JPH0179260U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0179260U JPH0179260U JP1987175304U JP17530487U JPH0179260U JP H0179260 U JPH0179260 U JP H0179260U JP 1987175304 U JP1987175304 U JP 1987175304U JP 17530487 U JP17530487 U JP 17530487U JP H0179260 U JPH0179260 U JP H0179260U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power outage
- power
- control state
- outage
- restored
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示すブロ
ツク図、第２図は第１図の要部の具体的なブロツ
ク図、第３図は従来例の構成を示すブロツク図で
ある。 １……瞬時停電認識回路、２……シーケンサ。
ツク図、第２図は第１図の要部の具体的なブロツ
ク図、第３図は従来例の構成を示すブロツク図で
ある。 １……瞬時停電認識回路、２……シーケンサ。
Claims (1)
- 内蔵バツテリによつてバツクアツプされ、主電
源線の停電が発生した後所定時間以内に前記主電
源線の停電が回復した時に瞬時停電認識信号を発
生する瞬時停電認識回路と、真空系統の各種機器
の制御状態を示すデータをその制御状態が変更さ
れる毎に更新しながら記憶保持するラツチ手段を
有し、前記主電源線から給電されて前記真空系統
の各種機器をシーケンス制御し、停電回復後にお
いて前記瞬時停電認識回路からの瞬時停電認識信
号に応答して真空系統の各種機器の制御動作を前
記ラツチ手段の記憶内容に基づいて停電直前の制
御状態から再開するシーケンサとを備えたイオン
注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175304U JPH0179260U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987175304U JPH0179260U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0179260U true JPH0179260U (ja) | 1989-05-29 |
Family
ID=31467105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987175304U Pending JPH0179260U (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0179260U (ja) |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP1987175304U patent/JPH0179260U/ja active Pending
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