JPH01315274A - Piezoelectric motor - Google Patents
Piezoelectric motorInfo
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- JPH01315274A JPH01315274A JP63146246A JP14624688A JPH01315274A JP H01315274 A JPH01315274 A JP H01315274A JP 63146246 A JP63146246 A JP 63146246A JP 14624688 A JP14624688 A JP 14624688A JP H01315274 A JPH01315274 A JP H01315274A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波帯の固体共振に基づく進行波を利用し
た円環状の圧電モータに関し、特に、断面形状が音叉状
のステータの構造が改良されたものに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an annular piezoelectric motor that utilizes traveling waves based on solid-state resonance in an ultrasonic band. Regarding improvements.
〔従来の技術]
第2図は、従来の圧電モータの部分切欠斜視図であり、
第3図は該圧電モータの要部断面図である。[Prior Art] FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of a conventional piezoelectric motor.
FIG. 3 is a sectional view of essential parts of the piezoelectric motor.
第2図および第3図を参照して、この圧電モータでは、
断面が音叉状の円環状支持体1を用いてステータが構成
されている。すなわち、支持体1の外側に開かれた形状
に延ばされた支持部2.3の内面に、第1.第2の圧電
振動板4.5が貼り付けられており、該圧1!振動板4
.5を屈曲振動させることにより、支持体1の周方向に
進行波が発生される。With reference to FIGS. 2 and 3, this piezoelectric motor has the following characteristics:
A stator is constructed using an annular support 1 having a tuning fork-shaped cross section. That is, the first... A second piezoelectric diaphragm 4.5 is attached, and the pressure 1! Vibration plate 4
.. A traveling wave is generated in the circumferential direction of the support 1 by bending and vibrating the support 1 .
第1.第2の圧電振動板4,5においては、周方向に連
なった複数の領域が、第4図に示すように分権処理され
ている。すなわち、第1の圧電振動板4では、第1の励
振源を構成するための?jl数の分極領域7aと、第2
の励振源を構成するための複数の分権領域7bと、未分
極領域7c、7dが形成されている。第4図において円
で囲まれた+および−の記号は、それぞれ、各分極領域
の分極方向を示し、+は上面側から下面側へ延びる方向
に分極されていることを、−は下面側から上面側に分極
処理されていることを示す。1st. In the second piezoelectric diaphragms 4 and 5, a plurality of regions connected in the circumferential direction are decentralized as shown in FIG. That is, in the first piezoelectric diaphragm 4, the ? jl number of polarized regions 7a, and a second
A plurality of decentralized regions 7b and unpolarized regions 7c and 7d are formed to constitute an excitation source. In Figure 4, the + and - symbols enclosed in circles indicate the polarization direction of each polarization region, respectively, with + indicating polarization extending from the top side to the bottom side, and - indicating polarization from the bottom side. Indicates that the top surface is polarized.
第4図から明らかなように、第2の圧電振動板5におい
ても、第1および第2の励振源を構成するために、複数
の分極領域7a、7bが形成されており、また未分極領
域7c、7dが間に配置されている。As is clear from FIG. 4, the second piezoelectric diaphragm 5 also has a plurality of polarized regions 7a and 7b formed in order to constitute the first and second excitation sources, and also has unpolarized regions. 7c and 7d are arranged between them.
なお、第2の圧電振動板5における分極領域の分極方向
は、第1の圧電振動板4における対応の分極領域と逆方
向に分極処理されている。これは、第1.第2の圧電振
動板4.5を、逆相で振動させることにより、後述する
ロータを回転させるものだからである。Note that the polarization direction of the polarized region in the second piezoelectric diaphragm 5 is polarized in the opposite direction to that of the corresponding polarized region in the first piezoelectric diaphragm 4. This is the first. This is because by vibrating the second piezoelectric diaphragm 4.5 in an opposite phase, a rotor, which will be described later, is rotated.
特に図示はしないが、第1.第2の圧電振動板4.5の
両生面には、各圧電振動板4.5を振動させるために適
宜の電極が形成されている。Although not particularly illustrated, the first. Appropriate electrodes are formed on both sides of the second piezoelectric diaphragm 4.5 to vibrate each piezoelectric diaphragm 4.5.
第4図に示したように分極処理されているので、圧電振
動板4.5に電圧を印加して進行波を発生させた場合、
−次の屈曲振動が発生し、支持体1は、第5図に模式的
に示すように振動される。そして、第1.第2の圧電振
動板4,5に上記の屈曲振動に基づく進行波を発生させ
ることにより、支持体lに圧接されたロータ11が回転
駆動される。Since the piezoelectric diaphragm 4.5 is polarized as shown in FIG. 4, when a voltage is applied to the piezoelectric diaphragm 4.5 to generate a traveling wave,
- The following bending vibrations occur and the support 1 is vibrated as shown schematically in FIG. And the first. By generating traveling waves based on the above-described bending vibration in the second piezoelectric diaphragms 4 and 5, the rotor 11, which is pressed against the support 1, is rotationally driven.
ロータ11は、第3図に示すように、支持体1を被うよ
うに取り付けられた第1.第2の円環状金属板12.1
3をボルト14により連結することにより構成されてい
る。なお、15は弾性材を示し、両金属板12.13間
の結合の程度をボルト14により調整し、それによって
ロータ11と支持体lの間の圧接力を調整するために設
けられている。As shown in FIG. Second annular metal plate 12.1
3 are connected by bolts 14. Reference numeral 15 denotes an elastic material, which is provided to adjust the degree of connection between the two metal plates 12 and 13 using bolts 14, thereby adjusting the pressure contact force between the rotor 11 and the support l.
〔発明が解決しようとする技術的課題]上記のような断
面形状が音叉状の支持体1を用いた圧電モータでは、上
下に配置された二個の支持部2,3が屈曲振動され、そ
れに基づく進行波によりロータ11が回転駆動される。[Technical Problem to be Solved by the Invention] In the piezoelectric motor using the support 1 having a tuning fork cross-sectional shape as described above, the two support parts 2 and 3 arranged above and below are subjected to bending vibration, and The rotor 11 is rotationally driven by the traveling wave based on this.
よって、上下に配置された駆動源によりロータ11が回
転されるため、回転効率に優れているという利点を有す
る。Therefore, since the rotor 11 is rotated by the drive sources arranged above and below, it has the advantage of excellent rotational efficiency.
しかしながら、現実に第2図の圧電モータを回転させた
ところ、必ずしも意図した通りの効率、すなわち高変換
効率および高トルクを実現し得るものでないことがわか
った。However, when the piezoelectric motor shown in FIG. 2 was actually rotated, it was found that it was not necessarily possible to achieve the intended efficiency, that is, high conversion efficiency and high torque.
よって、本発明の目的は、より高いエネルギ変換効率を
示し、かつ高トルクの圧電モータを提供することにある
。Therefore, an object of the present invention is to provide a piezoelectric motor that exhibits higher energy conversion efficiency and has high torque.
本発明の圧電モータは、厚み方向に対向するように開か
れた一対の円板状支持部を有する断面音叉状の円環状支
持体と、この支持体の一対の支持部の主面に、それぞれ
、支持されており、かつ屈曲振動モードで振動されて前
記支持体の周方向に進行波を発生させる第1.第2の圧
電振動板とを存するステータを用いて構成されている。The piezoelectric motor of the present invention includes an annular support having a tuning fork-shaped cross section and having a pair of disc-shaped support portions facing each other in the thickness direction; , and is supported and vibrates in a bending vibration mode to generate a traveling wave in the circumferential direction of the support. The stator includes a second piezoelectric diaphragm and a second piezoelectric diaphragm.
また、第1.第2の支持部にはロータが圧接されており
、ステータに引き起こされた進行波により回転されるよ
うに構成されている。Also, 1st. A rotor is pressed into contact with the second support portion, and is configured to be rotated by traveling waves caused in the stator.
そして、支持体の第1.第2の円板状支持部には、ロー
タと接触される部分に、複数の切欠または貫通孔が周方
向に分散形成されている。Then, the first part of the support. A plurality of notches or through holes are formed distributed in the circumferential direction of the second disk-shaped support portion in a portion that comes into contact with the rotor.
本発明は、従来の断面音叉型の円環状圧電モータにおい
て意図した程の効率が得られないことが、ローターステ
ータ間のすべりに起因するものであることに着目して成
されたものである8本発明では、ステータの支持体の第
1.第2の円板状支持部に、ロータと接触される部分に
おいて、複数の切欠または貫通孔を周方向に分散形成さ
れているので、円板状支持部の切欠または貫通孔で挟ま
れた部分における進行方向変位分が増幅される。同時に
、切欠または貫通孔で挟まれた部分はロータに対して点
接触的に順次当接されていくため、ローターステータ間
のすべりも低減される。The present invention was made based on the fact that the inability to obtain the intended efficiency in conventional annular piezoelectric motors with a tuning fork cross section is caused by slippage between the rotor and stator8. In the present invention, the first . Since a plurality of notches or through holes are formed distributed in the circumferential direction in the second disc-shaped support part in the part that comes into contact with the rotor, the part sandwiched by the notches or through-holes of the disc-shaped support part The displacement in the traveling direction is amplified. At the same time, since the portions sandwiched by the notches or through holes are brought into point contact with the rotor one after another, slippage between the rotor and stator is also reduced.
第1図は、本発明の第1の実施例のステータ部分の斜視
図、第7図は第1の実施例のロータを組込んだ状態の部
分断面図である。FIG. 1 is a perspective view of a stator portion according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a partial cross-sectional view of a state in which a rotor of the first embodiment is assembled.
第1図および第7図を参照して、断面が音叉状の円環状
支持体21は、外側に向かって開かれており、かつ厚み
方向において対向するように配置された一対の円板状支
持部22.23を有する。Referring to FIGS. 1 and 7, an annular support 21 having a tuning-fork cross section has a pair of disc-shaped supports that are open toward the outside and are arranged to face each other in the thickness direction. 22.23.
この断面音叉形状の支持体21を用いてステータが構成
されている。A stator is constructed using this supporting body 21 having a tuning fork shape in cross section.
すなわち、支持部22の下面には第1の円板状の圧電振
動板24が、支持部23の上面には第2の圧電振動板2
5が貼り付けられている。なお、本実施例の圧電モータ
は円環状支持体21の一次共振モードを利用するもので
あるため、圧電振動板24.25は、それぞれ、第2図
に示した従来例の圧電振動板4,5と同様に構成されて
いる。That is, a first disc-shaped piezoelectric diaphragm 24 is disposed on the lower surface of the support portion 22, and a second piezoelectric diaphragm 2 is disposed on the upper surface of the support portion 23.
5 is attached. Note that since the piezoelectric motor of this embodiment utilizes the primary resonance mode of the annular support 21, the piezoelectric diaphragms 24 and 25 are the same as the piezoelectric diaphragms 4 and 25 of the conventional example shown in FIG. It is configured similarly to 5.
本実施例の特徴は、円板状支持部2’2.23の外側端
縁に、すなわち後述するロータに圧接される部分に、そ
れぞれ、複数の切欠26,27が周方向に分散形成され
ていることにある。The feature of this embodiment is that a plurality of notches 26 and 27 are formed distributed in the circumferential direction on the outer edge of the disc-shaped support portion 2'2, 23, that is, on the portion that will be pressed into contact with the rotor, which will be described later. It lies in being.
なお、28は支持体21を固定するための円筒ブラケッ
トを示す。Note that 28 indicates a cylindrical bracket for fixing the support body 21.
第7図に戻り、ステータを囲繞するように、ロータ29
が設けられている。ロータ29は、第3図に示した従来
例と同様に構成されている。すなわち、外周縁側に互い
の方向に延びる環状壁が形成された円板状金属板30.
31を弾性材32を介して連結することにより構成され
ている。Returning to FIG. 7, the rotor 29 surrounds the stator.
is provided. The rotor 29 is constructed similarly to the conventional example shown in FIG. That is, a disc-shaped metal plate 30. has annular walls extending in the direction of each other on the outer peripheral edge side.
31 are connected via an elastic material 32.
本実施例の圧電モータにおいては、従来例の圧電モータ
と同様に、第1.第2の圧電振動板を屈曲振動モードで
振動させることにより、円環状支持体21の支持部22
.23に進行波が引き起こされる。従って、支持部22
.23に圧接されたロータ29が該進行波に基づいて回
転される。In the piezoelectric motor of this embodiment, the first. By vibrating the second piezoelectric diaphragm in a bending vibration mode, the support part 22 of the annular support body 21 is
.. 23, a traveling wave is caused. Therefore, the support part 22
.. The rotor 29, which is pressed against the rotor 23, is rotated based on the traveling wave.
もっとも、本実施例おいては、第8図(a)。However, in this embodiment, FIG. 8(a).
(b)に外側から見た状態を模式的に示すように、第1
.第2の圧電振動板24.25を振動させた場合、支持
部22.23の進行方向変位分が増幅される。すなわち
、切欠26,27が周方向に分散形成されているので、
該切欠26,27で挟まれた部分26a、27a (理
解を容易とするために、外周側端面をハツチングして図
示しである)は、支持部22.23の基部に比べて太き
(変位される。As shown schematically in (b) as seen from the outside, the first
.. When the second piezoelectric diaphragm 24.25 is vibrated, the displacement of the support portion 22.23 in the advancing direction is amplified. That is, since the notches 26 and 27 are formed dispersedly in the circumferential direction,
The portions 26a and 27a sandwiched between the notches 26 and 27 (for ease of understanding, the outer peripheral end faces are shown hatched) are thicker (displacement be done.
従って、切欠26,27により挟まれた部分26a、2
7aの進行方向変位量が、支持部22゜23の基部に比
べて大きくされているので、より大きなトルクがロータ
29側に与えられる。Therefore, the portions 26a and 2 sandwiched between the notches 26 and 27
Since the amount of displacement in the advancing direction of 7a is larger than that of the base portions of the support portions 22 and 23, a larger torque is applied to the rotor 29 side.
同時に、切欠26,27で挟まれた部分26a。At the same time, a portion 26a sandwiched between the notches 26 and 27.
27aは周方向に分散形成されているので、該部分26
a、27aは、ロータ29に点接触的に順次圧接されて
いく、従って、ステーターロータ間のすべりが効果的に
低減される。Since the portions 27a are formed in a distributed manner in the circumferential direction, the portions 26a
a and 27a are successively pressed against the rotor 29 in a point-contact manner, so that slippage between the stator and rotor is effectively reduced.
上記実施例は、円環状弾性体の一次共振モードを利用し
たものであるが、二次共振モードを利用しても同様の圧
電モータを構成することができる。Although the above embodiment utilizes the primary resonance mode of the annular elastic body, a similar piezoelectric motor can also be constructed using the secondary resonance mode.
第9図は、二次共振モードを用いた第2の実施例のロー
タを除いた状態の部分断面斜視図、第1O図は第2の実
施例の要部断面図である。FIG. 9 is a partially sectional perspective view of a second embodiment using a secondary resonance mode, with the rotor removed, and FIG. 1O is a sectional view of a main part of the second embodiment.
二次共振モードを利用した場合には、第6図に模式的に
示すように支持体4Iが屈曲振動される。When the secondary resonance mode is used, the support 4I is subjected to bending vibration as schematically shown in FIG.
よって、第10図に示すように、音叉状の支持体41の
上下に、ステータをブラケット(図示せず)に固定する
ための固定部42.43が設けられている。Therefore, as shown in FIG. 10, fixing parts 42 and 43 for fixing the stator to a bracket (not shown) are provided above and below the tuning fork-shaped support 41.
また、断面形状が音叉状の支持体41は、第6図に示し
たように、円板状の支持部44.45の径方向中央領域
において最も大きく変位される。Further, as shown in FIG. 6, the support body 41 having a tuning-fork cross-sectional shape is displaced most in the radial center region of the disk-shaped support portions 44 and 45.
従って、本実施例では、支持部44.45の径方向中央
領域において、複数の貫通孔46.47が周方向に分散
形成されている。その他の構造は、第1の実施例と同様
であるため、相当する部分については、相当の参照番号
を付することにより、その説明を省略する。Therefore, in this embodiment, a plurality of through holes 46, 47 are formed distributed in the circumferential direction in the radially central region of the support portion 44, 45. The rest of the structure is the same as that of the first embodiment, so the description of corresponding parts will be omitted by assigning corresponding reference numbers.
第2の実施例では、支持部44.45の中央領域におい
て、すなわちロータ48に圧接される部分に、複数の貫
通孔46.47が周方向に分散形成されているので、該
貫通孔46.47で挟まれた部分46a、47aは、第
1の実施例の切欠26.27で挟まれた部分26a、2
7aと同様に進行方向に大きく変位される。すなわち、
支持部44.45自体よりも貫通孔46.41で挟まれ
た部分46a、47aの変位量の方が大きいため、ロー
タの回転効率が効果的に高められる。In the second embodiment, a plurality of through holes 46 , 47 are formed distributed in the circumferential direction in the central region of the support portion 44 , 45 , that is, in the portion pressed against the rotor 48 . The portions 46a, 47a sandwiched by the notches 47 are the portions 26a, 27a sandwiched by the notches 26, 27 of the first embodiment.
Similar to 7a, it is largely displaced in the traveling direction. That is,
Since the amount of displacement of the portions 46a, 47a sandwiched between the through holes 46.41 is larger than that of the support portions 44.45 themselves, the rotational efficiency of the rotor is effectively increased.
また、貫通孔46.47間で挟まれた部分46a、47
aがロータに順に点接触的に当接していくので、ロータ
ーステータ間のすべりも低減される。In addition, the portions 46a and 47 sandwiched between the through holes 46 and 47
Since the points a contact the rotor in a point-to-point manner, slippage between the rotor and stator is also reduced.
なお、本実施例のように二次共振モードを利用する場合
には、圧電振動板44a、45aを構成するにあたって
は、二次共振が生じ易いように分権処理する必要がある
ことは言うまでもない。It goes without saying that when the secondary resonance mode is used as in this embodiment, it is necessary to decentralize the piezoelectric diaphragms 44a and 45a so that secondary resonance is likely to occur.
第1.第2の実施例では、共に支持体21.41の支持
部22,23,44.45の外側主面を利用してロータ
への駆動力の伝達を行っていたが、支持部の内面側にロ
ータを配置してモータを回転駆動するように構成しても
よい。1st. In the second embodiment, the driving force was transmitted to the rotor using the outer main surfaces of the support parts 22, 23, and 44.45 of the support body 21.41, but the inner surface of the support parts The motor may be configured to rotate by arranging a rotor.
第11図は、このような支持部間にロータを配置した第
3の実施例を示す。FIG. 11 shows a third embodiment in which the rotor is arranged between such supports.
第11図から明らかなように、二次共振モードを利用し
た圧電モータにおいて、ステータを構成する支持体41
の支持部L4,45の外側主面に、それぞれ、第1.第
2の圧電振動板44a、45aが貼り付けられている。As is clear from FIG. 11, in the piezoelectric motor using the secondary resonance mode, the support 41 constituting the stator
The first . Second piezoelectric diaphragms 44a and 45a are attached.
これは、支持部44゜45の内側主面でロータ48に圧
接させるためである。This is because the inner main surfaces of the support portions 44 and 45 are brought into pressure contact with the rotor 48.
支持部44.45には、第2の実施例と同様に、複数の
貫通孔46,47が周方向に分散形成されている。他方
、ロータ4Bは、支持部44.45間の空間に挿入・配
置されており、断面形状がコの状の金属環により構成さ
れている。49は弾性材を示し、ロータ48の被動部分
48a、48b間の反発程度を調整し、それによって貫
通孔46゜47で挟まれた部分との圧接力を調整するた
めに設けられている。Similar to the second embodiment, a plurality of through holes 46 and 47 are formed in the support portions 44 and 45 in a distributed manner in the circumferential direction. On the other hand, the rotor 4B is inserted and arranged in the space between the support parts 44 and 45, and is constituted by a metal ring having a U-shaped cross section. Reference numeral 49 denotes an elastic material, which is provided to adjust the degree of repulsion between the driven parts 48a and 48b of the rotor 48, thereby adjusting the pressing force with the parts sandwiched between the through holes 46 and 47.
第11図に示した実施例においても、複数の貫通孔46
.47が周方向に分散形成されているので、該貫通孔4
6.47で挟まれた部分46a。Also in the embodiment shown in FIG.
.. 47 are distributed in the circumferential direction, so that the through holes 4
6. Part 46a sandwiched by 47.
47aにより、第1.第2の実施例と同様に進行方向へ
の変位量が増幅される。47a, the first. Similar to the second embodiment, the amount of displacement in the traveling direction is amplified.
以上のように、本発明によれば、ステータの第1、第2
の支持部のロータに接触される部分において複数の切欠
または貫通孔が周方向に分散形成されているので、該切
欠または貫通孔で挟まれた部分では、進行方向への変位
量が増幅される。従って、断面音叉状の支持体を用いた
円環状圧電モータの変換効率を効果的に高めることがで
きる。As described above, according to the present invention, the first and second
Since a plurality of notches or through holes are distributed in the circumferential direction in the portion of the support portion that comes into contact with the rotor, the amount of displacement in the traveling direction is amplified in the portion sandwiched by the notches or through holes. . Therefore, the conversion efficiency of the annular piezoelectric motor using the support body having a tuning fork shape in cross section can be effectively increased.
同様に、切欠または貫通孔で挟まれた部分がロータに点
接触的に順次当接されていくので、ローターステータ間
のすべりも低減される。Similarly, since the portions sandwiched by the notches or through holes are successively brought into point contact with the rotor, slippage between the rotor and stator is also reduced.
よって、高トルクの円環状圧電モータを実現することが
可能となる。Therefore, it is possible to realize a high torque annular piezoelectric motor.
第1図は本発明の第1の実施例のステータ部分を説明す
るための部分断面斜視図、第2図は従来の圧電モータの
部分断面斜視図、第3図は従来の圧電モータの断面図、
第4図は圧電振動板の分極状態を説明するための斜視図
、第5図は一次共振モードを利用した場合のステータの
屈曲姿態を説明するための模式図、第6図は二次共振モ
ードを用いた場合のステータの屈曲姿態を説明するため
の模式図、第7図は第4の実施例の断面図、第8図(a
)および(b)は第1の実施例における切欠の機能を説
明するための各模式的断面図、第9図は本発明の第2の
実施例のステータ部分を示す部分断面斜視図、第10図
は第2の実施例の断面図、第11図は本発明の第3の実
施例の断面図である。
図において、21は円環状の支持体、22,23は第1
.第2の支持部、24.25は圧電振動板、26.27
は切欠、26a、27aは切欠で挟まれた部分、29は
ロータを示す。
第 1 z
第7図
1 ”
27 カ 31
第2図
第 5ノ
つ
第6♂
I+4
− ゝヰ5
第8図
@ 9図FIG. 1 is a partial cross-sectional perspective view for explaining the stator portion of the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view of a conventional piezoelectric motor, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional piezoelectric motor. ,
Figure 4 is a perspective view for explaining the polarization state of the piezoelectric diaphragm, Figure 5 is a schematic diagram for explaining the bent state of the stator when using the primary resonance mode, and Figure 6 is for the secondary resonance mode. FIG. 7 is a sectional view of the fourth embodiment, and FIG. 8 (a
) and (b) are schematic cross-sectional views for explaining the functions of the notches in the first embodiment, FIG. 9 is a partial cross-sectional perspective view showing the stator portion of the second embodiment of the present invention, and FIG. The figure is a sectional view of the second embodiment, and FIG. 11 is a sectional view of the third embodiment of the present invention. In the figure, 21 is an annular support body, 22 and 23 are the first
.. Second support part, 24.25 is a piezoelectric diaphragm, 26.27
26a and 27a are portions sandwiched between the notches, and 29 is a rotor. 1 z Figure 7 1 ” 27 Ka 31 Figure 2 Figure 5 No. 6 ♂ I+4 - ゝヰ5 Figure 8 @ Figure 9
Claims (1)
部を有する断面音叉状の円環状支持体と、前記支持体の
一対の支持部の主面に、それぞれ、支持されており、か
つ屈曲振動モードで振動されて上記支持体の周方向に進
行波を発生させる第1,第2の圧電振動板とを有するス
テータと、 前記ステータの第1,第2の支持部に圧接されており、
該ステータに引き起こされた進行波により回転されるロ
ータとを備える圧電モータにおいて、 前記支持体の第1,第2の円板状支持部には、ロータと
接触される部分に複数の切欠または貫通孔が周方向に分
散形成されていることを特徴とする、圧電モータ。[Scope of Claims] An annular support member having a tuning fork-shaped cross section and having a pair of disc-shaped support parts that are open to face each other in the thickness direction, and a main surface of each of the pair of support parts of the support member, a stator having first and second piezoelectric diaphragms that are supported and vibrated in a bending vibration mode to generate traveling waves in the circumferential direction of the support; and first and second supports for the stator. It is pressed against the
A piezoelectric motor comprising a rotor rotated by a traveling wave caused in the stator, wherein the first and second disc-shaped support parts of the support body have a plurality of notches or penetrations in a portion that comes into contact with the rotor. A piezoelectric motor characterized in that holes are formed distributed in a circumferential direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63146246A JPH0789749B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Piezoelectric motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63146246A JPH0789749B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Piezoelectric motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01315274A true JPH01315274A (en) | 1989-12-20 |
JPH0789749B2 JPH0789749B2 (en) | 1995-09-27 |
Family
ID=15403397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63146246A Expired - Fee Related JPH0789749B2 (en) | 1988-06-14 | 1988-06-14 | Piezoelectric motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0789749B2 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61116977A (en) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Supersonic wave drive motor |
JPS61277384A (en) * | 1985-06-03 | 1986-12-08 | Shinsei Kogyo:Kk | Motor for utilizing ultrasonic wave oscillation |
JPS62193571A (en) * | 1986-02-18 | 1987-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic motor |
JPS62159194U (en) * | 1986-03-26 | 1987-10-09 |
-
1988
- 1988-06-14 JP JP63146246A patent/JPH0789749B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61116977A (en) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Supersonic wave drive motor |
JPS61277384A (en) * | 1985-06-03 | 1986-12-08 | Shinsei Kogyo:Kk | Motor for utilizing ultrasonic wave oscillation |
JPS62193571A (en) * | 1986-02-18 | 1987-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic motor |
JPS62159194U (en) * | 1986-03-26 | 1987-10-09 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0789749B2 (en) | 1995-09-27 |
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