JPH019167Y2 - - Google Patents
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- JPH019167Y2 JPH019167Y2 JP11714585U JP11714585U JPH019167Y2 JP H019167 Y2 JPH019167 Y2 JP H019167Y2 JP 11714585 U JP11714585 U JP 11714585U JP 11714585 U JP11714585 U JP 11714585U JP H019167 Y2 JPH019167 Y2 JP H019167Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案はIC，LSI、超LSIに使用される半導体
基板の製造工程中、ウエハキヤリヤに収容された
ウエハの中から任意の１枚又は複数枚を取り出
し、石英ボートの溝や測定装置に移し替えする際
に使用するウエハ移し替え用つき上げ装置に関す
るものである。[Detailed description of the invention] Industrial application field This invention is a method for extracting one or more wafers from among the wafers housed in a wafer carrier during the manufacturing process of semiconductor substrates used in IC, LSI, and VLSI. This invention relates to a lifting device for transferring wafers, which is used when transferring wafers to a groove in a quartz boat or to a measuring device.
従来の技術
従来のウエハ移し替え用つき上げ装置は第６図
及び第７図に示すごとく、各つき上げ板９の下部
両側端部に係合部１８を設け、これらに対応した
押え部材としての下部エアシリンダ１１が下部フ
レーム１２に水平に配設されている。BACKGROUND TECHNOLOGY As shown in FIGS. 6 and 7, a conventional lifting device for wafer transfer is provided with engaging portions 18 at both ends of the lower part of each lifting plate 9, and has a corresponding holding member. A lower air cylinder 11 is horizontally disposed on a lower frame 12.
つき上げ板９をつき上げる場合にはこれに対応
する下部エアシリンダ１１に送気して係止部１３
を突出させ、そのつき上げ板９の両側端部の係合
部１８に係合させたのち、下部フレーム１２をモ
ータ（図示せず）により上昇させて、目的とする
つき上げ板９をつき上げていた。 When lifting up the lifting plate 9, air is supplied to the corresponding lower air cylinder 11 to close the locking part 13.
After protruding and engaging with the engaging portions 18 at both ends of the lifting plate 9, the lower frame 12 is raised by a motor (not shown), and the intended lifting plate 9 is raised. was.
又、装置の基板Ａの上面には各エアシリンダ１
１に対応した光センサ受発光部１４が設けられて
おり、その発光部から上方の下部エアシリンダ１
１に向けて発光させて係止部１３からの反射光の
有無を検出することによりつき上げ板９のつき上
げ状況を識別していた。 Also, each air cylinder 1 is placed on the top surface of the board A of the device.
1 is provided, and a lower air cylinder 1 above the light emitting section is provided.
The lifting condition of the lifting plate 9 was identified by emitting light toward the locking portion 13 and detecting the presence or absence of reflected light from the locking portion 13.
考案が解決しようとする問題点
したがつて、従来の装置においてはつき上げ板
をつき上げる都度、つき上げ板とエアシリンダと
の衝突・摩擦を生じるので、エアシリンダの耐久
性に欠けていた。Problems to be solved by the invention Therefore, in the conventional device, each time the lifting plate is lifted up, collision and friction occurs between the lifting plate and the air cylinder, so the air cylinder lacks durability.
又、つき上げ板のつき上げ状況の検出は、上昇
した下部エアシリンダからの反射光の有無をセン
サにより検出することにより間接的に行つている
が、センサからの光を受光・反射するエアシリン
ダの係止部は外径が細く、かつ突出する距離も僅
か数mm程度であるので、係止部の摩耗やエアシリ
ンダの動作不良により、測定ミスを発生する恐れ
があつた。 Additionally, the uplifting status of the uplifting plate is indirectly detected by using a sensor to detect the presence or absence of reflected light from the raised lower air cylinder. The locking part has a small outer diameter and the protruding distance is only about a few millimeters, so there was a risk of measurement errors due to wear of the locking part or malfunction of the air cylinder.
本考案の目的は上記従来技術の問題点を解決
し、つき上げ板とエアシリンダとの衝突・摩耗が
生せず、耐久性があり、かつつき上げ板の位置の
検出が簡単で、測定ミスが生ずる恐れのないよう
にすることである。 The purpose of this invention is to solve the above-mentioned problems of the conventional technology, to prevent collision and wear between the lifting plate and the air cylinder, to be durable, to easily detect the position of the lifting plate, and to prevent measurement errors. The goal is to ensure that there is no risk of this occurring.
問題点を解決するための手段
本考案は第１図に示すように各つき上げ板１ご
とその側方に、エアシリンダ２を垂直に並設し、
各つき上げ板１とその側方に設けたエアシリンダ
２を、つき上げ板１の下端部に設けた接続板６と
エアシリンダ２のシリンダロツド３を介して互に
接続するとともに、各エアシリンダ２の側壁にエ
アシリンダ２内のピストン１７の位置を検出する
ためのセンサ１０ａ，１０ｂを設けたものであ
る。Means for Solving the Problems As shown in Fig. 1, the present invention has air cylinders 2 arranged vertically on the sides of each uplifting plate 1,
Each lifting plate 1 and the air cylinder 2 provided on its side are connected to each other via a connecting plate 6 provided at the lower end of the lifting plate 1 and the cylinder rod 3 of the air cylinder 2, and each air cylinder 2 Sensors 10a and 10b for detecting the position of the piston 17 within the air cylinder 2 are provided on the side wall of the air cylinder 2.
作 用
上記の構成とすることにより、いま任意のつき
上げ板１をつき上げる場合はそのつき上げ板１に
対応するエアシリンダ２に送気すると、そのエア
シリンダ２内のピストン１７が上昇し上限の位置
に停止する。Effect With the above configuration, when lifting up any lifting plate 1, when air is supplied to the air cylinder 2 corresponding to that lifting plate 1, the piston 17 in the air cylinder 2 rises to the upper limit. Stop at the position.
これによりシリンダロツド３及び接続板６を介
して接続されているつき上げ板１もピストン１７
の上昇に伴ないこれを連動して上昇し、ピストン
１７の停止に伴つて停止する。 As a result, the lifting plate 1 connected to the cylinder rod 3 and the connecting plate 6 also connects to the piston 17.
It rises in conjunction with the rise of the piston 17, and stops when the piston 17 stops.
又、つき上げ板１を下降させるにはエアシリン
ダ２を排気することによりピストン１７は下降
し、下限の位置にて停止する。これに伴なつてつ
き上げ板１も下降、停止する。 Further, in order to lower the lifting plate 1, the air cylinder 2 is exhausted, so that the piston 17 is lowered and stopped at the lower limit position. Along with this, the lifting plate 1 also descends and stops.
したがつて上記エアシリンダ２の側壁に設けた
センサ１０ａ，１０ｂによりエアシリンダ２内の
ピストン１７の位置を検出することにより、これ
に対応するつき上げ板１がつき上げられているか
否かを検出することが出来る。 Therefore, by detecting the position of the piston 17 in the air cylinder 2 using the sensors 10a and 10b provided on the side wall of the air cylinder 2, it is possible to detect whether or not the corresponding lifting plate 1 is lifted up. You can.
実施例
この考案を添付図面の実施例により説明する
と、第１図のように上部にウエハホルダ４を挿着
した複数枚のつき上げ板１を、垂直かつ等間隔に
並列し、それらの各つき上げ板１の側方に一定の
距離ｌを置いてエアシリンダ２が垂直、かつ等間
隔に、左右互い違いに並設されている。Embodiment To explain this invention with reference to an embodiment shown in the attached drawings, as shown in FIG. Air cylinders 2 are arranged vertically and equally spaced apart from each other at a constant distance l on the side of a plate 1, alternating left and right.
又、つき上げ板１とこれに対応するエアシリン
ダ２は、つき上げ板１の下端部に設けた接続板６
とエアシリンダ２のシリンダロツド３の先端部を
螺合することにより結合されている。 Furthermore, the lifting plate 1 and the corresponding air cylinder 2 are connected to a connecting plate 6 provided at the lower end of the lifting plate 1.
The cylinder rod 3 of the air cylinder 2 is connected to the air cylinder 2 by screwing the tip of the cylinder rod 3 together.
又、各エアシリンダ２の側壁の上部および下部
にはピストン１７の位置を検出するためのセンサ
１０ａ，１０ｂが設けられている。このセンサ１
０ａ，１０ｂには無接点スイツチの一種である磁
気形近接スイツチを用いる。 Furthermore, sensors 10a and 10b for detecting the position of the piston 17 are provided at the upper and lower portions of the side walls of each air cylinder 2. This sensor 1
Magnetic proximity switches, which are a type of non-contact switch, are used for 0a and 10b.
上記の構成としたので、エアシリンダ２に送気
或は排気することにより、シリンダロツド１７が
上昇又は下降し、これに連動してつき上げ板１も
上昇或は下降する。 With the above configuration, by supplying or discharging air to the air cylinder 2, the cylinder rod 17 is raised or lowered, and the upright plate 1 is also raised or lowered in conjunction with this.
さらに又ピストン１７が上昇してエアシリンダ
２の上部側の磁気形近接スイツチ１０ａに近接す
ると、該スイツチ１０ａが作動し、導線２３ａを
通して電気信号を識別装置（図示せず）に伝える
ことにより、つき上げ板１のつき上げ状況を検出
することが出来る。 Furthermore, when the piston 17 rises again and approaches the magnetic proximity switch 10a on the upper side of the air cylinder 2, the switch 10a is actuated and an electric signal is transmitted to the identification device (not shown) through the conductor 23a. The lifting condition of the lifting board 1 can be detected.
同様にピストン１７が下降して停止した場合は
エアシリンダ側壁の下部側に設けられた磁気形近
接スイツチ１０ｂが作動し、導線２３ｂを通して
電気信号を識別装置に伝えることにより、つき上
げ板１がつき上げられていないことが検出でき
る。 Similarly, when the piston 17 descends and stops, the magnetic proximity switch 10b provided at the bottom of the side wall of the air cylinder operates, transmitting an electric signal to the identification device through the conductor 23b, and the lifting plate 1 is activated. It can be detected that it is not raised.
又、第２図及び第３図に示すごとく、つき上げ
板１の両側端部５の横断面形状を60゜の角度を持
つ刃形とし、これと係合するガイドローラ１９の
溝も第４図に示すごとく同角度のＶ字形とすると
ともに、ガイドローラ１９の固定方法としてつき
上げ板１の何れか一方の側のガイドローラ１９は
スプリングダンパー２４を介して固定されてい
る。 Further, as shown in FIGS. 2 and 3, the cross-sectional shape of both ends 5 of the lifting plate 1 is a blade shape with an angle of 60 degrees, and the groove of the guide roller 19 that engages with this blade shape is also a fourth groove. As shown in the figure, the guide rollers 19 are V-shaped with the same angle, and the guide rollers 19 on either side of the raising plate 1 are fixed via spring dampers 24 as a method of fixing the guide rollers 19.
これにより、従来のつき上げ板９の両側端部２
２がＬ形であつたため、両接触部の摩耗により、
つき上げ板９の傾きやつき上げの際に起る「ガタ
ツキ」を防ぐことが出来る。 As a result, both ends 2 of the conventional raising plate 9
2 was L-shaped, due to wear of both contact parts,
It is possible to prevent the tilting of the lifting board 9 and the "wobble" that occurs during lifting.
さらに又、第２図に示すように、つき上げ板１
の板面上部側２０は凹形とし、又ウエハホルダ４
の下端部は、上記凹形に適合した凸形の突出部２
１を設けることにより、ワンタツチで容易にウエ
ハホルダ４をつき上げ板１に取付けることが出来
る。 Furthermore, as shown in FIG.
The upper side 20 of the plate surface is concave, and the wafer holder 4
The lower end of is a convex protrusion 2 that conforms to the concave shape.
1, the wafer holder 4 can be easily attached to the lifting plate 1 with one touch.
又つき上げ板１の板面下端部に鍵形の切り欠き
部７を設け、これに接続する接続板６の上部に、
切り欠き部７に嵌合し得る形状の鍵形の突出部８
を設けることにより、接続板６をつき上げ板１に
ワンタツチで極めて容易に接続することが出来
る。 In addition, a key-shaped notch 7 is provided at the lower end of the plate surface of the raising plate 1, and a key-shaped notch 7 is provided at the upper part of the connecting plate 6 connected to this.
A key-shaped protrusion 8 that can fit into the notch 7
By providing this, the connection plate 6 can be connected to the uplifting plate 1 with one touch extremely easily.
考案の効果
各つき上げ板ごとにその側方にエアシリンダを
垂直に並設し、つき上げ板とエアシリンダとをつ
き上げ板の下端部に設けた接続板とエアシリンダ
のシリンダロツドを介して接続することにより、
つき上げ板の係合部とエアシリンダの係止部を廃
し、両部分の衝突・摩耗を生じないようにしたの
でエアシリンダの耐久性を増大するとともに、つ
き上げ板１枚に必要なエアシリンダ数が従来の４
ケから１ケに減少できる外、エアシリンダを配設
した上部及び下部フレームならびに下部フレーム
の上昇・下降用モータも不要となるので、装置の
簡素化・小型化が出来る。Effects of the invention: Air cylinders are installed vertically on the side of each raised plate, and the raised plate and air cylinder are connected via a connecting plate provided at the lower end of the raised plate and the cylinder rod of the air cylinder. By doing so,
The engaging part of the raising plate and the locking part of the air cylinder are eliminated to prevent collision and wear of both parts, increasing the durability of the air cylinder and reducing the air cylinder required for one raising plate. The number is 4
In addition to being able to reduce the number of units from one to one, the upper and lower frames provided with air cylinders and the motors for raising and lowering the lower frame are also not required, so the device can be simplified and downsized.
又各エアシリンダの側壁にピストンの位置を検
出するセンサを設けることにより、従来例のよう
に係止部の摩耗やエアシリンダの動作不良による
測定ミスを生じることがなく、つき上げ状況の検
出の信頼性を増すことが出来る。 In addition, by installing a sensor on the side wall of each air cylinder to detect the position of the piston, measurement errors due to wear of the locking part or malfunction of the air cylinder, unlike in conventional examples, are eliminated, and the uplift situation can be detected easily. Reliability can be increased.
さらに又、つき上げ板の両側端部の横断面形状
を刃形とし、これに係合するガイドローラの溝の
形状をＶ字形とすることにより、従来の装置のつ
き上げのさいに見られたつき上げ板の傾斜や、上
昇・下降の際の「ガタツキ」を防止することが出
来る。 Furthermore, by making the cross-sectional shape of both ends of the lifting plate into a blade shape, and by making the groove of the guide roller that engages with the blade shape into a V-shape, it is possible to eliminate the problems seen in the lifting of conventional equipment. It is possible to prevent the lifting board from tilting and from wobbling when ascending and descending.
又つき上げ板の板面上部側を凹形の溝穴とし、
ウエハホルダの下端部にこれに対応した〓形の突
出部を設け、さらにつき上げ板の板面下部側に鍵
形の切り欠き部を設け、接続板の上部にも鍵形の
突出部を設けることにより、ウエハホルダ及び接
続板をワンタツチで容易につき上げ板に接続する
ことが出来る。 Also, the upper side of the board surface of the raised board is made into a concave slot,
A corresponding square-shaped protrusion is provided at the lower end of the wafer holder, a key-shaped notch is provided at the bottom of the plate surface of the uplifting plate, and a key-shaped protrusion is also provided at the top of the connection plate. Therefore, the wafer holder and the connecting plate can be easily connected to the lifting plate with one touch.
第１図は本考案の原理図、第２図はつき上げ板
とウエハホルダ及び接続板との接続状況を示す斜
視図、第３図は第２図の−線矢視断面図、第
４図はつき上げ板とガイドローラとの係合状況を
示し、第５図は従来の装置におけるつき上げ板と
ガイドローラとの係合状況を示し、第６図は従来
の装置の斜視図、第７図は第６図の−矢視方
向の要部断面図である。
１……つき上げ板、２……エアシリンダ、３…
…シリンダロツド、４……ウエハホルダ、５……
つき上げ板両側端部、６……接続板、７……鍵形
の切り欠き部、８……接続板の上部突出部、１０
ａ，１０ｂ……センサ、１７……ピストン、１９
……ガイドローラ。
Fig. 1 is a diagram of the principle of the present invention, Fig. 2 is a perspective view showing the connection status of the lifting plate, wafer holder, and connection plate, Fig. 3 is a sectional view taken along the - line in Fig. 2, and Fig. 4 is FIG. 5 shows the engagement between the lifting plate and the guide roller in a conventional device, FIG. 6 is a perspective view of the conventional device, and FIG. 7 shows the engagement between the lifting plate and the guide roller. 6 is a sectional view of a main part in the direction of the - arrow in FIG. 6. FIG. 1... Raising plate, 2... Air cylinder, 3...
...Cylinder rod, 4...Wafer holder, 5...
Both ends of the raised plate, 6... Connection plate, 7... Key-shaped notch, 8... Upper protrusion of the connection plate, 10
a, 10b...Sensor, 17...Piston, 19
...Guide roller.
Claims (1)
上げ板１を互に等間隔かつ垂直に並設し、それ
らの各つき上げ板１ごとに、その側方にエアシ
リンダ２を垂直に並設し、つき上げ板１とエア
シリンダ２とを、つき上げ板１の下端部に設け
た接続板６とエアシリンダ２のシリンダロツド
３を介して互に接続するとともに、各エアシリ
ンダ２の側壁にピストン１７の位置を検出する
センサ１０ａ，１０ｂを設けたことを特徴とす
るウエハ移し替え用つき上げ装置。 ２ 各エアシリンダのピストン１７の位置を検出
するセンサ１０ａ，１０ｂがエアシリンダ２の
側壁の上部と下部に設けられた無接点式スイツ
チであることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載のウエハ移し替え用つき上げ装
置。 ３ つき上げ板１がその両側端部５の横断面形状
を刃形となし、これに係合するガイドローラ１
９の固定を一側方はスプリング式ダンパー２４
を介して固定したことを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第１項記載のウエハ移し替え用つ
き上げ装置。 ４ つき上げ板１がその板面上部側２０を凹形の
溝穴とし、ウエハホルダ４がその下端部には上
記凹形に適合した〓形の突出部２１を設けたこ
とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
記載のウエハ移し替え用つき上げ装置。 ５ つき上げ板１がその板面下端部に鍵形の切り
欠き部７を設け、接続板６がその上部に上記切
り欠き部７に嵌合する形状の突出部８を設けた
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のウエハ移し替え用つき上げ装置。[Claims for Utility Model Registration] 1. A plurality of lifting plates 1 each having a wafer holder 4 on the top thereof are arranged vertically and at equal intervals, and air is provided on the side of each of the lifting plates 1. The cylinders 2 are arranged vertically side by side, and the lifting plate 1 and the air cylinder 2 are connected to each other via the connecting plate 6 provided at the lower end of the lifting plate 1 and the cylinder rod 3 of the air cylinder 2. A lifting device for wafer transfer, characterized in that sensors 10a and 10b for detecting the position of a piston 17 are provided on the side wall of an air cylinder 2. 2. Utility model registration claim 1, characterized in that the sensors 10a and 10b for detecting the position of the piston 17 of each air cylinder are non-contact type switches provided at the upper and lower parts of the side wall of the air cylinder 2. The lifting device for wafer transfer described above. 3 The raising plate 1 has a cross-sectional shape at both ends 5 of the blade shape, and the guide roller 1 engages with this.
9 is fixed by a spring type damper 24 on one side.
The lifting device for wafer transfer according to claim 1, wherein the lifting device is fixed via a wafer. 4. A utility model characterized in that the lifting plate 1 has a concave slot on the upper side 20 of the plate surface, and the wafer holder 4 has a square-shaped protrusion 21 at its lower end that matches the concave shape. A lifting device for wafer transfer according to claim 1. 5. The lifting plate 1 is provided with a key-shaped notch 7 at the lower end of the plate surface, and the connecting plate 6 is provided with a protrusion 8 shaped to fit into the notch 7 at the upper part thereof. Scope of claim for utility model registration No. 1
Lifting device for wafer transfer as described in Section 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11714585U JPH019167Y2 (en) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11714585U JPH019167Y2 (en) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226038U JPS6226038U (en) | 1987-02-17 |
| JPH019167Y2 true JPH019167Y2 (en) | 1989-03-13 |
Family
ID=31002389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11714585U Expired JPH019167Y2 (en) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH019167Y2 (en) |
-
1985
- 1985-07-30 JP JP11714585U patent/JPH019167Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6226038U (en) | 1987-02-17 |
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