JPH02101199A - Method for washing electrode - Google Patents

Method for washing electrode

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JPH02101199A
JPH02101199A JP25291688A JP25291688A JPH02101199A JP H02101199 A JPH02101199 A JP H02101199A JP 25291688 A JP25291688 A JP 25291688A JP 25291688 A JP25291688 A JP 25291688A JP H02101199 A JPH02101199 A JP H02101199A
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JP
Japan
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electrode
thin film
micelle
counter electrode
cleaning
Prior art date
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Application number
JP25291688A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiichiro Yokoyama
横山 清一郎
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Idemitsu Kosan Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co Ltd
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Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co Ltd filed Critical Idemitsu Kosan Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To efficiently and effectively wash an electrode especially used as a counter electrode in a micelle electrolysis method by electrifying the electrode in an aq. medium or an org. solvent. CONSTITUTION:A hydrophobic substance is solubilized in an aq. medium with a ferrocene deriv. as a micelle forming agent and the resulting micelle soln. is electrolyzed to form a thin film of the hydrophobic substance on an electrode. After the film formation, an electrode used as a counter electrode and contaminated is put in an aq. medium such as water or an org. solvent and electrified to remove the contaminant. Only the counter electrode can be efficiently washed and the thin film is not adversely affected. By combining the washing method with the micelle electrolysis method or other electrical treatment, a high quality photoelectric conversion material contg. no impurities, a high quality color filter, etc., can be produced.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電極の洗浄方法に関し、詳しくは電極、特に所
謂ミセル電解法において対極として用いた電極を効率よ
くかつ効果的に洗浄することのできる方法に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for cleaning an electrode, and more specifically, a method for cleaning an electrode, particularly an electrode used as a counter electrode in a so-called micelle electrolysis method, efficiently and effectively. Regarding the method.

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題]一般に
、カラーフィルター、液晶表示材料、撮像素子等は電極
を使用する電気的処理が行われ、その際電極の汚れが問
題となっている。特にミセル電解法(特願昭62−75
930号明細書等参照)により複数の電極に薄膜を次々
と形成する場合、電極(対極として用いたもの及び未だ
通電していないもの)の汚れは、次にこの電極上に別の
薄膜を形成する際の障害となるため、完全に除去してお
くことが必要である。とりわけ、感光材料カラーフィル
ター、光電交換材料等の用途に供する薄膜を、電極上に
形成する場合、電極に汚れがあると得られる薄膜に不純
物が含まれ、その不純物が微量であっても、薄膜の性能
は著しく低下するため、上述の如き汚れは可能な限り除
去することが、高性能の薄膜を得る上で重要な条件とな
っている。
[Prior Art and Problems to be Solved by the Invention] Color filters, liquid crystal display materials, image pickup devices, etc. are generally subjected to electrical processing using electrodes, and contamination of the electrodes is a problem. In particular, the micelle electrolysis method (patent application 1986-1975)
When thin films are formed one after another on multiple electrodes using a method (see specification of No. 930, etc.), dirt on the electrodes (those used as counter electrodes and those not yet energized) may cause another thin film to be formed on this electrode next. It is necessary to completely remove it as it becomes an obstacle when doing so. In particular, when forming thin films on electrodes for applications such as photosensitive material color filters and photoelectric exchange materials, if the electrodes are dirty, the resulting thin film will contain impurities, and even if the impurities are in trace amounts, the thin film will be damaged. Since the performance of the film is significantly reduced, it is an important condition to remove as much of the above-mentioned dirt as possible in order to obtain a high-performance thin film.

しかし、通常行われている水や有ja熔媒による洗浄で
は、■洗液が多量に必要である。■液体を流しながら洗
浄するため既に形成されている薄膜が損傷を受けるおそ
れがある。■洗浄不要な部分まで洗浄を受けるおそれが
あるなど様々な問題がある。
However, in the usual cleaning using water or a hot melt medium, a large amount of cleaning liquid is required. ■Since the cleaning process involves flowing liquid, there is a risk that the thin film that has already been formed may be damaged. ■There are various problems such as the possibility that parts that do not need to be cleaned may be washed.

そこで、本発明者は上記従来の洗浄法の問題点を解消し
、他に影響を及ぼすことな(、目的とする電極のみを効
果的に洗浄することのできる方法を開発すべく鋭意研究
を重ねた。
Therefore, the inventor of the present invention has conducted extensive research in order to solve the problems of the conventional cleaning methods described above and to develop a method that can effectively clean only the target electrode without affecting others. Ta.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

その結果、洗浄対象である電極を洗浄液中で通電処理す
ることによって、上記課題が一挙に解決できることを見
出した。本発明はかかる知見に基いて完成したものであ
る。
As a result, it has been found that the above problems can be solved at once by subjecting the electrodes to be cleaned to electrical current treatment in a cleaning solution. The present invention was completed based on this knowledge.

すなわち本発明は、水性媒体または有機溶媒中で、電極
を通電処理することを特徴とする電極の洗浄方法を提供
するものである。
That is, the present invention provides an electrode cleaning method characterized by subjecting the electrode to electrical current treatment in an aqueous medium or an organic solvent.

本発明の方法では、洗浄すべき電極を洗浄液、即ち水性
媒体または有機溶媒に浸漬した状態で通電すればよい。
In the method of the present invention, electricity may be applied to the electrode to be cleaned while it is immersed in a cleaning solution, that is, an aqueous medium or an organic solvent.

この洗浄方法は、様々な使用態様によって汚染された電
極の洗浄に有効であるが、特にミセル電解法によって薄
膜を製造する場合に、対極として使用して汚れを生じた
電極の洗浄に効果的である。
This cleaning method is effective for cleaning electrodes that have become contaminated due to various uses, but is particularly effective for cleaning electrodes that have become contaminated when used as a counter electrode when producing thin films by micellar electrolysis. be.

このミセル電解法は、特願昭62−75930号明細書
等に詳細に記載されている通りであるが、ここでその概
略を説明すれば次の如くである。
This micelle electrolysis method is described in detail in the specification of Japanese Patent Application No. 62-75930, etc., but the outline thereof will be explained as follows.

まず、薄膜の構成材料である疎水性物質を、水性媒体中
でフェロセン誘導体よりなるミセル化剤にて可溶化し、
次に得られるミセル溶液を電解すれば、電極(即ち、導
電性基体)上に薄膜が形成されるのである。この操作は
、具体的には、電解槽にミセル化剤(濃度は限界ミセル
濃度基」−)支持塩ならびに疎水性物質を入れて、超音
波、ホモジナイザーあるいは撹拌機等により充分に分散
させてミセルを形成せしめ、その後必要に応じて過剰の
疎水性物質を除去し、得られたミセル溶液を静置したま
まあるいは若干の撹拌を加えながら上述の電極を用いて
電解処理する。また、電解処理中に疎水性物質をミセル
溶液に補充添加してもよく、あるいは陽極近傍のミセル
溶液を系外へ抜き出し、抜き出したミセル溶液に疎水性
物質を加えて充分に混合撹拌し、しかる後にこの液を陰
極近傍へ戻す循環回路を併設してもよい。この際の電解
条件は、各種状況に応じて適宜選定すればよいが、通常
は液温0〜70°C1好ましくは20〜30°C1電圧
0.03〜1.5■、好ましくは0.1〜0.5■とし
、電流密度10mA/cm2以下、好ましくは50〜3
00μA / crn 2とする。
First, a hydrophobic substance, which is a constituent material of the thin film, is solubilized in an aqueous medium with a micelle agent made of a ferrocene derivative.
The resulting micellar solution is then electrolyzed to form a thin film on the electrode (ie, the conductive substrate). Specifically, this operation involves placing a micelle agent (the concentration is based on the limit micelle concentration), a supporting salt, and a hydrophobic substance in an electrolytic cell, and thoroughly dispersing the mixture using ultrasonic waves, a homogenizer, a stirrer, etc. After that, excess hydrophobic substances are removed if necessary, and the resulting micelle solution is subjected to electrolytic treatment using the above-mentioned electrode while standing still or with slight stirring. Additionally, a hydrophobic substance may be supplemented and added to the micelle solution during the electrolytic treatment, or the micelle solution near the anode is extracted from the system, the hydrophobic substance is added to the extracted micelle solution, and the mixture is thoroughly mixed and stirred. A circulation circuit for returning this liquid to the vicinity of the cathode later may also be provided. The electrolysis conditions at this time may be selected appropriately depending on various situations, but usually the liquid temperature is 0 to 70°C, preferably 20 to 30°C, and the voltage is 0.03 to 1.5cm, preferably 0.1 ~0.5■, current density 10mA/cm2 or less, preferably 50~3
00 μA/crn 2.

この電解処理を行うと、フェロセン誘導体の酸化還元反
応が進行する。これをフェロセン誘導体中のFeイオン
の挙動に着目すると、陽極ではフェロセンのFe”がF
e3+となって、ミセルが崩壊し、疎水性物質の粒子(
600〜900人程度)が陽極上に析出する。一方、陰
極では陽極で酸化されたFe”がFe24に還元されて
もとのミセルに戻るので、繰返し同じ溶液で製膜操作を
行うことができる。
When this electrolytic treatment is performed, the redox reaction of the ferrocene derivative proceeds. Focusing on the behavior of Fe ions in ferrocene derivatives, we can see that at the anode, the Fe'' of ferrocene is
becomes e3+, the micelles collapse, and hydrophobic particles (
about 600 to 900 people) are deposited on the anode. On the other hand, at the cathode, the Fe" oxidized at the anode is reduced to Fe24 and returned to the original micelles, so the film forming operation can be repeated using the same solution.

ここで、薄膜の材料である疎水性物質としては、有機物
質に限られず、無機物質でもよく、様々なものがある。
Here, the hydrophobic substance that is the material of the thin film is not limited to organic substances, and may be inorganic substances, and there are various types.

例えば有機物質としては、フタロシアニン フタロシア
ニンの金属錯体およびこれらの誘導体、ナフタロシアニ
ン、ナフタロシアニンの金属錯体およびこれらの誘導体
、ポルフィリン。
Examples of organic substances include phthalocyanine, metal complexes of phthalocyanine and derivatives thereof, naphthalocyanine, metal complexes of naphthalocyanine and derivatives thereof, and porphyrins.

ポルフィリンの金属錯体およびこれらの誘導体などの光
メモリー用色素や有機色素をはじめ1,1ジヘプチル−
4,4″−ビピリジニウムジブロマイド、1,1″−ジ
ドデシル−4,4゛−ビピリジニウムジブロマイドなど
のエレクトロクロミック材料、6−ニトロ−1,3,3
−1−リメチルスピロー(2’H−1’−ベンゾビラン
−2,2゛−インドリン)(通称スピロピラン)などの
感光材料(フォトクロミック材料)や光センサー材料、
P−アゾキシアニソールなどの液晶表示用色素、更に「
カラーケミカル事典」株式会社シーエムシ、1988年
3月28日発行の第542〜717頁に列挙されている
エレクトロニクス用色素、記録用色素、環境クロミズム
用色素、写真用色素。
In addition to photomemory dyes and organic dyes such as porphyrin metal complexes and their derivatives, 1,1 diheptyl-
Electrochromic materials such as 4,4″-bipyridinium dibromide, 1,1″-didodecyl-4,4″-bipyridinium dibromide, 6-nitro-1,3,3
- Photosensitive materials (photochromic materials) such as -1-limethyl spiro (2'H-1'-benzobilane-2,2'-indoline) (commonly known as spiropyran) and optical sensor materials,
Liquid crystal display dyes such as P-azoxyanisole, and
Electronics dyes, recording dyes, environmental chromism dyes, and photographic dyes listed in "Color Chemical Encyclopedia", CMC Co., Ltd., published March 28, 1988, pages 542-717.

エネルギー用色素、バイオメディカル用色素5食品・化
粧用色素、染料、顔料、特殊着色用色素のうちの疎水性
の化合物などがあげられる。また、7788−テトラシ
アノキノンジメタン(TCNQ)とテトラチアフルバレ
ン(T T F )との1:1錯体などの有機導電材料
やガスセンサー材料、ペンタエリスリトールジアクリレ
ートなどの光硬化性塗料、ステアリン酸などの絶縁材料
1−フェニルアゾ−2−ナフトールなどのジアゾタイプ
の感光材料や塗料等をあげることができる。
Examples include energy dyes, biomedical dyes, food/cosmetic dyes, dyes, pigments, and hydrophobic compounds among special coloring dyes. In addition, organic conductive materials such as a 1:1 complex of 7788-tetracyanoquinone dimethane (TCNQ) and tetrathiafulvalene (TTF), gas sensor materials, photocurable paints such as pentaerythritol diacrylate, stearic acid Examples include insulating materials such as diazo type photosensitive materials such as 1-phenylazo-2-naphthol, paints, and the like.

さらには、水に不溶性のポリマー、例えばポリカーボネ
ートポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リアミド、ポリフェニレンサルファイド(P P S)
、ポリフェニレンオキサイド(PPO)、ポリアクリロ
ニトリル(PAN)などの汎用ポリマー、またポリフェ
ニレン、ポリピロール ポリアニリン、ポリチオフェン
、アセチルセルロース、ポリビニルアセテート5ポリビ
ニルフチラールをはじめ、各種各様のポリマー(ポリビ
ニルピリ□ジンなど)あるいはコポリマー(メタクリル
酸メチルとメタクリル酸とのコポリマーなど)をあげる
ことができる。
Furthermore, water-insoluble polymers such as polycarbonate polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyamide, polyphenylene sulfide (PPS)
, polyphenylene oxide (PPO), polyacrylonitrile (PAN), and various other polymers (such as polyvinylpyridine), polyphenylene, polypyrrole, polyaniline, polythiophene, acetylcellulose, polyvinyl acetate, polyvinyl phthyral, etc. Copolymers (such as copolymers of methyl methacrylate and methacrylic acid) can be mentioned.

また、無機物質としては、Ti0z、C,CdS。Furthermore, examples of inorganic substances include Ti0z, C, and CdS.

W O31F e z 03+ Y 203 Z r 
02 、 A I z O3,Cu S 。
W O31F e z 03+ Y 203 Z r
02, A I z O3, Cu S .

ZnS、Te0z、LiNb0z、Si3N4など、さ
らには各種の超電導酸化物など各種各様のものがある。
There are various materials such as ZnS, Te0z, LiNb0z, Si3N4, and various superconducting oxides.

また、このミセル電解法で使用するミセル化剤であるフ
ェロセン誘導体としては、例えば特願昭63−1479
59号明細書に列挙されている公知の化合物及び新規な
化合物をはじめ、様々なものをあげることができ、薄膜
形成材料の種類に応じて、適宜選定すればよい。
In addition, as a micellar agent used in this micelle electrolysis method, ferrocene derivatives include, for example, Japanese Patent Application No. 63-1479.
Various compounds can be used, including the known compounds and novel compounds listed in the specification of No. 59, and may be appropriately selected depending on the type of thin film forming material.

このような電解処理により、陽極上には所望する疎水性
物質の600〜900人程度の粒子による薄膜が形成さ
れる。
By such electrolytic treatment, a thin film of about 600 to 900 particles of the desired hydrophobic substance is formed on the anode.

また、このミセル電解法で用いる電極は、フェロセンの
酸化電位(+0.15 V対飽和甘コウ電極)より責な
金属もしくは導電体であればよい。具体的にはITO(
酸化インジウムと酸化スズとの混合酸化物)、白金、金
、銀、グラジ−カーボン、導電性金属酸化物、有機ポリ
マー導電体などがあげられる。
Further, the electrode used in this micelle electrolysis method may be any metal or conductor that has a higher oxidation potential than ferrocene (+0.15 V vs. saturated electrode). Specifically, ITO (
Examples include mixed oxides of indium oxide and tin oxide), platinum, gold, silver, grady carbon, conductive metal oxides, and organic polymer conductors.

ここで、例えば第1図に示す如きITOパターンに各種
色調の薄膜を形成する場合、まず、部分Aを陽極1部分
Bを陰極(対極)として(第1図(a)参照)赤色色素
を薄膜材料に用いてミセル電解法を行えば、部分Aに赤
色薄膜(R)が形成される。一方、陰極(対極)である
部分Bには、この赤色色素が付着して汚れ1が生ずる。
For example, when forming thin films of various colors on an ITO pattern as shown in Fig. 1, first, a red dye is applied to a thin film using part A as an anode and part B as a cathode (counter electrode) (see Fig. 1 (a)). If a micelle electrolysis method is performed using the material, a red thin film (R) will be formed in the portion A. On the other hand, this red dye adheres to portion B, which is the cathode (counter electrode), and stain 1 is generated.

なお、このITOパターンに、上記部分Aの薄膜形成時
に通電していない部分C(図示せず)がある場合には、
この部分Cにも同様に汚れが生ずる。
Note that if this ITO pattern has a portion C (not shown) that is not energized during the thin film formation of the portion A,
Dirt also occurs in this portion C as well.

本発明の洗浄方法によれば、上記ITOパターンを、水
をはじめとする水性媒体や有機溶媒中に入れ、上記部分
Bを電極として通電処理すれば、汚れ1は洗浄され、し
かも部分Aの赤色薄膜は、何ら損傷を受けることがない
(第1図(b)参照)。
According to the cleaning method of the present invention, by placing the ITO pattern in an aqueous medium such as water or an organic solvent and applying electricity using the portion B as an electrode, the stain 1 is cleaned, and the red color of the portion A is removed. The thin film is not damaged in any way (see FIG. 1(b)).

また、上述した部分Cについても、薄膜を形成するに先
立って、本発明の洗浄方法を適用して洗浄しておけば、
汚れのない薄膜を得ることができる。
Furthermore, if the above-mentioned portion C is also cleaned by applying the cleaning method of the present invention before forming the thin film,
A clean thin film can be obtained.

この際、使用可能な水性媒体や有機溶媒は、炭酸プロピ
レンをはしめ、アセトニトリル、テトラヒドロフラン(
TI(F)、  ジメチルホルムアミド(DMF)、ジ
メチルスルホキシド(DMSO)メタノール、エタノー
ル、水など、さらにはこれらの混合液などをあげること
ができるが、特にこれらに限定されることなく、各種の
状況に応じて適宜選定すればよい。また、この水性媒体
や有機溶媒には、必要に応じてLiBrをはじめ、TM
A−BF、(TMAはテトラメチルアミンを示す、)T
MA−CI!、O,、TBA−BF4(TBAはテトラ
ブチルアミンを示す−)、LiB F4+ LiC42
0a。
At this time, usable aqueous media and organic solvents include propylene carbonate, acetonitrile, tetrahydrofuran (
Examples include TI (F), dimethylformamide (DMF), dimethyl sulfoxide (DMSO), methanol, ethanol, water, and mixtures thereof, but are not limited to these and can be used in various situations. It may be selected as appropriate. In addition, this aqueous medium and organic solvent may include LiBr, TM, etc. as necessary.
A-BF, (TMA represents tetramethylamine)T
MA-CI! , O,, TBA-BF4 (TBA represents tetrabutylamine -), LiB F4+ LiC42
0a.

KBF、などの支持塩を加えることも有効である。It is also effective to add a supporting salt such as KBF.

さらに、上記洗浄すべき電極である部分Bに印加する電
圧は、特に制限はないが、負電圧あるいは負電圧を含む
電圧波形が好ましく、特に0〜−2.0■の範囲で適宜
選定すればよい。なお、使用できる電圧波形は、様々で
あるが、直流、三角波、パルス、正弦波等があげられる
。また、上記部分Bの通電処理にあたっては、対極に薄
膜の形成されている部分Aを用いてもよく、あるいは他
の電極を用いてもよい。
Furthermore, the voltage applied to the part B, which is the electrode to be cleaned, is not particularly limited, but a negative voltage or a voltage waveform including a negative voltage is preferable, and in particular, if it is appropriately selected in the range of 0 to -2.0 good. Note that there are various voltage waveforms that can be used, and examples include direct current, triangular wave, pulse, and sine wave. Furthermore, in the energization process of the portion B, the portion A in which a thin film is formed as a counter electrode may be used, or another electrode may be used.

上述の部分Bの洗浄処理後、この部分Bを陽極として、
緑色色素等の薄膜材料を用いてミセル電解法を繰り返せ
ば、部分Bに緑色薄膜(G)が形成される(第1図(c
、)参照)。
After the above-mentioned cleaning treatment of part B, use this part B as an anode,
If the micelle electrolysis method is repeated using a thin film material such as a green dye, a green thin film (G) will be formed in part B (Fig. 1(c)
,)reference).

このようにミセル電解法による薄膜形成と本発明の洗浄
方法を繰り返すことによって、部分CD、E・・・に高
純度かつ高品質で、しかも異なる種類の薄膜を順次形成
することができる。具体的には、部分Bを陽極としてミ
セル電解法を行う場合には、部分Cあるいは他の部分を
陰極(対極)として用い、部分Cを陽極としてミセル電
解法を行う場合には、部分りあるいは他の部分を陰極(
対極)として用いるという手順を繰り返すことによって
、所望する不純物を含有しない高純度の薄膜を次々と形
成することができる。なお、この場合、白金電極などを
独立に用い、これを繰返し行うミセル電解法において常
に対極として使用してもよい。
By repeating the thin film formation by the micelle electrolysis method and the cleaning method of the present invention in this way, high purity and high quality thin films of different types can be sequentially formed on the portions CD, E, . . . . Specifically, when performing micelle electrolysis with part B as an anode, part C or another part is used as a cathode (counter electrode), and when performing micelle electrolysis with part C as an anode, part The other part is the cathode (
By repeating the procedure of using the electrode as a counter electrode, high-purity thin films containing no desired impurities can be successively formed. In this case, a platinum electrode or the like may be used independently and always used as a counter electrode in the repeated micelle electrolysis method.

[実施例〕 次に本発明を実施例及び比較例によりさらに詳しく説明
する。
[Examples] Next, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples and Comparative Examples.

製造例1 190■を加え、攪拌して均一なミセル溶液を調製した
。このミセル溶液50ccにフタロシアニンを0,2g
加えて、超音波で1o分間撹拌した後、スターラーで3
日間攪拌した。この可溶化ミセル溶液を1日自然沈降さ
せ、上澄液を採取した。
Production Example 1 190 μm was added and stirred to prepare a uniform micelle solution. Add 0.2g of phthalocyanine to 50cc of this micelle solution.
In addition, after stirring with ultrasonic waves for 1 minute, stir with a stirrer for 3 minutes.
The mixture was stirred for several days. This solubilized micelle solution was allowed to settle naturally for one day, and the supernatant liquid was collected.

この上澄液に、0.104 gのLiBrを加え、0.
2M LiBr/2mM F PEG/4. I mM
フタロシアニン溶液を得た。これを電解液として、第2
図に示すITOパターンの部分Aを陽極3部分Bを陰極
、飽和甘コウ電極を参照電極として、25°Cで、印加
電圧0.5V、電流密度17.2μA/ cAの定電位
電解を30分間行った。その結果、部分Aにフタロシア
ニン薄膜が形成されるとともに、部分B(陰極)にフタ
ロシアニンにょるlηれ1が生ずることを、実体顕微鏡
によりi11認した。
To this supernatant, 0.104 g of LiBr was added and 0.104 g of LiBr was added.
2M LiBr/2mM F PEG/4. ImM
A phthalocyanine solution was obtained. Using this as an electrolyte, the second
Using part A of the ITO pattern as shown in the figure as an anode, part B as a cathode, and a saturated red electrode as a reference electrode, constant potential electrolysis was carried out for 30 minutes at 25°C with an applied voltage of 0.5 V and a current density of 17.2 μA/cA. went. As a result, it was confirmed using a stereoscopic microscope that a phthalocyanine thin film was formed in part A, and a 1η leak 1 due to phthalocyanine was generated in part B (cathode).

実施例1 上記製造例1で製造した部分Aにフタロシアニン薄膜が
形成されたITOパターンを、0.1 MIjBr水溶
液中に入れ、+o、avの範囲、100mV/秒の速度
で掃引を繰り返した。その結果、実体顕微鏡で部分Bに
はフタロシアニンが存在しないことが確認され、付着し
ていたフタロシアニンによる汚れ1が洗浄除去されたこ
とがわかった。
Example 1 The ITO pattern in which the phthalocyanine thin film was formed on the part A produced in Production Example 1 above was placed in a 0.1 MIjBr aqueous solution, and the pattern was repeatedly swept at a rate of 100 mV/sec in the range of +o and av. As a result, it was confirmed with a stereoscopic microscope that no phthalocyanine was present in portion B, and it was found that the adhering stain 1 due to phthalocyanine had been washed and removed.

実施例2 上記製造例1で製造した部分Aにフタロシアニン薄膜が
形成されたITOパターンを、0.1 Mテトラブチル
アンモニウム−四フフ化ホウ素のプロピレンカーボネー
ト溶液に入れたこと以外は、実施例1と同様の操作を行
った。
Example 2 The procedure of Example 1 was repeated, except that the ITO pattern in which the phthalocyanine thin film was formed on part A produced in Production Example 1 above was placed in a propylene carbonate solution of 0.1 M tetrabutylammonium-boron tetrafluoride. A similar operation was performed.

その結果、実体顕微鏡で部分Bにはフタロシアニンが存
在しないことが確認され、付着していたフタロシアニン
による汚れ1が洗浄除去されたことがわかった。
As a result, it was confirmed with a stereoscopic microscope that no phthalocyanine was present in portion B, and it was found that the adhering stain 1 due to phthalocyanine had been washed and removed.

また、この際の電流電位曲線を第3図に示す。Further, the current potential curve at this time is shown in FIG.

このように、負電位でフタロシアニンが溶解除去される
ことがわかる。
Thus, it can be seen that phthalocyanine is dissolved and removed at a negative potential.

実施例3 上記製造例1で製造した部分Aにフタロシアニン薄膜が
形成されたITOパターンを、実施例2と同じ溶液に入
れ、部分Bを作動棒1部分Aを対極、飽和甘コウ電極を
参照電極として、部分Bの作動棒が−0,8Vとなるよ
うに電位を印加した。
Example 3 The ITO pattern with a phthalocyanine thin film formed on part A manufactured in Production Example 1 above was placed in the same solution as in Example 2, part B was used as the actuating rod, part A was used as the counter electrode, and the saturated sweet electrode was used as the reference electrode. As such, a potential was applied so that the actuating rod of part B was -0.8V.

その結果、部分Bに付着していたフタロシアニンのみが
溶解し、部分へのフタロシアニン薄膜には何ら変化がな
いことが、実体顕微鏡観察で確認された。
As a result, it was confirmed by stereoscopic microscope observation that only the phthalocyanine attached to part B was dissolved and that there was no change in the phthalocyanine thin film on the part.

実施例4 溶液を0.1Mテトラメチルアンモニウム−四フッ化ホ
ウ素のアセトニトリル溶液に変えたこと以外は、実施例
3と同様の操作を行った。
Example 4 The same operation as in Example 3 was performed except that the solution was changed to a 0.1 M tetramethylammonium-boron tetrafluoride acetonitrile solution.

その結果、部分Aのフタロシアニン薄膜を傷つけること
なく、部分Bのフタロシアニンを洗浄できることを、実
体顕微鏡観察で確認した。
As a result, it was confirmed by observation using a stereoscopic microscope that the phthalocyanine in part B could be washed without damaging the phthalocyanine thin film in part A.

比較例1 上記製造例1で製造した部分Aにフタロシアニン薄膜が
形成されたIT○パターンを、水1000ccの入った
水槽内で、スターシーで攪拌しながら10分間洗浄を行
い、その後メタノール500ccの入った槽内で、スタ
ーシーで攪拌しながら10分間洗浄を行った。
Comparative Example 1 The IT◯ pattern in which a phthalocyanine thin film was formed on part A produced in Production Example 1 above was washed for 10 minutes in a water tank containing 1000 cc of water while stirring with Starcy, and then washed in a water tank containing 500 cc of methanol. Washing was carried out for 10 minutes in a tank with stirring using Starcy.

しかし、製造例1で観察した部分B上のフタロシアニン
による汚れは、そのまま残存し、はとんど洗浄されてい
なかった。
However, the phthalocyanine stain on portion B observed in Production Example 1 remained as it was, and was hardly cleaned.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の方法によれば、目的とする電極のみを効率よく
洗浄することができ、他の電極などに形成されている薄
膜等に悪影響を及ばずことがない。
According to the method of the present invention, only the target electrode can be efficiently cleaned without adversely affecting the thin films formed on other electrodes.

したがって、本発明の洗浄方法とミセル電解法をはしめ
とする各種の電気的処理を組み合わせて行えば、不純物
を含有しない高品質の光電変換材料、カラーフィルター
(RGB)、感光材料、太陽電池等を製造することがで
きる。
Therefore, if the cleaning method of the present invention is combined with various electrical treatments including micelle electrolysis, high-quality photoelectric conversion materials, color filters (RGB), photosensitive materials, solar cells, etc. that do not contain impurities can be produced. can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(a)、 (b)、 (C)は、ITOパターン
に薄膜の形成と洗浄を行う手順を示す説明図である。ま
た第2図は、製造例1で用いたITOパターンの概略図
である。第3図は、実施例2で使用した電流電位曲線で
ある。
FIGS. 1(a), 1(b), and 1(C) are explanatory diagrams showing a procedure for forming a thin film on an ITO pattern and cleaning it. Further, FIG. 2 is a schematic diagram of the ITO pattern used in Manufacturing Example 1. FIG. 3 is a current potential curve used in Example 2.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)水性媒体または有機溶媒中で、電極を通電処理す
ることを特徴とする電極の洗浄方法。
(1) A method for cleaning an electrode, which comprises subjecting the electrode to electrical current treatment in an aqueous medium or an organic solvent.
(2)疎水性物質を水性媒体中でフェロセン誘導体より
なるミセル化剤にて可溶化し、得られるミセル溶液を電
解して前記疎水性物質の薄膜を電極上に形成する際に対
極として用いた電極を、通電処理することを特徴とする
請求項1記載の洗浄方法。
(2) A hydrophobic substance was solubilized in an aqueous medium with a micelle agent made of a ferrocene derivative, and the resulting micelle solution was electrolyzed to form a thin film of the hydrophobic substance on an electrode, which was used as a counter electrode. 2. The cleaning method according to claim 1, wherein the electrode is subjected to an electric current treatment.
(3)電極の通電処理にあたり、該電極に負電圧あるい
は負電圧を含む電圧波形を印加することを特徴とする請
求項1あるいは2記載の洗浄方法。
(3) The cleaning method according to claim 1 or 2, characterized in that during the energization process of the electrode, a negative voltage or a voltage waveform including a negative voltage is applied to the electrode.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS602684A (en) * 1983-06-20 1985-01-08 Permelec Electrode Ltd Reactivating method of insoluble electrode

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS602684A (en) * 1983-06-20 1985-01-08 Permelec Electrode Ltd Reactivating method of insoluble electrode

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