JPH01315271A - Piezoelectric motor - Google Patents

Piezoelectric motor

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JPH01315271A
JPH01315271A JP63144453A JP14445388A JPH01315271A JP H01315271 A JPH01315271 A JP H01315271A JP 63144453 A JP63144453 A JP 63144453A JP 14445388 A JP14445388 A JP 14445388A JP H01315271 A JPH01315271 A JP H01315271A
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stator
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protrusions
piezoelectric
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Katsumi Fujimoto
克己 藤本
Jiyun Tahoda
純 多保田
Jiro Inoue
二郎 井上
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enhance conversion efficiency and to increase a torque by dispersively forming a plurality of protrusions protruding toward a rotor circumferentially on the face of the support of a stator in contact with the rotor. CONSTITUTION:First, second piezoelectric vibration plates 24, 25 respectively adhere to the inner faces of disclike supports 22, 23 opened at the outside of a turning forklike crosssectional circular support 21. A rotor 28 is so provided as to surround a stator from the side formed with protrusions 26, 27. The rotor 28 is composed by coupling disclike metal plates 29, 30 formed with annular walls extending in a direction at the outer peripheral edge through an elastic material 31. In this case, the protrusions 26, 27 are formed at the side of the stator to be brought into pressure contact with the rotor 28. Thus, when the plate 24 is vibrated, the support 22 is largely displaced as compared with the base at the end side of the protrusion 26. Slip between the stator and the rotor is effectively reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、超音波帯の固体共振に基づく進行波を利用し
た円環状の圧電モータに関し、特に、断面形状が音叉状
のステータの構造が改良されたものに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an annular piezoelectric motor that utilizes traveling waves based on solid-state resonance in an ultrasonic band. Regarding improvements.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図は、従来の圧電モータの部分切欠斜視図であり、
第3図は該圧電モータの要部断面図である。
FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of a conventional piezoelectric motor.
FIG. 3 is a sectional view of essential parts of the piezoelectric motor.

第2図および第3図を参照して、この圧電モータでは、
断面が音叉状の円環状支持体1を用いてステータが構成
されている。すなわち、支持体1の外側に開かれた形状
に延ばされた支持部2.3の内面に、第1.第2の圧電
振動板4.5が貼り付けられており、該圧電振動板4.
5を屈曲振動させることにより、支持体1の周方向に進
行波が発生される。
With reference to FIGS. 2 and 3, this piezoelectric motor has the following characteristics:
A stator is constructed using an annular support 1 having a tuning fork-shaped cross section. That is, the first... A second piezoelectric diaphragm 4.5 is pasted on the piezoelectric diaphragm 4.5.
A traveling wave is generated in the circumferential direction of the support 1 by bending and vibrating the support 1 .

第1.第2の圧電振動板4.5においては、周方向に連
なった複数の領域が、第4図に示すように分権処理され
ている。すなわち、第1の圧電振動板4では、第1の励
振源を構成するための複数の分極領域7aと、第2の励
振源を構成するための複数の分極領域7bと、二分極領
域7c、7dが形成されている。第4図において円で囲
まれた+および−の記号は、それぞれ、各分極領域の分
極方向を示し、+は上面側から下面側へ延びる方向に分
極されていることを、−は下面側から上面側に分極処理
されていることを示す。
1st. In the second piezoelectric diaphragm 4.5, a plurality of regions connected in the circumferential direction are decentralized as shown in FIG. That is, in the first piezoelectric diaphragm 4, a plurality of polarization regions 7a for configuring a first excitation source, a plurality of polarization regions 7b for configuring a second excitation source, a bipolarization region 7c, 7d is formed. In Figure 4, the + and - symbols enclosed in circles indicate the polarization direction of each polarization region, respectively, with + indicating polarization extending from the top side to the bottom side, and - indicating polarization from the bottom side. Indicates that the top surface is polarized.

第4図から明らかなように、第2の圧電振動板5におい
ても、第1および第2の励振源を構成するために、複数
の分Fi 8N域7a、7bが形成されており、また未
分極領域7c、7dが間に配置されている。
As is clear from FIG. 4, in the second piezoelectric diaphragm 5 as well, a plurality of Fi 8N regions 7a, 7b are formed in order to constitute the first and second excitation sources. Polarized regions 7c and 7d are arranged between them.

なお、第2の圧電振動板5における分極領域の分極方向
は、第1の圧電振動板4における対応の分極領域と逆方
向に分極処理されている。これは、第1.第2の圧電振
動板4.5を、逆相で振動させることにより、後述する
ロータを回転させるものだからである。
Note that the polarization direction of the polarized region in the second piezoelectric diaphragm 5 is polarized in the opposite direction to that of the corresponding polarized region in the first piezoelectric diaphragm 4. This is the first. This is because by vibrating the second piezoelectric diaphragm 4.5 in an opposite phase, a rotor, which will be described later, is rotated.

特に図示はしないが、第1.第2の圧t*動板4.5の
両生面には、各圧電振動板4.5を振動させるために適
宜の電極が形成されている。
Although not particularly illustrated, the first. Appropriate electrodes are formed on the bidirectional surfaces of the second pressure t* dynamic plates 4.5 in order to vibrate each piezoelectric diaphragm 4.5.

第4図に示したように分極処理されているので、圧電振
動板4.5に電圧を印加して進行波を発生させた場合、
−次の屈曲振動が発生し、支持体1は、第5図に模式的
に示すように振動される。そして、第1.第2の圧電振
動板4.5に上記の屈曲振動に基づく進行波を発生させ
ることにより、支持体lに圧接されたロータ11が回転
駆動される。
Since the piezoelectric diaphragm 4.5 is polarized as shown in FIG. 4, when a voltage is applied to the piezoelectric diaphragm 4.5 to generate a traveling wave,
- The following bending vibrations occur and the support 1 is vibrated as shown schematically in FIG. And the first. By generating a traveling wave based on the above-described bending vibration in the second piezoelectric diaphragm 4.5, the rotor 11, which is pressed against the support l, is rotationally driven.

ロータ11は、第3図に示すように、支持体lを被うよ
うに取り付けられた第1.第2の円環状金属板12.1
3をボルト14により連結することにより構成されてい
る。なお、15は弾性材を示し、両金属板12.13間
の結合の程度をボルト14により調整し、それによって
ロータ11と支持体1の間の圧接力を調整するために設
けられている。
As shown in FIG. 3, the rotor 11 has a first rotor attached to cover the support l. Second annular metal plate 12.1
3 are connected by bolts 14. Reference numeral 15 denotes an elastic material, which is provided to adjust the degree of connection between the two metal plates 12 and 13 using bolts 14, thereby adjusting the pressure force between the rotor 11 and the support 1.

〔発明が解決しようとする技術的課題〕上記のような断
面形状が音叉状の支持体1を用いた圧電モータでは、上
下に配置された二個の支持部2.3が屈曲振動され、そ
れに基づく進行波によりロータ11が回転駆動される。
[Technical Problem to be Solved by the Invention] In the piezoelectric motor using the support 1 having a tuning fork cross-sectional shape as described above, the two support parts 2.3 disposed one above the other are subjected to bending vibration, and The rotor 11 is rotationally driven by the traveling wave based on this.

よって、上下に配置された駆動源によりロータ11が回
転さ、  れるため、回転効率に優れているという利点
を有する。
Therefore, since the rotor 11 is rotated by the driving sources arranged above and below, it has the advantage of excellent rotational efficiency.

しかしながら、現実に第2図の圧電モータを回転させた
ところ、必ずしも意図した通りの効率、すなわち高変換
効率および高トルクを実現し得るものでないことがわか
った。
However, when the piezoelectric motor shown in FIG. 2 was actually rotated, it was found that it was not necessarily possible to achieve the intended efficiency, that is, high conversion efficiency and high torque.

よって、本発明の目的は、より高いエネルギ変換効率を
示し、かつ高トルクの圧電モータを提供することにある
Therefore, an object of the present invention is to provide a piezoelectric motor that exhibits higher energy conversion efficiency and has high torque.

〔技術的課題を解決するための手段〕[Means for solving technical problems]

本発明の圧電モータは断面が音叉状の円環状支持体と、
この支持体に支持された第1.第2の圧電振動板とを有
するステータを用いて構成されている。第1.第2の圧
電振動板は、厚み方向に間隔を隔てて同心に配置された
状態で上記支持体に支持されている。また、第1.第2
の圧電振動板は、屈曲撮動モードで振動されて、上記支
持体の周方向に進行波を発生させる。
The piezoelectric motor of the present invention includes an annular support member having a tuning fork shape in cross section;
The first one supported by this support. The stator is configured using a stator having a second piezoelectric diaphragm. 1st. The second piezoelectric diaphragm is supported by the support body while being concentrically arranged at intervals in the thickness direction. Also, 1st. Second
The piezoelectric diaphragm is vibrated in a bending imaging mode to generate a traveling wave in the circumferential direction of the support.

ステータには、ロータが圧接されており、該ステータに
引き起こされた進行波により回転駆動されるように構成
されている。
A rotor is pressed into contact with the stator, and is configured to be rotationally driven by a traveling wave caused in the stator.

そして、本発明では、ステータの支持体のロータと接触
される面上に、ロータ側に突出した複数の突出部が周方
向に分散形成されている。
In the present invention, a plurality of protrusions protruding toward the rotor are formed distributed in the circumferential direction on the surface of the stator support that comes into contact with the rotor.

〔作用〕[Effect]

本発明は、従来の断面音叉型の圧電モータにおいて意図
したほどの効率が得られないことが、ローターステータ
間のすべりに起因するものであることに着目して成され
たものである0本発明では、ステータの支持体のロータ
と接触される面状に、複数の突出部がロータ側に突出し
た状態で周方向に分散形成されているので、該支持帯が
周方向において、より大きく変位することが可能とされ
ている。すなわち、後述の実施例から明らかなように、
複数の突出部が分散形成されており、該突出部先端が突
出部の形成されている支持体の面に比べてより大きく進
行方向に変位される。また、支持体は進行方向により大
きく変位されるとともに、複数の突出部が点接触的にロ
ータに当接するものであるため、ローターステータ間の
すべりも低減される。
The present invention was made based on the fact that the inability to obtain the intended efficiency in conventional piezoelectric motors with a tuning fork cross section is caused by slippage between the rotor and stator. In this case, a plurality of protrusions are formed distributed in the circumferential direction on the surface of the stator support that comes into contact with the rotor in a state that protrudes toward the rotor, so that the support band is displaced more greatly in the circumferential direction. It is considered possible. That is, as is clear from the examples described below,
A plurality of protrusions are formed in a dispersed manner, and the tips of the protrusions are displaced in the traveling direction to a greater extent than the surface of the support body on which the protrusions are formed. Furthermore, since the support body is largely displaced in the direction of movement and the plurality of protrusions abut point contact with the rotor, slippage between the rotor and stator is also reduced.

(実施例の説明〕 第1図は、本発明の第1の実施例の要部を説明するため
の分解斜視図、第7図は第1の実施例の部分断面図であ
る。
(Description of Embodiments) FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining essential parts of a first embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a partial sectional view of the first embodiment.

第7回を参照して、断面が音叉状の円環状支持体21の
外側に開いた円板状支持部22.23の内面に第1.第
2の圧電振動板24.25が貼り付けられている。なお
、圧電振動板24.25は、第2図に示した従来例の圧
電振動板4.5と同様に構成されている。
Referring to the 7th article, a first tube is attached to the inner surface of the disk-shaped support portion 22.23 that is open to the outside of the annular support member 21 whose cross section is shaped like a tuning fork. A second piezoelectric diaphragm 24,25 is attached. The piezoelectric diaphragms 24.25 are constructed in the same manner as the conventional piezoelectric diaphragm 4.5 shown in FIG.

本実施例の特徴は、第1図に示すように、この日板状支
持部22.23の外側主面に、すなわち後述するロータ
に圧接される面に、それぞれ、上方および下方に突出し
た複数の突出部26.27が周方向に分散形成されてい
ることにある。
The feature of this embodiment is that, as shown in FIG. 1, a plurality of upwardly and downwardly protruding portions are provided on the outer main surfaces of the plate-shaped support portions 22 and 23, that is, on the surfaces that are pressed into contact with the rotor, which will be described later. The reason is that the protrusions 26 and 27 are formed in a distributed manner in the circumferential direction.

第7図に戻り、突出部26.27の形成されている側か
ら、ステータを囲繞するようにロータ28が設けられて
いる。このロータ28は、第3図に示した従来例と同様
に構成されており、すなわち外周縁側に互いの方向に延
びる環状壁の形成された円板状金属板29.30を弾性
材31を介して連結することにより構成されている。
Returning to FIG. 7, the rotor 28 is provided so as to surround the stator from the side where the protrusions 26 and 27 are formed. This rotor 28 is constructed in the same manner as the conventional example shown in FIG. It is constructed by connecting the two.

本実施例では、ステータのロータ28に圧接される側の
面、すなわち支持部22の上面および支持部23の下面
にロータ28側に突出した突出部26.27が形成され
ている。
In this embodiment, protrusions 26 and 27 that protrude toward the rotor 28 are formed on the surface of the stator that is pressed against the rotor 28, that is, on the upper surface of the support portion 22 and the lower surface of the support portion 23.

従って、圧電振動板24を振動させた場合、支持部22
は、第8図に模式的に示すように撓まされる。この場合
、第8図から明らかなように、突出部26の先端側は基
部すなわち支持部22の上面に比べて大きく変位される
。よって、突出部26の進行方向への変位量が、突出部
26の基部に比べて大きいため、より大きなトルクがロ
ータ28側に与えられる。同時に、複数の突出部26が
分散形成されているので、該突出部26は、ロータ28
と点接触的に順次圧接されていく、よって、ステーター
ロータ間のすべりも効果的に低減されることかわかる。
Therefore, when the piezoelectric diaphragm 24 is vibrated, the support portion 22
is deflected as schematically shown in FIG. In this case, as is clear from FIG. 8, the distal end side of the protrusion 26 is largely displaced compared to the base, that is, the upper surface of the support section 22. Therefore, since the amount of displacement of the protrusion 26 in the advancing direction is larger than that of the base of the protrusion 26, a larger torque is applied to the rotor 28 side. At the same time, since the plurality of protrusions 26 are formed in a distributed manner, the protrusions 26 can be attached to the rotor 28.
It can be seen that the slip between the stator and the rotor is effectively reduced because the stator and the rotor are pressed one after another in a point contact manner.

上記実施例は、円環状弾性体の1次共振モードを利用し
たものであるが、2次共振モードを利用しても同様の圧
電モータを構成することができる。
Although the above embodiment utilizes the primary resonance mode of the annular elastic body, a similar piezoelectric motor can also be constructed using the secondary resonance mode.

第9図は、2次共振モードを用いた第2の実施例を示す
断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing a second embodiment using a secondary resonance mode.

2次共振モードを利用した場合には、ステータは第6図
に示すように屈曲振動する。よって、第9図に示すよう
に、音叉状の支持体41の上下にステータをブラケット
(図示せず)に固定するための固定部42.43が設け
られている。また、断面形状が音叉状の支持体41は、
第6図に示したように、円板状の支持部44.45の中
央領域が最も大きく変位される。従って、本実施例では
、支持部44.45の中央領域において、ロータ48側
に突出した複数の突出部46.47が周方向に分散形成
されている。その他の構造は、第1の実施例と同様であ
るため、相当の参照番号を付することによりその説明を
省略する。
When the secondary resonance mode is used, the stator undergoes bending vibration as shown in FIG. Therefore, as shown in FIG. 9, fixing parts 42 and 43 for fixing the stator to a bracket (not shown) are provided above and below the tuning fork-shaped support 41. Further, the support body 41 having a tuning fork-shaped cross section is
As shown in FIG. 6, the central region of the disc-shaped support 44, 45 is displaced the most. Therefore, in this embodiment, a plurality of protrusions 46, 47 protruding toward the rotor 48 are distributed in the circumferential direction in the central region of the support part 44, 45. Since the other structures are the same as those in the first embodiment, explanations thereof will be omitted by assigning corresponding reference numbers.

第2の実施例においても、ステータの支持体41のロー
タ48と圧接される側の面に複数の突出部46.47が
周方向に分散形成されているので、第1の実施例と同様
に進行方向への変位が該突出部46.47により増幅さ
れる。また、ローターステータ間のすべりも低減される
In the second embodiment as well, a plurality of protrusions 46 and 47 are formed distributed in the circumferential direction on the surface of the stator support 41 that is in pressure contact with the rotor 48. The displacement in the direction of travel is amplified by the projections 46,47. Furthermore, slippage between the rotor and stator is also reduced.

なお、本実施例のように2次共振モードを利用する場合
には、圧電振動板44a、45aは2次共振が生じ易い
ように分極処理する必要があることは言うまでもない。
It goes without saying that when using the secondary resonance mode as in this embodiment, the piezoelectric diaphragms 44a and 45a need to be polarized so that secondary resonance is likely to occur.

第1.第2の実施例では、共に支持体21.41の支持
部22,23,44.45の外側表面を利用してロータ
への駆動力の伝達を行っていたが、支持部の内面側にロ
ータを配置してロータを回転駆動してもよい。
1st. In the second embodiment, the outer surfaces of the support portions 22, 23, 44.45 of the support body 21.41 were used to transmit the driving force to the rotor, but the rotor is attached to the inner surface of the support portion. The rotor may be rotated by arranging the rotor.

第10図は、支持部間にロータを配置した第3の実施例
を示す断面図である。
FIG. 10 is a sectional view showing a third embodiment in which a rotor is arranged between support parts.

第10図から明らかなように、2次共振モードを利用し
た圧電モータにおいて、ステータを構成する支持体41
の支持部44.45の外表面に、それぞれ、圧電振動板
44a、45aが貼り付1すられている、これは、支持
部44.45の内面側でロータ48に圧接されるためで
ある。支持部44.45の内面側には、ロータ48側に
突出する複数の突出部46.47が形成されている。
As is clear from FIG. 10, in the piezoelectric motor using the secondary resonance mode, the support 41 constituting the stator
Piezoelectric diaphragms 44a and 45a are attached to the outer surfaces of the supporting parts 44 and 45, respectively.This is because the inner surfaces of the supporting parts 44 and 45 are pressed against the rotor 48. A plurality of protrusions 46,47 that protrude toward the rotor 48 are formed on the inner surface of the support portions 44,45.

他方、ロータ48は、支持部44.45間の、空間に配
置されており、断面形状がコの字型の金属環により構成
されている。49は弾性材を示し、ロータ48の被動部
48a、48b間の反発度合を調整し、それによって突
出部46.47との圧接力を調整するために設けられて
いる。
On the other hand, the rotor 48 is disposed in the space between the support parts 44 and 45, and is constituted by a metal ring having a U-shaped cross section. Reference numeral 49 denotes an elastic material, which is provided to adjust the degree of repulsion between the driven parts 48a and 48b of the rotor 48, thereby adjusting the pressure contact force with the protruding parts 46 and 47.

第10図の実施例においても、複数の突出部46.47
がロータ48側に突出形成されているので、第1.第2
の実施例と同様に進行方向への変位量が該突出部46.
47により増幅される。
Also in the embodiment of FIG. 10, a plurality of protrusions 46, 47
is formed protruding from the rotor 48 side, so that the first. Second
As in the embodiment, the amount of displacement in the advancing direction is the same as that of the protrusion 46.
47.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、本発明では、ステータの支持体のロータ
と接触される面上に、ロータ側に突出した複数の突出部
が周方向に分散形成されているので、進行方向への変位
量が該突出部によって増幅される。よって、断面形状音
叉状の従来の円環状支持体を用いた圧電モータに比べて
、変換効率をより高めることができ、高トルクの圧電モ
ータを実現することが可能となる。
As described above, in the present invention, a plurality of protrusions protruding toward the rotor are formed distributed in the circumferential direction on the surface of the stator support that comes into contact with the rotor, so that the amount of displacement in the advancing direction is reduced. is amplified by the protrusion. Therefore, compared to a piezoelectric motor using a conventional annular support having a tuning fork-shaped cross-section, conversion efficiency can be further increased, and a high-torque piezoelectric motor can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の第1の実施例の要部を説明するための
分解斜視図、第2図は従来の圧電モータの部分断面斜視
図、第3図は従来の圧電モータの断面図、第4図は圧電
振動板の分極状態を説明するための斜視図、第5図は1
次共振モードを利用した場合のステータの屈曲姿態を説
明するための模式図、第6図は2次共振モードを用いた
場合のステータの屈曲姿態を説明するための模式図、第
7図は第1の実施例の断面図、第8図は第1の実施例に
おける突出部の機能を説明するための模式的断面図、第
9図は本発明の第2の実施例の断面図、第1O図は本発
明の第3の実施例の断面図である。 図において、21は円環状の支持体、22.23は支持
部、24.25は圧電振動板、26.27は突出部、2
8はロータを示す。 第1図 第7図 第2図 第5図 j 第6図 第9!梯 第1Of21 L17LI−513b
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining the main parts of the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially sectional perspective view of a conventional piezoelectric motor, and FIG. 3 is a sectional view of a conventional piezoelectric motor. Figure 4 is a perspective view for explaining the polarization state of the piezoelectric diaphragm, and Figure 5 is 1
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the bent state of the stator when using the secondary resonance mode. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the bent state of the stator when using the secondary resonance mode. 8 is a schematic sectional view for explaining the function of the protrusion in the first embodiment, and FIG. 9 is a sectional view of the second embodiment of the present invention. The figure is a sectional view of a third embodiment of the invention. In the figure, 21 is an annular support body, 22.23 is a support part, 24.25 is a piezoelectric diaphragm, 26.27 is a protrusion part, 2
8 indicates a rotor. Figure 1 Figure 7 Figure 2 Figure 5 j Figure 6 Figure 9! Ladder 1Of21 L17LI-513b

Claims (1)

【特許請求の範囲】  断面が音叉状の円環状支持体と、 厚み方向に間隔を隔てて同心に配置された状態で前記支
持体に支持されており、かつ屈曲振動モードで振動され
て前記支持体の周方向に進行波を発生させる第1,第2
の圧電振動板とを有するステータと、 前記ステータに圧接され、該ステータに引き起こされた
進行波により回転されるロータとを備える圧電モータに
おいて、 前記ステータの支持体のロータと接触される面上に、ロ
ータ側に突出した複数の突出部が周方向に分散形成され
ていることを特徴とする、圧電モータ。
[Scope of Claims] An annular support member having a tuning fork-shaped cross section, and a ring-shaped support member that is supported by the support member in a state in which the support member is arranged concentrically at intervals in the thickness direction, and that is vibrated in a bending vibration mode. The first and second waves generate traveling waves in the circumferential direction of the body.
A piezoelectric motor comprising: a stator having a piezoelectric diaphragm; and a rotor that is pressed into contact with the stator and rotated by a traveling wave caused in the stator; A piezoelectric motor, characterized in that a plurality of protrusions protruding toward the rotor are distributed in a circumferential direction.
JP63144453A 1988-06-10 1988-06-10 Piezoelectric motor Expired - Fee Related JP2536067B2 (en)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59201685A (en) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc Vibration wave motor
JPS61116979A (en) * 1984-11-08 1986-06-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Supersonic wave drive motor
JPS61277384A (en) * 1985-06-03 1986-12-08 Shinsei Kogyo:Kk Motor for utilizing ultrasonic wave oscillation
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Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59201685A (en) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc Vibration wave motor
JPS61116979A (en) * 1984-11-08 1986-06-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Supersonic wave drive motor
JPS61277384A (en) * 1985-06-03 1986-12-08 Shinsei Kogyo:Kk Motor for utilizing ultrasonic wave oscillation
JPS62159194U (en) * 1986-03-26 1987-10-09

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