JPH01305352A - ハロゲン化ホウ素中の微量ガスの定量法 - Google Patents
ハロゲン化ホウ素中の微量ガスの定量法Info
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- JPH01305352A JPH01305352A JP13545988A JP13545988A JPH01305352A JP H01305352 A JPH01305352 A JP H01305352A JP 13545988 A JP13545988 A JP 13545988A JP 13545988 A JP13545988 A JP 13545988A JP H01305352 A JPH01305352 A JP H01305352A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、三塩化ホウ素などのハロゲン化ホウ素ガス
中に、極めて微量混入している、炭酸ガス（ｃｏ□）、
−酸化炭素ガス（ｃＯ）などのガス不純物を、特殊なプ
レカラムを接続したガスクロマト測定装置（メインカラ
ムを有する）に供給して、ガスクロマト法で定量し、そ
の定量分析後直ちにメインカラムとプレカラムとをバッ
クフラッシュして、ガスクロマト測定装置のメインカラ
ム中の充填材を、ハロゲン化ホウ素で汚染、変質させる
ことなく、多数回、定量分析する方法、並びに、その測
定装置に係るものである。
中に、極めて微量混入している、炭酸ガス（ｃｏ□）、
−酸化炭素ガス（ｃＯ）などのガス不純物を、特殊なプ
レカラムを接続したガスクロマト測定装置（メインカラ
ムを有する）に供給して、ガスクロマト法で定量し、そ
の定量分析後直ちにメインカラムとプレカラムとをバッ
クフラッシュして、ガスクロマト測定装置のメインカラ
ム中の充填材を、ハロゲン化ホウ素で汚染、変質させる
ことなく、多数回、定量分析する方法、並びに、その測
定装置に係るものである。
従来、三塩化ホウ素などのハロゲン化ホウ素ガス中に、
極めて微量混入している、炭酸ガス（ｃＯ２）、−酸化
炭素ガス（ｃＯ）などのガス不純物を、ガスクロマト法
で定量分析する場合には、前記ガス不純物のガスクロマ
ト分析用メインカラムに充填されているポーラスポリマ
ー充填材が一般にハロゲン化ホウ素と極めて強い吸着性
を有しているので、微量ガス不純物を含有するハロゲン
化ホウ素ガスをガスクロマト法で定量する際に、前記メ
インカラム中の充填材から炭酸ガスなどが分離した後、
その直後に、ハロゲン化ホウ素も続いて検出され、そし
て、このハロゲン化ホウ素がガスクロマト測定装置の系
外に排出されるまで２〜３日が必要であった。
極めて微量混入している、炭酸ガス（ｃＯ２）、−酸化
炭素ガス（ｃＯ）などのガス不純物を、ガスクロマト法
で定量分析する場合には、前記ガス不純物のガスクロマ
ト分析用メインカラムに充填されているポーラスポリマ
ー充填材が一般にハロゲン化ホウ素と極めて強い吸着性
を有しているので、微量ガス不純物を含有するハロゲン
化ホウ素ガスをガスクロマト法で定量する際に、前記メ
インカラム中の充填材から炭酸ガスなどが分離した後、
その直後に、ハロゲン化ホウ素も続いて検出され、そし
て、このハロゲン化ホウ素がガスクロマト測定装置の系
外に排出されるまで２〜３日が必要であった。
したがって、従来公知のガスクロマト法による定量法で
は、ハロゲン化ホウ素ガス中の微量のガス不純物を一回
定量分析すると、前記のメインカラムの充填材がハロゲ
ン化ホウ素で汚染され、その性能が適性な状態に回復す
るまで、長期間、定量分析をすることができず、多数の
ガス試料の定量分析に鵜適していなかったのである。
は、ハロゲン化ホウ素ガス中の微量のガス不純物を一回
定量分析すると、前記のメインカラムの充填材がハロゲ
ン化ホウ素で汚染され、その性能が適性な状態に回復す
るまで、長期間、定量分析をすることができず、多数の
ガス試料の定量分析に鵜適していなかったのである。
この発明の目的は、三塩化ホウ素、三フッ化ホウ素など
のハロゲン化ホウ素中に、極めて微量混入している、炭
酸ガス、−酸化炭素ガスなどのガス不純物を、ガスクロ
マト法で定量分析する際に、そのガスクロマト装置に内
蔵されているメインカラム中の充填材がハロゲン化ホウ
素によって簡単に汚染されないようにして、前記ハロゲ
ン化ホウ素中のガス不純物を多数回連続して定量分析す
る方法、および、その装置を提供することである。
のハロゲン化ホウ素中に、極めて微量混入している、炭
酸ガス、−酸化炭素ガスなどのガス不純物を、ガスクロ
マト法で定量分析する際に、そのガスクロマト装置に内
蔵されているメインカラム中の充填材がハロゲン化ホウ
素によって簡単に汚染されないようにして、前記ハロゲ
ン化ホウ素中のガス不純物を多数回連続して定量分析す
る方法、および、その装置を提供することである。
第１の発明は、ガス不純物を微量含有するハロゲン化ホ
ウ素ガスからなる試料ガスを検量した後、検量されたハ
ロゲン化ホウ素ガスを、キャリヤーガスと共に、１５０
℃以上の沸点を有する多価アルコール化合物が担持され
ている多孔質担体が充填されたプレカラムに供給して、
ハロゲン化ホウ素を反応及び吸着によって除去し、次い
で、前記プレカラムを通過したガス不純物を含有してい
る透過ガスを、ガスクロマト測定装置のメインカラムに
導入して、その透過ガスについてガスクロマト法による
定量分析を行い、そして、その定量分析が完了した後に
、前記メインカラムとプレカラムとを定量分析時とは逆
方向にむかって不活性ガスによりバックフラッシュする
ことを特徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微
量ガスの定量法に関する。
ウ素ガスからなる試料ガスを検量した後、検量されたハ
ロゲン化ホウ素ガスを、キャリヤーガスと共に、１５０
℃以上の沸点を有する多価アルコール化合物が担持され
ている多孔質担体が充填されたプレカラムに供給して、
ハロゲン化ホウ素を反応及び吸着によって除去し、次い
で、前記プレカラムを通過したガス不純物を含有してい
る透過ガスを、ガスクロマト測定装置のメインカラムに
導入して、その透過ガスについてガスクロマト法による
定量分析を行い、そして、その定量分析が完了した後に
、前記メインカラムとプレカラムとを定量分析時とは逆
方向にむかって不活性ガスによりバックフラッシュする
ことを特徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微
量ガスの定量法に関する。
また、第２の発明は、
（ａ） キャリヤーガスを導入ラインと接続されてい
る、ガス不純物を微量含有するハロゲン化ホウ素ガスか
らなる試料ガスを注入するための試料注入部、 （ｂ）１５０℃以上の沸点を有する多価アルコール化合
物が担持されている多孔質担体、（ｃ） ハロゲン化
ホウ素ガス中の微量のガス不純物測定用のメインカラム
とＴＣＤ検出部とを有するガスクロマト測定本体、およ
び、（ｄ） 測定後のガスを排出する排出ガス導管が
前述の順序で配置されており、しかも、各部材がガス導
管、でそれぞれ接続されているガスクロマト測定装置で
あり、さらに、 （ｅ） 前記排出ガス導管ガスに、バックフラッシュ
用の不活性ガスを導入するためのパックフラッシュ用ガ
ス導入管およびバルブ、並びに、げ）注入部とプレカラ
ムとの間のガス導管に、バックフラッシュされたガスを
排出するためのバックフラッシュガス排出用ガス導管お
よびパルプが設けられていること を特徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微量ガ
スの定量装置に関する。
る、ガス不純物を微量含有するハロゲン化ホウ素ガスか
らなる試料ガスを注入するための試料注入部、 （ｂ）１５０℃以上の沸点を有する多価アルコール化合
物が担持されている多孔質担体、（ｃ） ハロゲン化
ホウ素ガス中の微量のガス不純物測定用のメインカラム
とＴＣＤ検出部とを有するガスクロマト測定本体、およ
び、（ｄ） 測定後のガスを排出する排出ガス導管が
前述の順序で配置されており、しかも、各部材がガス導
管、でそれぞれ接続されているガスクロマト測定装置で
あり、さらに、 （ｅ） 前記排出ガス導管ガスに、バックフラッシュ
用の不活性ガスを導入するためのパックフラッシュ用ガ
ス導入管およびバルブ、並びに、げ）注入部とプレカラ
ムとの間のガス導管に、バックフラッシュされたガスを
排出するためのバックフラッシュガス排出用ガス導管お
よびパルプが設けられていること を特徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微量ガ
スの定量装置に関する。
以下、この発明について、図面も参考にして、さらに、
詳しく説明する。
詳しく説明する。
第１図および第２図は、本発明の定量法に使用する測定
装置の概略を例示するフロー図であり、第３図は、従来
公知の定量法に使用されていた測定装置の概略を示すフ
ロー図である。
装置の概略を例示するフロー図であり、第３図は、従来
公知の定量法に使用されていた測定装置の概略を示すフ
ロー図である。
第４図は、公知技術に１けるように、ポーラスポリマー
（ウォーターズ社製、ｒボラパックＱＪ）が充填されて
いるメインカラムを備えたガスクロマト測定装置に、微
量の炭酸ガスを含有する三塩化ホウ素を流した場合のガ
スクロマトグラムである。
（ウォーターズ社製、ｒボラパックＱＪ）が充填されて
いるメインカラムを備えたガスクロマト測定装置に、微
量の炭酸ガスを含有する三塩化ホウ素を流した場合のガ
スクロマトグラムである。
第５図は、本発明におけるように、グリセリンが２０重
量％担持されているケイソウ土が充填されているプレカ
ラムと、ポーラスポリマー（ウォーターズ社製、ｒボラ
バックＱＪ）が充填されているメインカラムとが連続し
て連結されているガスクロマト測定装置で、微量の炭酸
ガスを含有する三塩化ホウ素を分析した場合のガスクロ
マトグラムである。
量％担持されているケイソウ土が充填されているプレカ
ラムと、ポーラスポリマー（ウォーターズ社製、ｒボラ
バックＱＪ）が充填されているメインカラムとが連続し
て連結されているガスクロマト測定装置で、微量の炭酸
ガスを含有する三塩化ホウ素を分析した場合のガスクロ
マトグラムである。
この発明の定量法は、第４図のガスクロマトグラムに示
すように、従来公知のガスクロマト測定装置で、微量の
炭酸ガスを含有する三塩化ホウ素を分析した場合に、試
料ガスの導入から１２分間後に炭酸ガスが検出された直
後の１〜３分間以内に三塩化ホウ素が検出されるのに対
して、第５図のガスクロマトグラムに示すように、本発
明の定量法におけると同様のプレカラムを連結したガス
クロマト測定装置で、微量の炭酸ガスを含有する三塩化
ホウ、素を分析した場合に、試料ガスの導入から１２分
間後に炭酸ガスが検出された後、さらに約３５分間以上
経過した後にやっと三塩化ホウ素が検出されるという知
見に基づいて、行われたものである。
すように、従来公知のガスクロマト測定装置で、微量の
炭酸ガスを含有する三塩化ホウ素を分析した場合に、試
料ガスの導入から１２分間後に炭酸ガスが検出された直
後の１〜３分間以内に三塩化ホウ素が検出されるのに対
して、第５図のガスクロマトグラムに示すように、本発
明の定量法におけると同様のプレカラムを連結したガス
クロマト測定装置で、微量の炭酸ガスを含有する三塩化
ホウ、素を分析した場合に、試料ガスの導入から１２分
間後に炭酸ガスが検出された後、さらに約３５分間以上
経過した後にやっと三塩化ホウ素が検出されるという知
見に基づいて、行われたものである。
この発明の定量法では、まず、ガス不純物を微量含有す
るハロゲン化ホウ素ガスからなる試料ガスを検量した後
、その検量されたハロゲン化ホウ素ガスを、適当な流速
のキャリヤーガスと共に、１５０ ”Ｃ以上の沸点を有
する多価アルコール化合物が担持されている多孔質担体
が充填されたプレカラムに供給しカラム内部を通過させ
て、ハロゲン化ホウ素ガスをプレカラム中の前記多価ア
ルコール化合物の担持された多孔質担体からなる充填材
と接触させて反応及び吸着させ、ハロゲン化ホウ素など
を実質的に全量捕捉するのである。
るハロゲン化ホウ素ガスからなる試料ガスを検量した後
、その検量されたハロゲン化ホウ素ガスを、適当な流速
のキャリヤーガスと共に、１５０ ”Ｃ以上の沸点を有
する多価アルコール化合物が担持されている多孔質担体
が充填されたプレカラムに供給しカラム内部を通過させ
て、ハロゲン化ホウ素ガスをプレカラム中の前記多価ア
ルコール化合物の担持された多孔質担体からなる充填材
と接触させて反応及び吸着させ、ハロゲン化ホウ素など
を実質的に全量捕捉するのである。
前記のハロゲン化ホウ素ガスは、三塩化ホウ素、三フッ
化ホウ素、三臭化ホウ素などのハロゲン化ホウ素化合物
を、主として含有するガスであり、半導体製造などにお
いて、エツチング用ガスとして使用されるハロゲン化ホ
ウ素ガスなどである。
化ホウ素、三臭化ホウ素などのハロゲン化ホウ素化合物
を、主として含有するガスであり、半導体製造などにお
いて、エツチング用ガスとして使用されるハロゲン化ホ
ウ素ガスなどである。
前記プレカラムは、約１５０℃以上の沸点を有する多価
アルコール化合物が、約５〜８０重量％、特に１０〜５
０重量％程度の含有割合で、多孔質担体に含浸されて担
持されている充填材が充填されていて、そして、内径が
１〜１０ｍｍであり、長さが３〜３００ｃｍであって、
さらに、容量が、０゜０５〜２００Ｃ−程度である軟質
ガラス、ステンレス、またはテフロン製のカラムである
ことが好ましい。
アルコール化合物が、約５〜８０重量％、特に１０〜５
０重量％程度の含有割合で、多孔質担体に含浸されて担
持されている充填材が充填されていて、そして、内径が
１〜１０ｍｍであり、長さが３〜３００ｃｍであって、
さらに、容量が、０゜０５〜２００Ｃ−程度である軟質
ガラス、ステンレス、またはテフロン製のカラムである
ことが好ましい。
前記の多価アルコールとしては、例えば、グリセリン、
ジエチレングリコール、トリメチレングリコール、プロ
ピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセロ
ールモノメチルエーテルなどの液状多価アルコール、お
よび、ペンタエリスリトール、糖類などの固体多価アル
コールを液状多価アルコールに溶解又は混合させたもの
などを挙げることができる。
ジエチレングリコール、トリメチレングリコール、プロ
ピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセロ
ールモノメチルエーテルなどの液状多価アルコール、お
よび、ペンタエリスリトール、糖類などの固体多価アル
コールを液状多価アルコールに溶解又は混合させたもの
などを挙げることができる。
前記のキャリヤーガスは、ハロゲン化ホウ素などに対し
て不活性であって、−船釣にガスクロマトに使用今れる
高純度の不活性ガスであれば特に限定されるものではな
く、例えば、水素、ヘリウム、窒素、または、それらの
ガスの混合ガスなどからなる、純度が９９．９％以上で
ある不活性ガスを好適に挙げることができ、そして、こ
の発明の定量法では、前記キャリヤーガスの供給速度は
、約５〜２００ｃｔｄ／分、特に１０〜１２０ｃ艷／分
程度であることが好ましい。
て不活性であって、−船釣にガスクロマトに使用今れる
高純度の不活性ガスであれば特に限定されるものではな
く、例えば、水素、ヘリウム、窒素、または、それらの
ガスの混合ガスなどからなる、純度が９９．９％以上で
ある不活性ガスを好適に挙げることができ、そして、こ
の発明の定量法では、前記キャリヤーガスの供給速度は
、約５〜２００ｃｔｄ／分、特に１０〜１２０ｃ艷／分
程度であることが好ましい。
この発明の定量法では、ハロゲン化ホウ素ガスを前述の
プレカラムに供給した結果、前記プレカラムを通過した
ガス不純物を含有する透過ガスを、ガスクロマト測定装
置内に設置されたメインカラムに導入して、その透過ガ
スについてガスクロマト法による炭酸ガスなどのガス不
純物の定量分析を行うのである。
プレカラムに供給した結果、前記プレカラムを通過した
ガス不純物を含有する透過ガスを、ガスクロマト測定装
置内に設置されたメインカラムに導入して、その透過ガ
スについてガスクロマト法による炭酸ガスなどのガス不
純物の定量分析を行うのである。
前記のメインカラムとしては、炭酸ガス、−酸化炭素ガ
ス、酸素ガス、窒素ガス、アルゴンガスなどについての
ガスクロマト用充填材として使用されるポーラスポリマ
ーが充填されるいるカラムであれば、どのようなタイプ
のカラムであってもよいが、特に、ポーラスポリマーと
して、ウォーターズ社製のボラバックＱ１ボラパックＲ
１ボラバックＮ１ジョンズーマンヴイル社製のクロモソ
ーブ１０２、ガスクロ工業■製のガスクロバック５４な
どが充填されており、そして、内径が２〜５Ｍであり、
長さが３０〜３００ｃｍであって、さらに、容量が１〜
６０ ｃｄ程度である硬質ガラス、ステンレスまたは
テフロン製のカラムであることが好ましい。
ス、酸素ガス、窒素ガス、アルゴンガスなどについての
ガスクロマト用充填材として使用されるポーラスポリマ
ーが充填されるいるカラムであれば、どのようなタイプ
のカラムであってもよいが、特に、ポーラスポリマーと
して、ウォーターズ社製のボラバックＱ１ボラパックＲ
１ボラバックＮ１ジョンズーマンヴイル社製のクロモソ
ーブ１０２、ガスクロ工業■製のガスクロバック５４な
どが充填されており、そして、内径が２〜５Ｍであり、
長さが３０〜３００ｃｍであって、さらに、容量が１〜
６０ ｃｄ程度である硬質ガラス、ステンレスまたは
テフロン製のカラムであることが好ましい。
前記のガスクロマト法による透過ガス中の炭酸ガスなど
のガス不純物の定量分析は、すでに公知の方法で行うこ
とができ、特に限定されるものではないが、特に、測定
温度が３０〜２００℃であることが好ましい。
のガス不純物の定量分析は、すでに公知の方法で行うこ
とができ、特に限定されるものではないが、特に、測定
温度が３０〜２００℃であることが好ましい。
この発明の定量法では、前述の定量分析が完了した後に
続いて、好ましく定量分析が終了してからハロゲン化ホ
ウ素がメインカラムに到達しない間に、例えば、定量分
析の終了後から約３５分間以内、特に好ましくは２０分
間以内に、前記のメインカラムとプレカラムとの内部を
、前述の定量分析時の曵スの流れとは逆方向にむかって
、不活性ガスを流すことにより、前記の両者カラムを一
挙にバックフラッシュして、プレカラムなどに捕捉又は
滞留していたハロゲン化ホウ素、および、多価アルコー
ルとの反応によって生成したハロゲン化水素を排出する
のである。
続いて、好ましく定量分析が終了してからハロゲン化ホ
ウ素がメインカラムに到達しない間に、例えば、定量分
析の終了後から約３５分間以内、特に好ましくは２０分
間以内に、前記のメインカラムとプレカラムとの内部を
、前述の定量分析時の曵スの流れとは逆方向にむかって
、不活性ガスを流すことにより、前記の両者カラムを一
挙にバックフラッシュして、プレカラムなどに捕捉又は
滞留していたハロゲン化ホウ素、および、多価アルコー
ルとの反応によって生成したハロゲン化水素を排出する
のである。
前記のバックフラッシュに使用する不活性ガスは、各カ
ラム内の充填材を変質しないものであればどのような不
活性ガスであってもよいが、特に前述の定量分析に使用
したキャリヤーガスとまったく同じ種類の不活性ガスを
使用することが好ましい。
ラム内の充填材を変質しないものであればどのような不
活性ガスであってもよいが、特に前述の定量分析に使用
したキャリヤーガスとまったく同じ種類の不活性ガスを
使用することが好ましい。
この発明の定量装置は、第１図に示すように、（ａ）
キャリヤーガスの導入ラインｌが接続されている、試
料ガス注入部２、 （ｂ） 前記の多価アルコール化合物が担持された充
填材が充填されているプレカラム３、（ｃ） 前述の
メインカラム４とＴＣＤ検出部５とを有するガスクロマ
ト測定本体６、および、（ｄ） 排出ガス導管７が前
述の順序で配置されており、しかも、各部材がガス導管
８．９及び１０でそれぞれ接続されているガスクロマト
測定装置であり、さらに、 （ｅ） 前記排出ガス導管ガス７に、バックフラッシ
ュ用ガス導入管１１およびバルブ１２、並びに、（ｆ）
注入部２とプレカラム３との間のガス導管８に、バ
ックフラッシュガス排出用ガス導管１３およびバルブ１
４が設けられているハロゲン化ホウ素中の微量ガス不純
物の定量装置を、好適に挙げることができる。
キャリヤーガスの導入ラインｌが接続されている、試
料ガス注入部２、 （ｂ） 前記の多価アルコール化合物が担持された充
填材が充填されているプレカラム３、（ｃ） 前述の
メインカラム４とＴＣＤ検出部５とを有するガスクロマ
ト測定本体６、および、（ｄ） 排出ガス導管７が前
述の順序で配置されており、しかも、各部材がガス導管
８．９及び１０でそれぞれ接続されているガスクロマト
測定装置であり、さらに、 （ｅ） 前記排出ガス導管ガス７に、バックフラッシ
ュ用ガス導入管１１およびバルブ１２、並びに、（ｆ）
注入部２とプレカラム３との間のガス導管８に、バ
ックフラッシュガス排出用ガス導管１３およびバルブ１
４が設けられているハロゲン化ホウ素中の微量ガス不純
物の定量装置を、好適に挙げることができる。
さらに、この発明の定量装置としては、第２図に示すよ
うに、注入部２とプレカラム３との間のガス導管２８ａ
及び２８ｂと、排出ガス導管２７ａ及び２７ｂとをそれ
ぞれ連結する、４方コツクブロツク１５（バルブ： ２
５ ａ−２５ｂｓ ２５ ｃ及び２５ｄ１並びに、連結
管：２６ａ、２６ｂ。
うに、注入部２とプレカラム３との間のガス導管２８ａ
及び２８ｂと、排出ガス導管２７ａ及び２７ｂとをそれ
ぞれ連結する、４方コツクブロツク１５（バルブ： ２
５ ａ−２５ｂｓ ２５ ｃ及び２５ｄ１並びに、連結
管：２６ａ、２６ｂ。
２６ｃ及び２６ｄからなるブロックである）が使用され
ているものが、特に好適である。
ているものが、特に好適である。
この第２図に示す４方コツクブロツク１５が組み込まれ
た定量装置においては、ハロゲン化ホウ素中の微風ガス
不純物を定量分析する際に使用された「注入部２とプレ
カラム３との間のガス導管２８ａ」は、バックフラッシ
ュの際に、連結管２６Ｃと連結されてｒバックフラッシ
ュ用ガス導入管」に転用され、そして、前述の定量分析
の際に使用される「排出ガス導管２７ ｂｊは、バック
フラッシュの際に、連結管２６ａと連結されてｒバック
フラッシュガス排出用ガス導管」となるように、バルブ
操作を容易にすることができる。
た定量装置においては、ハロゲン化ホウ素中の微風ガス
不純物を定量分析する際に使用された「注入部２とプレ
カラム３との間のガス導管２８ａ」は、バックフラッシ
ュの際に、連結管２６Ｃと連結されてｒバックフラッシ
ュ用ガス導入管」に転用され、そして、前述の定量分析
の際に使用される「排出ガス導管２７ ｂｊは、バック
フラッシュの際に、連結管２６ａと連結されてｒバック
フラッシュガス排出用ガス導管」となるように、バルブ
操作を容易にすることができる。
前記のＴＣＤ検出器としては、公知のものを使用するこ
とができる。
とができる。
以下に、実施・例および比較例を示す。
実施例１〜５
１）まず、未知量の炭酸ガスを微量含有する三塩化ホウ
素ガス（５ｔｔｒｌｌ ）からなる５種類の試料ガス（
試料の略号：Ａ、Ｂ、ＣＳＤおよびＥ）を準備して、 ｉｉ）それぞれの試料ガスを検量してサンプラーに取り
、次で、 ｉｉｉ ）前記の各試料ガスを、 （ａ）「第１表に示す種類の充填材が充填されており、
しかも、第１表に示すサイズを有するプレカラム３（カ
ラム温度＝５０℃）Ｊと連結されている（ｂ） ｒメイ
ンカラム４（充填材：ボラパックＱ、内径：３酎、長さ
８３ｍ、容量：２０ｃｆｆｌ）１が内設されている（ｃ
）「第２図に夙したと同様のガスクロマト定量装置」に
、ヘリウムからなるキャリヤーガス（４０ｃ４／分）と
共に、導入して、 ｉｖ）メインカラムの温度５０℃で、各三塩化ホウ素ガ
ス中の炭酸ガスの定量分析を行い、■）その定量分析後
の５分間以内に４方コツクブロツクの各パルプ操作をし
て、プレカラム３およびメインカラム４のバックフラッ
シュを、１２０℃で、ヘリウムからなるキャリヤーガス
によって行った。
素ガス（５ｔｔｒｌｌ ）からなる５種類の試料ガス（
試料の略号：Ａ、Ｂ、ＣＳＤおよびＥ）を準備して、 ｉｉ）それぞれの試料ガスを検量してサンプラーに取り
、次で、 ｉｉｉ ）前記の各試料ガスを、 （ａ）「第１表に示す種類の充填材が充填されており、
しかも、第１表に示すサイズを有するプレカラム３（カ
ラム温度＝５０℃）Ｊと連結されている（ｂ） ｒメイ
ンカラム４（充填材：ボラパックＱ、内径：３酎、長さ
８３ｍ、容量：２０ｃｆｆｌ）１が内設されている（ｃ
）「第２図に夙したと同様のガスクロマト定量装置」に
、ヘリウムからなるキャリヤーガス（４０ｃ４／分）と
共に、導入して、 ｉｖ）メインカラムの温度５０℃で、各三塩化ホウ素ガ
ス中の炭酸ガスの定量分析を行い、■）その定量分析後
の５分間以内に４方コツクブロツクの各パルプ操作をし
て、プレカラム３およびメインカラム４のバックフラッ
シュを、１２０℃で、ヘリウムからなるキャリヤーガス
によって行った。
各試料ガスについて前述の定量分析操作を、それぞれ３
回繰り返して、各三塩化ホウ素ガス中の微量炭酸ガスの
定量分析を行った。
回繰り返して、各三塩化ホウ素ガス中の微量炭酸ガスの
定量分析を行った。
それらの結果を第１表に示す。
各実施例の定量分析の結果によれば、三塩化ホウ素ガス
中の微量炭酸ガスの定量分析の定量限界は、約５ｐｐｍ
程度であった。
中の微量炭酸ガスの定量分析の定量限界は、約５ｐｐｍ
程度であった。
また、各１リカラムは、５回程度までの定量分析につい
て、連続して使用できた。
て、連続して使用できた。
比較例１
プレカラムをまったく使用しなかったほかは、実施例１
と同様にして定量分析を行って、第４図に示すようなガ
スクロマトグラフが得られたが、ガスクロマト測定装置
に内設されたメインカラムの充填材が、三塩化ホウ素な
どで汚染および変質しており、直ちに、メインカラムの
バックフラッシュを行っても短時間で再生せず、このメ
インカラムによって次の試料ガスの定量分析を１時間以
内に再開することができなかった。
と同様にして定量分析を行って、第４図に示すようなガ
スクロマトグラフが得られたが、ガスクロマト測定装置
に内設されたメインカラムの充填材が、三塩化ホウ素な
どで汚染および変質しており、直ちに、メインカラムの
バックフラッシュを行っても短時間で再生せず、このメ
インカラムによって次の試料ガスの定量分析を１時間以
内に再開することができなかった。
この発明の定量法によれば、ｒ炭酸ガスなどのガス不純
物が微量含有されているハロゲン化ホウ素ガス」におけ
る微量のガス不純物をガスクロマト法で定量する際に、
多価アルコール化合物を担持している特定の充填材が充
填されている「プレカラム」を使用することによって、
試料ガスからハロゲン化ホウ素化合物を捕捉し除去し、
ガスクロマト装置本体にに内設されているｒメインカラ
ム内の充填材」をハロゲン化ホウ素化合物で汚染させた
り変質させたりすることがないので、前述のガスクロマ
ト測定装置での定量分析を、連続的に多数回、迅速にし
かも正確に行うことができるという作用効果を有してい
る。
物が微量含有されているハロゲン化ホウ素ガス」におけ
る微量のガス不純物をガスクロマト法で定量する際に、
多価アルコール化合物を担持している特定の充填材が充
填されている「プレカラム」を使用することによって、
試料ガスからハロゲン化ホウ素化合物を捕捉し除去し、
ガスクロマト装置本体にに内設されているｒメインカラ
ム内の充填材」をハロゲン化ホウ素化合物で汚染させた
り変質させたりすることがないので、前述のガスクロマ
ト測定装置での定量分析を、連続的に多数回、迅速にし
かも正確に行うことができるという作用効果を有してい
る。
したがって、この発明の定量法によれば、短時間で多量
の試料ガスの定量分析をガスクロマト法で行うことがで
き、ハロゲン化ホウ素ガス中の微量ガス不純物の定量分
析を、効率的、能率的に行うことができる。
の試料ガスの定量分析をガスクロマト法で行うことがで
き、ハロゲン化ホウ素ガス中の微量ガス不純物の定量分
析を、効率的、能率的に行うことができる。
第１図および第２図は、本発明の定量法に使用する測定
装置の概略を例示するフロー図であり、第３図は、従来
公知の定量法に使用されていた測定装置の概略を示すフ
ロー図である。 第４図は、公知の測定法（比較例１）におけるように、
ポーラスポリマーが充填されているメインカラムのみを
備えたガスクロマト測定装置で、微量炭酸ガス含有の三
塩化ホウ素ガスを分析した場合のガスクロマトグラムで
ある。 第５図は、本発明の定量法（実施例１）におけるように
、プレカラムとメインカラムとが連結されているガスク
ロマト測定装置で、微量炭酸ガス含有の三塩化ホウ素ガ
スを分析した場合のガスクロマトグラムである。 １：キャリヤーガス導入管、２：試料ガス注入部、３：
プレカラム、４：メインカラム、５：ＴＣＤ検出器、６
：ガスクロマト測定装置本体、８：ガス排出管、１５：
４方コツクブロツク。 特許出願人 宇部興産株式会社
装置の概略を例示するフロー図であり、第３図は、従来
公知の定量法に使用されていた測定装置の概略を示すフ
ロー図である。 第４図は、公知の測定法（比較例１）におけるように、
ポーラスポリマーが充填されているメインカラムのみを
備えたガスクロマト測定装置で、微量炭酸ガス含有の三
塩化ホウ素ガスを分析した場合のガスクロマトグラムで
ある。 第５図は、本発明の定量法（実施例１）におけるように
、プレカラムとメインカラムとが連結されているガスク
ロマト測定装置で、微量炭酸ガス含有の三塩化ホウ素ガ
スを分析した場合のガスクロマトグラムである。 １：キャリヤーガス導入管、２：試料ガス注入部、３：
プレカラム、４：メインカラム、５：ＴＣＤ検出器、６
：ガスクロマト測定装置本体、８：ガス排出管、１５：
４方コツクブロツク。 特許出願人 宇部興産株式会社
Claims (2)
- （１）ガス不純物を微量含有するハロゲン化ホウ素ガス
からなる試料ガスを検量した後、検量されたハロゲン化
ホウ素ガスを、キャリヤーガスと共に、１５０℃以上の
沸点を有する多価アルコール化合物が担持されている多
孔質担体が充填されたプレカラムに供給して、ハロゲン
化ホウ素を反応及び吸着によって除去し、次いで、前記
プレカラムを通過したガス不純物を含有している透過ガ
スを、ガスクロマト測定装置のメインカラムに導入して
、その透過ガスについてガスクロマト法による定量分析
を行い、そして、その定量分析が完了した後に、前記メ
インカラムとプレカラムとを定量分析時とは逆方向にむ
かって不活性ガスによりバックフラッシュすることを特
徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微量ガスの
定量法。 - （２）（ａ）キャリヤーガスを導入ラインと接続されて
いる、ガス不純物を微量含有するハロゲン化ホウ素ガス
からなる試料ガスを注入するための試料注入部、 （ｂ）１５０℃以上の沸点を有する多価アルコール化合
物が担持されている多孔質担体が充填されているプレカ
ラム、 （ｃ）ハロゲン化ホウ素ガス中の微量のガス不純物測定
用のメインカラムとＴＣＤ検出部とを有するガスクロマ
ト測定本体、および、 （ｄ）測定後のガスを排出する排出ガス導管が前述の順
序で配置されており、しかも、各部材がガス導管でそれ
ぞれ接続されているガスクロマト測定装置であり、さら
に、 （ｅ）前記排出ガス導管ガスに、バックフラッシュ用の
不活性ガスを導入するためのバックフラッシュ用ガス導
入管およびバルブ、並びに、（ｆ）、注入部とプレカラ
ムとの間のガス導管に、バックフラッシュされたガスを
排出するためのバックフラッシュガス排出用ガス導管お
よびバルブが設けられていること を特徴とする酸性ガス中のハロゲン化ホウ素中の微量ガ
スの定量装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13545988A JPH01305352A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | ハロゲン化ホウ素中の微量ガスの定量法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13545988A JPH01305352A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | ハロゲン化ホウ素中の微量ガスの定量法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01305352A true JPH01305352A (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=15152208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13545988A Pending JPH01305352A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | ハロゲン化ホウ素中の微量ガスの定量法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01305352A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447575B2 (en) * | 1999-12-16 | 2002-09-10 | Gertstel Systemtechnik Gmbh & Co. | Method and apparatus for gas chromatography analysis of samples |
-
1988
- 1988-06-03 JP JP13545988A patent/JPH01305352A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447575B2 (en) * | 1999-12-16 | 2002-09-10 | Gertstel Systemtechnik Gmbh & Co. | Method and apparatus for gas chromatography analysis of samples |
| AU770281B2 (en) * | 1999-12-16 | 2004-02-19 | Gerstel Systemtechnik Gmbh & Co. Kg | Method and device for gas chromatography analysis of samples |
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