the hot air drying oven, 6 is the green sea 1 - thickness gauge, 7 is the winder Tram, shows. 8 is the controller, 9 is Green Sea 1~,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 〔1〕液槽(1)内のスラリ(1a)をドクターブレー
ド(2)を用いてキャリアフィルム(3)上に塗布し、
前記スラリ(1a)を塗布した前記キャリアフィルム(
3)を乾燥炉(5)内を通過させてグリーンシート(9
)を成形し、グリーンシート厚み計(6)により測定し
た前記グリーンシート(9)の厚さを、前記ドクターブ
レード(2)にフィードバックしてスラリ(1a)の塗
布厚みの設定の補正を行いながら、巻き取りドラム(7
)で前記グリーンシート(9)を巻き取るセラミック基
板グリーンシート成形装置であって、 塗布直後の前記スラリ(1a)の厚さを測定するスラリ
厚み計(4)と、前記ドクターブレード(2)の間隔を
自動設定する制御器(8)と、 を具備し、塗布直後の前記スラリ厚み計(4)により測
定した前記スラリ(1a)の厚さと、前記グリーンシー
ト(9)の厚さと、前記グリーンシート(9)の製品規
格の厚さとを用い、前記制御器(8)により前記ドクタ
ーブレード(2)の間隙を調整することを特徴とするセ
ラミック基板グリーンシート成形装置。
[Claims] [1] Applying the slurry (1a) in the liquid tank (1) onto the carrier film (3) using a doctor blade (2),
The carrier film coated with the slurry (1a) (
3) through the drying oven (5) to dry the green sheet (9).
), and the thickness of the green sheet (9) measured by the green sheet thickness meter (6) is fed back to the doctor blade (2) while correcting the setting of the coating thickness of the slurry (1a). , winding drum (7
) is a ceramic substrate green sheet forming device that winds up the green sheet (9) with a slurry thickness meter (4) for measuring the thickness of the slurry (1a) immediately after application, and a doctor blade (2). a controller (8) for automatically setting intervals; and a controller (8) that automatically sets the interval, and the thickness of the slurry (1a) measured by the slurry thickness meter (4) immediately after application, the thickness of the green sheet (9), and the green sheet. A ceramic substrate green sheet forming apparatus characterized in that the gap between the doctor blades (2) is adjusted by the controller (8) using the product standard thickness of the sheet (9).
JP25922788A 1988-10-13 1988-10-13 Ceramics substrate green sheet molding device Pending JPH02106809A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011165663A (en) * 2010-02-04 2011-08-25 Samsung Sdi Co Ltd Apparatus and method for coating functional membrane

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