JPH0131713B2 - - Google Patents
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- JPH0131713B2 JPH0131713B2 JP58246758A JP24675883A JPH0131713B2 JP H0131713 B2 JPH0131713 B2 JP H0131713B2 JP 58246758 A JP58246758 A JP 58246758A JP 24675883 A JP24675883 A JP 24675883A JP H0131713 B2 JPH0131713 B2 JP H0131713B2
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- JP
- Japan
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- mirror
- laser
- temperature
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- support
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- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の属する分野の説明
本発明は、レーザ装置、特に光出力の安定化を
図つたレーザ装置に関する。
図つたレーザ装置に関する。
(2) 従来の技術の説明
従来、レーザ装置では光出力の安定化を図るた
め光共振器支持体に熱膨脹係数のきわめて小さい
部材が用いられている。すなわち第１図に示すよ
うに、レーザ管１のカソード２、アノード３間に
レーザ電源を接続して、レーザ管１のカソード
２、アノード３間を放電させ、共振器支持体５，
５′，５″とミラージンバル支持体６，６′，６″と
ミラージンバル９，９′により支持されたミラー
４，４′よりなる光共振器によりレーザ光１０が
発振する。
め光共振器支持体に熱膨脹係数のきわめて小さい
部材が用いられている。すなわち第１図に示すよ
うに、レーザ管１のカソード２、アノード３間に
レーザ電源を接続して、レーザ管１のカソード
２、アノード３間を放電させ、共振器支持体５，
５′，５″とミラージンバル支持体６，６′，６″と
ミラージンバル９，９′により支持されたミラー
４，４′よりなる光共振器によりレーザ光１０が
発振する。
しかし、共振器支持体５と共振器支持体５′，
５″の温度はレーザ管１のカソード２、アノード
３間の放電による熱とマグネツトコイル８の熱や
外気温度の変化等により、不均一となるため、共
振器支持体５と共振器支持体５′，５″の長さが変
化するため、レーザ光１０の出力は共振器支持体
５，５′，５″の温度が平衡状態になるまで安定し
ない。また、外気温度の変化やレーザ管１のカソ
ード２、アノード３間の放電電流の変化による発
熱量の変化によつても前記のようにレーザ光１０
の出力が不安定となる。
５″の温度はレーザ管１のカソード２、アノード
３間の放電による熱とマグネツトコイル８の熱や
外気温度の変化等により、不均一となるため、共
振器支持体５と共振器支持体５′，５″の長さが変
化するため、レーザ光１０の出力は共振器支持体
５，５′，５″の温度が平衡状態になるまで安定し
ない。また、外気温度の変化やレーザ管１のカソ
ード２、アノード３間の放電電流の変化による発
熱量の変化によつても前記のようにレーザ光１０
の出力が不安定となる。
(3) 発明の目的
本発明の目的は、前記欠点を改善し、レーザ光
出力の安定なレーザ装置を提供することにある。
出力の安定なレーザ装置を提供することにある。
本発明は、共振器支持体の温度変化による長さ
の変化を打ち消すため、温度補償ミラー支持体を
用いることを特徴とする。
の変化を打ち消すため、温度補償ミラー支持体を
用いることを特徴とする。
(4) 発明の構成および作用の説明
第２図、第３図に示した実施例について本発明
を具体的に説明する。
を具体的に説明する。
レーザ管１のカソード２、アノード３の間にレ
ーザ電源を接続して、レーザ管１のカソード２、
アノード３間を放電させ、外気温の変化やレーザ
管１のカソード２、アノード３間の放電電流によ
る温度変化による共振器支持体５，５′，５″の長
さの変化を打ち消すように配置された温度補償ミ
ラー支持体１２，１３，１４とミラホルダ１１と
ミラージンバル９，９′と共振器支持体５，５，
５″、ミラージンバル支持体６，６′，６″とによ
り支持されたミラー４，４′によりなる光共振器
により、レーザ光１０が発振する。
ーザ電源を接続して、レーザ管１のカソード２、
アノード３間を放電させ、外気温の変化やレーザ
管１のカソード２、アノード３間の放電電流によ
る温度変化による共振器支持体５，５′，５″の長
さの変化を打ち消すように配置された温度補償ミ
ラー支持体１２，１３，１４とミラホルダ１１と
ミラージンバル９，９′と共振器支持体５，５，
５″、ミラージンバル支持体６，６′，６″とによ
り支持されたミラー４，４′によりなる光共振器
により、レーザ光１０が発振する。
そして、レーザ管１のカソード２、アノード３
間の放電電流による発熱や、外気温度変化によつ
て共振器支持体５と、５′，５″との間に温度差
（△ｔ）が発生し、上部に位置する共振器支持体
５が５′，５″よりΔl長くなる。そこで温度補償
ミラー支持体１２，１３にスーパーインバーを使
用し、温度補償ミラー支持体１４にステンレスを
使用し、ミラージンバル９′とミラーホルダ１１
との間隔ｌを調節すると、前記Δlを打ち消す方
向に−Δl温度補償されミラー４，４′の傾きを変
化させないのでレーザ出力は安定となる。また、
具体的に前記ｌの決定について次に説明する。
間の放電電流による発熱や、外気温度変化によつ
て共振器支持体５と、５′，５″との間に温度差
（△ｔ）が発生し、上部に位置する共振器支持体
５が５′，５″よりΔl長くなる。そこで温度補償
ミラー支持体１２，１３にスーパーインバーを使
用し、温度補償ミラー支持体１４にステンレスを
使用し、ミラージンバル９′とミラーホルダ１１
との間隔ｌを調節すると、前記Δlを打ち消す方
向に−Δl温度補償されミラー４，４′の傾きを変
化させないのでレーザ出力は安定となる。また、
具体的に前記ｌの決定について次に説明する。
第２図において共振器支持体５と５′，５″との
間に温度差（△ｔ）が５℃発生し、温度補償ミラ
ー支持体１２，１３，１４の雰囲気が10℃（t′）
上昇するとして、ミラーバンバル９′とミラーホ
ルダー１１との間隔ｌを求める。いま、共振器支
持体５と５′，５″の間の動作時の温度差を△ｔ
（５℃）、共振器支持体５，５′，５″の常温ｔでの
長さをＬ（1.1メートル）、温度補償ミラー支持体
１２，１３，１４の雰囲気温度の動作時の温度上
昇をt′（10℃）、ミラージンバル９′とミラーホル
ダ１１の間隔をｌ、共振器支持体５，５′，５″
（スーパーインバー）の膨張率をα1（0.6×10-7）、
温度補償ミラー支持体１２，１３（スーパーイン
バー）の膨張率をα2（0.6×10-7）、温度補償ミラ
ー支持体１４（ステンレス鋼）の膨張率をα3（164
×10-7）とすると、前記ｌは次式(1)で求められ
る。
間に温度差（△ｔ）が５℃発生し、温度補償ミラ
ー支持体１２，１３，１４の雰囲気が10℃（t′）
上昇するとして、ミラーバンバル９′とミラーホ
ルダー１１との間隔ｌを求める。いま、共振器支
持体５と５′，５″の間の動作時の温度差を△ｔ
（５℃）、共振器支持体５，５′，５″の常温ｔでの
長さをＬ（1.1メートル）、温度補償ミラー支持体
１２，１３，１４の雰囲気温度の動作時の温度上
昇をt′（10℃）、ミラージンバル９′とミラーホル
ダ１１の間隔をｌ、共振器支持体５，５′，５″
（スーパーインバー）の膨張率をα1（0.6×10-7）、
温度補償ミラー支持体１２，１３（スーパーイン
バー）の膨張率をα2（0.6×10-7）、温度補償ミラ
ー支持体１４（ステンレス鋼）の膨張率をα3（164
×10-7）とすると、前記ｌは次式(1)で求められ
る。
ｌ＝Ｌ×△ｔ×α1／t′×α3−t′×α2 ……(1)
また前記（ ）内数字を(1)式に代入すると
ｌ＝1.1×５×0.6×10-7／10×164×10-7−10×0.6×
10-7 ≒２×10-3（メートル） となり、ｌを２mmに調節すればミラー４，４′の
傾きは変化せず、レーザ出力も安定となる。
10-7 ≒２×10-3（メートル） となり、ｌを２mmに調節すればミラー４，４′の
傾きは変化せず、レーザ出力も安定となる。
以上のように、本発明によれば、レーザ管１の
カソード２、アノード３間の放電電流による発熱
や、外気温度変化があつてもレーザ出力の安定な
レーザ装置を得ることができる。
カソード２、アノード３間の放電電流による発熱
や、外気温度変化があつてもレーザ出力の安定な
レーザ装置を得ることができる。
第１図は従来のレーザ装置を示す断面図、第２
図は本発明のレーザ装置を示す断面図および第３
図は第２図のＡ―A′矢視図である。 １…レーザ管、２…カソード、３…アノード、
４，４′…ミラー、５，５′，５″…共振器支持体、
６，６′，６″…ミラージンバル支持体、７…レー
ザ細管、８…マグネツトコイル、９，９′…ミラ
ージンバル、１０…レーザ光、１１…ミラーホル
ダ、１２，１３，１４…温度補償ミラー支持体。
図は本発明のレーザ装置を示す断面図および第３
図は第２図のＡ―A′矢視図である。 １…レーザ管、２…カソード、３…アノード、
４，４′…ミラー、５，５′，５″…共振器支持体、
６，６′，６″…ミラージンバル支持体、７…レー
ザ細管、８…マグネツトコイル、９，９′…ミラ
ージンバル、１０…レーザ光、１１…ミラーホル
ダ、１２，１３，１４…温度補償ミラー支持体。
Claims (1)
- １ レーザ管と光共振器とを有し、光共振器が複
数本の支持体によつて支持されているレーザ装置
において、前記光共振器支持体の温度変化による
長さの変化を打ち消すため、前記光共振器支持体
に熱膨張率の異なる複数本の温度補償ミラー支持
体を設けたことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24675883A JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24675883A JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60142581A JPS60142581A (ja) | 1985-07-27 |
| JPH0131713B2 true JPH0131713B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=17153215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24675883A Granted JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60142581A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7495506B2 (ja) * | 2020-09-09 | 2024-06-04 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5889885A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
-
1983
- 1983-12-29 JP JP24675883A patent/JPS60142581A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5889885A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60142581A (ja) | 1985-07-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |