JPH01505A - 光フアイバの先端を2つの直交し合う軸線に沿つて変移させる装置 - Google Patents

光フアイバの先端を2つの直交し合う軸線に沿つて変移させる装置

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JPH01505A
JPH01505A JP62-290174A JP29017487A JPH01505A JP H01505 A JPH01505 A JP H01505A JP 29017487 A JP29017487 A JP 29017487A JP H01505 A JPH01505 A JP H01505A
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optical fiber
blade
parallelepiped
section
cross
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エルベ・ル・ピベール
ベルナール・ドウ・ケゼール
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コンパニー・リヨネーズ・ドウ・トランスミシオン・オプチク
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光ファイバを別の光学素子に対して調心させ
るべく光フアイバ先端を2つの直交し合う軸線に沿って
変移させる装置に係わる。この装置は前記光学素子を支
持するフレームと、薄いブレードを有する非関節式変形
性基体(solide d&−formable no
n ar’Licullりとを含み、前記変形性基体に
調心すべき光ファイバが固定される。
周知のように、長距離光リンクによる伝送損失の主な原
因は、例えば溶着によって互いに接続された2つの光フ
ァイバの軸線の不一致にある。ファイバの軸線を正確に
調心させることはマルチモード光ファイバにとっては既
に極めて重要な要件であるが、これはコアの直径がかな
り小さく10ミクロンのオーダーであるモノモード光フ
ァイバにとっても重要になってきている。
光ファイバの接続には最初、極めて細かいピッチの制御
ネジによって駆動する複数のスライドを用いるマイクロ
メータ変移装置が使用されていた。
この装置では、3つの次元で任意の方向に変移できるよ
うに前記スライドを互いに交差し又は重ね合わせて使用
する。しかしながら、これらのスライドの間には遊びが
存在し、そのため特にモノモード光ファイバの接続に必
要な1/1oマイクロメータのオーダーの精度を得るの
は不可能であることが判明した。
そこで、スライド式装置に代えて、変形性基体を用いる
変移装置の使用が試みられた。
この種の装置は、例えば仏画特許明細書FR−^第2.
548,390号に記載されている。この先行装置の変
形性基体は、圧電支材の作用で2つの直交平面に沿って
たわむことにより作動する固定梁である。
この固定梁は、その軸線に沿って配置された該軸線と直
交する一連の凹部を有し、これらの凹部が薄いブレード
を構成する。固定梁の軸線に沿って配置されたこれらの
凹部は、光フアイバ先端の望ましくない角変径を誘起し
、その結果光ファイバとこれに接続すべき別の光学素子
との正確な調心が阻止される。
本発明の目的は、精度のより高い光フアイバ先端変移装
置、特に、光フアイバ先端の望ましくない回転を回避す
る装置を提供することにある。そのために本発明は、湾
曲することによって作動する薄いブレード付き固定梁か
らなる変形性基体に代えて、平行六面体状に配置された
薄いブレードを含む変形性基体を使用する。前記平行六
面体のrIfrWJは薄いブレードの平面及び光ファイ
バの軸線と直交する。
英国特許明細書CB第2,080,471号には、バネ
の機能を果たす二重の薄いブレードを用いるマイクロマ
ニピュレータが開示されている。前記ブレードは平行六
面体の面を構成し、この平行六面体の縁は角柱ブロック
がらなり、これらのブロックにブレードの先端が固定さ
れる。
このような装置では、変移を十分正確に行うことはでき
ない、角度方向又は長手方向の遊びなしで薄いブレード
を角柱ブロックに固定するのは極めて難しいことだがら
である。加えて、これらのブレードは断面が均一である
ため、曲げ応力がブレードの全長にわたって変化する。
この応力は角柱ブロックのすぐ近傍で最大になる。また
、ブレードの中央部分では、材料の一部分が無用である
ばかりでなく、一定の応力の作用下におけるブレードの
変形率を低下させることがら、有害でもある。
本発明の変形性基体は単一部材からなる。これは、複数
の別個の部材を組み立てることによって生じる幾何学的
欠陥と、これら部材の相対移動の可能性とを回避するた
めである。また、本発明の変形性基体のブレードは中央
部分で厚みが薄くなり、一端から中央部分にかけてのこ
の厚み変化は、物質中の応力がブレードのいずれの横断
面でもほぼ同等になるように計算される。
本発明の装置は、変形性基体が単一部材として形成され
、その薄いブレード部分が平行六面体の面に沿って配置
され、この平行六面体の断面が静止時には正方形であっ
て光ファイバの輪線と直交し、該平行六面体の一方の対
角線の一端がフレームに、他端が調心すべき光ファイバ
に固定され、他方の対角線の両端が各々該平行六面体の
断面を変形させる変移手段の支点を構成することを特徴
とする。
本発明の装置は更に、下記の特徴の少なくとも1つを有
する。
−薄いブレードの断面が、その両端から等距離をおいて
位置する領域に向けて各先端がら先細りになる; −ブレード断面の先細り度が、材料中の応力がブレード
のいずれの横断面でもほぼ同等になるようにする数字的
法則に従って決定される;−平行六面体の各面が単一の
薄いブレードからなる; −平行六面体の各面が2つの互いに平行な薄いブレード
からなり、これらのブレードのプロフィルが、これらブ
レードから等距離の位置にある平面に対して互いに対称
をなす; −支点を構成する対角線の各先端と各変移手段との間に
、薄いブレードとほぼ平行に延びる可視性部材が挿入さ
れる。
以下、添付図面に基づき非限定的具体例を挙げて本発明
をより詳細に説明する。尚、この具体例では前記光学素
子が別の光ファイバであり、この装置は主として2つの
光ファイバの先端を互いに接続する場合に使用される。
且」す1 第1図の装置は固定フレーム1と、該フレーム1上を滑
動するサポート2と、単一部材として形成された変形性
基体10とを含み、変形性基体10は4つの角柱ブロッ
クと薄いブレード14からなる4つの側面とで構成され
ている。4つの角柱ブロックとはフレーム1に固定され
る台座11、支持ブロック12及び2つの操作ブロック
13である。操作ブロック13及び薄いブレード14は
第2図及び第3図に詳細に示した。
サポート2はV溝3を有し、この溝内に光ファイバ4が
配置される。変形性基体10の支持ブロック12はVI
5を有し、この溝には調心すべき光ファイバ6が配置さ
れる。これら2つの光ファイバは勿論適当な手段(図示
せず)によって対応溝内に保持される。
従って、光ファイバ6の先端を2つの直交平面に沿って
変移させると共に、サポート2を前記2つの平面と直交
する第3の平面に沿って移動させて光ファイバ4をファ
イバ6に近付ければ、前記変形性基体10によって光フ
ァイバ6と光ファイバ4とを調心することができる。
第2図は第1具体例による変形性基体1o^を示してい
る。この基体の横断面は4つの側面を有し、各側面が薄
い単一ブレード14^からなる。
4つの薄いブレード14^は正方形を形成し、こ  ゛
の正方形の鉛直方向対角線の一端が台座11^がらなり
、他端が支持ブロック12^で構成され、水平方向対角
線の各先端が操作ブロック13^で構成されている。ブ
レードは先端がブロックの面と直角であり、断面の中央
部分が薄くなっている。従ってこれらのブレードは、同
等の耐性を有する2つの梁を向きを互い違いにして並べ
、厚みの薄い先端を介して相互接続したようなプロフィ
ル有する。
このようにすると、材料中の応力がブレードの横断面全
体にわたってほぼ同等になる。各操作プロッり13^は
、例えばマイクロメータネジ又は圧電支材のごとき任意
の適当な変移手段によって矢印F方向に推力を受ける。
第3図及び第4図は、第2具体例による変形性基体10
Bを示している。
第3図では基体Loftが4つの側面を有し、各側面が
2つの互いに平行な薄いブレード14Bで構成されてい
る。
これら4対の薄い平行ブレード14Bは正方形を形成し
、この正方形の鉛直方向対角線の一端は台座11Bで構
成され一池端は支持ブロック12Bからなり、水平方向
対角線の各先端は操作ブロック13Bで構成されている
。これらブレードは先端がブロックの面に対して直角で
あり、断面の中央部分が薄くなっている。従って、これ
らブレードは、同等の耐性を有する2つの梁を互い違い
に並べて、厚みの薄い先端を介して相互接続したような
プロフィルを有する。いずれのブレード対でもブレード
のプロフィルはこれら2つのブレードから等距離をおい
な平面に対して互いに対称をなす。各操作ブロックは適
当な変移手段によって矢印F方向に推力を受ける。
第4図は、圧電支材20と可撓性中間部材15とで構成
された特定具体例の変移手段を示している。
この変移手段では可撓性部材15が特別な形状を有する
ため、装置全体を小型化すべく支材20を鉛直方向に配
置することができる。操作ブロック13Bと部材15と
の間の機械的接続はシリンダ17を挟持する2つのタブ
16によって行われ、可撓性部材15と圧電支材20と
の間の機械的接続はシリンダ19を挟持する2つのタブ
18によって実施される。2つのタブの間に挟持された
シリンダを使用すると、完全に直線状の推力が得られる
ここで第5図を参照しながら本発明の装置の機能を説明
する。
この装置では、正方形の断面をもつ平行六面体が4っの
直交し合う薄いブレードと4つの角柱ブロックとで構成
され、ブロックAが該装置のフレームに固定され、ブロ
ックCが光ファイバを支持し且つ夫々側面ΔB及び八〇
と直交する2つの方向に従って加えられる力によりブロ
ックB及びDに与えられる横方向変移作用を受ける。
ここで、各作用力によって生じる変移を別個に考慮し、
特にブロックBに加えられる力Fについて考察する。こ
の力はブロックB及びブロックCを変移させるが、ブロ
ックDは支承手段21の存在によってへ〇方向では動か
ない。
この方Fは同一方向の3つの力Fl、F2及びF3に分
解できる。Flは側面式Bを湾曲させ、F2は側面DC
を座屈させ、F3は側面DCを湾曲させる。静止時初期
方向に対する側方変移は夫々符号yt、yz及びy3で
示した。
理論的には、変移y1は固定梁、即ち一端が固定され他
端が該梁の初期軸線と直角の方向に変移するような両端
に固定された梁の先端の移動である。
長さが!であり、断面が均一である梁の自由端に、該梁
の軸線と直角の力F1を加えた場合の変移yl。
は、下記の式に従って材料耐性計算から求められる: 式中、Eは材料の弾性率であり、■。は材料の慣性モー
メントである。
ブレード断面が同等の耐性を有する2つのプロフィルを
対向して並べたような形状を有する該具体例では、材料
耐性計算の結果、梁の湾曲度が均−横断面梁の場合の2
倍であることが判明した。
次いで慣性モーメントI0を固定点で計算するが、この
固定点は該具体例ではブレードの先端に当たる。従って
実際に観察される湾曲は、 で求められる。
変移y2は、理論的には、ブロックBに作用する力F2
の作用で生じる均−横断面梁の座屈に起因する。2つの
先端B及びCは固定されており、実質的に一定の方位を
維持するようになっている。
この変移y2は、”5Latique eL rl!5
istance desn+at6riaux”に記載
のP、Montelの方程式:に従って計算できる。
式中、FOは式 2、E、I。
FO=4π□ によって得られる臨界力である。
加えられる力F2がFOより小さければ、座屈は生じず
、側面DCは変形しない。
ブレード断面が同等の耐性を有する2つのプロフィルか
らなる場合の変移y2は、前記値の2倍、即ち である゛。
しかしながら、力F2がFO以下であると座屈が生じな
いためy2=0になる。
力F3の作用による変移y3は力F1の作用によるブロ
ックBの変移と同じ性質のものであり、下記の式 を用いて計算できる。
このように変移y1%y2及びy3は、Fl+F2+F
3= Fの関係にある3つの作用力Fl、F2及びF3
と、ブレードの長さlと、ブレードの両端で計算した慣
性モーメント■。と、材料の弾性率Eとに基づいて計算
することができる。
解決しなければならない唯一の問題は、力Fl、F2及
びF3の計算である。
変移が極めて小さい場合に見られるように、側面BCが
座屈しない場合には、特に二重ブレードが使用されてい
る時には、F2・0且つFl・F3・F/2と見なし得
、従って となる。
慣性モーメント■。はブレードの幅すと、ブレードの先
端近傍の厚みhとから、方程式1.=bh’/12によ
って計算でき、従って変移y1と力Fとの関係は下記の
式 %式% 変形性基体は等方性材料で単一部材として形成され、複
数の部材を組立てる必要はない、従ってブレードの先端
が、これに接続された角柱ブロックに対して移動するこ
とはない。
そのため、Bに加えられた力Fの作用でプレーて静止状
態を保持する側面^Dとほぼ平行な状態を維持し、その
結果光ファイバを支持するブロックCに加えられる横方
向変移が実質的に一定の方向に生じ、少なくとも2次近
似(second orderapproximati
on)の範囲内までは、初期方向に対して回転すること
はない。
これは、Dに位置する支材が作用する場合にも同様であ
り、この場合は変移が第1変移と直角であり、初期方向
に対して回転することなくDCに従って生じる。
このことは、この種のアセンブリでは、ブロックC(従
って具体例に応じてブロック12^又は12B)のV溝
内に配置された光ファイバが初期偏光面に対して回転す
ることはないという事実を立証する。
これは、モノモード光ファイバにとって極めて重要なこ
とである0周知のようにモノモード光ファイバはファイ
バの軸線を中心とする回転によって相対的に誘導される
無限のモードを伝搬するが、この光ファイバは自然に存
在する不完全さ又は設計上の理由(即ち偶発的複屈折又
は偏光維持ファイバにおける所望の複屈折)から、偏光
面の方位に応じて異なる光学特性を有し、これが広帯域
信号を伝送する場合に極めて大きな問題となり、ファイ
バの別の特性に起因する制限より遥かに大きい制限が伝
送周波帯に課せられることになるからである。このこと
から明らかなように、前述のごとき装置は2つのモノモ
ードファイバを相互接続する場合に使用すると極めて有
利である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の装置の長手方向断面図、第2図は変形
性基体の第1具体例を示す正面図、第3図は変形性基体
の第2具体例を示す正面図、第4図は第3図の半分をよ
り詳細に示す説明図、第5図は3つの力Fl、F2及び
F3に分解される力Fの作用で変形した平行六面体を示
す簡略説明図である。 4.6・・・・・・光ファイバ、10,10^、10B
・・・10.変形性基体、14,14^、14B・・・
・・・ブレード、15・・・・・・可撓性部材、20・
・・・・・変移手段。 代理人弁理士 Fd日  山    武FIG、1 FIG、3

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光ファイバを別の光学素子に対して調心すべく光
    ファイバの先端を2つの直交し合う軸線に沿って変移さ
    せる装置であって、前記光学素子を支持するフレームと
    、調心すべき光ファイバを支持する薄いブレード付き非
    関節式変形性基体とを含み、前記変形性基体が単一部材
    として形成され、該基体の薄くブレード形成部分が平行
    六面体の面に沿って配置され、この平行六面体は横断面
    が静止時には正方形であって光ファイバの軸線と直交し
    、この平行六面体の一方の対角線の一端が前記フレーム
    に固定され、他端が調心すべき光ファイバに固定され、
    他方の対角線の両端が各々前記平行六面体の横断面を変
    形させる変移手段の支点を構成することを特徴とする装
    置。
  2. (2)薄いブレードの断面が、その両端から等距離をお
    いて位置するゾーンに向けて各先端から先細りになるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の装置。
  3. (3)ブレード断面の先細り度が、材料中の応力がブレ
    ードのいずれの横断面でもほぼ同じであるようにする数
    字的法則に従つて決定されることを特徴とする特許請求
    の範囲第2項に記載の装置。
  4. (4)平行六面体の各面が薄い単一ブレードからなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項から第3項のいず
    れか一項に記載の装置。
  5. (5)平行六面体の各面が2つの互いに平行な薄いブレ
    ードからなり、これらのブレードのプロフィルがこれら
    2つのブレードから等距離をおいた平面に対して互いに
    対称をなすことを特徴とする特許請求の範囲第1項から
    第3項のいずれか一項に記載の装置。
  6. (6)支点を構成する対角線の各先端と各変移手段との
    間に、薄いブレードとほぼ平行に延びる可撓性部材が挿
    入されることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
    の装置。
JP62290174A 1986-11-18 1987-11-17 Device for displacing tip of optical fiber along two mutually orthogonal axial lines Pending JPS64505A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8616007 1986-11-18
FR8616007A FR2606890B1 (fr) 1986-11-18 1986-11-18 Dispositif de deplacement de l'extremite d'une fibre optique suivant deux axes orthogonaux

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01505A true JPH01505A (ja) 1989-01-05
JPS64505A JPS64505A (en) 1989-01-05

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ID=9340916

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EP (1) EP0269925B1 (ja)
JP (1) JPS64505A (ja)
CA (1) CA1307957C (ja)
DE (1) DE3780772T2 (ja)
ES (1) ES2033773T3 (ja)
FR (1) FR2606890B1 (ja)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2649540B1 (fr) * 1989-07-06 1991-10-18 Europ Agence Spatiale Mecanisme de reglage fin de l'orientation et/ou de la position d'une charge utile
GB8923135D0 (en) * 1989-10-13 1989-11-29 Bt & D Technologies Ltd Mounting optical components
GB9017015D0 (en) * 1990-08-02 1990-09-19 British Telecomm Optical component holder
US5882356A (en) * 1992-10-21 1999-03-16 Courtaulds Fibres (Holdings) Limited Fibre treatment
GB9304887D0 (en) * 1993-03-10 1993-04-28 Courtaulds Plc Fibre treatment
GB9410912D0 (en) * 1994-06-01 1994-07-20 Courtaulds Plc Fibre treatment
GB2334593B (en) 1998-02-20 2002-07-17 Melles Griot Ltd Positioning mechanism
US6049650A (en) * 1998-04-17 2000-04-11 Seagate Technology, Inc. Structure for micro-machine optical tooling and method for making and using
US6227724B1 (en) * 1999-01-11 2001-05-08 Lightlogic, Inc. Method for constructing an optoelectronic assembly
US6511236B1 (en) * 1999-09-07 2003-01-28 Intel Corporation Optoelectronic assembly and method for fabricating the same
US6625372B1 (en) * 1999-11-15 2003-09-23 Axsun Technologies, Inc. Mounting and alignment structures for optical components
US6559464B1 (en) * 1999-11-15 2003-05-06 Axsun Technologies, Inc. Optical system active alignment process including alignment structure attach, position search, and deformation
US7003211B2 (en) * 1999-11-15 2006-02-21 Axsun Technologies, Inc. Optical system production system
US6892444B1 (en) * 2000-09-21 2005-05-17 Axsun Technologies, Inc. Optical system manufacturing and alignment system
WO2002055201A2 (en) * 2001-01-12 2002-07-18 Scient Generics Ltd Sample processing apparatus
US7126078B2 (en) 2002-02-28 2006-10-24 Emcore Corporation Sub-micron adjustable mount for supporting a component and method
US7430081B2 (en) * 2002-02-28 2008-09-30 Emcore Corporation Sub-micron adjustable mount for supporting a component and method
US20070035856A1 (en) * 2003-01-28 2007-02-15 John Galpin Multi-axis positioner
DE502004005225D1 (de) * 2004-12-06 2007-11-22 Toptica Photonics Ag Optischer Faserkoppler
US8917963B2 (en) 2010-05-21 2014-12-23 Kaiam Corp. MEMS-based levers and their use for alignment of optical elements
GB2520973A (en) * 2013-12-05 2015-06-10 Xyratex Tech Ltd Optical alignment system
US9535223B2 (en) 2013-12-05 2017-01-03 Xyratex Technology Limited Optical alignment system
US11681100B2 (en) 2016-09-30 2023-06-20 3Sae Technologies, Inc. Multi-axis positioner
CA3077402A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 3Sae Technologies, Inc. Multi-axis relative positioning stage
US11187871B2 (en) * 2017-12-18 2021-11-30 Raytheon Company 2D bi-pod flexure design, mount technique and process for implementation
JP2023543751A (ja) * 2020-09-23 2023-10-18 3エスエーイー テクノロジーズ インク 多軸ポジショナ

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5327042A (en) * 1976-08-25 1978-03-13 Oki Electric Ind Co Ltd Coupling method of optical fiber
DE2950853C2 (de) * 1979-12-18 1984-01-12 Philips Kommunikations Industrie AG, 8500 Nürnberg Koppelvorrichtung mit Druckkörpern für in Stecker gefaßte Lichtleitfasern
JPS56156812A (en) * 1980-05-09 1981-12-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Aligning device for optical fiber
GB2080471B (en) * 1980-06-27 1984-05-10 Res Instr Ltd Improvements in or relating to motion reduction mechanisms
FR2487527A1 (fr) * 1980-07-22 1982-01-29 Thomson Csf Dispositif d'alignement des faces emettrice et receptrice de deux elements optiques
US4352542A (en) * 1980-08-26 1982-10-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Cable connector
JPS6024443B2 (ja) * 1981-02-03 1985-06-13 日本電信電話株式会社 光フアイバ心線のコア軸合せ装置
DE3267868D1 (en) * 1981-05-15 1986-01-23 Allied Corp Optical fiber splice and method for joining fibers
GB2117916B (en) * 1982-02-17 1986-08-28 Standard Telephones Cables Ltd Optic fibre fusion splicing
DE3270629D1 (en) * 1982-08-12 1986-05-22 Aeg Telefunken Nachrichten Adjusting device for a light guide
FR2548390B1 (fr) * 1983-06-17 1985-10-25 Thomson Csf Dispositif de deplacement fin de l'extremite d'une fibre optique suivant deux axes orthogonaux
FR2553200B1 (fr) * 1983-10-05 1985-12-06 Cabloptic Sa Procede pour positionner une fibre optique par rapport a un autre composant optique, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
US4687287A (en) * 1983-12-08 1987-08-18 Bell-Northern Research Ltd. Apparatus for aligning an article relative to a datum
FR2558603B1 (fr) * 1984-01-24 1986-04-25 Socapex Dispositif de mise en application des faces optiques d'au moins une paire de fibres optiques dans un dispositif de raccordement
NL8403692A (nl) * 1984-12-05 1986-07-01 Philips Nv Samenstel bevattende een in een wand bevestigde lichtgeleidende vezel.
NL8500615A (nl) * 1985-03-05 1986-10-01 Nederlanden Staat Fijninstelmechanisme voor het nauwkeurig positioneren van een instelelement.

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