JPH0171062U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0171062U JPH0171062U JP1987166478U JP16647887U JPH0171062U JP H0171062 U JPH0171062 U JP H0171062U JP 1987166478 U JP1987166478 U JP 1987166478U JP 16647887 U JP16647887 U JP 16647887U JP H0171062 U JPH0171062 U JP H0171062U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- base metal
- cutting blade
- inner peripheral
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
第1図は本考案実施例に係る内周刃式切断ブレ
ードを示しており、そのa図は平面構成図、b図
は要部断面構成図であり、第2図は内周刃式切断
装置の概略構成説明図、第3図は従来におけるブ
レード切断の際の作用説明図である。 B……内周刃式切断ブレード、IW……インゴ
ツト、W……ウエハ、s……切断面間隙、t……
砥粒層厚、1……台金、2……内周刃、5……被
膜。
ードを示しており、そのa図は平面構成図、b図
は要部断面構成図であり、第2図は内周刃式切断
装置の概略構成説明図、第3図は従来におけるブ
レード切断の際の作用説明図である。 B……内周刃式切断ブレード、IW……インゴ
ツト、W……ウエハ、s……切断面間隙、t……
砥粒層厚、1……台金、2……内周刃、5……被
膜。
Claims (1)
- 中空円盤でなる台金の内周辺に砥粒を付着せし
めて内周刃とした切断ブレードにおいて、該ブレ
ード台金面の少なくともワーク切り込み面に摩擦
抵抗を小さくする被膜を形成したことを特徴とす
る内周刃式切断ブレード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987166478U JPH0171062U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987166478U JPH0171062U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0171062U true JPH0171062U (ja) | 1989-05-11 |
Family
ID=31453894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987166478U Pending JPH0171062U (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0171062U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06126639A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-10 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 内周刃ダイヤモンド砥石 |
JP2010149240A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Jtekt Corp | 砥石車 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4731739U (ja) * | 1971-05-04 | 1972-12-09 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP1987166478U patent/JPH0171062U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4731739U (ja) * | 1971-05-04 | 1972-12-09 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06126639A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-10 | Asahi Daiyamondo Kogyo Kk | 内周刃ダイヤモンド砥石 |
JP2010149240A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Jtekt Corp | 砥石車 |