JP2507532B2 - Manufacturing method of ceramic green sheet - Google Patents

Manufacturing method of ceramic green sheet

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JP2507532B2 JP63093410A JP9341088A JP2507532B2 JP 2507532 B2 JP2507532 B2 JP 2507532B2 JP 63093410 A JP63093410 A JP 63093410A JP 9341088 A JP9341088 A JP 9341088A JP 2507532 B2 JP2507532 B2 JP 2507532B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミックグリーンシートの製造方法に係
り、特に幅の広いセラミックグリーンシートを高歩留り
で製造する方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic green sheet, and more particularly to a method for manufacturing a wide ceramic green sheet with high yield.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

セラミックグリーンシートは、ドクターブレード法に
よって製造されている。ドクターブレード法とは、セラ
ミック主材、焼結助剤等の無機物粉末と有機バインダ
ー、可塑剤等の有機物に溶剤を加えて混合したスラリー
を、キャリアフィルム上に載置されたドクターブレード
を有するダムへ注入し、キャリアフィルムを一定方向へ
移動させ、スラリーをドクターブレードとキャリアフィ
ルムの間隙を通過させてキャリアフィルム上に一定の厚
みに塗工し、乾燥によって溶剤を蒸発させて固化しグリ
ーンシートとする方法である。
The ceramic green sheet is manufactured by the doctor blade method. The doctor blade method is a dam having a doctor blade placed on a carrier film, which is a slurry prepared by adding a solvent to an inorganic powder such as a ceramic main material and a sintering aid, an organic binder, and an organic material such as a plasticizer. The carrier film is moved in a certain direction, the slurry is passed through the gap between the doctor blade and the carrier film to apply a certain thickness on the carrier film, and the solvent is evaporated by drying to solidify the green sheet. Is the way to do it.

ここで、乾燥方式としては昭和60年11月1日(株)リ
アライズ社発行の「ファインセラミックスの新製造法と
プロセス自動化技術」に記載されているように、自然乾
燥では10〜15時間も要するので生産性や品質の面から見
て強制乾燥を行っている。強制乾燥はキャリアフィルム
上に塗工されたスラリーの膜に熱風を与えて除々に乾燥
させる方式で、乾燥炉を用いる。
Here, as the drying method, it takes 10 to 15 hours for natural drying as described in "New manufacturing method of fine ceramics and process automation technology" issued by Realize Co., Ltd. on November 1, 1985. Therefore, in terms of productivity and quality, forced drying is performed. The forced drying is a method in which hot air is applied to the slurry film coated on the carrier film to gradually dry it, and a drying furnace is used.

グリーンシートの乾燥においては、膜割れの発生を防
止することが生産性、品質の面から重要な課題である。
膜割れについては、上記文献に記載されているように、
例えば20mの炉長の乾燥炉の場合、入口から7〜8mまで
の所で乾燥が終了するため、ここまでの温度及び風速の
状態が重要であり、急激な乾燥を避ける必要がある。常
温の入口かた緩やかに温度を上昇させ、熱風の吹出口と
吸込口を調整して風速も幅方向で均一にすることが大切
とされている。
In the drying of the green sheet, prevention of film cracking is an important issue from the aspects of productivity and quality.
Regarding the film cracking, as described in the above-mentioned document,
For example, in the case of a drying furnace having a furnace length of 20 m, the drying ends 7 to 8 m from the entrance, so the temperature and wind speed conditions up to this point are important and it is necessary to avoid sudden drying. It is important to raise the temperature gently from the inlet at room temperature and adjust the outlet and inlet of hot air to make the wind speed uniform in the width direction.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかし、幅の広い大面積のグリーンシートを得る場
合、幅方向で温度、風速とも均一にすることが困難で乾
燥ムラを生じやすく、膜割れの発生率が高くなるという
問題があった。さらに、幅方向で温度、風速とも均一に
設定できた場合であっても、幅方向の両端に近い部分よ
りも中央部の方が蒸発して生じる溶剤の濃度が高くなる
ため、溶剤が蒸発してグリーンシートが収縮する時期は
中央部より端部で早くなる。これにより、最後に乾燥す
る中央部から割れが発生するという問題があった。
However, when obtaining a wide and large-area green sheet, it is difficult to make the temperature and wind speed uniform in the width direction, uneven drying is likely to occur, and the occurrence rate of film cracks increases. Furthermore, even if the temperature and wind speed can be set uniformly in the width direction, the concentration of the solvent generated by evaporation is higher in the central part than in the parts near both ends in the width direction, so the solvent evaporates. As a result, the green sheet contracts earlier at the edges than at the center. As a result, there is a problem that a crack is generated from the central portion which is finally dried.

本発明の目的は、乾燥時に割れを発生させることなく
幅の広いグリーンシートの製造方法を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a wide green sheet without causing cracks during drying.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記課題は、ドクターブレード法によるセラミックグ
リーンシートの製造方法において、キャリアフィルム上
に塗工したスラリーから溶剤を蒸発させてセラミックグ
リーンシートを乾燥する乾燥工程で、該セラミックグリ
ーンシートの幅方向両端部よりも中央部を先に乾燥させ
るセラミックグリーンシートの製造方法によって達成さ
れる。また前記乾燥を前記セラミックグリーンシートの
幅方向両端より中央部の風速を大きくすることにより行
なってもよく、また、前記乾燥を前記セラミックグリー
ンシートの幅方向両端より中央部の温度を高くすること
により行なってもよい。
In the method for manufacturing a ceramic green sheet by the doctor blade method, in the drying step of drying the ceramic green sheet by evaporating the solvent from the slurry coated on the carrier film, the width direction of the ceramic green sheet from both ends. Is achieved by a method of manufacturing a ceramic green sheet in which the central portion is dried first. Further, the drying may be performed by increasing the wind speed in the central portion from both ends in the width direction of the ceramic green sheet, and by drying the temperature in the central portion from both ends in the width direction of the ceramic green sheet. You may do it.

〔作用〕[Action]

乾燥によるグリーンシートの収縮は、溶剤に溶けてい
る有機バインダーが溶剤の蒸発によって収縮し、セラミ
ック主材や焼結助剤等の無機物粒子を引き寄せることに
よって生じる。したがって、例えば、グリーンシートの
幅方向で端から乾燥が進んでいった場合、最後に未乾燥
領域が中央部分に残る。有機バインダーの結合力は乾燥
している部分よりも、溶剤で膨潤している未乾燥部分の
方が弱く、このため中央部では、両側から収縮によって
発生する応力で割れが発生することになる。このため本
発明では、上記構成により中央部分から両端に向けて乾
燥収縮を行なわせるので、結合力の弱い未乾燥部分が端
部になり、収縮によって生じた応力を端部へ逃がすこと
ができるため、割れの発生を防止できる。
The shrinkage of the green sheet due to drying occurs when the organic binder dissolved in the solvent shrinks due to the evaporation of the solvent and attracts the inorganic particles such as the ceramic main material and the sintering aid. Therefore, for example, when the drying progresses from the end in the width direction of the green sheet, the undried region is left in the central portion at the end. The binding force of the organic binder is weaker in the undried portion swollen with the solvent than in the dried portion, so that in the central portion, the stress generated by the contraction from both sides causes cracking. For this reason, in the present invention, since the drying shrinkage is performed from the central portion toward both ends by the above configuration, the undried portion having a weak bonding force becomes the end portion, and the stress generated by the shrinkage can be released to the end portion. The occurrence of cracks can be prevented.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を第1図〜第3図を用いて説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

〈実施例1〉 第1図は、本発明のセラミックグリーンシートの製造
方法を行うための装置の実施例1である。
<Example 1> Fig. 1 shows Example 1 of an apparatus for carrying out the method for producing a ceramic green sheet of the present invention.

ここで、本実施例のグリーンシートの製造に用いたス
ラリーの成分と製造方法を述べる。主成分としてアルミ
ナ(90重量部)を用い、焼結助剤としてタルク(6重量
部)とクレイ(4重量部)を添加している。有機物は、
バインダーとしてPVB(5重量部)を、可塑剤としてDBP
(2重量部)を使用した。これらの原料に有機溶剤とし
てトリクロルエチレン、テトラクロルエチレン、n−ブ
タノールの混合液(40重量部)を添加して24時間混合し
た後、真空脱泡を行う粘度15,000cpsのスラリーを製造
した。
Here, the components of the slurry used in the production of the green sheet of this example and the production method will be described. Alumina (90 parts by weight) was used as the main component, and talc (6 parts by weight) and clay (4 parts by weight) were added as sintering aids. Organic matter is
PVB (5 parts by weight) as a binder and DBP as a plasticizer
(2 parts by weight) was used. A mixed solution (40 parts by weight) of trichloroethylene, tetrachloroethylene, and n-butanol was added to these raw materials as an organic solvent and mixed for 24 hours, and then a slurry having a viscosity of 15,000 cps was prepared by vacuum defoaming.

本実施例で用いた装置は第1図に示すようにスラリー
2をキャリアフィルム5上に載置されたドクターブレー
ド3を有するダム4へ供給し、コンベアベルト6と共に
キャリアフィルム5を第1図の矢印の方向へ移動させ、
スラリー2をドクターブレード3とキャリアフィルム5
の間隙を通過させてキャリアフィルム5上に一定の厚み
に塗工し、乾燥炉8で溶剤を蒸発させてグリーンシート
1を製造する、いわゆるドクターブレード法において、
全長20mの乾燥炉内に入口から3mの部分に温風吹出口7a
〜7eを装置してある。
The apparatus used in this example supplies the slurry 2 to a dam 4 having a doctor blade 3 placed on a carrier film 5 as shown in FIG. 1, and conveys the carrier film 5 together with the conveyor belt 6 as shown in FIG. Move it in the direction of the arrow,
Slurry 2 with doctor blade 3 and carrier film 5
In a so-called doctor blade method, in which the green sheet 1 is manufactured by coating the carrier film 5 with a certain thickness by passing through the gap and evaporating the solvent in the drying furnace 8.
Hot air outlet 7a 3m from the entrance inside the drying furnace with a total length of 20m
~ 7e is installed.

キャスティング条件としては、ダム4の幅を1m、ドク
ターブレード3とキャリアフィルム5との間隙は0.5m
m、コンベアベルト6及びキャリアフィルム5の搬送速
度は0.3m/minであり、乾燥炉は入口で常温23℃、出口で
120℃に設定した。
As for casting conditions, the width of the dam 4 is 1 m, and the gap between the doctor blade 3 and the carrier film 5 is 0.5 m.
m, the conveyor belt 6 and the carrier film 5 are conveyed at a speed of 0.3 m / min.
It was set to 120 ° C.

まず、温風吹出口7a〜7eを閉の状態にし本発明の方法
を用いない場合、温風吹出口7a〜7bから2m後方(入口よ
り5m)付近で割れか発生し、シートの歩留りが30%であ
った。
First, when the hot air outlets 7a to 7e are closed and the method of the present invention is not used, cracks occur around 2m behind the hot air outlets 7a to 7b (5m from the inlet), and the sheet yield is 30%. there were.

また、全ての温風吹出口より常温23℃の風を送風し、
幅方向の風速が0.3m/secで均一になるように設定(温風
吹出口の前方0.2mの位置で測定)した場合、割れの発生
位置が0.5m前方へ移動(入口より4.5m付近)し、割れが
やや減少したが歩留りにして45%であった。
In addition, all the hot air outlets blow air at room temperature of 23 ℃,
When the wind speed in the width direction is set to be uniform at 0.3 m / sec (measured 0.2 m in front of the hot air outlet), the crack generation position moves 0.5 m forward (near 4.5 m from the inlet). The cracks were slightly reduced, but the yield was 45%.

そこで、次に本発明の特徴である乾燥方法、すなわち
幅方向で両端よりも中央部から先に乾燥が進む方法を実
施した。温風吹出口からの風量を7cで増加し、7a、及び
7cで減少させ、中央部の風速が0.35m/secで最大、端部
が0.25m/secで最小になり、その間が緩やかな風速のカ
ーブを形成するように設定したところ(温風吹出口の前
方0.2mの位置で測定)割れの発生がなくなり、歩留り10
0%でグリーンシートを得られた。
Then, the drying method which is the feature of the present invention, that is, the method in which the drying proceeds from the central portion to the both ends in the width direction, was performed. The air volume from the hot air outlet is increased by 7c to 7a, and
7c to reduce the wind speed at the center to a maximum of 0.35 m / sec and the end at a minimum of 0.25 m / sec, and set to form a gentle wind velocity curve between them (in front of the hot air outlet) (Measurement at the position of 0.2 m) No cracks occurred, yield 10
A green sheet was obtained at 0%.

〈実施例2〉 第2図は本発明のセラミックグリーンシートの製造方
法を行うための装置の実施例2である。
<Embodiment 2> FIG. 2 shows Embodiment 2 of an apparatus for carrying out the method for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention.

第2図で乾燥炉8内を除き他の構成部分は第1図と同
様である。本実施例では、4つのゾーンから成る全長20
mの乾燥炉8のゾーンの境界部分に風速制御板9を設置
した。通常、乾燥炉の各ゾーンではそれぞれ独立して温
風の吸排気を行っているため、各ゾーン間に気圧差を生
じ境界部分でグリーンシート上に大きな風の流れが発生
し、割れの原因となることが多い。そこで、本実施例で
は、割れが多発する第1ゾーンと第2ゾーンの境界部分
(入口より4m)に、中央部分で両端部分よりもグリーン
シートとのギャップが大きくなる風速制御板9を設置
し、ここに発生する風速が中央部分で最大になるように
した(中央部0.4m/sec、端部0.35m/sec)ところ、実施
例1と同じキャスティング条件の場合(第1図の温風吹
出口7a〜7eは除去した)、割れが減少し、歩留りが30%
から90%に向上した。
Other than the inside of the drying furnace 8 in FIG. 2, the other components are the same as in FIG. In this embodiment, the total length of the four zones is 20.
A wind speed control plate 9 was installed at the boundary of the zone of the drying furnace 8 of m. Normally, hot air is sucked and exhausted independently in each zone of the drying furnace, so a pressure difference occurs between each zone and a large wind flow occurs on the green sheet at the boundary, which may cause cracking. Often becomes. Therefore, in this embodiment, a wind speed control plate 9 is installed at the boundary portion (4 m from the entrance) between the first zone and the second zone where cracks frequently occur, so that the gap between the green sheet and the green sheet is larger in the central portion than in both end portions. The wind velocity generated here was set to be maximum in the central portion (central portion 0.4 m / sec, end portion 0.35 m / sec), and under the same casting conditions as in Example 1 (the warm air outlet in FIG. 1). 7a to 7e are removed), cracks are reduced and the yield is 30%
From 90% to 90%.

〈実施例3〉 第3図は本発明のセラミックグリーンシートの製造方
法を行うための装置の実施例3である。
<Embodiment 3> FIG. 3 shows Embodiment 3 of an apparatus for carrying out the method for manufacturing a ceramic green sheet according to the present invention.

実施例1及び実施例2では、乾燥炉8内の風速を幅方
向の中央部で最大にすることにより、中央部の乾燥速度
を両端部よりも速くする方法を用いた実施例を示した
が、実施例3ではシートの幅方向に温度分布を付与する
ことにより、乾燥速度を制御する。
In Example 1 and Example 2, an example using a method in which the drying speed at the central portion in the drying furnace 8 is maximized at the central portion in the width direction so that the drying speed at the central portion is faster than at both ends, is shown. In Example 3, the drying speed is controlled by providing a temperature distribution in the width direction of the sheet.

第3図で乾燥炉8内を除き他の構成部分は第1図及び
第2図と同様である。乾燥炉8内にはグリーンシートを
搬送するコンベアベルト6の下部にヒーター11を内部に
設けた加熱板10を固定した。固定位置は、人工の2.5m後
方から3.5mまでの全長1mである。
Other than the inside of the drying furnace 8 in FIG. 3, the other components are the same as those in FIGS. 1 and 2. In the drying oven 8, a heating plate 10 having a heater 11 therein was fixed to the lower part of a conveyor belt 6 that conveys green sheets. The fixed position is 1m in total length from 2.5m behind the artificial to 3.5m.

ヒーター11に通電し、加熱量をコントロールしてグリ
ーンシート1のない状態でキャリアフィルム5の表面温
度が中央部で最大値35℃、端部で最小値28℃になり、そ
の間が緩やかな温度のカーブになるよう設定した。キャ
リアフィルムの上方は25℃で常温(23℃)に近い状態で
ある。
By energizing the heater 11 and controlling the heating amount, the surface temperature of the carrier film 5 in the state without the green sheet 1 becomes the maximum value of 35 ° C at the central part and the minimum value of 28 ° C at the end parts, and the temperature is moderate during I set it to be a curve. The temperature above the carrier film is 25 ° C, which is close to room temperature (23 ° C).

ここで、実施例1及び実施例2のキャスティング条件
でグリーンシートを製造したところ、ヒーターを加熱し
ない場合よりも割れの発生が減少し、歩留りが30%から
95%に向上した。
Here, when the green sheets were manufactured under the casting conditions of Example 1 and Example 2, the occurrence of cracks was reduced compared to the case where the heater was not heated, and the yield was 30%.
It improved to 95%.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、幅中央から乾燥し収縮により発生す
る応力を幅両端部へ逃がすため、幅の広いグリーンシー
トであっても乾燥による割れの発生を抑制し高歩留りの
グリーンシートを製造することができる。
According to the present invention, the stress generated by drying and shrinking from the center of the width is released to both ends of the width, so that even a wide green sheet can suppress cracking due to drying and produce a high-yield green sheet. You can

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図,第2図,第3図はそれぞれ本発明の異なる実施
例を示す斜視図である。 1……グリーンシート、2……スラリー 3……ドクターブレード、7……温度吹出口 8……乾燥炉、9……風速制御板 10……加熱板
FIGS. 1, 2 and 3 are perspective views showing different embodiments of the present invention. 1 ... Green sheet, 2 ... Slurry 3 ... Doctor blade, 7 ... Temperature outlet 8 ... Drying furnace, 9 ... Wind speed control plate 10 ... Heating plate

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ドクターブレード法によるセラミックグリ
ーンシートの製造方法において、キャリアフィルム上に
塗工したスラリーから溶剤を蒸発させてセラミックグリ
ーンシートを乾燥する乾燥工程で、該セラミックグリー
ンシートの幅方向両端部よりも中央部を先に乾燥させる
ことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方
法。
1. A method of manufacturing a ceramic green sheet by a doctor blade method, which comprises a drying step of evaporating a solvent from a slurry coated on a carrier film to dry the ceramic green sheet. A method for manufacturing a ceramic green sheet, which comprises first drying the central portion of the ceramic green sheet.
【請求項2】前記乾燥を前記セラミックグリーンシート
の幅方向両端より中央部の風速を大きくすることにより
行うことを特徴とする請求項1記載の方法。
2. The method according to claim 1, wherein the drying is performed by increasing the wind speed in the central portion of the ceramic green sheet from both ends in the width direction.
【請求項3】前記乾燥を前記セラミックグリーンシート
の幅方向両端より中央部の温度を高くすることにより行
うことを特徴とする請求項1または2記載の方法。
3. The method according to claim 1, wherein the drying is performed by raising the temperature of the central portion of the ceramic green sheet to be higher than that of both ends in the width direction.
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