JPH01301051A - スライス加工法およびワイヤソーマシン - Google Patents
スライス加工法およびワイヤソーマシンInfo
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- JPH01301051A JPH01301051A JP13055188A JP13055188A JPH01301051A JP H01301051 A JPH01301051 A JP H01301051A JP 13055188 A JP13055188 A JP 13055188A JP 13055188 A JP13055188 A JP 13055188A JP H01301051 A JPH01301051 A JP H01301051A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばシリコン鋳塊からウェハ等を切り出
すスライス加工法およびそのスライス加工法に使用され
るワイヤソーマシンに関する。
すスライス加工法およびそのスライス加工法に使用され
るワイヤソーマシンに関する。
シリコン、水晶、フェライト結晶あるいはガラス等の脆
性材料の精密スライス加工には、線入となるワイヤと砥
液により切削を行うワイヤソーマシンが用いられる。こ
の装置は、第６図および第７図にみられるように、切削
ヘッド３ｏおよび昇降手段８０を有する加工テーブル８
を備えている。
性材料の精密スライス加工には、線入となるワイヤと砥
液により切削を行うワイヤソーマシンが用いられる。こ
の装置は、第６図および第７図にみられるように、切削
ヘッド３ｏおよび昇降手段８０を有する加工テーブル８
を備えている。
被加工物ｌは加工テーブル８に設置された固定台７、お
よびこの固定台７に接着固定された緩衝用支持台２を介
して加工テーブル８上に固定されている。
よびこの固定台７に接着固定された緩衝用支持台２を介
して加工テーブル８上に固定されている。
切削ヘッド３０は、ワイヤ３がワイヤ送出手段（図示せ
ず）からワイヤ巻取手段（図示せず）に向かう間で、三
角形の各頂点に設定された３本のワイヤ溝付ローラ４，
４間を掛渡すように幾重に巻回されてなる。
ず）からワイヤ巻取手段（図示せず）に向かう間で、三
角形の各頂点に設定された３本のワイヤ溝付ローラ４，
４間を掛渡すように幾重に巻回されてなる。
スライス加工法の際は、砥粒と切削液を混合した砥液が
被加工物上方より供給された状態において、被加工物１
が矢印Ａ方向に押上げられ、ワイヤ３の往復方向の摺動
によるワイヤ３と砥粒とのラッピング作用により切削さ
れる。
被加工物上方より供給された状態において、被加工物１
が矢印Ａ方向に押上げられ、ワイヤ３の往復方向の摺動
によるワイヤ３と砥粒とのラッピング作用により切削さ
れる。
従来、スライス加工法は、ワイヤソーマシンの性能上ワ
イヤ切込み方向に対して平行に（加工テーブル昇降方向
に対して平行に）しか切削することができず、切削面が
平面である製品しか生産できなかった。しかし、ワイヤ
ソーは一種の糸鋸であり、したがって切削方向の変換は
容易に行いえるはずである。
イヤ切込み方向に対して平行に（加工テーブル昇降方向
に対して平行に）しか切削することができず、切削面が
平面である製品しか生産できなかった。しかし、ワイヤ
ソーは一種の糸鋸であり、したがって切削方向の変換は
容易に行いえるはずである。
本発明者らは、斯かる観点から様々な形状のスライス製
品を得るための手段について鋭意検討を重ねたところ、
被加工物にその切削加工中に適当な水平移動を与えるこ
とが有効なことを知見した。
品を得るための手段について鋭意検討を重ねたところ、
被加工物にその切削加工中に適当な水平移動を与えるこ
とが有効なことを知見した。
本発明は、斯かる知見に基づき、被加工物の切削を高度
に複雑化して様々な形状のスライス製品を得ることがで
きるスライス加工法およびワイヤソーマシンを提供する
ことを目的とする。
に複雑化して様々な形状のスライス製品を得ることがで
きるスライス加工法およびワイヤソーマシンを提供する
ことを目的とする。
本発明は、被加工物ｌをその押上げ方向Ａ、および切削
用ワイヤの往復動方向Ｂに交差する水平方向Ｃに移動制
御させつつ所望の形状にスライスするスライス加工法を
第１の要旨とする。
用ワイヤの往復動方向Ｂに交差する水平方向Ｃに移動制
御させつつ所望の形状にスライスするスライス加工法を
第１の要旨とする。
また、本発明は、第１図ないし第３図に示す如く、加工
テーブル８の昇降方向Ａ、およびワイヤ３の往復動方向
Ｂに交差する水平方向Ｃに加工テーブル８を移動させる
移動手段９、加工テーブル８の昇降動および水平動を検
出する検出手段５１．５０、およびこの検出手段５１．
５０が検出する信号に基づいて前記移動手段９を制御す
る制御手段６０を備えるワイヤソーマシンを第２の要旨
とする。
テーブル８の昇降方向Ａ、およびワイヤ３の往復動方向
Ｂに交差する水平方向Ｃに加工テーブル８を移動させる
移動手段９、加工テーブル８の昇降動および水平動を検
出する検出手段５１．５０、およびこの検出手段５１．
５０が検出する信号に基づいて前記移動手段９を制御す
る制御手段６０を備えるワイヤソーマシンを第２の要旨
とする。
本発明のスライス加工法においては、被加工物ｌを従来
通りワイヤ３で垂直方向に切込むと共に、同時に被加工
物の押上方向Ａおよびワイヤ往復動一方向Ｂに交差する
水平方向Ｃに被加工物ｌを移動させるため、切込みは垂
直とはならず様々な形状を呈する。したがって、被加工
物ｌの水平移動を制御すれば切込み形状を高度に複雑化
させて所望の形状のスライス製品を生産することができ
る。
通りワイヤ３で垂直方向に切込むと共に、同時に被加工
物の押上方向Ａおよびワイヤ往復動一方向Ｂに交差する
水平方向Ｃに被加工物ｌを移動させるため、切込みは垂
直とはならず様々な形状を呈する。したがって、被加工
物ｌの水平移動を制御すれば切込み形状を高度に複雑化
させて所望の形状のスライス製品を生産することができ
る。
本発明のワイヤソーマシンにおいては、加工テーブル８
を徐々に押上げてｉｔされた被加工物１を切込んでゆく
と共に、検出手段５１．５０から送られた信号に基づき
制御手段６０による移動制御が働いて移動手段９が加工
テーブル８を水平方向に移動させることにより、ワイヤ
３の切込み形状を高度に複雑化させて所望の形状のスラ
イス製品を生産することができる６ 〔実施例〕 第１図および第２図は本発明にかかるワイヤソーマシン
の一実施例をモデル的にあられす正面図および側面図で
ある。本装置は、ワイヤ３が３本のワイヤ溝付ローラ４
’ 、４．４間を掛渡すように幾重に巻回され加工ワイ
ヤ列を形成した切削ヘッド３０、および切削ヘッド３０
の下方において昇降手段８０を有する加工テーブル８を
備えている。
を徐々に押上げてｉｔされた被加工物１を切込んでゆく
と共に、検出手段５１．５０から送られた信号に基づき
制御手段６０による移動制御が働いて移動手段９が加工
テーブル８を水平方向に移動させることにより、ワイヤ
３の切込み形状を高度に複雑化させて所望の形状のスラ
イス製品を生産することができる６ 〔実施例〕 第１図および第２図は本発明にかかるワイヤソーマシン
の一実施例をモデル的にあられす正面図および側面図で
ある。本装置は、ワイヤ３が３本のワイヤ溝付ローラ４
’ 、４．４間を掛渡すように幾重に巻回され加工ワイ
ヤ列を形成した切削ヘッド３０、および切削ヘッド３０
の下方において昇降手段８０を有する加工テーブル８を
備えている。
被加工物ｌは加工テーブル８に設ｉＣされた固定台７、
およびこの固定台７に接着固定された緩衝用支持台２を
介して加工テーブル８上に固定されている。
およびこの固定台７に接着固定された緩衝用支持台２を
介して加工テーブル８上に固定されている。
切削ヘッド３０は、加工ワイヤ列が被加工物１に対して
往復方向の摺動を行うよう、少なくとも１本のローラ４
′を往復動付与ローラにしている。
往復方向の摺動を行うよう、少なくとも１本のローラ４
′を往復動付与ローラにしている。
このローラ４′は正逆回動可能なモータ等の往復動付与
手段に連結されて正逆回転し往復動付与を行う。
手段に連結されて正逆回転し往復動付与を行う。
加工テーブル８の昇降手段８０は、作業床面に設置され
た正逆モータ８１、正逆モータ８１の回転を立設された
ボールねじ状の軸体８２に四転勤として伝達するギヤボ
ックス８３は、前記軸体８２、および軸体８２と螺合す
る雌ねじを設けた昇降体８４からなり、軸体８２の正逆
回転によって昇降体８４を上下動させるようにして加工
テーブル８の昇降を実現させる。
た正逆モータ８１、正逆モータ８１の回転を立設された
ボールねじ状の軸体８２に四転勤として伝達するギヤボ
ックス８３は、前記軸体８２、および軸体８２と螺合す
る雌ねじを設けた昇降体８４からなり、軸体８２の正逆
回転によって昇降体８４を上下動させるようにして加工
テーブル８の昇降を実現させる。
加工テーブル８と昇降体８４との間には、加工テーブル
昇降方向Ａおよびワイヤ往復動方向Ｂの双方に直交する
水平方向Ｃに加工テーブル８を移動させる移動手段９が
設けられている。移動手段９は、水平方向に設定された
ボールねじ状の横架軸９２、横架軸９２の正逆回転を付
与するパルスモータ９１、横架軸９２と螺合するねじ筒
９５を下面に（１６え加工テーブル８に固定されている
移動体９４を備え、横架軸９２の正逆回転によってねじ
筒９５が左右に移動させられるようにして加工テーブル
８の水平移動を実現させる。図中、９６は横架軸９２の
左右にある軸受の支持体である。
昇降方向Ａおよびワイヤ往復動方向Ｂの双方に直交する
水平方向Ｃに加工テーブル８を移動させる移動手段９が
設けられている。移動手段９は、水平方向に設定された
ボールねじ状の横架軸９２、横架軸９２の正逆回転を付
与するパルスモータ９１、横架軸９２と螺合するねじ筒
９５を下面に（１６え加工テーブル８に固定されている
移動体９４を備え、横架軸９２の正逆回転によってねじ
筒９５が左右に移動させられるようにして加工テーブル
８の水平移動を実現させる。図中、９６は横架軸９２の
左右にある軸受の支持体である。
第３図に示すように、前記加工テーブル８の昇降および
水平移動は、これらの動きを検出する検出手段５１．５
０およびこれら検出手段５１，５０が送る信号に応じて
加工テーブル８の運動を制御する制御手段６０によりな
される。検出手段には、加工テーブル８の平面上の座標
位置（左右位置）および水平移動速度に対する検出手段
５０と、加工テーブル８の上昇位置および昇降速度に対
する検出手段５１とが存在する。制御手段６０は、送信
された各検出信号に応じてパルスモータ９１および正逆
モータ８１に制御信号を送り、加工テーブル８の運動を
制御する。
水平移動は、これらの動きを検出する検出手段５１．５
０およびこれら検出手段５１，５０が送る信号に応じて
加工テーブル８の運動を制御する制御手段６０によりな
される。検出手段には、加工テーブル８の平面上の座標
位置（左右位置）および水平移動速度に対する検出手段
５０と、加工テーブル８の上昇位置および昇降速度に対
する検出手段５１とが存在する。制御手段６０は、送信
された各検出信号に応じてパルスモータ９１および正逆
モータ８１に制御信号を送り、加工テーブル８の運動を
制御する。
スライス加工の際は、上方から砥液を供給されている被
加工物ｌを上昇させて加工ワイヤ列に押し当てると共に
、被加工物１に対して加工ワイヤ列をワイヤ３に沿う方
向日に往復摺動させるようにして行われる。その際、被
加工物１をその押上げ方向Ａに移動制御すると共に、ワ
イヤ往復動方向Ｂに直交する水平方向Ｃに移動制御する
ことにより所望の形状（第４図および第５図１８１〜＋
ｄｌ参照）にスライスする。
加工物ｌを上昇させて加工ワイヤ列に押し当てると共に
、被加工物１に対して加工ワイヤ列をワイヤ３に沿う方
向日に往復摺動させるようにして行われる。その際、被
加工物１をその押上げ方向Ａに移動制御すると共に、ワ
イヤ往復動方向Ｂに直交する水平方向Ｃに移動制御する
ことにより所望の形状（第４図および第５図１８１〜＋
ｄｌ参照）にスライスする。
以下に第２図の装置を用いた加工例を示す、各種使用物
の条件は、被加工物が１００ｗ角、２１０龍長のシリコ
ン材、ワイヤが０．２φピアノ線でワイヤ列ピッチ０．
８３龍、砥液がメツシュ“１゜００の炭化珪素粉末およ
びラフピングオイルである。なお、テーブル上昇速度は
２００μｍ／ｍ１０１テーブル水平移動は２００μｍ／
ｍｉｎで１１−左右移動毎に反転の繰り返しとした。
の条件は、被加工物が１００ｗ角、２１０龍長のシリコ
ン材、ワイヤが０．２φピアノ線でワイヤ列ピッチ０．
８３龍、砥液がメツシュ“１゜００の炭化珪素粉末およ
びラフピングオイルである。なお、テーブル上昇速度は
２００μｍ／ｍ１０１テーブル水平移動は２００μｍ／
ｍｉｎで１１−左右移動毎に反転の繰り返しとした。
以上の条件によりスライス加工を行った結果、第４図に
示す加工品を同時に２３８枚スライスすることができた
。さらに、実験の結果第５図＋ａｌ〜ｆｄｌに示すよう
な種々の断面形状の加工が可能であった。
示す加工品を同時に２３８枚スライスすることができた
。さらに、実験の結果第５図＋ａｌ〜ｆｄｌに示すよう
な種々の断面形状の加工が可能であった。
上記加工実施例では、被加工物としてシリコンを用いた
が、これに限られるものではなく、ワイヤソーに切削可
能な材料であれば何れでもよい。
が、これに限られるものではなく、ワイヤソーに切削可
能な材料であれば何れでもよい。
加工テーブルの昇降手段および移動手段の各種動力源は
モータに限られない。例えば油圧シリンダーなど他のデ
イバイスを用いても良い。
モータに限られない。例えば油圧シリンダーなど他のデ
イバイスを用いても良い。
本発明のスライス加工法は、被加工物を押上方向に移動
させつつ、ワイヤ往復方向に交差する水平方向にも移動
させることにより、被加工物から様々な形状スライス製
品を生産することができる。
させつつ、ワイヤ往復方向に交差する水平方向にも移動
させることにより、被加工物から様々な形状スライス製
品を生産することができる。
本発明のワイヤソーマシンは、加工テーブルを昇降させ
つつワイヤ往復動方向に交差する水平方向に移動させる
ことが可能であり、しかもこれらの移動を制御すること
ができるため、被加工物から様々な形状のスライス製品
を生産することができる。
つつワイヤ往復動方向に交差する水平方向に移動させる
ことが可能であり、しかもこれらの移動を制御すること
ができるため、被加工物から様々な形状のスライス製品
を生産することができる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明のワイヤソーマシ
ンの一実施例をモデル的にあられず正面図および側面図
、第３図は本発明のワイヤソーマシンの検出機構および
制御機構を示す説明図、第４図および第５図は本発明の
ワイヤソーマシンおよびスライス加工法により得られた
スライス製品例を示す側面図、第６図および第７図はそ
れぞれ従来のワイヤソーマシンを示す部分的斜視図およ
び正面図である。 図中、ｌ：被加工物、３：ワイヤ、８：加工テーブル、
９：移動手段、３０：切削ヘッド、５０．５１：検出手
段、６０：制御手段、８０：昇降手段。 第 １ 図 イ ２ 。 第４図 第 ５ 図 第 ６ 図 ４゜ 第 ７ 図
ンの一実施例をモデル的にあられず正面図および側面図
、第３図は本発明のワイヤソーマシンの検出機構および
制御機構を示す説明図、第４図および第５図は本発明の
ワイヤソーマシンおよびスライス加工法により得られた
スライス製品例を示す側面図、第６図および第７図はそ
れぞれ従来のワイヤソーマシンを示す部分的斜視図およ
び正面図である。 図中、ｌ：被加工物、３：ワイヤ、８：加工テーブル、
９：移動手段、３０：切削ヘッド、５０．５１：検出手
段、６０：制御手段、８０：昇降手段。 第 １ 図 イ ２ 。 第４図 第 ５ 図 第 ６ 図 ４゜ 第 ７ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数のローラ間に切削用ワイヤを多数回巻回させて
なる加工ワイヤ列に対して被加工物を下方から押し当て
ると共に、被加工物に対して前記ワイヤ列をワイヤに沿
う方向に往復に摺動させるようにして被加工物のスライ
スを行うスライス加工法において、被加工物をその押上
げ方向、およびワイヤ往復動方向に交差する水平方向に
移動させつつ所望の形状にスライス加工することを特徴
とするスライス加工法。 ２、複数のローラ間に切削用ワイヤを多数回巻回させて
なる加工ワイヤ列を形成した切削ヘッドと、切削ヘッド
の下方において被加工物を載置固定させる昇降可能な加
工テーブルと、前記切削の加工ワイヤ列に被加工物に対
して往復摺動を行わしめる往復動付与手段とを備えるワ
イヤソーマシンにおいて、加工テーブルを昇降方向、お
よびワイヤ往復動方向に交差する水平方向に移動させる
移動手段と、加工テーブルの昇降動および水平動を検出
する検出手段と、該検出手段が出力する信号に基づいて
、前記移動手段を制御する制御手段とを具備せしめたこ
とを特徴とするワイヤソーマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13055188A JPH01301051A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | スライス加工法およびワイヤソーマシン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13055188A JPH01301051A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | スライス加工法およびワイヤソーマシン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01301051A true JPH01301051A (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=15036979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13055188A Pending JPH01301051A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | スライス加工法およびワイヤソーマシン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01301051A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102079113A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-06-01 | 保定天威英利新能源有限公司 | 解决硅锭破方质量问题的设备和方法 |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP13055188A patent/JPH01301051A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102079113A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-06-01 | 保定天威英利新能源有限公司 | 解决硅锭破方质量问题的设备和方法 |
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