JPH0135773B2 - - Google Patents

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JPH0135773B2
JPH0135773B2 JP57147701A JP14770182A JPH0135773B2 JP H0135773 B2 JPH0135773 B2 JP H0135773B2 JP 57147701 A JP57147701 A JP 57147701A JP 14770182 A JP14770182 A JP 14770182A JP H0135773 B2 JPH0135773 B2 JP H0135773B2
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Ibiden Co Ltd
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【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明は、主として炭化珪素焼結体用原料とし
て優れた超微細炭化珪素粉末の製造方法に関し、
特に本発明は、平均粒径が1μmを大きく下まわ
る超微細炭化珪素粉末の製造方法に関するもので
ある。 本発明者らは、先に特開昭54−33899号および
特公昭55−40527号により、主としてβ型結晶よ
りなる炭化珪素の製造方法に係る発明を提案し、
世界において初めて工業的なβ型結晶よりなる炭
化珪素の連続的な製造方法を確立した。 前記β型結晶よりなる炭化珪素は最近無加圧焼
結体製造用原料としての用途において極めて優れ
た特性を有していることが認められ、かかる用途
によれば微細なものほど焼結性あるいは均一収縮
性に優れるため、特に微細なものが要求されてお
り、例えば、特開昭50−160200号公報によればハ
ロゲン化珪素および炭化水素よりプラズマジエツ
ト反応によるサブミクロン粒度のβ型炭化珪素粉
末およびその製造方法が、また特開昭54−67599
号公報によれば、有機珪素高分子化合物を熱分解
して得られる1μm以下の高純度β型炭化珪素粉
末の製造方法が開示されている。しかしながら、
前記諸公報記載の方法において使用される出発原
料はいずれも極めて高価であり、かかる要求を満
足するようなβ型結晶よりなる超微細炭化珪素粉
末を安価に供給することのできる工業的な製造方
法は未だ知られていない。 ところで、シリカと炭素と出発原料として微細
な炭化珪素粉末を製造する方法としては、例えば
特公昭45−10413号公報に「ピグメントシリコン
カーバイドの製法」にかかる発明が開示されてお
り、前記発明によれば、微細な炭化珪素粉末を製
造するためにはなるべく微細な炭素粉末を使用す
ることが重要であることが記載されている。 そこで、本発明者らは、先に本発明者らが提案
した方法において、極めて微細な炭素粉末を使用
することを試みた。しかしながら、先に本発明者
らが提案した方法において、特に比表面積が1
m2/g以上の極めて微細な炭素粉末を使用する
と、反応域における粒状原料の圧潰強度が著しく
劣化して崩壊し、反応域におけるガス抜けが悪化
するため安定して連続操業を行なうことができな
いことを知見した。すなわち、前記方法は、シリ
カと炭素よりなる粒状原料を竪型の反応容器の上
部より装入して、連続的にSiC化反応を行なわし
める方法であり、前記粒状原料は取扱い時および
反応時において崩壊せず、当初の形状を保ち得る
強度を有するものであることが必要である。ま
た、微細な炭化珪素粉末を製造するためにはなる
べく低い反応温度で反応せしめることが好ましい
が、前記本発明者らが提案している如き連続的に
SiC化反応を行なわしめる方法は、前述の如き理
由で微細な炭素粉末を使用することができず、比
較的粗い粒径の反応性に劣る炭素粉末を使用せざ
るを得なかつたため、操業時の生産効率および作
業性を考慮すると比較的高い反応温度で操業を行
なわなければならない欠点を有していた。 このような観点に基づき、本発明者らは、極め
て微細な炭素粉末を使用した粒状原料の反応域に
おける圧潰強度を向上させるべく種々研究した結
果、極めて微細な炭素粉末を出発原料として使用
し原料を造粒するに際し、粒状原料の結合剤とし
て有機溶剤可溶性成分を含有する炭素系の結合剤
を使用し、かつ前記出発原料の混合時あるいは造
粒時に有機溶剤を使用することによつて反応域に
おいても圧潰強度が強く、当初の形状を保ち得る
粒状原料となすことができることを新規に知見
し、前記粒状原料を使用することによつて、極め
て微細なβ型結晶よりなる炭化珪素粉末を安価に
かつ容易に連続製造することができる発明を完成
するに至り、特願昭57−75324号により、「超微細
炭化珪素粉末の製造方法」に係る発明を提案して
いる。 しかしながら、本発明者らが先に提案した方法
によれば、粒状原料の結合剤として有機溶剤可溶
性成分を含有する炭素系の結合剤を使用し、かつ
前記出発原料の混合時あるいは造粒時に有機溶剤
を使用することが必要であつた。ところで、本発
明者らは、本発明者らが先に提案した方法をさら
に改良することを目的として種々研究した結果、
極めて微細な炭素粉末を出発原料として使用し原
料を造粒するに際し、前記炭素粉末と炭素系の結
合剤を溶解している分散媒液との濡れ性を著しく
改善することのできる界面活性剤を新規に知見
し、前記界面活性剤を使用することによつて、分
散媒液として有機溶剤以外の分散媒液を使用する
ことができ、かつ反応域においても圧潰強度が強
く、当初の形状を保ち得る粒状原料を容易に製造
することができることにより、極めて微細なβ型
結晶よりなる炭化珪素粉末を安価にかつ容易に連
続製造することができる本発明を完成するに至つ
た。 すなわち、本発明によれば、シリカと炭素と炭
素系の結合剤とを配合し、粒状に成形せしめた原
料を、予熱帯と加熱帯と冷却帯を有する反応容器
の上方より装入し、前記装入された原料を前記反
応容器の予熱帯内を連続的あるいは間歇的に自重
降下させつつ加熱帯に至らせ、前記加熱帯内で水
平方向に間接電気加熱し、反応域における装入原
料ならびに反応生成物の水平方向の温度分布がほ
ぼ均一になるように電力負荷と反応域を降下する
装入原料ならびに反応生成物の降下速度を制御し
てSiC化反応を行わせ、次いで反応生成物を冷却
帯に降下させ非酸化性雰囲気下で冷却後、前記反
応容器の冷却帯下部より連続的あるいは間歇的に
反応生成物を排出する炭化珪素の製造方法におい
て、 粒状に成形せしめた前記原料中の炭素の比表面
積を1〜1000m2/gの範囲内のものとし、そし
て、この原料は、遅くとも造粒される際には、炭
素粉末100重量部に対して少なくとも10重量部に
当たる量の分散媒液、および炭素粉末100重量部
に対して0.05〜5重量部に当たる量のアミン、カ
ルボキシル基を有する有機化合物、スルホ基を有
する有機化合物、およびエステルより選ばれるい
ずれか少なくとも1種である界面活性剤を媒体と
して、シリカと炭素粉末の合計100重量部に対し
て10〜40重量部に当たる量の有機溶剤可溶性成分
を含有する炭素系の結合剤を混合したものとし、
そして、加熱帯における反応温度を1500〜2000℃
の範囲内に制御してSiC化反応を行わせることに
よつて、超微細炭化珪素粉末を製造することがで
きる。 次に本発明を詳細に説明する。 シリカと炭素とを出発原料とする炭化珪素生成
反応は一般に下記式(1)によつて示されている。 SiO2+3C→SiC+2CO ………(1) しかしながら実際に主体となる生成機構は下記
式(2)によつてSiOガスが生成し、前記SiOガスと
炭素が下記式(3)にしたがつて反応して炭化珪素が
生成することが知られている。 SiO2+C→SiO+CO ………(2) SiO+2C→SiC+CO ………(3) ところで、本発明によれば、前記式(2)によつて
生成したSiOガスは前記式(3)にしたがつて速やか
にSiC化反応せしめ、反応容器内のSiOガス分圧
をそれ程上昇させないことが望ましい。なぜなら
ば、本発明において反応容器内のSiOガス分圧が
上昇するとSiOガス分圧の上昇に伴つて前記式(3)
にしたがう反応速度が相対的に速くなるが、この
場合の前記式(3)にしたがう反応はSiC結晶が成長
し粗大化する反応が主体となるので、SiOガス分
圧の高い条件下では、微細なSiC粒子を得ること
が困難になり、さらに著しい場合にはSiOガスの
一部が予熱帯へ上昇して下記式(4)、(5)、(6)に示す
如き反応を生起し、予熱帯においてSiO2、Si、
SiC、C等が混合した状態で析出する。前記析出
物は粘着性を有するため、原料が互いに凝結し、
炭化珪素を連続的に製造する上で最も重要な原料
の円滑な移動降下が著しく阻害され、長期間にわ
たる安定した連続操業が困難になる。 2SiO→SiO2+Si ………(4) SiO+CO→SiO2+C ………(5) 3SiO+CO→2SiO2+SiC ………(6) 本発明によれば、前記SiOガス分圧の上昇を抑
制し、極めて微細な炭化珪素粉末を得るために、
比表面積が1〜1000m2/gの範囲内の炭素粉末を
使用することが必要である。その理由は、前記比
表面積が1m2/gより小さいと前記式(3)にしたが
う反応の生起する箇所が少なく、結晶の成長によ
るSiCの生成反応が主体となるため、本発明の目
的とする微細な炭化珪素粉末を製造することが困
難であるし、一方1000m2/gより大きい比表面積
を有する炭素粉末は反応性の面から考慮すると極
めて好適であると考えられるが、そのような炭素
粉末は入手が困難であるばかりでなく、嵩比重が
極めて低いため、粒状物の気孔率が高くなり圧潰
強度が著しく低くなる欠点を有するからであり、
なかでも10〜500m2/gの範囲内の炭素粉末が入
手も比較的容易であり、かつ好適な結果を得るこ
とができる。 前記炭素粉末は主としてコンタクトブラツク、
フアーネスブラツク、サーマルブラツク、ランプ
ブラツクより選ばれるいずれか少なくとも1種の
カーボンブラツクであることが好ましいが、なか
でもサーマルブラツクはカーボンブラツク粒子の
連鎖構造あるいは鎖状構造すなわちストラクチヤ
ーが低く圧潰強度の強い粒状原料を容易に製造で
き最も好適である。 本発明によれば、シリカと炭素とを配合し、造
粒した原料が使用される。シリカと炭素とを粉体
のまま造粒せずに使用すると、反応時に生成する
COガスのガス抜けが悪化し反応が進み難くなる
欠点を有するからであり、前記粒状物の平均粒径
は3〜18mmの範囲内とすることが有利である。そ
の理由は、前記粒状物の平均粒径が3mmより小さ
いと粒状物とした効果が殆どなく、一方18mmより
大きいと粒状物内における反応速度が遅くなり、
経済的でないからである。 本発明によれば、前記粒状物は反応域の高温に
さらされても当初の形状を維持することが重要で
あり、前記炭素粉末は遅くとも造粒される際には
分散媒液および界面活性剤を媒体として炭素系の
結合剤と混合されていることが必要である。その
理由は、本発明で使用される如き極めて比表面積
の大きな炭素粉末は極めて凝集性が強く通常微細
な粒子が多数凝集した粒子群すなわち2次粒子の
形態で存在しており、シリカと混合して造粒する
に際し単に微粉状の結合剤を配合して混合するだ
けでは前記炭素粉末の凝集をほぐして結合剤を均
一に分散させることが困難であるが、前述の如く
分散媒液および界面活性剤を媒体として混合する
ことによつて炭素粉末と分散媒液との濡れ性を改
善することができ、炭素系の結合剤の分散媒液可
溶性成分を炭素粉末の2次粒子の内部にまで均一
に分散させることができることによるものと考え
られる。 本発明によれば、前記炭素系の結合剤は分散媒
液可溶性成分を少なくとも30重量%含有し、かつ
固定炭素を5〜80重量%含有するものであること
が好ましい。前記分散媒液可溶性成分を少なくと
も30重量%含有することが好ましい理由は、前記
分散媒液可溶性成分が30重量%より少ないと結合
剤を炭素粉末の2次粒子の内部にまで分散させる
ことが困難であるので目的とする圧潰強度を得る
ためには大量の炭素系の結合剤を必要とするから
である。一方、固定炭素を5〜80重量%含有する
ものであることが好ましい理由は、前記固定炭素
が5重量%より少ないと目的とする圧潰強度を得
るためには大量に配合しなければならず作業性に
劣るばかりでなく、粒状原料中に占める結合剤の
容積が大きくなるため、高温域における圧潰強度
を維持することが困難であるし、80重量%より多
いと実質的な結合剤としての作用効果が著しく低
く効率的に適用することが困難であるからであ
る。 本発明によれば、有機質液体を主成分とする分
散媒液を使用する場合には、炭素系の結合剤とし
て石油ピツチ、コールタールピツチ、木タールピ
ツチ、アスフアルト、フエノール樹脂、石油ター
ル、コールタール、木タールより選ばれるいずれ
か少なくとも1種を使用し、界面活性剤としてア
ミン、カルボキシル基を有する有機化合物、スル
ホ基を有する有機化合物、エステルより選ばれる
いずれか少なくとも1種を使用することが好まし
い。 本発明によれば、前記界面活性剤として例えば
ポリオキシ脂肪酸アミン、ソルビタン脂肪酸エス
テル、ジアルキルスルホンこはく酸エステル塩、
脂肪酸、アルキルアミン塩、ベンゼンスルホン
酸、ポリオキシソルビタン脂肪酸エステル、ポリ
オキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリ
エチレングリコール脂肪酸エステル、ペンタエリ
スリトール脂肪酸エステル、プロピレングリコー
ル酸エステル、しよ糖脂肪酸エステル、ポリグリ
セリン脂肪酸エステル、脂肪酸アルカノールアミ
ドあるいはアミンオキシドがあり、これらを単独
あるいは混合して使用することができる。 前記有機質液体は前記炭素系の結合剤の可溶性
成分をなるべく多く溶出できるものが有効であ
り、例えばベンゼン、アセトン、トルエン、ヘキ
サン、イソヘキサン、ヘプタン、イソヘプタン、
イソオクタン、シクロヘキサン、エチルベンゼ
ン、クロロホルム、四塩化炭素、ジクロロエタ
ン、ジクロロエチレン、トリクロロエチレン、ノ
ナン、キシレン、メチルアルコール、エチルアル
コール、ブチルアルコール、イソブチルアルコー
ル、プロピルアルコール、イソプロピルアルコー
ル、エチルエーテル、イソプロピルエーテル、ギ
酸エステル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソ
プロピル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ア
ミル、酪酸ブチル、炭酸ジエチル、フツ化酢酸、
ジエチレンジメチルエーテル、エチルメチルケト
ン、キノリンおよびこれらと同等の機能を有する
ものを使用することができる。 本発明によれば、水を主成分とする分散媒液を
使用する場合には、炭素系の結合剤としてフエノ
ール樹脂、リグニンスルホン酸塩、糖蜜、アルギ
ン酸塩より選ばれるいずれか少なくとも1種を使
用し、界面活性剤としてアミン、カルボキシル基
を有する有機化合物、スルホ基を有する有機化合
物、エステル、アンモニウム化合物、エーテル結
合を有する有機化合物より選ばれるいずれか少な
くとも1種を使用することが好ましい。 本発明によれば、前記界面活性剤として例えば
脂肪酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、直鎖
アルキルベンゼンスルホン酸塩、α−オレフイン
スルホン酸塩、ナフタレン−ホルマリン縮合物の
スルホン酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフエ
ニルエーテルがあり、これらを単独あるいは混合
して使用することができる。 本発明によれば、前記界面活性剤の添加量は炭
素粉末100重量部に対して0.05〜5重量部の範囲
内であることが好ましい。前記界面活性剤の添加
量が前記範囲より少ないと炭素粉末と分散媒液と
の濡れ性を改善する効果が極めて小さく、炭素系
の結合剤を炭素粉末の2次粒子の内部にまで均一
に分散させることが困難であり、前記範囲より多
い場合には界面活性剤を必要以上に添加すること
になり不経済である。 本発明によれば、前記粒状原料はシリカと炭素
粉末と炭素系の結合剤との配合物に、分散媒液お
よび界面活性剤を添加して混合した後、粒状に成
形せしめる方法あるいは炭素系の結合剤と分散媒
液と界面活性剤とを混合し、炭素系の結合剤の可
溶性成分を溶出させた混合液をシリカと炭素粉末
との混合物に添加して混合した後粒状に成形せし
める方法のいずれによつても好適に製造すること
ができる。 また、本発明によれば、前記混合物より分散媒
液を乾燥して除去した後解砕し再粉化させたもの
に粘結剤を添加して造粒することもできる。 なお、前記界面活性剤はあらかじめ炭素粉末と
混合して用いることもできる。 本発明によれば、前記混合時における分散媒液
中に溶出された炭素系の結合剤の固定炭素量は前
記シリカと炭素粉末の合計100重量部に対して1.5
〜30重量部とすることが好ましい。その理由は、
前記固定炭素量が1.5重量部より少ないと前記粒
状原料の反応域における圧潰強度が不充分であ
り、一方30重量部より多いと結合剤から生成する
炭素が炭素粉末を包みこんでしまうため、実質的
に炭素粉末の比表面積が減少し、粗大な炭化珪素
粒子が生成し易くなるからである。 本発明によれば、前記炭素系の結合剤をシリカ
と炭素粉末の合計100重量部に対して10〜40重量
部配合することが好ましい。その理由は、前記配
合量が10重量部より少ないと粒状原料の反応域に
おける圧潰強度が低く、反応容器内で生成物が崩
壊し易くなり、一方40重量部より多いと結合剤に
要する費用が増加するし、結合剤の熱分解によつ
て生成する炭素量が増加して粗大な炭化珪素粒子
が生成し易くなるからである。 本発明によれば、前記分散媒液を炭素粉末100
重量部に対して少なくとも10重量部配合すること
が好ましい。その理由は、前記分散媒液の配合量
が10重量部より少ないと前記結合剤を均一に分散
させることが困難であるからである。なお、前記
分散媒液の配合量は結合剤の均一分散性を考慮す
るとなるべく多い方が好ましいが、余り多いと不
経済であるため、前記配合量は500重量部以下と
することが有利である。 なお、上述の各配合量は、炭素粉末との関係を
考慮すれば足りる“分散媒液”と“界面活性剤”
については、炭素粉末100重量部に対する量とし、
一方、シリカと炭素粉末を結合させるための結合
剤については、両方の配合量との関係を明らかに
する必要から(シリカ+炭素粉末)100重量部に
対する配合量で示すこととした。 本発明によれば、微細な炭化珪素粉末を製造す
る上で、原料中の炭素量を増加させて前記式(3)の
反応が生起する箇所を増加させ、前記SiOガス分
圧の上昇を抑制することが有効であり、前記配合
原料におけるシリカと炭素のC/SiO2モル比を
3.2〜5.0の範囲内とすることが有利である。前記
C/SiO2モル比を3.2〜5.0の範囲内とすることが
有利である理由は、前記C/SiO2モル比が3.2よ
り小さいと、前記式(3)に従う反応を充分に行なわ
せ、SiOガス分圧を低く維持することが困難であ
り、一方5.0より大きいと反応に寄与しない過剰
の炭素を高温に加熱するために熱効率が低くなる
し、炭素原料に要する費用が増加するので不経済
であるからである。 本発明者らは、本発明の出発原料として使用さ
れるシリカと炭素および反応条件について種々研
究した結果、炭素粉末の比表面積が1〜1000m2
gの範囲内でかつシリカと炭素とからなる粒状原
料を用いて操業するに当り、シリカの平均粒径
(Xμm)、炭素粉末の比表面積(Sm2/g)、反応
温度(T〓)およびシリカと炭素とのC/SiO2
モル比(R)が下記関係式(7)を満足する場合に極
めて良好な結果を得ることができることを知見し
た。 S-1≦3.1×10-2R・X+1.1×104T-1 ………(7) また、本発明によれば、原料内の通気性を向上
させて反応容器内のSiOガス分圧を均一にするた
めに、前記配合原料を造粒し、粒状物の気孔率が
10〜60%、粒状物嵩密度が0.40〜1.13g/cm3の範
囲内の粒状原料となすことが有利である。 前記配合原料を造粒し、粒状物の気孔率を10〜
60%の範囲内とすることが有利である理由は、前
記気孔率が10%より低いと粒状物中における通気
性が悪く、反応生成ガスが放出され難く、粒状物
内で局部的にSiOガス分圧が高くなり、前述の如
く結晶粒の粗大化が発生し易いからであり、一方
前記気孔率は反応生成ガスの放出性の点を考慮す
ればなるべく高い方が好ましいが、60%より高い
と粒状物の強度が極めて低く、反応容器中で潰れ
通気性が著しく悪化するからであり、なかでも25
〜55%の範囲内において最も良い結果が得られ
る。 前記粒状原料の粒状物嵩密度を0.40〜1.13g/
cm3の範囲内とすることが有利である理由は、前記
嵩密度はなるべく低い方が通気性その他の点で有
利であるが、0.40g/cm3より低い粒状原料となす
ためには、前記粒状物の気孔率を著しく高める
か、あるいは粒状物の粒径を極めて均一に揃えな
ければならず、前記気孔率は余り高くすると前述
の如く粒状物の強度が著しく低下するし、また粒
状物の粒径を均一に揃えることは原料コストの著
しい増大につながるからであり、一方1.13g/cm3
より高いと反応生成ガスの通気性が悪く予熱帯に
おける高温ガスの流れが均一になり、原料と高温
ガスとの熱交換が不充分になるからであり、さら
にまた前記SiOガスよりの析出物の影響を受け易
くなり原料の円滑な自重降下が阻害され長期間の
安定した操業を維持することが困難になるからで
ある。前記粒状物嵩密度は0.50〜0.90g/cm3の範
囲内において最も良い結果が得られる。 なお、本発明によれば、前記粒状物嵩密度(D
g/cm3)は加熱帯における装入物の充填幅(W
m)と粒状物の気孔率(A%)で示される下記関
係式(8)を満足する場合にさらに好適な結果を得る
ことができる。 0.0146A(W−0.82)3+0.3≦D≦ −2.52A(W−0.22)3+1.0 ………(8) なお、前記粒状物の気孔率は単位嵩容積当りに
気孔の占める容積比率であり、嵩容積というのは
粒状物中に占める固体と内部空隙を含んだ容積で
ある。前記粒状物嵩密度は粒状物の一定容積の重
量、すなわち固体、内部空隙および外部空隙を含
んだ単位容積当りの重量である。前記装入物の充
填幅は反応容器の側壁から水平方向に最も遠くに
存在する装入物迄の距離の2倍である。 本発明によれば、前記粒状原料を予熱帯と加熱
帯と冷却帯を有する反応容器の上方より装入し、
前記装入された原料を前記反応容器の予熱帯内を
連続的あるいは間歇的に自動降下させつつ加熱帯
に至らせ、前記加熱帯内で水平方向に間接電気加
熱し、反応域における装入原料ならびに反応生成
物の水平方向の温度分布がほぼ均一になるよう電
力負荷と反応域を降下する装入原料ならびに反応
生成物の降下速度を制御してSiC化反応を行なわ
せ、次いで反応生成物を冷却帯に降下させ非酸化
性雰囲気下で冷却後、前記反応容器の冷却帯下部
より連続的あるいは間歇的に反応生成物が排出さ
れる。 本発明によれば、極めて微細な炭化珪素粉末を
製造する上で、加熱帯における反応温度を1500〜
2000℃の範囲内に制御することが必要である。そ
の理由は、前記反応温度が1500℃より低いと前記
式(2)で示される反応の反応速度が極めて遅く効率
的に炭化珪素粉末を製造することが困難であるか
らであり、一方2000℃より高いと一旦生成した炭
化珪素が結晶成長してα型炭化珪素に変化するた
め、本発明の目的とする極めて微細なβ型炭化珪
素粉末を製造することが困難であるからである。 なお、前記反応温度は、従来本発明者らが発明
し提案した炭化珪素の連続方法において必要とさ
れた反応温度に比較して低く、操業に要するエネ
ルギー量も少なくてすみ、かつ生産設備の耐久性
が著しく向上する等の利点をも有する。 また、前記加熱帯における装入物の降下速度
(Um/hr)を加熱帯における装入物の充填幅
(Wm)と加熱帯の高さ(Hm)の下記関係式(9)
で示される範囲内とすることが有利である。 H(8.3W2−5.8W+1.16)≦U ≦H(50W2−36.7W+7.3) ………(9) 前記加熱帯の高さは装入物を加熱する手段、す
なわち発熱体の発熱部における高さ方向の長さで
ある。 次に、本発明の方法の実施に直接使用する製造
装置の1例を図面を参照しながら説明する。 本発明の方法の実施に直接使用する装置は、第
1図に示す如く原料装入口1と予熱帯2と加熱帯
3と冷却帯4と密閉自在の生成物排出口5とを有
し、それらが縦方向にそれぞれ連接されてなる反
応容器6であつて、前記加熱帯を形成する筒7は
黒鉛製であり、加熱帯の装入物を間接電気加熱す
る手段8,9を具備し、少なくとも前記加熱帯の
外側に炭素あるいは黒鉛質よりなる断熱層10を
有するものである。 前記反応容器6は装置の中心部に設置され、間
接加熱手段8,9は黒鉛製発熱体8と前記発熱体
の外側に近接して設けられた黒鉛製反射筒9から
なる。前記加熱帯を形成する筒と黒鉛製反射筒に
囲まれた空間内には非酸化性ガス装入口11より
例えばアルゴン、ヘリウム、窒素、一酸化炭素、
水素、その他の非酸化性ガスが封入され、空気の
侵入による黒鉛製発熱体の酸化消耗が防止され
る。 以下、本発明を実施例について説明する。 実施例 1 平均粒径が153μmのシリカ粉末(SiO2=99.7重
量%)100重量部と比表面積が25m2/gのサーマ
ルブラツク粉末(F.C.=98.5重量%)63重量部と
ノボラツク型フエノール樹脂(F.C.=51.6重量
%)34重量部とポリオキシエチレンアルキルフエ
ニルエーテル1重量部とイソプロピルアルコール
140重量部を配合し、フレツトミルを使用して充
分混合した後乾燥して固形状の混合物を得た。次
いで前記固形状の混合物を解砕した解砕物をパン
型造粒機に投入しCMC0.5%水溶液をスプレーし
ながら造粒した後、バンド型通気乾燥機に入れて
熱風で90分間乾燥した。得られた粒状原料は平均
粒径が10.5mm、粒状物の気孔率が52%、粒状嵩密
度が0.62g/cm3、C/SiO2モル比が4.0であつた。 この粒状原料を第1図に示した如き縦型の間接
加熱炉の上部より装入し、前記加熱炉内を連続的
に自重降下させて、反応温度が1650℃に制御され
た加熱帯に至らせ、加熱帯における装入物を0.60
m/hrの降下速度で自重降下させつつ水平方向に
間接加熱してSiC化反応を行なわせた後、冷却帯
に自重降下させ、排出口より反応生成物を連続的
に排出させた。 使用した間接加熱炉の仕様は第1表に示した如
くであり、加熱帯における装入物の充填幅は0.24
mである。
The present invention mainly relates to a method for producing ultrafine silicon carbide powder that is excellent as a raw material for silicon carbide sintered bodies.
In particular, the present invention relates to a method for producing ultrafine silicon carbide powder having an average particle size of significantly less than 1 μm. The present inventors previously proposed an invention relating to a method for producing silicon carbide mainly composed of β-type crystals in Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-33899 and Japanese Patent Publication No. 55-40527,
For the first time in the world, we established an industrial continuous manufacturing method for silicon carbide made of β-type crystals. Silicon carbide consisting of the β-type crystals has recently been recognized to have extremely excellent properties when used as a raw material for producing pressureless sintered bodies, and according to such uses, the finer the silicon carbide, the better the sinterability or In order to have excellent uniform shrinkability, a particularly fine material is required. For example, according to Japanese Patent Application Laid-open No. 160200/1983, β-type silicon carbide with a submicron particle size produced by a plasma jet reaction than silicon halides and hydrocarbons is required. Powder and its manufacturing method are also disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1983-67599.
According to the publication, a method for producing high purity β-type silicon carbide powder of 1 μm or less obtained by thermally decomposing an organic silicon polymer compound is disclosed. however,
The starting materials used in the methods described in the above-mentioned publications are all extremely expensive, and an industrial production method that can inexpensively supply ultrafine silicon carbide powder consisting of β-type crystals that satisfies such requirements is needed. is still unknown. By the way, as a method for producing fine silicon carbide powder using silica, carbon, and starting materials, for example, an invention related to a "manufacturing method of pigmented silicon carbide" is disclosed in Japanese Patent Publication No. 10413/1983, For example, it is stated that it is important to use carbon powder as fine as possible in order to produce fine silicon carbide powder. Therefore, the present inventors attempted to use extremely fine carbon powder in the method previously proposed by the present inventors. However, in the method previously proposed by the present inventors, especially when the specific surface area is 1
If extremely fine carbon powder of m 2 /g or more is used, the crushing strength of the granular raw material in the reaction zone will significantly deteriorate and collapse, and gas release in the reaction zone will worsen, making stable continuous operation impossible. I found out that. That is, in the above method, a granular raw material made of silica and carbon is charged from the upper part of a vertical reaction vessel and a SiC conversion reaction is continuously performed. It needs to have enough strength to maintain its original shape without collapsing. Furthermore, in order to produce fine silicon carbide powder, it is preferable to carry out the reaction at as low a reaction temperature as possible;
The method of carrying out the SiC conversion reaction cannot use fine carbon powder for the reasons mentioned above, and has had to use carbon powder with a relatively coarse particle size and poor reactivity. In consideration of production efficiency and workability, this method had the disadvantage that it had to be operated at a relatively high reaction temperature. Based on this viewpoint, the present inventors conducted various studies to improve the crushing strength in the reaction zone of granular raw materials using extremely fine carbon powder. When granulating the granular raw materials, a carbon-based binder containing an organic solvent-soluble component is used as a binder for the granular raw materials, and an organic solvent is used during mixing or granulating the starting materials to form a reaction zone. We have newly discovered that it is possible to make a granular raw material that has high crushing strength and can maintain its original shape even in the case of granular raw materials. Having completed an invention that can be manufactured easily and continuously, the inventors proposed an invention relating to a ``method for manufacturing ultrafine silicon carbide powder'' in Japanese Patent Application No. 75324/1983. However, according to the method previously proposed by the present inventors, a carbon-based binder containing an organic solvent-soluble component is used as the binder for the granular raw materials, and the organic It was necessary to use a solvent. By the way, as a result of various research aimed at further improving the method proposed by the present inventors,
When granulating raw materials using extremely fine carbon powder as a starting material, a surfactant that can significantly improve the wettability between the carbon powder and a dispersion medium in which a carbon-based binder is dissolved is used. By newly discovering and using the above-mentioned surfactant, it is possible to use a dispersion medium other than an organic solvent as a dispersion medium, and the crushing strength is strong even in the reaction zone, and the original shape is maintained. By being able to easily produce the obtained granular raw material, the present invention has been completed, which allows silicon carbide powder consisting of extremely fine β-type crystals to be continuously produced at low cost and easily. That is, according to the present invention, a raw material prepared by blending silica, carbon, and a carbon-based binder and molded into granules is charged from above a reaction vessel having a preheating zone, a heating zone, and a cooling zone, and The charged raw materials are allowed to fall continuously or intermittently under their own weight in the pre-heating zone of the reaction vessel until they reach the heating zone, where they are indirectly electrically heated horizontally in the heating zone, and the charged raw materials and the raw materials in the reaction zone are The SiC conversion reaction is carried out by controlling the power load and the rate of descent of the charged raw materials and reaction products falling through the reaction zone so that the horizontal temperature distribution of the reaction products is almost uniform. In a method for producing silicon carbide, the reaction product is discharged continuously or intermittently from the lower part of the cooling zone of the reaction vessel after being lowered into a cooling zone and cooled in a non-oxidizing atmosphere. The specific surface area of carbon is in the range of 1 to 1000 m 2 /g, and this raw material is mixed with at least 10 parts by weight of dispersion medium per 100 parts by weight of carbon powder at the latest when it is granulated. liquid, and a surfactant that is at least one selected from amines, organic compounds having carboxyl groups, organic compounds having sulfo groups, and esters in an amount corresponding to 0.05 to 5 parts by weight per 100 parts by weight of carbon powder. As a medium, a carbon-based binder containing an organic solvent-soluble component in an amount of 10 to 40 parts by weight is mixed with a total of 100 parts by weight of silica and carbon powder,
Then, the reaction temperature in the heating zone was set to 1500 to 2000℃.
Ultrafine silicon carbide powder can be produced by controlling the SiC formation reaction within the range of . Next, the present invention will be explained in detail. A reaction for producing silicon carbide using silica and carbon as starting materials is generally represented by the following formula (1). SiO 2 +3C→SiC+2CO……(1) However, the actual main generation mechanism is that SiO gas is generated according to the following formula (2), and the SiO gas and carbon react according to the following formula (3). It is known that silicon carbide is produced by SiO 2 +C→SiO+CO……(2) SiO+2C→SiC+CO……(3) According to the present invention, the SiO gas generated according to the above formula (2) is converted according to the above formula (3). It is desirable to carry out the SiC formation reaction quickly and not to increase the SiO gas partial pressure in the reaction vessel to a large extent. This is because, in the present invention, when the SiO gas partial pressure in the reaction vessel increases, the equation (3)
However, in this case, the reaction according to equation (3) above is mainly a reaction in which SiC crystals grow and become coarse, so under conditions of high SiO gas partial pressure, fine It becomes difficult to obtain SiC particles, and in even more serious cases, a part of the SiO gas rises to the pre-preparation zone and causes reactions as shown in equations (4), (5), and (6) below, causing pre-preparation. In the tropics, SiO 2 , Si,
SiC, C, etc. are precipitated in a mixed state. Since the precipitate is sticky, the raw materials coagulate together,
The smooth movement and descent of the most important raw material in the continuous production of silicon carbide is significantly hindered, making stable continuous operation over a long period of time difficult. 2SiO→SiO 2 +Si (4) SiO+CO→SiO 2 +C (5) 3SiO+CO→2SiO 2 +SiC (6) According to the present invention, suppressing the increase in the SiO gas partial pressure, In order to obtain extremely fine silicon carbide powder,
It is necessary to use carbon powder with a specific surface area within the range of 1 to 1000 m 2 /g. The reason for this is that when the specific surface area is smaller than 1 m 2 /g, there are few places where the reaction according to the above formula (3) occurs, and the SiC production reaction due to crystal growth becomes the main reaction, which is the object of the present invention. It is difficult to produce fine silicon carbide powder, and on the other hand, carbon powder with a specific surface area larger than 1000 m 2 /g is considered to be extremely suitable from the viewpoint of reactivity. This is because it is not only difficult to obtain, but also has an extremely low bulk specific gravity, which has the disadvantage of increasing the porosity of the granules and significantly lowering the crushing strength.
Among them, carbon powder in the range of 10 to 500 m 2 /g is relatively easy to obtain, and suitable results can be obtained. The carbon powder is mainly used as contact black,
It is preferable to use at least one type of carbon black selected from furnace black, thermal black, and lamp black. Among them, thermal black has a chain structure or chain structure of carbon black particles, that is, a low structure and high crushing strength. This is the most suitable method because it allows easy production of granular raw materials. According to the present invention, a raw material obtained by blending silica and carbon and granulating the mixture is used. If silica and carbon are used as powder without granulation, they will be generated during the reaction.
This is because it has the disadvantage that the outgassing of CO gas deteriorates, making it difficult for the reaction to proceed. Therefore, it is advantageous for the average particle diameter of the granules to be within the range of 3 to 18 mm. The reason for this is that if the average particle diameter of the granules is smaller than 3 mm, there is almost no effect as a granule, while if it is larger than 18 mm, the reaction rate within the granules slows down.
This is because it is not economical. According to the present invention, it is important that the granules maintain their original shape even when exposed to the high temperature of the reaction zone, and the carbon powder is mixed with a dispersion medium and a surfactant at the latest when granulated. It is necessary to mix it with a carbon-based binder as a medium. The reason for this is that the carbon powder used in the present invention, which has an extremely large specific surface area, has extremely strong agglomeration properties and usually exists in the form of secondary particles, which are agglomerated large numbers of fine particles, and cannot be mixed with silica. When granulating, it is difficult to loosen the agglomeration of the carbon powder and disperse the binder uniformly by simply blending and mixing a fine powder binder. By mixing the agent as a medium, the wettability between the carbon powder and the dispersion medium can be improved, and the dispersion medium soluble components of the carbon-based binder can be uniformly distributed inside the secondary particles of the carbon powder. This is thought to be due to the fact that it can be dispersed into According to the present invention, the carbon-based binder preferably contains at least 30% by weight of dispersion medium soluble components and 5 to 80% by weight of fixed carbon. The reason why it is preferable to contain at least 30% by weight of the dispersion medium soluble component is that if the dispersion medium soluble component is less than 30% by weight, it is difficult to disperse the binder into the secondary particles of carbon powder. Therefore, a large amount of carbon-based binder is required to obtain the desired crushing strength. On the other hand, the reason why it is preferable to use fixed carbon in an amount of 5 to 80% by weight is that if the fixed carbon content is less than 5% by weight, a large amount must be added to obtain the desired crushing strength. Not only is the binder's properties inferior, but also the volume of the binder in the granular raw material increases, making it difficult to maintain crushing strength in high temperature ranges, and if it exceeds 80% by weight, it does not effectively act as a binder. This is because the effectiveness is extremely low and it is difficult to apply efficiently. According to the present invention, when using a dispersion medium containing an organic liquid as a main component, petroleum pitch, coal tar pitch, wood tar pitch, asphalt, phenolic resin, petroleum tar, coal tar, It is preferable to use at least one kind selected from wood tar, and to use at least one kind selected from amines, organic compounds having a carboxyl group, organic compounds having a sulfo group, and esters as a surfactant. According to the present invention, the surfactant may include, for example, polyoxy fatty acid amine, sorbitan fatty acid ester, dialkyl sulfone succinate salt,
Fatty acid, alkylamine salt, benzene sulfonic acid, polyoxysorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene glycerin fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid ester, pentaerythritol fatty acid ester, propylene glycol acid ester, sucrose fatty acid ester, polyglycerin fatty acid ester, fatty acid There are alkanolamides and amine oxides, and these can be used alone or in combination. It is effective for the organic liquid to be one that can elute as much of the soluble components of the carbon-based binder as possible, such as benzene, acetone, toluene, hexane, isohexane, heptane, isoheptane,
Isooctane, cyclohexane, ethylbenzene, chloroform, carbon tetrachloride, dichloroethane, dichloroethylene, trichloroethylene, nonane, xylene, methyl alcohol, ethyl alcohol, butyl alcohol, isobutyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, ethyl ether, isopropyl ether, formic acid ester, acetic acid Methyl, ethyl acetate, isopropyl acetate, ethyl propionate, amyl propionate, butyl butyrate, diethyl carbonate, acetic acid fluoride,
Diethylene dimethyl ether, ethyl methyl ketone, quinoline and those having equivalent functions can be used. According to the present invention, when using a dispersion medium mainly composed of water, at least one selected from phenolic resin, lignin sulfonate, molasses, and alginate is used as a carbon-based binder. However, it is preferable to use at least one selected from amines, organic compounds having a carboxyl group, organic compounds having a sulfo group, esters, ammonium compounds, and organic compounds having an ether bond as the surfactant. According to the present invention, the surfactant may be, for example, a fatty acid salt, an alkylbenzene sulfonate, a linear alkylbenzene sulfonate, an α-olefin sulfonate, a sulfonate of a naphthalene-formalin condensate, a polyoxyethylene alkyl phenyl There are ethers, and these can be used alone or in combination. According to the present invention, the amount of the surfactant added is preferably within the range of 0.05 to 5 parts by weight per 100 parts by weight of carbon powder. If the amount of the surfactant added is less than the above range, the effect of improving the wettability between the carbon powder and the dispersion medium will be extremely small, and the carbon-based binder will not be uniformly dispersed even inside the secondary particles of the carbon powder. If the amount exceeds the above range, more surfactant will be added than necessary, which is uneconomical. According to the present invention, the granular raw material is produced by adding a dispersion medium and a surfactant to a mixture of silica, carbon powder, and a carbon-based binder, mixing the mixture, and then forming the mixture into granules. A method of mixing a binder, a dispersion medium, and a surfactant, and adding the mixed solution in which the soluble components of the carbon-based binder have been eluted to a mixture of silica and carbon powder, mixing, and then forming the mixture into granules. It can be suitably manufactured by either method. Further, according to the present invention, the dispersion medium can be dried and removed from the mixture, then crushed and re-pulverized, and a binder can be added to the resulting mixture for granulation. Note that the surfactant can also be used by being mixed with carbon powder in advance. According to the present invention, the amount of fixed carbon in the carbon-based binder eluted into the dispersion medium during the mixing is 1.5 with respect to 100 parts by weight of the silica and carbon powder in total.
It is preferable to set it as 30 parts by weight. The reason is,
If the amount of fixed carbon is less than 1.5 parts by weight, the crushing strength of the granular raw material in the reaction zone will be insufficient, while if it is more than 30 parts by weight, the carbon generated from the binder will envelop the carbon powder, resulting in This is because the specific surface area of the carbon powder decreases, and coarse silicon carbide particles are likely to be produced. According to the present invention, it is preferable to mix 10 to 40 parts by weight of the carbon-based binder with respect to a total of 100 parts by weight of silica and carbon powder. The reason for this is that if the amount is less than 10 parts by weight, the crushing strength of the granular raw material in the reaction zone will be low and the product will easily collapse in the reaction vessel, while if it is more than 40 parts by weight, the cost of the binder will be high. This is because the amount of carbon produced by thermal decomposition of the binder increases, making it easier to produce coarse silicon carbide particles. According to the present invention, the dispersion medium liquid is mixed with carbon powder 100
It is preferable to add at least 10 parts by weight. The reason for this is that if the blending amount of the dispersion medium is less than 10 parts by weight, it is difficult to uniformly disperse the binder. In addition, it is preferable that the blending amount of the dispersion medium liquid be as large as possible considering the uniform dispersibility of the binder, but since it is uneconomical if it is too large, it is advantageous that the blending amount is 500 parts by weight or less. . In addition, the above-mentioned amounts of the "dispersion medium" and "surfactant" are sufficient if the relationship with the carbon powder is taken into consideration.
The amount is based on 100 parts by weight of carbon powder,
On the other hand, with regard to the binder for bonding silica and carbon powder, it was decided to show the amount to be blended based on 100 parts by weight (silica + carbon powder) because it was necessary to clarify the relationship between the blending amounts of both. According to the present invention, in producing fine silicon carbide powder, the amount of carbon in the raw material is increased to increase the number of locations where the reaction of formula (3) occurs, thereby suppressing the increase in the SiO gas partial pressure. It is effective to change the C/SiO 2 molar ratio of silica and carbon in the blended raw materials.
Advantageously, it is in the range 3.2 to 5.0. The reason why it is advantageous to set the C/SiO 2 molar ratio within the range of 3.2 to 5.0 is that when the C/SiO 2 molar ratio is smaller than 3.2, the reaction according to the formula (3) can be sufficiently carried out; It is difficult to maintain the SiO gas partial pressure low, and on the other hand, if it is greater than 5.0, excess carbon that does not contribute to the reaction is heated to a high temperature, resulting in low thermal efficiency and an increase in the cost of carbon raw materials, which is uneconomical. This is because. The present inventors conducted various studies on the silica and carbon used as starting materials in the present invention and the reaction conditions, and found that the specific surface area of the carbon powder was 1 to 1000 m 2 /
When operating within the range of C/SiO 2 of silica and carbon
It has been found that extremely good results can be obtained when the molar ratio (R) satisfies the following relational expression (7). S -1 ≦3.1×10 -2 R・X+1.1×10 4 T -1 ………(7) Furthermore, according to the present invention, the permeability in the raw materials is improved to reduce the SiO gas content in the reaction vessel. In order to make the pressure uniform, the above-mentioned blended raw materials are granulated, and the porosity of the granules is
It is advantageous to use a granular raw material with a bulk density of 0.40 to 1.13 g/cm 3 . The above blended raw materials are granulated, and the porosity of the granules is reduced to 10~10.
The reason why it is advantageous to keep the porosity within the range of 60% is that if the porosity is lower than 10%, the permeability in the granules will be poor, making it difficult for the reaction product gas to be released, and SiO gas will be generated locally within the granules. This is because the partial pressure becomes high, which tends to cause coarsening of crystal grains as described above.On the other hand, the porosity is preferably as high as possible considering the release of reaction product gas, but it is higher than 60%. This is because the strength of the granules is extremely low, and they will collapse in the reaction vessel, resulting in a marked deterioration of air permeability.
Best results are obtained within a range of ~55%. The granular bulk density of the granular raw material is 0.40 to 1.13 g/
The reason why it is advantageous to keep the bulk density within the range of 0.40 g/cm 3 is that the lower the bulk density is, the more advantageous it is in terms of air permeability and other aspects. Either the porosity of the granules must be significantly increased or the particle size of the granules must be made extremely uniform; if the porosity is too high, the strength of the granules will decrease significantly as described above, and the porosity of the granules must be made extremely uniform. This is because making the particle size uniform leads to a significant increase in raw material cost ;
If the temperature is higher, the permeability of the reaction product gas will be poor, the flow of the high temperature gas in the pre-heating zone will be uniform, and the heat exchange between the raw material and the high temperature gas will be insufficient.Furthermore, the precipitates from the SiO gas will be This is because the raw material becomes susceptible to the influence and the smooth fall of its own weight is inhibited, making it difficult to maintain stable operation for a long period of time. The best results can be obtained when the bulk density of the granules is within the range of 0.50 to 0.90 g/cm 3 . According to the present invention, the bulk density of the granules (D
g/cm 3 ) is the charging width (W
More suitable results can be obtained when the following relational expression (8) expressed by m) and the porosity (A%) of the granular material is satisfied. 0.0146A (W-0.82) 3 +0.3≦D≦-2.52A (W-0.22) 3 +1.0 ......(8) The porosity of the granular material is the volume occupied by pores per unit bulk volume. The bulk volume is the volume that includes solids and internal voids in the granules. The bulk density of the granules is the weight of a given volume of the granules, ie the weight per unit volume including solids, internal voids and external voids. The filling width of the charge is twice the distance from the side wall of the reaction vessel to the farthest horizontal charge. According to the present invention, the granular raw material is charged from above a reaction vessel having a preheating zone, a heating zone, and a cooling zone,
The charged raw material is automatically lowered continuously or intermittently through the pre-heating zone of the reaction vessel until it reaches the heating zone, and is indirectly electrically heated horizontally within the heating zone to cool the charged raw material in the reaction zone. In addition, the SiC conversion reaction is carried out by controlling the power load and the rate of descent of the charged raw materials and reaction products descending through the reaction zone so that the horizontal temperature distribution of the reaction products is almost uniform. After being lowered into the cooling zone and cooled in a non-oxidizing atmosphere, the reaction product is continuously or intermittently discharged from the lower part of the cooling zone of the reaction vessel. According to the present invention, in producing extremely fine silicon carbide powder, the reaction temperature in the heating zone is set at 1500-
It is necessary to control the temperature within the range of 2000℃. The reason for this is that when the reaction temperature is lower than 1500°C, the reaction rate of the reaction represented by formula (2) is extremely slow and it is difficult to efficiently produce silicon carbide powder; This is because if the temperature is too high, silicon carbide once produced undergoes crystal growth and changes to α-type silicon carbide, making it difficult to produce extremely fine β-type silicon carbide powder, which is the object of the present invention. Note that the reaction temperature is lower than that required in the conventional continuous silicon carbide method invented and proposed by the present inventors, requires less energy for operation, and reduces the durability of production equipment. It also has advantages such as significantly improved properties. In addition, the rate of descent of the charge in the heating zone (Um/hr) can be calculated using the following relational expression (9) between the filling width of the charge in the heating zone (Wm) and the height of the heating zone (Hm).
It is advantageous to keep it within the range shown in . H (8.3W 2 -5.8W + 1.16) ≦U ≦H (50W 2 -36.7W + 7.3) ...... (9) The height of the heating zone is the means for heating the charge, that is, the heat generation of the heating element. This is the length in the height direction at the part. Next, an example of a manufacturing apparatus directly used for carrying out the method of the present invention will be described with reference to the drawings. The apparatus directly used for carrying out the method of the present invention has a raw material charging port 1, a preheating zone 2, a heating zone 3, a cooling zone 4, and a sealable product outlet 5, as shown in FIG. The tube 7 forming the heating zone is made of graphite and is equipped with means 8 and 9 for indirectly electrically heating the charge in the heating zone, and includes at least A heat insulating layer 10 made of carbon or graphite is provided outside the heating zone. The reaction vessel 6 is installed in the center of the apparatus, and the indirect heating means 8 and 9 are composed of a graphite heating element 8 and a graphite reflection tube 9 provided close to the outside of the heating element. In the space surrounded by the cylinder forming the heating zone and the graphite reflector cylinder, for example, argon, helium, nitrogen, carbon monoxide,
Hydrogen and other non-oxidizing gases are sealed to prevent the graphite heating element from being consumed by oxidation due to air intrusion. Hereinafter, the present invention will be explained with reference to examples. Example 1 100 parts by weight of silica powder (SiO 2 =99.7% by weight) with an average particle size of 153 μm, 63 parts by weight of thermal black powder (FC = 98.5% by weight) with a specific surface area of 25 m 2 /g, and novolac type phenolic resin ( FC=51.6% by weight) 34 parts by weight, 1 part by weight of polyoxyethylene alkyl phenyl ether, and isopropyl alcohol
140 parts by weight were blended, thoroughly mixed using a fret mill, and then dried to obtain a solid mixture. Next, the crushed product obtained by crushing the solid mixture was placed in a pan-type granulator and granulated while spraying a 0.5% CMC aqueous solution, and then placed in a band-type ventilation dryer and dried with hot air for 90 minutes. The obtained granular raw material had an average particle diameter of 10.5 mm, a porosity of the granules of 52%, a granular bulk density of 0.62 g/cm 3 , and a C/SiO 2 molar ratio of 4.0. This granular raw material is charged from the top of a vertical indirect heating furnace as shown in Fig. 1, and is continuously lowered by its own weight inside the heating furnace until it reaches a heating zone where the reaction temperature is controlled at 1650°C. The charge in the heating zone is 0.60
After the SiC conversion reaction was carried out by indirect heating in the horizontal direction while lowering the reactor by its own weight at a descending rate of m/hr, the reactor was lowered by its own weight into a cooling zone, and the reaction product was continuously discharged from the outlet. The specifications of the indirect heating furnace used are as shown in Table 1, and the charging width in the heating zone is 0.24.
It is m.

【表】【table】

【表】 得られた反応生成物から遊離炭素を除去した
後、内径が250mmφのボールミルを用いて回転数
48rpmで5hr湿式解砕し、さらに10%HF水溶液に
3hr浸漬して遊離シリカを除去精製した。前記精
製して得られた炭化珪素中のβ型結晶よりなる炭
化珪素の含有率はX線回析によつて測定したとこ
ろ96.1%であり、その比表面積は35.6m2/gであ
つた。また、その粒子形状を走査型電子顕微鏡で
観察したところ、極めて丸い形状で、比較的粒径
がそろつた微粉末であることが認められた。 実施例2、比較例1 実施例1と同様であるが、第2表に示した如
く、界面活性剤、結合剤あるいは分散媒液の配合
量を換えて調製した粒状原料を使用して反応生成
物を得た。 すなわち、第2表において、実施例2−1は界
面活性剤の配合量を本発明の下限まで下げた例で
あり、SiCの反応効率は改善されるものの、比表
面積が小さくなり、この配合量が限界であること
が判つた。 また、比較例の1−1は、該界面活性剤の配合
量を著しく少なくした例(0.02重量部)である
が、結合剤添加の効果が発揮されず、原料が加熱
炉内で崩れた。従つて、この界面活性剤の配合量
は炭素粉末100重量部に対して0.05重量部以上が
必要であることが判つた。 次に、実施例の2−2は、界面活性剤の配合量
を、本発明の上限値近くまでとした例、実施例の
2−3は分散媒液の配合量を少なくした例である
が、いずれもSiCの反応効率は若干向上している
ものの、比表面積が小さくなつた。 次に、実施例2−4は、分散媒液の配合量を炭
素粉末100重量部に対して200重量部と多くした例
であるが、SiC反応効率、比表面積ともに改善さ
れたものの、使用量が多いために経済的に不利で
ある。 なお、比較例1−2は、結合剤を、シリカと炭
素の合計100重量部に対して7重量部しか配合し
ない例であり、結合剤添加の効果が顕れず、原料
が加熱炉内で崩壊し、好ましくないことが判つ
た。
[Table] After removing free carbon from the obtained reaction product, the rotation speed was measured using a ball mill with an inner diameter of 250 mmφ.
Wet crushing at 48 rpm for 5 hours, and further into 10% HF aqueous solution.
Free silica was removed and purified by immersion for 3 hours. The content of silicon carbide consisting of β-type crystals in the purified silicon carbide was determined by X-ray diffraction to be 96.1%, and the specific surface area was 35.6 m 2 /g. Furthermore, when the particle shape was observed using a scanning electron microscope, it was found to be a fine powder with an extremely round shape and relatively uniform particle size. Example 2, Comparative Example 1 Same as Example 1, but as shown in Table 2, reaction production was performed using granular raw materials prepared by changing the blending amounts of surfactant, binder, or dispersion medium. I got something. In other words, in Table 2, Example 2-1 is an example in which the blending amount of the surfactant was lowered to the lower limit of the present invention, and although the reaction efficiency of SiC is improved, the specific surface area becomes small, and this blending amount was found to be the limit. Furthermore, in Comparative Example 1-1, the amount of the surfactant blended was significantly reduced (0.02 parts by weight), but the effect of the addition of the binder was not exhibited and the raw material collapsed in the heating furnace. Therefore, it was found that the amount of this surfactant to be blended is required to be 0.05 parts by weight or more per 100 parts by weight of carbon powder. Next, Example 2-2 is an example in which the blending amount of the surfactant is close to the upper limit of the present invention, and Example 2-3 is an example in which the blending amount of the dispersion medium is reduced. In both cases, although the reaction efficiency of SiC has improved slightly, the specific surface area has become smaller. Next, Example 2-4 is an example in which the blending amount of the dispersion medium was increased to 200 parts by weight per 100 parts by weight of carbon powder. Although both the SiC reaction efficiency and specific surface area were improved, the amount used was It is economically disadvantageous because there are many Comparative Example 1-2 is an example in which only 7 parts by weight of the binder is added to the total of 100 parts by weight of silica and carbon, and the effect of adding the binder is not apparent and the raw material disintegrates in the heating furnace. However, it turned out to be undesirable.

【表】【table】

【表】 前記実施例2はいずれも長期間安定して連続操
業することができた。これに対し、比較例1はい
ずれも加熱炉内で装入物が崩壊し、連続操業が困
難であつた。 実施例 3 実施例1と同様であるが、ポリオキシエチレン
アルキルフエニルエーテルに換えて脂肪酸塩、ア
ルキルベンゼンスルホン酸塩、直鎖アルキルベン
ゼンスルホン酸塩、α−オレフインスルホン酸
塩、ナフタレン−ホルマリン縮合物のスルホン酸
塩、ポリオキシエチレンノニルフエノールエーテ
ルをそれぞれ使用して粒状原料を調製し、反応生
成物を得た。 前記反応生成物を精製して得られた炭化珪素粉
末はいずれも極めて微細で本発明の目的を充分に
満足させるものであつた。また操業も長時間安定
して行なうことができた。 実施例 4 実施例1と同様であるが、結合剤としてフエノ
ール樹脂に換えてリグニンスルホン酸塩、糖蜜お
よびアルギン酸を使用し、分散媒液として水を使
用して粒状原料を調製し、実施例1と同様に反応
生成物を得た。 前記反応生成物の圧潰強度は実施例1で得られ
た反応生成物に比較していずれも若干低かつた
が、精製して得られた炭化珪素粉末はいずれも極
めて微細で本発明の目的を充分に満足させるもの
であり、また操業も長時間安定して行なうことが
できた。 なお、前記粒状原料中のC/SiO2モル比はい
ずれも4.0になるよう調製した。 実施例 5 実施例1と同様であるが、炭素としてチヤンネ
ルブラツク粉末(比表面積=128m2/g、F.C.=
98.1重量%)を使用して調製した粒状原料を使用
して反応生成物を得た。 得られた反応生成物の特性は第2表に示した。
また操業は極めて長期間にわたつて安定してい
た。 実施例 6 実施例1と同様であるが、実施例1よりも高い
反応温度1900℃に制御し、かつ装入物の降下速度
を0.80m/hrに速めて反応生成物を得た。 得られた反応生成物の物性は実施例1と同様の
方法で測定した。結果は第2表に示した如く、炭
化珪素粉末の比表面積が28.6m2/gと若干小さく
なつたが、装入物の自重降下も順調で長期間安定
して連続操業することができ、単位設備あたりの
生産能力が高かつた。 実施例 7 実施例1で使用したと同様のシリカ粉末100重
量部と実施例1で使用したと同様のサーマルブラ
ツク粉末67重量部と高ピツチ粉(ベンゼン可溶性
成分=65.7重量%、F.C.=50.4重量%)20重量部
とポリオキシエチレンドデシルアミン0.5重量部
とベンゼン150重量部を配合し、フレツトミルを
使用して充分混合した後乾燥して固形状の混合物
を得た。ついで前記固形状の混合物より実施例1
と同様にして粒状原料を得た。得られた粒状原料
は平均粒径が11.7mm、粒状物の気孔率が49%、粒
状物嵩密度が0.60g/cm3、C/SiO2モル比が3.8
であつた。 前記粒状原料を使用し、実施例1と同様にして
反応生成物を得た。 得られた反応生成物の物性は実施例1と同様の
方法で測定した。結果は第2表に示した。 実施例 8 実施例7と同様であるが、結合剤として石油タ
ール(F.C.=19.6重量%)50重量部、分散媒液と
してトルエン180重量部を使用して粒状原料を調
製し、実施例1と同様に反応生成物を得た。 得られた反応生成物の物性は実施例1と同様の
方法で測定し、結果は第2表に示した。 前記実施例7および実施例8はいずれも長期間
安定して連続操業することができた。 実施例 9 実施例7と同様であるが、ポリオキシドデシル
アミンに換えてプロピレングリコール脂肪酸エス
テル、ポリオキシソルビタン脂肪酸エステル、ポ
リオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポ
リエチレングリコール脂肪酸エステル、ペンタエ
リスリトール脂肪酸エステル、しよ糖脂肪酸エス
テル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、脂肪酸ア
ルカノールアミドおよびアミンオキシドを使用し
て粒状原料を調製し、実施例1と同様にして反応
生成物を得た。 前記反応生成物はいずれも連続操業を行なうに
好適な圧潰強度を有しており、長時間安定して連
続操業を行なうことができた。なお、前記反応生
成物を精製して得られた炭化珪素はいずれも極め
て微細であつた。 以上、本発明によれば、炭化珪素無加圧焼結体
を製造するに適した平均粒径が1μmを大きく下
まわる比表面積の極めて大きな超微細炭化珪素粉
末を高収率にかつ容易に製造することができるも
のであつて産業上に寄与する効果は極めて大き
い。
[Table] All of the above-mentioned Example 2 were able to operate stably and continuously for a long period of time. On the other hand, in Comparative Example 1, the charge collapsed in the heating furnace, making continuous operation difficult. Example 3 Same as Example 1, but fatty acid salt, alkylbenzene sulfonate, linear alkylbenzene sulfonate, α-olefin sulfonate, naphthalene-formalin condensate was used instead of polyoxyethylene alkyl phenyl ether. Granular raw materials were prepared using sulfonic acid salts and polyoxyethylene nonylphenol ether, respectively, and reaction products were obtained. All of the silicon carbide powders obtained by purifying the reaction products were extremely fine and fully satisfied the purpose of the present invention. In addition, stable operation was possible for a long period of time. Example 4 A granular material was prepared as in Example 1, but using lignin sulfonate, molasses and alginic acid instead of phenolic resin as the binder and water as the dispersion medium. A reaction product was obtained in the same manner as above. Although the crushing strength of the reaction products was slightly lower than that of the reaction product obtained in Example 1, the silicon carbide powders obtained by purification were all extremely fine and could not meet the purpose of the present invention. This was fully satisfactory, and the operation could be carried out stably for a long period of time. The C/SiO 2 molar ratio in each of the granular raw materials was adjusted to 4.0. Example 5 Same as Example 1, but channel black powder (specific surface area = 128 m 2 /g, FC =
The reaction product was obtained using a granular raw material prepared using 98.1% by weight). The properties of the reaction product obtained are shown in Table 2.
Additionally, operations remained stable for an extremely long period of time. Example 6 A reaction product was obtained in the same manner as in Example 1, except that the reaction temperature was controlled at 1900°C, which was higher than in Example 1, and the rate of descent of the charge was increased to 0.80 m/hr. The physical properties of the obtained reaction product were measured in the same manner as in Example 1. As shown in Table 2, the specific surface area of the silicon carbide powder was slightly smaller at 28.6 m 2 /g, but the dead weight of the charge fell smoothly and stable continuous operation was possible for a long period of time. The production capacity per unit of equipment was high. Example 7 100 parts by weight of silica powder similar to that used in Example 1, 67 parts by weight of thermal black powder similar to that used in Example 1, and high pitch powder (benzene soluble component = 65.7% by weight, FC = 50.4% by weight) %), 0.5 parts by weight of polyoxyethylene dodecylamine, and 150 parts by weight of benzene were mixed thoroughly using a fret mill, and then dried to obtain a solid mixture. Then Example 1 was prepared from the solid mixture.
A granular raw material was obtained in the same manner as above. The obtained granular raw material had an average particle diameter of 11.7 mm, a porosity of the granules of 49%, a bulk density of the granules of 0.60 g/cm 3 , and a C/SiO 2 molar ratio of 3.8.
It was hot. A reaction product was obtained in the same manner as in Example 1 using the granular raw material. The physical properties of the obtained reaction product were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2. Example 8 A granular raw material was prepared in the same manner as in Example 7, but using 50 parts by weight of petroleum tar (FC = 19.6% by weight) as a binder and 180 parts by weight of toluene as a dispersion medium. A reaction product was obtained in the same manner. The physical properties of the obtained reaction product were measured in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2. Both Example 7 and Example 8 were able to operate stably and continuously for a long period of time. Example 9 Same as Example 7, but propylene glycol fatty acid ester, polyoxysorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene glycerin fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid ester, pentaerythritol fatty acid ester, sucrose instead of polyoxydodecylamine. A granular raw material was prepared using a fatty acid ester, a polyglycerin fatty acid ester, a fatty acid alkanolamide, and an amine oxide, and a reaction product was obtained in the same manner as in Example 1. All of the reaction products had a crushing strength suitable for continuous operation, and it was possible to carry out stable continuous operation for a long period of time. Note that the silicon carbide obtained by purifying the reaction product was extremely fine. As described above, according to the present invention, ultrafine silicon carbide powder with an extremely large specific surface area and an average particle diameter well below 1 μm, which is suitable for producing a pressureless sintered body of silicon carbide, can be easily produced in high yield. The effect of contributing to industry is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図は本発明の実施例および比較例において使用
した竪型連続製造装置の縦断面図である。 1……原料装入口、2……予熱帯、3……加熱
帯、4……冷却帯、5……生成物排出口、6……
反応容器、7……加熱帯を形成する筒、8……黒
鉛製発熱体、9……黒鉛製反射筒、10……断熱
層、11……非酸化性ガス装入口、12……案内
電極、13……可とう導体、14……ブスバー、
15……測温パイプ、16……外殻、17……耐
火煉瓦、18……排気ダクト、19……原料ホツ
パー。
The figure is a longitudinal sectional view of a vertical continuous manufacturing apparatus used in Examples and Comparative Examples of the present invention. 1... Raw material charging port, 2... Pre-preparation zone, 3... Heating zone, 4... Cooling zone, 5... Product discharge port, 6...
Reaction vessel, 7...Cylinder forming a heating zone, 8...Heating element made of graphite, 9...Reflector tube made of graphite, 10...Insulating layer, 11...Non-oxidizing gas charging port, 12...Guiding electrode , 13... Flexible conductor, 14... Bus bar,
15... Temperature measuring pipe, 16... Outer shell, 17... Refractory brick, 18... Exhaust duct, 19... Raw material hopper.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 主としてシリカと炭素とを粒状に成形せしめ
た原料を、反応容器内に装入して予熱帯内を連続
的あるいは間歇的に自重降下させつつ加熱帯に至
らしめ、この加熱帯の反応域においては、装入原
料ならびに反応生成物の水平方向の温度分布がほ
ぼ均一になるように電力負荷をかけると共に降下
速度を制御しながら間接電気加熱することにより
SiC化反応を行わせ、次いで反応生成物を冷却帯
に降下させ非酸化性雰囲気下で冷却後、前記反応
容器の冷却帯下部より連続的あるいは間歇的に反
応生成物を排出する炭化珪素の製造方法におい
て、 粒状に成形せしめた前記原料中の炭素の比表面
積を1〜1000m2/gの範囲内のものとし、 そして、この原料は、遅くとも造粒される際に
は、 炭素粉末100重量部に対して少なくとも10重量
部に当たる量の分散媒液、及び炭素粉末100重量
部に対して0.05〜5重量部に当たる量のアミン、
カルボキシル基を有する有機化合物、スルホ基を
有する有機化合物、およびエステルより選ばれる
いずれか少なくとも1種である界面活性剤を媒体
として、 シリカと炭素粉末の合計100重量部に対して10
〜40重量部に当たる量の有機溶剤可溶性成分を含
有する炭素系の結合剤を混合したものとし、 そして、加熱帯における反応温度を1500〜2000
℃の範囲内に制御してSiC化反応を行わせること
を特徴とする超微細炭化珪素粉末の製造方法。 2 前記炭素粉末は、主としてコンタクトブラツ
ク、フアーネスブラツク、サーマルブラツク、ラ
ンプブラツクより選ばれるいずれか少なくとも1
種である特許請求の範囲第1項記載の製造方法。 3 前記炭素系の結合剤は、分散媒液可溶性成分
を少なくとも30重量%含有し、かつ固定炭素を5
〜80重量%含有する特許請求の範囲第1項あるい
は第2項記載の製造方法。 4 有機質液体を主成分とする分散媒液を使用
し、炭素系の結合剤として、石油ピツチ、コール
タールピツチ、木タールピツチ、アスフアルト、
フエノール樹脂、石油タール、コールタール、木
タールより選ばれるいずれか少なくとも1種を使
用し、界面活性剤としてアミン、カルボキシル基
を有する有機化合物、スルホ基を有する有機化合
物、およびエステルより選ばれるいずれか少なく
とも1種を使用する特許請求の範囲第1〜3項の
いずれかに記載の製造方法。 5 水を主成分とする分散媒液を使用し、炭素系
の結合剤としてフエノール樹脂、リグニンスルホ
ン酸塩、糖蜜、アルギン酸塩より選ばれるいずれ
か少なくとも1種を使用し、界面活性剤としてア
ミン、カルボキシル基を有する有機化合物、スル
ホ基を有する有機化合物、エステル、アンモニウ
ム化合物、エーテル結合を有する有機化合物より
選ばれるいずれか少なくとも1種を使用する特許
請求の範囲第1〜3項のいずれかに記載の製造方
法。 6 前記有機質液体は、ベンゼン、アセトン、ト
ルエン、ヘキサン、イソヘキサン、ヘプタン、イ
ソヘプタン、イソオクタン、シクロヘキサン、エ
チルベンゼン、クロロホルム、四塩化炭素、ジク
ロロエタン、ジクロロエチレン、トリクロロエチ
レン、ノナン、キシレン、メチルアルコール、エ
チルアルコール、ブチルアルコール、イソブチル
アルコール、プロピルアルコール、イソプロピル
アルコール、エチルエーテル、イソプロピルエー
テル、ギ酸エステル、酢酸メチル、酢酸エチル、
酢酸イソプロピル、プロピオン酸エチル、プロピ
オン酸アミル、酪酸ブチル、炭酸ジエチル、フツ
化酢酸、ジエチレンジメチルエーテル、エチルメ
チルケトン、キノリンより選ばれるいずれか少な
くとも1種である特許請求の範囲第4項記載の製
造方法。
[Scope of Claims] 1. A raw material made of mainly silica and carbon formed into granules is charged into a reaction vessel and allowed to fall under its own weight continuously or intermittently in a preheating zone until it reaches a heating zone. In the reaction zone of the heating zone, indirect electrical heating is applied while controlling the rate of descent while applying a power load so that the horizontal temperature distribution of the charged raw materials and reaction products is almost uniform.
Production of silicon carbide by carrying out a SiC conversion reaction, then dropping the reaction product into a cooling zone, cooling it in a non-oxidizing atmosphere, and then discharging the reaction product continuously or intermittently from the lower part of the cooling zone of the reaction vessel. In the method, the specific surface area of carbon in the raw material formed into granules is in the range of 1 to 1000 m 2 /g, and this raw material, when granulated at the latest, contains 100 parts by weight of carbon powder. a dispersion medium in an amount corresponding to at least 10 parts by weight based on the carbon powder, and an amine in an amount corresponding to at least 0.05 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the carbon powder,
Using a surfactant selected from at least one of an organic compound having a carboxyl group, an organic compound having a sulfo group, and an ester as a medium, 10
A carbon-based binder containing an organic solvent-soluble component in an amount of ~40 parts by weight was mixed, and the reaction temperature in the heating zone was set to 1500 to 2000.
1. A method for producing ultrafine silicon carbide powder, characterized in that the SiC formation reaction is controlled within a temperature range of °C. 2. The carbon powder is mainly at least one selected from contact black, furnace black, thermal black, and lamp black.
The manufacturing method according to claim 1, which is a seed. 3. The carbon-based binder contains at least 30% by weight of dispersion medium soluble components and 5% by weight of fixed carbon.
The manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein the content is 80% by weight. 4 Using a dispersion medium mainly composed of organic liquid, and using carbon-based binders such as petroleum pitch, coal tar pitch, wood tar pitch, asphalt,
At least one selected from phenolic resin, petroleum tar, coal tar, and wood tar is used, and as a surfactant, one selected from amines, organic compounds having a carboxyl group, organic compounds having a sulfo group, and esters. The manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one type is used. 5 A dispersion medium containing water as a main component is used, at least one selected from phenolic resin, lignin sulfonate, molasses, and alginate is used as a carbon-based binder, and amine, Claims 1 to 3 in which at least one selected from an organic compound having a carboxyl group, an organic compound having a sulfo group, an ester, an ammonium compound, and an organic compound having an ether bond are used. manufacturing method. 6 The organic liquid is benzene, acetone, toluene, hexane, isohexane, heptane, isoheptane, isooctane, cyclohexane, ethylbenzene, chloroform, carbon tetrachloride, dichloroethane, dichloroethylene, trichloroethylene, nonane, xylene, methyl alcohol, ethyl alcohol, butyl alcohol. , isobutyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, ethyl ether, isopropyl ether, formate, methyl acetate, ethyl acetate,
The manufacturing method according to claim 4, which is at least one selected from isopropyl acetate, ethyl propionate, amyl propionate, butyl butyrate, diethyl carbonate, fluorinated acetic acid, diethylene dimethyl ether, ethyl methyl ketone, and quinoline. .
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