JPH01277686A - ジュールトムソン型クライオスタット流量制御システム - Google Patents
ジュールトムソン型クライオスタット流量制御システムInfo
- Publication number
- JPH01277686A JPH01277686A JP10602888A JP10602888A JPH01277686A JP H01277686 A JPH01277686 A JP H01277686A JP 10602888 A JP10602888 A JP 10602888A JP 10602888 A JP10602888 A JP 10602888A JP H01277686 A JPH01277686 A JP H01277686A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- needle
- joule
- actuator element
- controller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は低温動作型赤外線検知素子の冷却システムに関
し、特に高圧ガスの吹き出しを利用するジュールトムソ
ン型クライオスタットのガス消費量制御システムに関す
る。
し、特に高圧ガスの吹き出しを利用するジュールトムソ
ン型クライオスタットのガス消費量制御システムに関す
る。
従来、この種のクライオスタットは、冷却用ガスの消費
量を少なく抑えるためガス封入したベローズを温度セン
サとして使用していた。第２図に従来例を示す、すなわ
ち、第２図に示すように。
量を少なく抑えるためガス封入したベローズを温度セン
サとして使用していた。第２図に従来例を示す、すなわ
ち、第２図に示すように。
高圧ガスが高圧ガス導入配管６より導入されフィルタ５
．フィン付チューブ４を通ってノズル３より吹出す、こ
のとき前方の赤外線検知素子７を冷却してさらに後方の
ベローズ１０を冷やしその結果ベローズ１０が縮み、ニ
ードル２が動きノズル３の開口を制限しガス流量を調節
する。８はデユワである。
．フィン付チューブ４を通ってノズル３より吹出す、こ
のとき前方の赤外線検知素子７を冷却してさらに後方の
ベローズ１０を冷やしその結果ベローズ１０が縮み、ニ
ードル２が動きノズル３の開口を制限しガス流量を調節
する。８はデユワである。
上述した従来のクライオスタットは、流量制御が受動的
であり、温度センサとしてのベローズ１０の特性により
制御条件が決まってしまうため、クライオスタットとし
て部品を組み上げた段階で流量特性がほぼ決まってしま
う。つまり、実際には流量制御最適条件からずれていた
としても既に調整のきかないものとなり、不良品となっ
てしまえば、再度使用することができないという欠点が
ある。また、この方式では一つの冷却型検知器で最適流
量制御条件が見つかったとしても、検知素子の発熱量・
構造の異なる冷却型検知器では、条件が異なるために同
じ設計のものが使用できないという欠点がある。つまり
、検知器ごとに最適条件を決める必要がある。最適条件
を決めるためには。
であり、温度センサとしてのベローズ１０の特性により
制御条件が決まってしまうため、クライオスタットとし
て部品を組み上げた段階で流量特性がほぼ決まってしま
う。つまり、実際には流量制御最適条件からずれていた
としても既に調整のきかないものとなり、不良品となっ
てしまえば、再度使用することができないという欠点が
ある。また、この方式では一つの冷却型検知器で最適流
量制御条件が見つかったとしても、検知素子の発熱量・
構造の異なる冷却型検知器では、条件が異なるために同
じ設計のものが使用できないという欠点がある。つまり
、検知器ごとに最適条件を決める必要がある。最適条件
を決めるためには。
通常試作品を何台も作る必要があり、多大の資材・労力
を要する。しかも、クライオスタットの部品は極めて小
さいものであり、バラツキも大きく、個々に最適条件が
異なっているため、最適流量制御条件は容易に決定でき
ない。
を要する。しかも、クライオスタットの部品は極めて小
さいものであり、バラツキも大きく、個々に最適条件が
異なっているため、最適流量制御条件は容易に決定でき
ない。
本発明の目的は前記課題を解決したクライオスタット流
量制御システムを提供することにある。
量制御システムを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は低温動作型赤外線検
知素子の冷却に使用する、ジュールトムソン効果を利用
したガス冷却クライオスタットにおいて、ガス吹出し量
を制限するニードルと、該ニードルを駆動する圧電アク
チュエータ素子と、該圧電アクチュエータ素子を制御す
るコントローラとを有するものである。
知素子の冷却に使用する、ジュールトムソン効果を利用
したガス冷却クライオスタットにおいて、ガス吹出し量
を制限するニードルと、該ニードルを駆動する圧電アク
チュエータ素子と、該圧電アクチュエータ素子を制御す
るコントローラとを有するものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
図において、２はニードル、３はノズル、４はフィン付
チューブ、５はフィルタ、６は高圧ガス導入配管、７は
赤外線検知素子、８はデユワである。これらの構成は従
来と同じである。
チューブ、５はフィルタ、６は高圧ガス導入配管、７は
赤外線検知素子、８はデユワである。これらの構成は従
来と同じである。
本発明は、ガス封入ベローズによる受動的流動制御のか
わりに、電圧印加の積層圧電アクチュエータ素子１を装
備し、該素子１にニードル２を取付け、コントローラ９
より圧電アクチュエータ素子１に電圧を印加し、素子１
の伸縮とともに素子１に取付けたニードル２によってガ
ス吹き出しをコントロールする、すなわち圧電アクチュ
エータ素子１による能動的流量制御を可能としたもので
ある。
わりに、電圧印加の積層圧電アクチュエータ素子１を装
備し、該素子１にニードル２を取付け、コントローラ９
より圧電アクチュエータ素子１に電圧を印加し、素子１
の伸縮とともに素子１に取付けたニードル２によってガ
ス吹き出しをコントロールする、すなわち圧電アクチュ
エータ素子１による能動的流量制御を可能としたもので
ある。
実施例において、高圧ガスが高圧ガス導入配管６により
導入され、フィルタ５、フィン付チューブ４を通ってノ
ズル３より吹き出す、このとき、デユワ８の内部にある
赤外線検知素子７を冷却し。
導入され、フィルタ５、フィン付チューブ４を通ってノ
ズル３より吹き出す、このとき、デユワ８の内部にある
赤外線検知素子７を冷却し。
フィン付チューブ４で熱交換をしながら外へ排気される
。
。
積層圧電アクチュエータ素子１に対し、前以て決めてお
いた流量制御最適パターンにて外部コントローラ９より
電圧を印加する。積層圧電アクチュエータ素子１に取付
けられたニードル２が電圧印加と同時に可動し、流量を
コントロールする。
いた流量制御最適パターンにて外部コントローラ９より
電圧を印加する。積層圧電アクチュエータ素子１に取付
けられたニードル２が電圧印加と同時に可動し、流量を
コントロールする。
以上説明したように本発明は圧電アクチュエータ素子と
コントローラを用いることにより、クライオスタットの
ガス消費流量を能動的に制御でき、従って、通常試作評
価を経て、最適流量制御条件を決めるかわりに、クライ
オスタット製造後、コントローラにより電圧印加パター
ンをかえて最適条件を見つけることができ、部品が小さ
く個々の性能バラツキが大きいクライオスタットでは、
資材費・工数等を削減することができるとともに、クラ
イオスタットの流量消費特性のバラツキを抑えて品質の
安定を図ることができるという効果を有する。
コントローラを用いることにより、クライオスタットの
ガス消費流量を能動的に制御でき、従って、通常試作評
価を経て、最適流量制御条件を決めるかわりに、クライ
オスタット製造後、コントローラにより電圧印加パター
ンをかえて最適条件を見つけることができ、部品が小さ
く個々の性能バラツキが大きいクライオスタットでは、
資材費・工数等を削減することができるとともに、クラ
イオスタットの流量消費特性のバラツキを抑えて品質の
安定を図ることができるという効果を有する。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は従
来例を示す断面図である。 １・・・積層圧電アクチュエータ素子
来例を示す断面図である。 １・・・積層圧電アクチュエータ素子
Claims (1)
- （１）低温動作型赤外線検知素子の冷却に使用する、ジ
ュールトムソン効果を利用したガス冷却クライオスタッ
トにおいて、ガス吹出し量を制限するニードルと、該ニ
ードルを駆動する圧電アクチュエータ素子と、該圧電ア
クチュエータ素子を制御するコントローラとを有するこ
とを特徴とするジュールトムソン型クライオスタット流
量制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10602888A JPH0668274B2 (ja) | 1988-04-29 | 1988-04-29 | ジュールトムソン型クライオスタット流量制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10602888A JPH0668274B2 (ja) | 1988-04-29 | 1988-04-29 | ジュールトムソン型クライオスタット流量制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01277686A true JPH01277686A (ja) | 1989-11-08 |
| JPH0668274B2 JPH0668274B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=14423188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10602888A Expired - Lifetime JPH0668274B2 (ja) | 1988-04-29 | 1988-04-29 | ジュールトムソン型クライオスタット流量制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668274B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675329A1 (fr) * | 1994-03-31 | 1995-10-04 | Cryotechnologies | Procédé de régulation thermique d'un mini-refroidisseur Joule-Thomson |
-
1988
- 1988-04-29 JP JP10602888A patent/JPH0668274B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675329A1 (fr) * | 1994-03-31 | 1995-10-04 | Cryotechnologies | Procédé de régulation thermique d'un mini-refroidisseur Joule-Thomson |
| FR2718224A1 (fr) * | 1994-03-31 | 1995-10-06 | Cryotechnologies | Procédé de régulation thermique d'un mini-refroidisseur Joule-Thomson. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0668274B2 (ja) | 1994-08-31 |
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