JPH02106340A - Board for electric circuit - Google Patents

Board for electric circuit

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Publication number
JPH02106340A
JPH02106340A JP25989288A JP25989288A JPH02106340A JP H02106340 A JPH02106340 A JP H02106340A JP 25989288 A JP25989288 A JP 25989288A JP 25989288 A JP25989288 A JP 25989288A JP H02106340 A JPH02106340 A JP H02106340A
Authority
JP
Japan
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plating
layer
thickness
electric circuit
adhesive layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP25989288A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masami Takagi
高木 正巳
Kunji Nakajima
中嶋 勲二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP25989288A priority Critical patent/JPH02106340A/en
Publication of JPH02106340A publication Critical patent/JPH02106340A/en
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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PURPOSE:To form a circuit of fine pattern inexpensively by electrolessly plating an adhesive layer formed on the surface of a board, and laminating a metal layer having 0.5 - 3.0mum of a thickness thereon to form the board for an electric circuit. CONSTITUTION:An adhesive layer is formed on the surface of a board, the surface of the layer is electrolessly plated to form a metal layer having 0.5 - 3.0mum of thickness, and the board for an electric circuit is manufactured. Another method includes electrolessly plating the surface of an adhesive layer, further electrolytically plating it, to form a metal layer having 10mum or less of a total of thickness, thereby the board for the electric circuit. The adhesive layer desirably contains modified polysiloxane in which polysiloxane is added as side chain to the main chain of bis-phenol A-type epoxy resin, adhesive containing NBR, and a roughed surface physically roughed on its surface.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野] 本発明は、電気回路板に加工して用いるための電気回路用基板に関するものである。 【従来の技術】[Industrial application field] The present invention relates to an electric circuit board for processing into an electric circuit board. [Conventional technology]

電気回路板を製造するために用いられる電気回路用基板
としては、vJG図に示すように基板1の両面に厚さ1
8μ、35μ、70μの銅箔6,6を積層して形成され
る両面銅張り積層板Bが最も一般的である。この銅張り
積層板Bは絶縁層である基板1を積層成形する際に同時
に銅M6を熱圧着させるために、基板1と銅箔6との接
合力(ビール強度)が高く得られるという利、αを有す
る。 しかしこの銅張り積層板Bにスルーホールめっきを施し
、銅張り積層板Bの銅箔6をエツチング加工して回路形
成することによって電気回路板を製造する場合、スルー
ホールめっきした孔を上記エツチング加工から保護する
ためにテンティングや穴埋めや半田レジスト等の工程を
付加する必要があるという問題があり、更には回路形成
の際のエツチングによる銅の除去量が多くなって銅のロ
スが大きくなるという問題がある。またこれを多層回路
板の内層回路板として用いる場合、銅箔6の表面は平滑
面であって積層成形する際の層間接着性が悪く、このた
めに銅表面を黒化処理等して粗面化する工程が必要とな
るという問題があり、さらに銅箔6の厚みが上記のよう
に厚いために多層回路板の全体の厚みもこれに伴って厚
くなって厚みの薄い多層回路板を作成することが困難に
なるという問題もある。そしてさらには、上記のように
銅箔6は段階的な数種の厚みのものしか市場に提供され
ていないために、回路設計に応じた所望の厚みの回路を
形成するなどのユーザーのニーズに幅広く対応すること
ができないという問題もある。 一方、線幅の狭い配線即ちファインパターンの回路形成
のために、上記した銅M6よりも薄い5μ厚や9μ厚の
銅箔7も提供されている。しかじ銅箔7は薄くなる程そ
の製造が困難で歩留まりが悪くなると共にコストが高く
なり、しかもこのように銅M7が薄くなると単独で取り
扱うことができず、第7図に示すようにアルミニウムな
どのキャリアフィルム8に張った状態で使用されており
、このキャリアフィルム8を設けるという面でもコスト
高になるものである。そしてこの銅箔7においても市場
で一般に提供されているのは厚みが5μや9μと特定厚
に限られており、上記と同様に所望の厚みに回路を形成
するなどのユーザーのニーズに幅広く対応することがで
きないという問題もある。 また、他の電気回路用基板として、第8図に示すような
表面に接着層9を設けた電気回路用の基板1を用いてC
C−4法やAP−II法の7デイテイプ法で回路形成す
ることによって電気回路板に仕上げるようにしたものが
知られている。しかしこの基板1は上記問題点を解消で
きる特徴はあるが、製造されてから回路加工メーカーが
この基板1を購入して回路加工するまでの開の流通過程
などで、基板1の表面の接着層8が表面酸化やごみ付着
などで経時変化し、接着718の表面の活性度が低下し
て無電解めっきで金属層を化学的に付加すること、すな
わち回路形成が不安定となり、基板と金属層(回路)と
の開の密着性が十分に得られないという問題がある。 また、上記第6図乃至第8図のような電気回路用基板を
用いないで電気回路板を製造することが特公昭58−5
1436号公報において提供されている。特公昭58−
51436号公報はアディティブ法(特にセミアデイテ
ィブ法)によるプリント回路板の製造方法に関するもの
であり、基板の表面に接着層を設け、接着層の表面及び
スルーホール用貫通孔内壁面に無電解めっきを薄く施し
、次いで所望回路形成部分を除いて無電解めっきの薄い
金属層をマスクした後に、電解めっきを施して所望回路
形成部分に電解めっきによる金属層を肉盛りし、マスク
を除去したのちに無電解めっきによる薄い金属層をエツ
チング除去することによってプリント回路板を製造する
方法を基本にしている。しかしこのものでは、接着層の
表面だけではなくスルーホール用貫通孔内壁面にも無電
解めっきを施しているため、スルーホールやファインパ
ターンの回路形成等任意の用途に適応する電気回路用基
板として用いることができないという問題がある。
As shown in the vJG diagram, an electric circuit board used for manufacturing an electric circuit board has a thickness of 1 mm on both sides of the board 1.
The most common is a double-sided copper-clad laminate B formed by laminating copper foils 6, 6 of 8μ, 35μ, and 70μ. This copper-clad laminate B has the advantage that a high bonding force (beer strength) between the substrate 1 and the copper foil 6 can be obtained because the copper M6 is bonded by thermocompression at the same time when the substrate 1, which is an insulating layer, is laminated and molded. has α. However, when manufacturing an electric circuit board by applying through-hole plating to this copper-clad laminate B and etching the copper foil 6 of the copper-clad laminate B to form a circuit, the through-hole plated holes are etched. There is a problem in that it is necessary to add processes such as tenting, hole filling, and solder resist to protect the circuit from damage, and furthermore, the amount of copper removed by etching during circuit formation increases, resulting in large copper losses. There's a problem. In addition, when using this as an inner layer circuit board of a multilayer circuit board, the surface of the copper foil 6 is a smooth surface and has poor interlayer adhesion during lamination molding, so the copper surface is blackened or otherwise roughened. Furthermore, since the thickness of the copper foil 6 is thick as described above, the overall thickness of the multilayer circuit board increases accordingly, making it necessary to create a thin multilayer circuit board. There is also the problem that it becomes difficult. Furthermore, as mentioned above, the copper foil 6 is only available in several graded thicknesses on the market. There is also the problem of not being able to respond broadly. On the other hand, in order to form narrow line width wiring, that is, fine pattern circuit formation, copper foil 7 having a thickness of 5 μm or 9 μm, which is thinner than the copper M6 described above, is also provided. However, the thinner the copper foil 7 becomes, the more difficult it is to manufacture, the lower the yield, and the higher the cost.Moreover, when the copper foil 7 becomes thinner, it cannot be handled alone, and as shown in FIG. It is used in a state where it is covered with a carrier film 8, and the provision of this carrier film 8 also increases the cost. Also, the copper foil 7 generally available on the market is limited to specific thicknesses such as 5μ and 9μ, and similarly to the above, it can meet a wide range of user needs such as forming circuits to a desired thickness. There is also the problem of not being able to do so. In addition, as another electric circuit substrate, an electric circuit substrate 1 having an adhesive layer 9 on the surface as shown in FIG.
It is known that an electric circuit board is formed by forming a circuit using the 7-day tape method such as the C-4 method or the AP-II method. However, although this board 1 has features that can solve the above problems, the adhesive layer on the surface of the board 1 is 8 changes over time due to surface oxidation, dust adhesion, etc., and the activity of the surface of the adhesive 718 decreases, making it difficult to chemically add a metal layer by electroless plating, that is, circuit formation becomes unstable, and the substrate and metal layer become unstable. There is a problem that sufficient adhesion with the (circuit) cannot be obtained. Furthermore, it was published in Japanese Patent Publication No. 58-5 that it was possible to manufacture electric circuit boards without using electric circuit boards as shown in FIGS. 6 to 8 above.
No. 1436. Special Public Service 1987-
Publication No. 51436 relates to a method for manufacturing a printed circuit board by an additive method (particularly a semi-additive method), in which an adhesive layer is provided on the surface of a substrate, and electroless plating is applied to the surface of the adhesive layer and the inner wall surface of the through hole. Then, after masking a thin metal layer of electroless plating except for the desired circuit forming area, electrolytic plating is applied to build up a metal layer by electrolytic plating on the desired circuit forming area, and after removing the mask. It is based on a method of manufacturing printed circuit boards by etching away a thin metal layer by electroless plating. However, with this product, electroless plating is applied not only to the surface of the adhesive layer but also to the inner wall surface of the through hole, so it can be used as an electrical circuit board suitable for any purpose such as through hole or fine pattern circuit formation. The problem is that it cannot be used.

【発明が解決しようとする課題】[Problem to be solved by the invention]

以上のように、回路形成の際のエツチングによって除去
される銅のロスが大きいという問題や、ファインパター
ンに回路をコスト安価に形成することができないという
問題や、多層回路板の内層回路板として用いる場合に銅
表面を粗面化する工程が必要になるという問題や、さら
に任意の厚みの回路を形成するというユーザーのニーズ
に幅広く対応することができないという問題等があり、
本発明はこれらの問題を一挙に解決することを目的とし
てなされたものである。
As mentioned above, there are problems such as the large loss of copper removed by etching during circuit formation, the inability to form circuits in fine patterns at low cost, and the use as an inner layer circuit board of a multilayer circuit board. There are problems such as the need for a process to roughen the copper surface in some cases, and the inability to meet a wide range of user needs for forming circuits of arbitrary thickness.
The present invention has been made with the aim of solving these problems all at once.

【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するために本発明においては、基板1と
、基板1の表面に形成した接着層2と、接着層2の表面
に無電解めっきを施して形成した0、5乃至3.0μの
膜厚を有する金属/13とから構成されて成ることを特
徴とする電気回路用基板を第一の発明とし、基板1と、
基板1の表面に形成した接着層2と、接着層2の表面に
無電解めっき次いで電解めっきを施して形成した合計厚
みが10μ以下の膜厚を有する金属層4とから構成され
て成ることを特徴とする電気回路用基板を第二の発明と
するものである。さらに、接着層2は、ビスフェノール
A型エポキシ樹脂の主鎖にポリシロキサンを側鎖として
付加させたシリコン変性エポキシ樹脂及びNBRを含有
する接着剤と、前記接着剤の表面を物理的に粗面化処理
してできた粗面とからなることを特徴とする電気回路用
基板を第三の発明とするものである。 以下本発明の詳細な説明する。 基板1としては絶縁性を確保することができるものであ
れば特に限定されるものではなく、例えば、紙基材や〃
ラス基材などの基材にフェノール樹脂やエポキシ樹脂な
どの熱硬化性樹脂の7ニスを含浸乾燥してプリプレグと
なし、このプリプレグを複数枚重ねて熱圧成形して作成
される積層板を用いることができる。そしてこの基板1
の表面に接着層2を形成するのであるが、この接着層2
゛を形成するための最も好ましい実施例は、出願人が研
究開発した特開昭59−80992号公報に開示されて
いるものを用いることにより達成することができる。 すなわち接着層2に用いる接着剤は、ビスフェノールA
型エポキシ樹脂の主鎖にポリシロキサンを側鎖として付
加させたシリコン変性エポキシ樹脂及びNBRを含有し
て形成されるものである。 シリコン変性エポキシ樹脂は次の構造式で示されるもの
であり、エポキシ当量が500〜2500、シリコン成
分を5〜20重量%含有せしめたものが好ましい。 (式中、n=2〜20(より好ましくは4〜7)、−=
1〜8(より好ましくは2〜4)が好ましく、Rは芳香
族又は脂肪族の炭化水素であり、Rとしては脂肪族のも
のが好ましく特にエチル基であることが好ましい、) このシリコン変性エポキシ樹脂にNBRを配合し、さら
に硬化剤や、必要に応じて硬化促進剤、無機充填剤、溶
剤を配合して接着剤を調製することができる。硬化剤と
してはエポキシ樹脂に汎用されているものを用いること
ができ、例えばフェノールノボラック樹脂、フェノール
レゾール樹脂、メラミン樹脂などの樹脂初期縮合物、無
水7タル酸、無水マレイン酸、無水ピロメリット酸、無
水メチルテトラヒドロフタル酸など酸無水物、脂肪族ポ
リアミン、芳香族ポリアミン、第二アミン、第三アミン
などアミン類、三7ツ化ホウ素ピペリジンなど三7ツ化
ホウ素アミンコンプレックスを用いることができる。も
ちろんこの中の一種のみを用いても二種以上を併用して
もよい、硬化促進剤としては三7ツ化ホウ素アニリン、
三7フ化ホウ素パラトルイクン、三7フ化ホウ素ベンシ
ル7ミン、三7フ化ホウ素トリエタノールアミン、三7
フ化ホウ素ピペリノンなどの三7ツ化ホウ素アミンコン
プレックスを用いることができる。*た無機充填剤とし
ては、CaCO3、Ai’、03、Zr(Si0.)z
、5iO−、カオリン等の酸化物、ケイ酸物、炭酸塩、
窒化物、炭化物など種々のものを用いることができ、そ
の粒径は0.1〜10μのものが好ましい、溶剤として
はトルエン、イソプロピルアルコール、アセトン、ME
K、シクロヘキサノンなどを一種もしくは二種以上を混
合して用いることができる。上記各成分の配合割合は、
シリコン変性エボキン樹脂100重量部に対してNBR
を30〜200重量部、無機充填剤を0〜500重量部
、溶剤を400〜700重量部に設定するのが好ましく
、硬化剤や硬化促進剤は接着剤の使用条件等に応じて適
量を配合するようにすればよ〜1゜ 上記のようにして調製される接着剤を基板1の表面に1
5〜100μ(好ましくは25〜50μ)の厚みでカー
テン70−コート方式などで塗布し、これを120〜1
60℃、10〜90分程度の条件で予備加熱して、接着
剤をBステージ状態にまで硬化させ、次いでこのBステ
ージ状態の接着剤の表面を粗面化処理して粗面を形成す
る。本発明において粗面を形成するための粗面化処理は
、クロム酸などのエツチング液による化学的方法を用い
る必要なく、物理的方法によって無電解めっきによる後
述の金属層3,4との密着性を十分に得ることができる
。物理的粗面化の方法としては、研磨紙を手揉作したり
、研磨ベルト式の研S機を用いたり、サンドブラストを
用いたりする物理的研磨や、もしくは粗面を有する転写
板より粗面を転写する方法などを採用することができ、
要はクロム酸などのエツチング液を用いる化学的粗面化
処理の方法以外であれば何でも採用することができる。 従って強酸化剤などのエツチング液による作業環境の悪
化や廃液処理などの問題はない、物理的手法で接着層2
の表面に形成される粗面は、面粗さ0.2〜1.5μ(
好ましくは0.5〜0.75μ)程度が一般的である。 上記のようにして基板1に設けた接着層2に粗面を形成
した後に、接着層2の表面に無電解めっきを施して金属
層3を形成する。無電解めっきは従来より周知の任意の
方法でおこなうことができるものであり、膜厚が0.5
〜3.0μの範囲となるように金属層3を形成する無電
解めっきをおこなったのちに、乾燥し、さらに加熱して
接着層2を完全硬化させることによって、第1図に示す
ような電気回路用基板Aを得ることができる。接着層2
を完全硬化させるための加熱条件は、100〜180℃
、40〜120分間程度が一般的である。このようにし
て作成される電気回路用基板Aは、回路加工メーカーで
セミアデイティブ法などの手法で回路形成することによ
って、スルーホールを設けた電気回路板などに仕上げら
れる。すなわち、無電解めっきで形成した金属N3の表
面において回路形成部分以外の部分をエツチングレジス
トなどでマスキングした状態で金属/i!3に通電して
、マスキングされていない部分において金属N3に電解
めっきを施して回路を肉盛り形成し、マスキングを除去
した後にライトエツチングして回路以外の部分の金J!
L層3を除去することによって、セミアデイティブ法で
回路形成をおこなうことができる。ここで、接着/12
はビスフェノールA型エポキシ樹脂の主鎖にポリシロキ
サンを側鎖として付加させたシリコン変性エポキシ樹脂
及びNBRを含有する接着剤で形成されているために、
シリコン変性エポキシ樹脂の強力な接着作用によって物
理的な粗面化でも接着層2と金属層3とは高い密着性で
接着されている。また基板製造メーカーで電気回路用基
板Aが作成されたのち、回路加工メーカーで回路形成を
おこなうまでの間に時間の経過があっても、接着層2は
金属層3で覆われて保W1された状態にあるために、酸
化等の作用で接着層2が劣化されるようなおそれはなく
、接着層2による密着性が低下することはない。そして
上記のように、無電解めっきによって形成される金属層
3の膜厚は0.5〜3.0μの範囲に設定される。膜厚
が0.5μ未満の場合は無電解めっきで金属層3を形成
する際にピンホールが多く発生し、ピンホールを通して
接着層2が劣化されるおそれがある。ちなみに無電解め
っき液の種類や組成、条件等によって若干の相違はある
が、無電解めっ!層の厚みとピンホールの発生数とは第
3図に示すような相関関係にあり、膜厚が厚くなるに従
ってピンホールは埋められることになるためにピンホー
ル数は減少する。また金属層3の膜厚は第3図のように
無電解めっきをおこなう時間の良さにほぼ比例し、3.
0μを超える厚みで金属層3を形成することは生産性の
面で現実的ではない。 このために、無電解めっきで形成される金属層3の膜厚
は上記のように0.5〜3.0μの範囲に設定されるも
のである。 第1図の実施例ではS電解めっきのみで金属層3を形成
するようにしたが、tIIJ2図に示すように、無電解
めっきによって下めっき層4aを設けた後に、この下め
っき層4aに通電して電解めっきをおこなって上めっさ
/14bを設け、無電解めっきによる下めっき層4aと
電解めっきによる上めっき層4bとの二層構成で金属層
4を形成するようにしてもよい。この場合、無電解めっ
きによって形成される下めっき層4aの膜厚は0.3〜
0.6μの範囲に設定することができる。膜厚が0.3
μと小さいために下めっき層4aにピンホールは発生し
易いが、この下めっき層4aの表面には直ちにさらに電
解めっきで上めっき層4bが設けられるために問題はな
い、膜厚を0.3μよりも薄くすると、電解めっきをお
こなう際に下めっき層4aに通電する電流密度を大きく
とることができなくなるために、下めっき層4aの膜厚
は0.3μが下限である。*た金属層4の厚みはめっき
層の形成速度の速い電解めっ外によって確保することが
できるために、無電解めっきで形成する下めっき層4a
の厚みは0.6μ未満で十分である。一方、電解めっき
によって形成される上めっき層4bの厚みは0.5〜3
.0μの範囲が好ましい。 このように無電解めっきによる下めっき層4aと電解め
っきによる上めっき層4bとの二層構成で金属N4を設
けて形成した電気回路用基板Aにあっても、第1図のも
のと同様に金属層4に電解めっき回路を付加することに
よってセミアデイティブ法等で回路形成して電気回路板
に仕上げることができるが、金属層4にエツチング加工
を施して回路形成をするサブトラクティブ法等によって
電気回路板に仕上げることもできる。このようにサブト
ラクティブ法で回路形成をするにあたって、ファインパ
ターンの電気回路板に仕上げる場合には、金属層4の膜
厚、すなわち下めっき層4aと上めっき層4bの合計膜
厚は10μ以下(好ましくは0.8〜10μの範囲)に
なるように設定される。 回路形成部分以外の部分において金属層4の表面にエツ
チングレジスト10を塗布して形成し、これをエツチン
グ加工して回路形成する場合、第4図(a)(b)に示
すように、金属層4の膜厚が厚くなるとサイドエッチの
作用で回路11の側面がえぐられる深さが深くなって回
路11の細りが大きくなり、回路11の幅を細くするフ
ァインパターンで回路形成をすることが困難になる。こ
のサイドエッチによる回路11の側面のえぐり深さdは
エツチング液の種類や組成、エツチングレジストの種類
、膜厚、条件等によって多少の相違はあるが、一般的に
第5図に示すように金属層4の膜厚と正の相関関係があ
り、金属層4の膜厚は10μが限界である。ここで、上
記各電気回路用基板Aに回路形成加工して得た電気回路
板を多層積層板の内層回路板として用いるにあたって、
回路はめっきで形成されていて表面が粗面になっている
ために、粗面化処理する必要なく層間密着性を確保する
ことができるものであり、まためっきで形成される回路
は膜厚を薄く形成できるために、多層回路板の全体の板
厚が厚くなることもないものである。 尚、無電解めっきや電解めっきで形成する上記金属層3
,4は、銅の他にニッケルや金などで形成
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention includes a substrate 1, an adhesive layer 2 formed on the surface of the substrate 1, and an adhesive layer 2 formed by electroless plating on the surface of the adhesive layer 2. The first invention provides an electric circuit board characterized in that it is composed of a metal/13 having a film thickness of 0.5 to 3.0 μm, and the board 1 and
It is composed of an adhesive layer 2 formed on the surface of the substrate 1, and a metal layer 4 having a total thickness of 10μ or less, which is formed by electroless plating and then electrolytic plating on the surface of the adhesive layer 2. A second invention provides an electric circuit board having the above characteristics. Furthermore, the adhesive layer 2 includes an adhesive containing NBR and a silicone-modified epoxy resin in which polysiloxane is added as a side chain to the main chain of a bisphenol A epoxy resin, and the surface of the adhesive is physically roughened. A third aspect of the present invention is an electric circuit board characterized by comprising a treated rough surface. The present invention will be explained in detail below. The substrate 1 is not particularly limited as long as it can ensure insulation; for example, it may be a paper base material or
A laminate is used, which is created by impregnating and drying a base material such as a lath base material with a thermosetting resin such as a phenol resin or epoxy resin to form a prepreg, and then stacking multiple sheets of this prepreg and thermo-pressing them. be able to. And this board 1
An adhesive layer 2 is formed on the surface of the adhesive layer 2.
The most preferable embodiment for forming the structure can be achieved by using the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-80992, which was researched and developed by the applicant. That is, the adhesive used for the adhesive layer 2 is bisphenol A.
It is formed by containing NBR and a silicone-modified epoxy resin in which polysiloxane is added as a side chain to the main chain of a type epoxy resin. The silicon-modified epoxy resin is represented by the following structural formula, and preferably has an epoxy equivalent of 500 to 2,500 and contains a silicon component of 5 to 20% by weight. (In the formula, n=2 to 20 (more preferably 4 to 7), -=
1 to 8 (more preferably 2 to 4), R is an aromatic or aliphatic hydrocarbon, and R is preferably an aliphatic one, particularly preferably an ethyl group.) This silicon-modified epoxy An adhesive can be prepared by blending NBR with a resin, and further blending a curing agent, a curing accelerator, an inorganic filler, and a solvent as necessary. As the curing agent, those commonly used for epoxy resins can be used, such as resin initial condensates such as phenol novolak resin, phenol resole resin, and melamine resin, heptatalic anhydride, maleic anhydride, pyromellitic anhydride, Acid anhydrides such as methyltetrahydrophthalic anhydride, amines such as aliphatic polyamines, aromatic polyamines, secondary amines and tertiary amines, and boron trisulfide amine complexes such as boron trisulfide piperidine can be used. Of course, one of these may be used alone or two or more may be used in combination. As the curing accelerator, boron trisulfide aniline,
tri7 boron fluoride paratoluicune, tri7 boron fluoride benzyl7mine, tri7 boron fluoride triethanolamine, tri7
Boron trisulfide amine complexes such as boron fluoride piperinone can be used. *Inorganic fillers include CaCO3, Ai', 03, Zr(Si0.)z
, 5iO-, oxides such as kaolin, silicates, carbonates,
Various substances such as nitrides and carbides can be used, and the particle size is preferably 0.1 to 10μ.Solvents include toluene, isopropyl alcohol, acetone, and ME.
K, cyclohexanone, etc. can be used alone or in combination of two or more. The blending ratio of each component above is
NBR per 100 parts by weight of silicone-modified Evokin resin
It is preferable to set 30 to 200 parts by weight of the inorganic filler, 0 to 500 parts by weight of the inorganic filler, and 400 to 700 parts by weight of the solvent, and mix appropriate amounts of the curing agent and curing accelerator depending on the usage conditions of the adhesive. 1° Apply the adhesive prepared as described above to the surface of the substrate 1.
Coat with a curtain 70-coat method to a thickness of 5 to 100 μm (preferably 25 to 50 μm), and apply this to a thickness of 120 to 1 μm.
The adhesive is preheated at 60° C. for about 10 to 90 minutes to harden it to a B-stage state, and then the surface of the B-stage adhesive is roughened to form a rough surface. In the present invention, the surface roughening treatment for forming a rough surface does not require the use of a chemical method using an etching solution such as chromic acid, but is performed by a physical method to improve the adhesion with the metal layers 3 and 4 described later by electroless plating. You can get enough. Physical roughening methods include physical polishing such as hand-rolling abrasive paper, using an abrasive belt-type grinder, or sandblasting, or roughening the surface of a transfer plate with a rough surface. You can adopt methods such as transferring
In short, any method other than chemical surface roughening using an etching solution such as chromic acid can be used. Therefore, there are no problems such as deterioration of the working environment or waste liquid disposal due to etching solutions such as strong oxidizing agents.
The rough surface formed on the surface has a surface roughness of 0.2 to 1.5μ (
Preferably, it is generally about 0.5 to 0.75μ). After forming a rough surface on the adhesive layer 2 provided on the substrate 1 as described above, electroless plating is performed on the surface of the adhesive layer 2 to form a metal layer 3. Electroless plating can be performed by any conventionally well-known method, and the film thickness is 0.5
After performing electroless plating to form the metal layer 3 so as to have a thickness in the range of ~3.0μ, the adhesive layer 2 is completely cured by drying and further heating. A circuit board A can be obtained. Adhesive layer 2
The heating conditions for completely curing are 100 to 180°C.
, generally for about 40 to 120 minutes. The electrical circuit board A thus created is finished into an electrical circuit board with through holes, etc. by forming a circuit at a circuit processing manufacturer using a method such as a semi-additive method. That is, on the surface of the metal N3 formed by electroless plating, the parts other than the circuit forming part are masked with etching resist or the like, and the metal/i! 3, electrolytic plating is applied to the metal N3 in the unmasked areas to form a built-up circuit, and after removing the masking, light etching is performed to coat the gold J! in the areas other than the circuit.
By removing the L layer 3, circuit formation can be performed by a semi-additive method. Here, adhesion/12
is made of silicone-modified epoxy resin in which polysiloxane is added as a side chain to the main chain of bisphenol A epoxy resin, and an adhesive containing NBR.
Due to the strong adhesive action of the silicon-modified epoxy resin, the adhesive layer 2 and the metal layer 3 are adhered with high adhesion even when the surface is physically roughened. Furthermore, even if some time elapses between the time when the electric circuit board A is created at a board manufacturer and the time when the circuit is formed at a circuit processing manufacturer, the adhesive layer 2 is covered with the metal layer 3 and retained W1. Therefore, there is no fear that the adhesive layer 2 will be deteriorated by oxidation or the like, and the adhesion of the adhesive layer 2 will not deteriorate. As described above, the thickness of the metal layer 3 formed by electroless plating is set in the range of 0.5 to 3.0 microns. If the film thickness is less than 0.5 μm, many pinholes will occur when forming the metal layer 3 by electroless plating, and the adhesive layer 2 may be deteriorated through the pinholes. By the way, there are some differences depending on the type of electroless plating solution, composition, conditions, etc., but electroless plating! There is a correlation between the thickness of the layer and the number of pinholes as shown in FIG. 3, and as the film thickness increases, the pinholes are filled up and the number of pinholes decreases. Furthermore, the thickness of the metal layer 3 is approximately proportional to the length of time for electroless plating, as shown in FIG.
Forming the metal layer 3 with a thickness exceeding 0 μ is not realistic in terms of productivity. For this reason, the thickness of the metal layer 3 formed by electroless plating is set in the range of 0.5 to 3.0 microns as described above. In the embodiment shown in FIG. 1, the metal layer 3 was formed only by S electrolytic plating, but as shown in FIG. The upper plating layer 14b may be formed by performing electrolytic plating, and the metal layer 4 may be formed with a two-layer structure of a lower plating layer 4a formed by electroless plating and an upper plating layer 4b formed by electrolytic plating. In this case, the thickness of the lower plating layer 4a formed by electroless plating is 0.3~
It can be set within a range of 0.6μ. Film thickness is 0.3
Although pinholes are likely to occur in the lower plating layer 4a due to the small μ, there is no problem because the upper plating layer 4b is immediately further provided on the surface of the lower plating layer 4a by electrolytic plating. If it is thinner than 3μ, the current density applied to the lower plating layer 4a during electrolytic plating cannot be increased, so the lower limit of the thickness of the lower plating layer 4a is 0.3μ. *The thickness of the metal layer 4 can be ensured by electrolytic plating, which can form a plating layer at a high speed, so the lower plating layer 4a formed by electroless plating
A thickness of less than 0.6μ is sufficient. On the other hand, the thickness of the upper plating layer 4b formed by electrolytic plating is 0.5 to 3
.. A range of 0μ is preferred. Even in the case of the electric circuit board A formed by providing the metal N4 with a two-layer structure of the lower plating layer 4a formed by electroless plating and the upper plating layer 4b formed by electrolytic plating, it is similar to that shown in FIG. By adding an electrolytic plating circuit to the metal layer 4, it is possible to form a circuit using a semi-additive method or the like to finish an electric circuit board, but it is also possible to form an electric circuit board by etching the metal layer 4 to form a circuit. It can also be made into an electrical circuit board. When forming a circuit using the subtractive method in this way, when finishing an electric circuit board with a fine pattern, the thickness of the metal layer 4, that is, the total thickness of the lower plating layer 4a and the upper plating layer 4b, is 10μ or less ( preferably in the range of 0.8 to 10μ). When etching resist 10 is applied to the surface of the metal layer 4 in areas other than the circuit formation area, and the etching process is performed to form the circuit, the metal layer 4 is formed as shown in FIGS. When the film thickness of 4 becomes thicker, the depth at which the side surface of the circuit 11 is gouged out due to side etching becomes deeper, and the narrowness of the circuit 11 increases, making it difficult to form a circuit with a fine pattern that narrows the width of the circuit 11. become. The gouge depth d of the side surface of the circuit 11 due to this side etching varies slightly depending on the type and composition of the etching solution, the type of etching resist, film thickness, conditions, etc., but generally, as shown in FIG. There is a positive correlation with the thickness of the layer 4, and the maximum thickness of the metal layer 4 is 10μ. Here, when using the electric circuit board obtained by performing circuit forming processing on each of the above-mentioned electric circuit boards A as an inner layer circuit board of a multilayer laminate,
Since the circuit is formed by plating and has a rough surface, it is possible to ensure interlayer adhesion without the need for roughening treatment, and the circuit formed by plating has a rough surface. Since it can be formed thin, the overall thickness of the multilayer circuit board does not increase. Note that the metal layer 3 formed by electroless plating or electrolytic plating
, 4 is made of nickel, gold, etc. in addition to copper.

【実施例】【Example】

以下本発明を実施例によって具体的に説明する。 K(九七 エポキシ当量が1100〜1300でシリコン含量が1
5重量%、Rがエチル基である前記した構造式のシリコ
ン変性エポキシ樹脂を100重量部、NBR(Nipo
ll 072:日本ゼオン社製)を112重量部、硬化
剤としてフェノールノボラック(ナイロック;三井東圧
社製)を12重量部、硬化促進剤として三7フ化ホウ素
ピペリノンを1重量部、充填剤としてCaCO:l(#
 2000 )を101重量部、安定剤としてアエロク
ルR972を4重量部それぞれ採り、トルエン538重
量部とシクロヘキサ250重量部とMEK8重量部とイ
ソプロピルアルコール10重量部の混合溶剤に溶解する
ことによって接着剤を調製した。 この接着剤を紙エポキシアンクラッド積層板で形成され
る基板1の表面に50μの厚みで塗布したのち、130
℃、60分の条件で加熱して接着剤をBステージ状態に
まで一次硬化処理することによって、基板1の表面に接
着層2を形成した。 次いでこの接着層2の表面を#600の研磨紙でたでよ
こ30回づつ研磨し、さらに住友スリーエム社製スコッ
チブライ)UFでたでよこ50回づつ研磨することによ
り、面粗さ0.5μに接着層2の表面を粗面化処理して
粗面を形成した。 上記のようにして得た接着N2付きの基板1を、シップ
レイ社製キャタブリップ404の270g/l水溶?I
l(液温30±10℃)に5〜6分間浸漬処理し、次い
でシップレイ社製キャタブリップ404の270g/f
水溶液とシップレイ社製キャタボジット44の30 c
c/ l水溶液との混合溶液(液温30±10℃)に5
〜6分間浸漬処理することによって触媒核付けの処理を
おこなった0次ぎに水洗をおこなったのちにシップレイ
社製アクセレータ19の6倍希釈水溶[(液温30±1
0℃)に5〜6分間浸漬することによって7クセレータ
処理をおこなった。このように前処理をおこなったのち
に、硫酸銅2〜3g/l(銅分として)、ホルマリン5
−9g/l、EDTA ・2 Na20g/l、安定剤
少量の組成の水溶液で調製される無電解銅めっき俗に接
着N2付きの基板1を15分間浸漬処理することによっ
て、接着層2の表面に0.5μの厚みの金属層3を形成
し、次いで水洗したのちに100’CX60分及び16
0℃×60分の条件で加熱して接着剤を二次硬化させる
ことによって、第1図に示す構成の電気回路用基板Aを
得た。 次ぎに、このようにしで作成された電気回路用基板Aを
用いてセミアデイティブ法で回路形成する方法の一例を
説明する。まず金属層3の表面に回路を形成する部分を
残して田村化研社製のエツチングレノストUR−450
Bを塗布硬化することによってマスクし、硫酸鋼70g
/l、硫酸160g/L光沢剤少量の組成の水溶液で調
製される電解鋼めっき裕に電気回路用基板Aを浸漬して
金属層3に3A/d+*”の電流密度で通電しつつ60
分、室温の条件で電解めっきをおこなうことによって、
金属層3の表面に回路を肉盛り形成する。そしてこのの
ちにエツチングレジストを5%NaOH水溶液で除去し
、さらに塩化第二鉄溶液でライトエツチングして回路以
外の金属層3を除去することによって、回路を形成した
電気回路板を得ることができる。 このようにしで得た電気回路板についで、基板とめっき
回路との間のビール強度及び半田耐熱性(測定は260
℃の半田浴に電気回路板を浮かべて回路が基板から剥が
れるまでの時間を計測しておこなった)を測定した。結
果は、ビール強度は常態で3.80−4.45kg/a
m、 150℃に加熱時で0.56−0.62kg/c
mであり、また半田耐熱性は114秒であり、基板とめ
っき回路との密着性は電気回路板として十分なレベルで
あることが確認される。 え1九り 実施例1で得た接着層2付きの基板1を実施例1と同様
にして無電解銅めっきするにあたって、無電解鋼めっき
液への浸漬時間を10分に設定することによって厚み0
.3μの下めっき層4aを形成した。さらにこれを実施
例1と同様の電解銅めっき浴に浸漬し、浸漬時間を3分
に設定することによって、下めっき層4aの表面に厚み
2μの上めりき層4bを形成し、下めっき層4aと上め
っき層4bの合計膜厚が2.3μの金属層4を設け、さ
らに実施例1と同じ条件で接着層2を二次硬化させるこ
とによって、第2図に示す構成の電気回路用基板Aを得
た。 このようにして得た電気回路用基板Aを用い、実施例1
と同様にセミアデイティブ法で回路を形成して電気回路
板を得ることができる。 え(1影 実施例1で得た接着層2付きの基板1を実施例1と同様
にして無電解銅めっきするにあたって、無電解銅めっき
液への浸漬時間を10分に設定することによって厚み0
.3μの下めっil /i 4 aを形成した。さらに
これを実施例1と同様の電解銅めっき浴に浸漬し、浸漬
時間を6分に設定することによって、下めっき層4aの
表面に厚み4μの上めっき層4bを形成し、下めっき層
4aと上めっきN4bの合計膜厚が4.3μの金属層4
を設け、さらに実施例1と同じ条件で接着層2を二次硬
化させることによって、第2図に示す構成の電気回路用
基板Aを得た。 このようにして作成された電気回路用基板Aを用いてサ
ブトラクティブ法で7フインパターンの回路形成をする
ことができる。サブトラクティブ法の一例を説明する。 まず金属層4の表面に回路を形成する部分を残して田村
化研社製のエラチンブレジス)UR−450Bを塗布硬
化することによってマスクする。そしてこれを塩化第二
鉄溶液でエツチングすることによって、金属層4のうち
マスクで覆われている部分を回路パターンで残してマス
クで覆われていない部分を溶解除去し、次いでエツチン
グレジストを5%NaOH水溶液で除去することによっ
て回路を形成した電気回路板を得ることができる。
The present invention will be explained in detail below using examples. K (97 Epoxy equivalent is 1100-1300 and silicon content is 1
NBR (Nipo
112 parts by weight of phenol novolac (Nyloc; manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd.) as a curing agent, 1 part by weight of boron trifluoride piperidone as a curing accelerator, and 112 parts by weight of phenol novolac (Nyloc; manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd.) as a curing accelerator. CaCO:l(#
An adhesive was prepared by dissolving 101 parts by weight of 2000) and 4 parts by weight of Aerocle R972 as a stabilizer in a mixed solvent of 538 parts by weight of toluene, 250 parts by weight of cyclohexa, 8 parts by weight of MEK, and 10 parts by weight of isopropyl alcohol. did. After applying this adhesive to a thickness of 50μ on the surface of the substrate 1 formed of a paper epoxy unclad laminate,
The adhesive layer 2 was formed on the surface of the substrate 1 by heating the adhesive at a temperature of 60 minutes to primary cure the adhesive to a B-stage state. Next, the surface of the adhesive layer 2 was polished 30 times in each direction with #600 abrasive paper, and further polished 50 times in each direction with Scotch Bligh (Sumitomo 3M) UF to obtain a surface roughness of 0.5μ. The surface of the adhesive layer 2 was roughened to form a rough surface. The substrate 1 with adhesive N2 obtained as described above was mixed with a 270 g/l water solution of Catalip 404 manufactured by Shipley. I
1 (liquid temperature 30±10°C) for 5 to 6 minutes, and then 270 g/f of Catalip 404 manufactured by Shipley.
Aqueous solution and Shipley Catabogit 44 30c
5 to a mixed solution with c/l aqueous solution (liquid temperature 30±10℃)
The catalyst was nucleated by soaking for ~6 minutes, and then washed with water.
7-cubelator treatment was performed by immersing the sample at 0° C. for 5 to 6 minutes. After pretreatment in this way, copper sulfate 2 to 3 g/l (as copper content) and formalin 5
Electroless copper plating prepared with an aqueous solution containing -9 g/l, EDTA 2 Na20 g/l, and a small amount of stabilizer.The substrate 1 with adhesive N2 is immersed for 15 minutes to coat the surface of the adhesive layer 2. A metal layer 3 with a thickness of 0.5μ was formed, then washed with water, and then heated at 100'CX for 60 minutes and 16 minutes.
The adhesive was secondarily cured by heating at 0° C. for 60 minutes to obtain an electric circuit board A having the configuration shown in FIG. 1. Next, an example of a method of forming a circuit by a semi-additive method using the electrical circuit board A produced in this manner will be described. First, leave the part where the circuit will be formed on the surface of the metal layer 3, and use an etching lens UR-450 manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.
Masked by applying and curing B, 70g of sulfuric acid steel
The electric circuit board A was immersed in an electrolytic steel plating solution prepared with an aqueous solution containing a small amount of sulfuric acid and a brightening agent of 160 g/l, and the metal layer 3 was energized at a current density of 3 A/d+
By performing electrolytic plating at room temperature for several minutes,
A circuit is built up on the surface of the metal layer 3. Thereafter, the etching resist is removed with a 5% NaOH aqueous solution, and the metal layer 3 other than the circuit is removed by light etching with a ferric chloride solution, thereby obtaining an electric circuit board on which a circuit is formed. . Next to the electric circuit board obtained in this way, beer strength and solder heat resistance (measured at 260°C) between the board and the plating circuit.
(This was done by floating an electrical circuit board in a solder bath at ℃ and measuring the time it took for the circuit to peel off from the board.) The result is that the beer strength is 3.80-4.45kg/a under normal conditions.
m, 0.56-0.62kg/c when heated to 150℃
m, and the soldering heat resistance was 114 seconds, confirming that the adhesion between the board and the plated circuit was at a sufficient level as an electric circuit board. E19 When electroless copper plating was applied to the substrate 1 with the adhesive layer 2 obtained in Example 1 in the same manner as in Example 1, the thickness was increased by setting the immersion time in the electroless steel plating solution to 10 minutes. 0
.. A lower plating layer 4a having a thickness of 3 μm was formed. Furthermore, by immersing this in the same electrolytic copper plating bath as in Example 1 and setting the immersion time to 3 minutes, an upper plating layer 4b with a thickness of 2 μm was formed on the surface of the lower plating layer 4a, and the lower plating layer By providing a metal layer 4 with a total film thickness of 2.3μ of the upper plating layer 4a and the upper plating layer 4b, and further curing the adhesive layer 2 under the same conditions as in Example 1, an electric circuit having the structure shown in FIG. Substrate A was obtained. Example 1 Using the electrical circuit board A obtained in this way,
Similarly, an electric circuit board can be obtained by forming a circuit using a semi-additive method. (1) When performing electroless copper plating on the substrate 1 with the adhesive layer 2 obtained in Example 1 in the same manner as in Example 1, the thickness was increased by setting the immersion time in the electroless copper plating solution to 10 minutes. 0
.. A 3 μm lower plate il/i 4 a was formed. Furthermore, by immersing this in the same electrolytic copper plating bath as in Example 1 and setting the immersion time to 6 minutes, an upper plating layer 4b with a thickness of 4 μm was formed on the surface of the lower plating layer 4a, and the lower plating layer 4a Metal layer 4 with a total film thickness of 4.3μ and upper plating N4b
By further curing the adhesive layer 2 under the same conditions as in Example 1, an electric circuit board A having the structure shown in FIG. 2 was obtained. Using the electrical circuit board A thus produced, a seven-fin pattern circuit can be formed by a subtractive method. An example of the subtractive method will be explained. First, the surface of the metal layer 4 is masked by applying and curing Eratin Breath (UR-450B manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), leaving a portion where a circuit is to be formed. By etching this with a ferric chloride solution, the portions of the metal layer 4 covered by the mask remain as circuit patterns, and the portions not covered by the mask are dissolved and removed. By removing with a NaOH aqueous solution, an electric circuit board with a circuit formed thereon can be obtained.

【発明の効果】【Effect of the invention】

上述のように本発明は、基板の表面に無電解めっきによ
って0.3乃至3.0μの膜厚の金属層や、あるいは無
電解めっきと電解めっきで合計膜厚が10μ以下の膜厚
の金属層を設けて電気回路用基板を形成するようにした
ので、銅張り積層板のように厚みの厚い銅箔をエツチン
グして回路形成する場合のような銅のロスを少なくする
ことができると共に、キャリアフィルム付きの薄い銅箔
を使用する場合のようなキャリアフィルムを必要とする
よ)なことなく基板に金属層を薄く形成して、安価なコ
ストで7フインパターンの回路形成をすることが可能に
なるものである。しかも金属層は電解めっきや無電解め
っきによって段階的でない任意の厚みに形成することが
できるために、必要に応じた種々の厚みで回路を形成す
ることが可能になってユーザーのニーズに幅広く対応す
ることができるものである。
As described above, the present invention provides a metal layer having a thickness of 0.3 to 3.0μ by electroless plating on the surface of a substrate, or a metal layer having a total thickness of 10μ or less by electroless plating and electrolytic plating. Since the electrical circuit board is formed by providing layers, it is possible to reduce copper loss, which is required when forming a circuit by etching thick copper foil such as in a copper-clad laminate, and It is possible to form a 7-fin pattern circuit at a low cost by forming a thin metal layer on the board without the need for a carrier film (as is the case when using thin copper foil with a carrier film). It is something that becomes. Furthermore, the metal layer can be formed to any desired thickness without steps by electrolytic plating or electroless plating, making it possible to form circuits with various thicknesses according to needs, meeting a wide range of user needs. It is something that can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示す一部切欠断面図、vI
J2図は本発明の他の実施例を示す一部切欠断面図、第
3図は無電解めっきで形成する金属層の厚みとピンホー
ル数及び処理時間との関係を示すグラフ、第4図(a)
(b)はサイドエッチの作用を示す一部の断面図、15
図は金属層の厚みと回路のえぐりの深さを示すグラフ、
第6図乃至第8図はそれぞれ従来例の一部切欠断面図で
ある。 1は基板、2は接着層、3,4は金属層、4aは下めっ
き層、4bは上めっき層である。 第4図 代理人 弁理士 石 1)艮 七 第5図 、盆、基7!の膿尾
FIG. 1 is a partially cutaway sectional view showing one embodiment of the present invention, vI
Figure J2 is a partially cutaway sectional view showing another embodiment of the present invention, Figure 3 is a graph showing the relationship between the thickness of the metal layer formed by electroless plating, the number of pinholes, and the processing time, and Figure 4 ( a)
(b) is a partial cross-sectional view showing the effect of side etching, 15
The figure is a graph showing the thickness of the metal layer and the depth of the gouge in the circuit.
6 to 8 are partially cutaway sectional views of conventional examples. 1 is a substrate, 2 is an adhesive layer, 3 and 4 are metal layers, 4a is a lower plating layer, and 4b is an upper plating layer. Figure 4 Agent Patent Attorney Ishi 1) Ai 7 Figure 5, Bon, Ki 7! pus tail

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板と、基板の表面に形成した接着層と、接着層
の表面に無電解めっきを施して形成した0.5乃至3.
0μの膜厚を有する金属層とから構成されて成ることを
特徴とする電気回路用基板。
(1) A substrate, an adhesive layer formed on the surface of the substrate, and a 0.5 to 3.
1. An electric circuit board comprising a metal layer having a film thickness of 0μ.
(2)基板と、基板の表面に形成した接着層と、接着層
の表面に無電解めっき次いで電解めっきを施して形成し
た合計厚みが10μ以下の膜厚を有する金属層とから構
成されて成ることを特徴とする電気回路用基板。
(2) Consisting of a substrate, an adhesive layer formed on the surface of the substrate, and a metal layer having a total thickness of 10μ or less and formed by electroless plating and then electrolytic plating on the surface of the adhesive layer. An electric circuit board characterized by:
(3)接着層は、ビスフエノールA型エポキシ樹脂の主
鎖にポリシロキサンを側鎖として付加させたシリコン変
性エポキシ樹脂及びNBRを含有する接着剤と、前記接
着剤の表面を物理的に粗面化処理してできた粗面とから
なることを特徴とする請求項1又は2記載の電気回路用
基板。
(3) The adhesive layer includes an adhesive containing NBR and a silicone-modified epoxy resin in which polysiloxane is added as a side chain to the main chain of a bisphenol A type epoxy resin, and the surface of the adhesive is physically roughened. 3. The electric circuit board according to claim 1, further comprising a roughened surface formed by a chemical treatment.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997024229A1 (en) * 1995-12-26 1997-07-10 Ibiden Co., Ltd. Metal film bonded body, bonding agent layer and bonding agent
JP2020096094A (en) * 2018-12-13 2020-06-18 日本メクトロン株式会社 Metal-clad substrate

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