JPH02101707U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02101707U JPH02101707U JP1015589U JP1015589U JPH02101707U JP H02101707 U JPH02101707 U JP H02101707U JP 1015589 U JP1015589 U JP 1015589U JP 1015589 U JP1015589 U JP 1015589U JP H02101707 U JPH02101707 U JP H02101707U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- strip
- cutting blade
- dicing saw
- facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案に係るダイシングソーの概略斜
視図である。第２図は従来のダイシング装置の一
部断面正面図、第３図は同じく一部断面側面図、
第４図、第５図は課題を説明するための要部拡大
一部断面正面図である。 ５…半導体ウエーハ、１４…ダイシングソー、
１５…切断刃、１６…素子、１７…分割予定部。
視図である。第２図は従来のダイシング装置の一
部断面正面図、第３図は同じく一部断面側面図、
第４図、第５図は課題を説明するための要部拡大
一部断面正面図である。 ５…半導体ウエーハ、１４…ダイシングソー、
１５…切断刃、１６…素子、１７…分割予定部。
Claims (1)
- 格子状に多数の素子が形成された半導体ウエー
ハの直径以上の長さに設定された帯板の半導体ウ
エーハ分割予定部と対向する部分に切断刃を突設
すると共に帯板を長手方向に微小振動可能とした
ことを特徴とするダイシングソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015589U JPH02101707U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015589U JPH02101707U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02101707U true JPH02101707U (ja) | 1990-08-14 |
Family
ID=31217565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1015589U Pending JPH02101707U (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02101707U (ja) |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1015589U patent/JPH02101707U/ja active Pending