JPH0141684Y2 - - Google Patents

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JPH0141684Y2
JPH0141684Y2 JP1984134775U JP13477584U JPH0141684Y2 JP H0141684 Y2 JPH0141684 Y2 JP H0141684Y2 JP 1984134775 U JP1984134775 U JP 1984134775U JP 13477584 U JP13477584 U JP 13477584U JP H0141684 Y2 JPH0141684 Y2 JP H0141684Y2
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JP
Japan
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cover
clean air
shelf
wide
clean
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JP1984134775U
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、天井側からクリーンエアーを下吹き
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品(荷)の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
[Detailed description of the invention] Industrial field of application This invention is installed in a clean room where clean air is blown downward from the ceiling and the descending air is sucked below the floor. This relates to cargo storage equipment in a clean room used to store goods (cargoes).

従来の技術 一般的に荷保管設備は、上下方向に複数段の区
画収納空間を有する棚によつて構成され、各区画
収納空間の前面開放部を介して、作業者による入
手作業によつて、或いは搬入出装置による機械的
且つ自動的な作業によつて物品の搬入出が行なわ
れる。
2. Description of the Related Art In general, cargo storage equipment is composed of shelves having a plurality of compartment storage spaces in the vertical direction. Alternatively, articles are carried in and out by mechanical and automatic operations using a carry-in/out device.

考案が解決しようとする問題点 上記のような従来の荷保管設備においては、棚
の前面開放部近くで作業者や搬入出装置から塵
埃、粉塵が発生し、この塵埃などの一部が区画収
納空間側に移行し且つ堆積して物品に悪影響を及
ぼすことになる。
Problems that the invention aims to solve In the conventional cargo storage equipment described above, dust and dust are generated from workers and loading/unloading equipment near the front opening of the shelf, and some of this dust is stored in compartments. It migrates to the space side and accumulates, which adversely affects the article.

本考案の目的とするところは、各段の区画収納
空間に対して、その後面側から前面側へとクリー
ンエアを流して塵埃などの移行を防止し得、しか
もクリーンエアは各段の区画収納空間に対して、
充分な量、速度で且つ均一に供給し得るクリーン
ルーム内の荷保管設備を提供する点にある。
The purpose of this invention is to prevent the migration of dust by flowing clean air from the rear side to the front side of the compartment storage space of each tier, and to prevent the transfer of dust etc. For space,
The object of the present invention is to provide cargo storage equipment in a clean room that can supply cargo in sufficient quantity, speed, and uniformity.

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、上下方向に複数段
の区画収納空間を有する棚を設け、この棚は前面
を開放すると共に、後面側にカバーを配設し、該
カバー内に仕切板を設けて複数の流路を形成し、
これら流路と各区画収納空間とを各段ごとに連通
し、前記カバーの上端を広口集合部に形成して、
この広口集合部内に前記下吹きのクリーンエアー
を供給すべく構成している。
Means for solving the problem In order to solve the above problem, the cargo storage equipment in the clean room according to the present invention blows clean air downward from the ceiling side and sucks the descending air below the floor. A shelf having a plurality of compartment storage spaces is provided in the shelf, the front side of the shelf is open, and a cover is provided on the rear side, and a partition plate is provided in the cover to form a plurality of flow channels,
These channels and each compartment storage space are communicated in each stage, and the upper end of the cover is formed into a wide-mouth gathering part,
The configuration is such that the downward blowing clean air is supplied into this wide-mouth collecting section.

かかる構成によると、天井側から下吹きされる
クリーンエアーをカバー内の各流路に均一に導
き、そして各流路内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流出させ得、その際に下吹きされるクリ
ーンエアーは広口集合部において集められたのち
各段に充分な量を且つ充分な速度で供給し得る。
According to this configuration, the clean air blown downward from the ceiling is uniformly guided to each flow path in the cover, and the clean air in each flow path is distributed from the rear side to the front side in the divided storage space of each stage of the shelf. The clean air that is blown out toward the side can be collected in the wide-mouth collecting section and then supplied to each stage in a sufficient amount and at a sufficient speed.

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。1はクリーンルームで、天井2側からフイ
ルター3を通してクリーンエアー4を下吹きし、
下降してきたクリーンエアー4をメツシユ形式の
床5を通して該床5下に吸引するように構成して
ある。6は棚で、前面ならびに後面が開放する箱
状の本体7と、該本体7内において上下方向に多
数並設された横仕切板8とからなり、横仕切板8
によつて上下方向に複数段の区画収納空間9を形
成する。前記棚6の後面側には、その全面に亘つ
てSUS製又は樹脂(請電防止)製からなるダク
ト状のカバー10が配設され、このカバー10内
に複数の仕切板11を設けて複数の流路12を形
成し、これら流路12と各区画収納空間9の後面
開放部とを各段ごとに連通している。またカバー
10の上端は開放すると共に前記フイルター3の
下面に接近(または接当)しており、以つて下吹
きのクリーンエアー5を該カバー10内に供給す
べく構成してある。このカバー10の上端は広口
集合部10Aに形成してあり、したがつて流路1
2の上端も広口流路12Aに形成される。13は
物品(荷)を示す。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings. 1 is a clean room, in which clean air 4 is blown down from the ceiling 2 side through a filter 3,
It is constructed so that the descending clean air 4 is sucked through a mesh-type floor 5 and below the floor 5. Reference numeral 6 denotes a shelf, which is composed of a box-shaped main body 7 with open front and rear surfaces, and a large number of horizontal partition plates 8 arranged vertically in parallel inside the main body 7.
As a result, a plurality of partitioned storage spaces 9 are formed in the vertical direction. A duct-shaped cover 10 made of SUS or resin (to prevent power overload) is disposed on the rear side of the shelf 6 over its entire surface, and a plurality of partition plates 11 are provided within this cover 10 to allow a plurality of partitions. 12 are formed, and these channels 12 communicate with the rear opening of each compartment storage space 9 in each stage. Further, the upper end of the cover 10 is open and approaches (or comes into contact with) the lower surface of the filter 3, so that the downwardly blown clean air 5 is supplied into the cover 10. The upper end of this cover 10 is formed into a wide-mouth gathering portion 10A, so that the flow path 1
The upper end of 2 is also formed in the wide-mouth channel 12A. 13 indicates an article (cargo).

上記実施例においてクリーンルーム1内では、
フイルター3を通つて下吹きされるクリーンエア
ーが下降し、そして下降するクリーンエアー4を
床5下に吸引することから、そのクリーン度は確
保されている。前記棚6においては、フイルター
3を通して下吹きされるクリーンエアー4がカバ
ー10の広口集合部10Aに多量に入り、そして
各広口流路12Aに圧縮されたのち各流路12を
高速で流れ、その後に各段の区画収納空間9に対
して後面側から各段均一に供給され、そして各区
画収納空間9を流れたのち前面からクリーンルー
ム1内に流出される。
In the above embodiment, inside the clean room 1,
The clean air blown downward through the filter 3 descends and the descending clean air 4 is sucked under the floor 5, so that its cleanliness is ensured. In the shelf 6, a large amount of clean air 4 blown downward through the filter 3 enters the wide-mouth collecting portion 10A of the cover 10, is compressed into each wide-mouth channel 12A, flows through each channel 12 at high speed, and then flows through each channel 12 at high speed. The water is uniformly supplied to each compartment storage space 9 of each stage from the rear side, and after flowing through each compartment storage space 9, it flows out into the clean room 1 from the front.

考案の効果 上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷保管設備によると、天井側から下吹きされるク
リーンエアーをカバー内の各流路に均一に導び
き、そしてカバー内のクリーンエアーを棚の各段
の区画収納空間において、その後面側から前面側
に向けて流動させることができ、したがつて前面
側から区画収納空間に入ろうとする塵埃、粉塵の
移行を防止することができる。また下吹きされる
クリーンエアーは広口集合部において集められ、
仕切板により区画された各流路に均等に分配され
たのち各段に供給されることから、下吹き力をク
リーンルーム用に設定しながらも、各段に対して
は、充分な量、速度で且つ均一に供給することが
できる。さらにクリーンエアーは、クリーンルー
ム内に供給されるものの一部を使用することか
ら、例えば棚の後面全体にフイルターを設けると
共にフアンにより空気を供給する形式に比べて、
動力ならびにメンテナンスを不要にできると共に
構造全体を安価に得ることができ、しかも省スペ
ース化をはかることができる。
Effects of the invention According to the cargo storage equipment in a clean room according to the invention having the above configuration, the clean air blown downward from the ceiling is uniformly guided to each channel in the cover, and the clean air in the cover is distributed to each of the shelves. In the partitioned storage space of the stage, the flow can be made from the rear side to the front side, and therefore it is possible to prevent dust and dust from entering the partitioned storage space from the front side. In addition, the clean air blown downward is collected at the wide-mouth gathering part,
Since it is evenly distributed to each flow path divided by a partition plate and then supplied to each stage, even though the downward blowing force is set for a clean room, sufficient amount and speed can be supplied to each stage. Moreover, it can be supplied uniformly. Furthermore, since clean air uses a portion of the air supplied into the clean room, compared to, for example, a filter installed on the entire rear surface of the shelf and air supplied by a fan,
Power and maintenance can be eliminated, the entire structure can be obtained at low cost, and space can be saved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本考案の一実施例を示し、第1図は一部
切欠き側面図、第2図は正面図である。 1……クリーンルーム、2……天井、3……フ
イルター、4……流路、5……床、6……棚、7
……本体、8……横仕切板、9……区画収納空
間、10……カバー、10A……広口集合部、1
1……仕切板、12……流路、12A……広口流
路、13……物品(荷)。
The drawings show an embodiment of the present invention, with FIG. 1 being a partially cutaway side view and FIG. 2 being a front view. 1... Clean room, 2... Ceiling, 3... Filter, 4... Channel, 5... Floor, 6... Shelf, 7
... Main body, 8 ... Horizontal partition plate, 9 ... Compartment storage space, 10 ... Cover, 10A ... Wide mouth gathering part, 1
1... Partition plate, 12... Channel, 12A... Wide mouth channel, 13... Article (cargo).

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、
上下方向に複数段の区画収納空間を有する棚を設
け、この棚は前面を開放すると共に、後面側にカ
バーを配設し、該カバー内に仕切板を設けて複数
の流路を形成し、これら流路と各区画収納空間と
を各段ごとに連通し、前記カバーの上端を広口集
合部に形成して、この広口集合部内に前記下吹き
のクリーンエアーを供給すべく構成したことを特
徴とするクリーンルーム内の荷保管設備。
Inside the clean room, clean air is blown downward from the ceiling and the descending air is sucked below the floor.
A shelf having a plurality of partitioned storage spaces in the vertical direction is provided, the front side of the shelf is open, a cover is provided on the rear side, and a partition plate is provided in the cover to form a plurality of channels, These channels and each compartment storage space are connected to each other in each stage, and the upper end of the cover is formed into a wide-mouth gathering portion, and the bottom-blown clean air is supplied into the wide-mouth gathering portion. Cargo storage equipment in a clean room.
JP1984134775U 1984-09-04 1984-09-04 Expired JPH0141684Y2 (en)

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