JPH01266506A - Light beam splitting method and light beam splitting and modulating method - Google Patents

Light beam splitting method and light beam splitting and modulating method

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JPH01266506A
JPH01266506A JP63094963A JP9496388A JPH01266506A JP H01266506 A JPH01266506 A JP H01266506A JP 63094963 A JP63094963 A JP 63094963A JP 9496388 A JP9496388 A JP 9496388A JP H01266506 A JPH01266506 A JP H01266506A
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JP
Japan
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light beams
light
intensity
light beam
emitted
Prior art date
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Application number
JP63094963A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Taniura
谷浦 博
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THINK LAB KK
Think Laboratory Co Ltd
Original Assignee
THINK LAB KK
Think Laboratory Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To make a beam splitting number twice as large as before by entering light beams of uniform intensity incident at a required angle into a light beam splitter which has a total reflecting film provided on one surface of a light transmitting material partially in a beltlike shape and a 50% reflecting film on the other parallel surface partially in a beltlike shape. CONSTITUTION:The light beam splitter 9 has the total reflecting film 9b formed by coating one surface of the light transmitting material 9a partially in the beltlike shape and also has the 50% reflecting film 9c formed by coating the other surface partially in the beltlike shape in parallel to the surface coated with the total reflecting film 9b. This 50% reflecting film 9c transmits the eight light beams which are incident under the total reflecting film 9b and travel in side by a half in quantity and reflects the remaining half of the light beams to the total reflecting film 9b. The light beams which travel in the light transmitting material 9a toward the total reflecting film 9b are reflected by the total reflecting film 9b and transmitted above the 90% reflecting film 9c on the opposite side. Thus, the light beams are split into upper and lower parts, which are projected.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目版複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割方法及び光
ビーム分割変調方法に関する。
Detailed Description of the Invention [Industrial Field of Application] The present invention is capable of producing a halftone reproduction image on a recording material by controlling exposure means on the recording side using an image signal obtained by photoelectrically manipulating an original picture, for example. In particular, the present invention relates to a light beam splitting method and a light beam splitting modulation method necessary for recording a halftone image by independently modulating a plurality of beams based on image signals.

[従来技術] 従来、−列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調される。
[Prior Art] Conventionally, a halftone image has been recorded by relatively scanning a recording material by independently modulating a large number of light beams arranged in a row based on an image signal. In many cases, the multiple light beams are split by arranging multiple total reflection mirrors and half reflection mirrors and reflecting one laser beam emitted from an argon laser onto these mirrors. Each light beam is independently modulated by a modulator.

このために、変調器として多チャンネル形超音波変調器
を使用する場合でも、音波電極の間隔に対応して光ビー
ムの間隔が1〜2■離される。
For this reason, even when a multi-channel ultrasonic modulator is used as a modulator, the distance between the light beams is 1 to 2 inches apart, corresponding to the distance between the acoustic wave electrodes.

こうして、光ビームのピッチが1〜2■とされるが、多
チャンネル形超音波変調器に入射する多数本の光ビーム
は、隣り合う光ビームのガウスビームのビーム径(記録
材料の露光に有効な強度分布のビーム径)が接触状態に
限りなく近く状態に離れていることが要求される。その
理由は、一本の光ビームの変調が両隣りの光ビームに対
しても作用しないようにするためである。すなわち、ク
コストーク現象を生じないようにするためである。
In this way, the pitch of the light beams is set to 1 to 2 square meters, but the beam diameter of the Gaussian beams of the adjacent light beams (effective for exposing the recording material) is It is required that the beam diameter of the intensity distribution be as close as possible to the contact state and as far away as possible. The reason for this is to prevent modulation of one light beam from affecting the light beams on both sides. In other words, this is to prevent the wolf talk phenomenon from occurring.

こうして、間隔を変調器の音波電極の間隔に対応して 
1〜2■離された一列に並ぶ多数本の光ビームは、隣り
合う光ビーム同士が若干型なるように光ファイバー等を
用いて間隔を接近され結晶光学系によって小さく絞られ
て、記録材料上に照射される。この場合、光ビームの強
度分布はガウス分布であるから、もしも、前記−列に並
ぶ多数本の光ビームが、隣り合う光ビーム同士が所要型
なるように配列して、ガウスビームのビーム径が接触状
態に近い状態に重ならないと、−列に並ぶ多数本の光ビ
ームが記録材料上に作るドツトの列がつながらないもの
となり、これでは、多数本の光ビームを画像信号に基い
て独立変調しても記録材料上に種々の大きさの網目画像
の形成が不可能となる。
In this way, the spacing corresponds to the spacing of the acoustic wave electrodes of the modulator.
A large number of light beams lined up in a line, separated by 1 to 2 cm, are spaced close together using optical fibers, etc., so that the adjacent light beams are slightly shaped, and are condensed into a small size by a crystal optical system, so that they are placed on the recording material. irradiated. In this case, the intensity distribution of the light beam is a Gaussian distribution, so if the multiple light beams lined up in the above-mentioned column are arranged so that the adjacent light beams have the required shape, the beam diameter of the Gaussian beam becomes If they do not overlap in a state close to contact, the rows of dots created on the recording material by the multiple light beams lined up in a row will not be connected, and in this case, the multiple light beams are independently modulated based on the image signal. However, it becomes impossible to form mesh images of various sizes on the recording material.

従来、−枚のガラス板の一方の面に全反射膜、他方の面
に非全反射膜をそれぞれコーティングした光ビーム分割
器を使用し、一本の光ビームを内部反射させて一列に並
ぶ多数本の光ビームに分割する発明として、日本特許公
開昭和52年第122135号と日本特許公開昭和58
年第10713号が存在する。
Conventionally, a light beam splitter is used, in which one side of a glass plate is coated with a total reflection film and the other side is coated with a non-total reflection film, and a single light beam is internally reflected and a number of lights are lined up in a row. Japanese Patent Publication No. 122135 of 1972 and Japanese Patent Publication No. 1982 of 1972 as an invention for dividing light into light beams.
Year No. 10713 exists.

両者はともに、ガラス等の光伝達材料の一方の面に全反
射膜、他方の面に非全反射膜をコーティングしてなり一
本の光ビームを該光伝達材料内に入射して内部反射させ
、該非全反射膜より複数本の平行な光ビームを分割出射
するものであり、前記非全反射膜は、分割出射する複数
本の光ビームの強度が均一となるよう、領域に応じて反
射率が異なるようにコーティングされていることにおい
て共通している。相違点は、前者が光伝達材料の両面が
平行であるのに対し、後者は光伝達材料の両面が平行し
ていないことである。この相違は、前者が複数本の光ビ
ームが平行して分割出射されるのに対し、後者は、複数
本の光ビームが光ビーム分割器から離れるに従いビーム
間隔を漸次接近するように分割出射されるという相違と
して現れる。
Both of them are made by coating a light transmitting material such as glass with a total reflection film on one side and a non-total reflection film on the other surface, so that a single light beam enters the light transmission material and is internally reflected. , a plurality of parallel light beams are split and emitted from the non-total reflection film, and the non-total reflection film has a reflectance depending on the area so that the intensity of the plurality of light beams split and emitted is uniform. What they have in common is that they are coated differently. The difference is that in the former, both sides of the light transmitting material are parallel, whereas in the latter, both sides of the light transmitting material are not parallel. The difference is that in the former, multiple light beams are divided and emitted in parallel, whereas in the latter, multiple light beams are divided and emitted in such a way that the distance between the beams gradually approaches each other as they move away from the light beam splitter. It appears as a difference between

[発明が解決しようとする課題] このため、日本特許公開昭和52年第122135号の
光ビーム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器
によって一列平行に分割される光ビームの各ビーム間に
所要隙間が確保される必要がある。該隙間が確保されな
いと、後置き設置される多チャンネル形超音波変調器で
各ビーム毎の独立変調に際してクロストーク現象が生じ
る。すなわち、音波電極が、それぞれ対応する光ビーム
をドライブするだけでなく、両隣りの光ビームもドライ
ブしてしまうことになる。そうして、該光ビーム分割器
によって一列平行に分割された後、多チャンネル形超音
波変調器で各ビーム毎の独立変調される光ビームは、直
ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶材料に露光するこ
とはできず、互いに隣接する光ビームのガウス径の円が
若干の重なりをもって連鎖するように光ファイバーまた
はミラー群を用いてビーム間隔を狭める必要があり、そ
の後に、結晶光学系で小さく絞り、記録材料上に照射さ
せていた。
[Problems to be Solved by the Invention] Therefore, when using the light beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 122135 of 1972, each beam of the light beam split into a line parallel by the light beam splitter is It is necessary to secure the required gap between them. If this gap is not secured, a crosstalk phenomenon will occur during independent modulation of each beam in a multi-channel ultrasonic modulator installed later. In other words, the acoustic wave electrodes not only drive the respective light beams, but also drive the light beams on both sides. After being split into parallel lines by the light beam splitter, each light beam is independently modulated by the multi-channel ultrasonic modulator, and the light beams are immediately focused into a small size by a crystal optical system and transferred to a storage material. It is not possible to perform light exposure, and it is necessary to narrow the beam spacing using an optical fiber or a group of mirrors so that Gaussian diameter circles of adjacent light beams are chained with some overlap, and then a crystal optical system is used to narrow the beam spacing. , was irradiated onto the recording material.

したがって、多チャンネル形超音波変調器と結晶光学系
との間は、ミラー群の配置や光ファイバーを配室するた
めの広いスペースが必要であるとともに、これらの調整
に高度な技量と多くの時間を必要としているとともに大
変面倒であった。
Therefore, a large space is required between the multi-channel ultrasonic modulator and the crystal optical system for arranging the mirror group and arranging the optical fibers, and these adjustments require a high degree of skill and a lot of time. It was both necessary and extremely troublesome.

これに対し、日本特許公開昭和58年第10713号の
光ビーム分割器を使用する場合には、該光ビーム分割器
によって間隔を開けて分割された一列状に多数本の光ビ
ームを、多チャンネル形超音波変調器で各ビーム毎に独
立変調した後、直ちに、結晶光学系で小さく絞って記憶
材料に露光することができるので、日本特許公開昭和5
2年第122135号に比べて優れている。これは、前
述したように、複数本の光ビームが光ビーム分割器から
離れるに従いビーム間隔を漸次接近していくようになっ
ているからである。しかしながら。
On the other hand, when using the light beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 10713 of 1982, multiple light beams are split in a line at intervals by the light beam splitter, and are split into multiple channels. After independently modulating each beam with a shaped ultrasonic modulator, it is possible to immediately narrow down the beam using a crystal optical system and expose the storage material.
It is superior to 2nd year No. 122135. This is because, as described above, the distance between the plurality of light beams gradually approaches each other as they move away from the light beam splitter. however.

多数本の光ビームを多チャンネル形超音波変調器で各ビ
ーム毎に独立変調する際に問題点が残されている。すな
わち、多数本の光ビームは、平行でないために、変調器
の変調効率2が低下するとともに、漏れ光が生ずる場合
があり、さらに変調器の音波電極の形成も難しい、また
、該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さを所定の数
値に超高精度に保つことは難かしく、該変調器の製作は
、困難を極めることとなる。該光ビーム分割器の両面の
交差角及び厚さが僅かでも異なれば、多数本の光ビーム
の集光距離は大きく異なることになり。
Problems remain when independently modulating a large number of optical beams for each beam using a multichannel ultrasonic modulator. That is, since the multiple light beams are not parallel, the modulation efficiency 2 of the modulator may be reduced and leakage light may occur.Furthermore, it is difficult to form the acoustic wave electrodes of the modulator, and it is difficult to split the light beams. It is difficult to maintain the intersection angle and thickness of both sides of the device at predetermined values with ultra-high precision, making the manufacture of the modulator extremely difficult. If the intersection angle and thickness of both surfaces of the light beam splitter differ even slightly, the condensing distances of the multiple light beams will differ greatly.

該光ビーム分割器と変調器との設置間隔、及び変調器と
結晶光学系XメXとの設置間隔は、装置毎に異なること
が避けられない。
It is inevitable that the installation spacing between the optical beam splitter and the modulator, and the installation spacing between the modulator and the crystal optical system X, differ from device to device.

さらにまた、日本特許公開昭和52年第122135号
の光ビーム分割器と、日本特許公開昭和58年第107
13号の光ビーム分割器は、いずれも、1本の光ビーム
を20木前後に分割するのが実用的な限界とされている
。それ以上分割数を大きくして解像度を上げることはで
きない0分割数を20前後よりも大きくすると、変調器
結晶内に熱が造り耐熱性、耐久性を欠く虞れが出てくる
。また、日本特許公開昭和52年第122135号の光
ビーム分割器では、分割数を大きくすると、光学結晶系
を大きくしなければならない。
Furthermore, the light beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 122135 of 1972 and the light beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 107 of 1982 are disclosed.
The practical limit for all of the No. 13 optical beam splitters is to split one optical beam into approximately 20 trees. It is not possible to increase the resolution by increasing the number of divisions any further.If the number of 0 divisions is made larger than about 20, there is a risk that heat will be generated within the modulator crystal, resulting in a lack of heat resistance and durability. Furthermore, in the light beam splitter disclosed in Japanese Patent Publication No. 122135/1973, if the number of divisions is increased, the optical crystal system must be made larger.

本発明は、ビーム分割数を従来の二倍にすることができ
て高解像度となり、かつ、多チャンネル超音波変調器に
おいてクロストーク現象が生ずることなく各光ビームを
独立変調させることができ、しかも、光ビーム分割器に
対して後置きされる多チャンネル超音波変調器及び光学
結晶系を従来より大きくする必要はなく、また多チャン
ネル超音波変調器と光学結晶系との間にミラー群や光フ
ァイバー酸けなくて済む小型で簡素、組付調整が簡単な
光ビーム分割方法及び光ビーム分割変調方法を提供する
ことを目的としている。
The present invention can double the number of beam divisions compared to the conventional method, resulting in high resolution, and can independently modulate each optical beam without causing a crosstalk phenomenon in a multichannel ultrasonic modulator. , there is no need to make the multi-channel ultrasound modulator and optical crystal system installed after the optical beam splitter larger than before, and there is no need to install mirror groups or optical fibers between the multi-channel ultrasound modulator and the optical crystal system. It is an object of the present invention to provide a light beam splitting method and a light beam splitting modulation method that are small, simple, and easy to assemble and adjust without being exposed to acid.

[課題を解決するための手段] 本願第一発明の光ビーム分割方法は、 光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた50%反射膜を有する光ビーム
分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互いに隣接
する光ビームのガウス径同士が重ならないように離れた
所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビームを
所要角度で入射して、該50%反射膜よりそれぞれ50
%の強度の光ビームを一列状に平行に出射させるととも
に、該50%反射膜に対し内部反射する残りの50%の
強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該50%
反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の面のコ
ーティングされていない部分より一列状に平行に出射さ
せ、該コーティングされていない部分より出射する50
%の強度の光ビームの列が、前記50%反射膜より出射
する50%の強度の光ビームの列に対して所要間隔離れ
、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、複数本の光ビ
ームを千鳥状配列に倍の本数に分割することを特徴とす
るものである。
[Means for Solving the Problems] The light beam splitting method of the first invention of the present application has a total reflection film partially coated in a band shape on one surface of a light transmission material, and a total reflection film coated on the other parallel surface. In a light beam splitter having a 50% reflective film partially coated in a band shape, a plurality of light beams with uniform intensity and a required pitch are arranged so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap. Light beams arranged parallel to each other in a row of planes are incident at a required angle, and 50% of each light beam is
% of the intensity is emitted in parallel in a line, and the remaining 50% of the light beam that is internally reflected against the 50% reflective film is reflected by the total reflection film to reflect the 50% again.
50. The light is emitted in parallel in a line from the uncoated part of one surface of the light transmission material coated with the reflective film, and the light is emitted from the uncoated part.
A plurality of light beams are arranged such that the row of light beams having an intensity of % is spaced apart from the row of light beams having an intensity of 50% and is shifted by approximately half a pitch from the row of light beams having an intensity of 50% emitted from the 50% reflective film. It is characterized by being divided into twice the number of lines in a staggered arrangement.

本願第二発明の光ビーム分割方法は。The light beam splitting method of the second invention of the present application is as follows.

光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反射膜、
他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非全反射
膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器内に、
一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全反射膜
より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の、かつ
、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重ならない
ように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射させ、次
いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビームを、
光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた50%反射膜を有する第二の光
ビーム分割器内に、所要角度で入射して、該50%反射
膜よりそれぞれ50%の強度の光ビームを一列状に平行
に出射させるとともに、該50%反射膜に対し内部反射
する残りの50%の強度の光ビームを全反射膜で反射さ
せて、再び該50%反射膜がコーティングされた光伝達
材料の一方の面のコーティングされていない部分より一
列状に平行に出射させ、該コーティングされていない部
分より出射する50%の強度の光ビームの列が、前記5
0%反射膜より出射する50%の強度の光ビームの列に
対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるように
して、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割
することを特徴とするものである。
A total reflection film on one side of the mutually parallel surfaces of the light transmission material,
In the first light beam splitter, the other surface is coated with a non-total reflection film so that the reflectance varies depending on the area.
A single light beam is incident and internally reflected, and the non-total reflection film creates a plurality of light beams parallel to each other with uniform intensity in a row and separated from each other so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap. The light beams having the required pitch are divided and emitted, and then the divided and emitted plurality of light beams are arranged in a line,
a second light beam splitting having a partially band-coated total reflection coating on one side of the light transmitting material and a partially band-coated 50% reflection coating on the other parallel side; A light beam of 50% intensity enters the chamber at a required angle and is emitted in parallel from the 50% reflective film in a line, and the remaining 50% is internally reflected against the 50% reflective film. The intense light beam is reflected by the total reflection film, and then emitted in parallel in a line from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflection film. A row of light beams with an intensity of 50% emitted from the above-mentioned 5
Dividing the plurality of light beams into twice the number in a staggered arrangement with a required spacing and approximately half a pitch with respect to the row of light beams with 50% intensity emitted from the 0% reflection film. It is characterized by:

本願第三発明の光ビーム分割方法は。A light beam splitting method according to the third invention of the present application is as follows.

光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた50%反射膜を有する光ビーム
分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互いに隣接
する光ビームのガウス径同士が重ならないように離れた
所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビームを
所要角度で入射して、核50%反射膜よりそれぞれ50
%の強度の光ビームを一列状に平行に出射させるととも
に、該50%反射膜に対し内部反射する残りの50%の
強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該50%
反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の面のコ
ーティングされていない部分より一列状に平行に出射さ
せ、該コー゛  ティングされていない部分より出射す
る50%の強度の光ビームの列が、前記50%反射膜よ
り出射する50%の強度の光ビームの列に対して所要間
隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、前記複
数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し、 次いで、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記50%反射膜より出射する5
0%の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する50%の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とするものである。
in a light beam splitter having a partially band-coated total reflection coating on one side of the light transmitting material and a partially band-coated 50% reflection coating on the other parallel side. , a plurality of light beams with uniform intensity and arranged parallel to each other in a plane at a required pitch are spaced apart so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap, and are incident at a required angle to generate a nucleus. 50% each from 50% reflective film
% of the intensity is emitted in parallel in a line, and the remaining 50% of the light beam that is internally reflected against the 50% reflective film is reflected by the total reflection film to reflect the 50% again.
A line of light beams with an intensity of 50% is emitted from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with a reflective film in a line in parallel, and is emitted from the uncoated part. The plurality of light beams are divided into twice the number of light beams in a staggered arrangement at a required interval and shifted by approximately half a pitch with respect to the row of light beams of 50% intensity emitted from the 50% reflection film. Next, two multi-channel ultrasonic modulators were installed, each of which had acoustic wave electrodes located perpendicular to each light beam to independently modulate the light beams, corresponding to the number and pitch of the light beams. The ultrasonic modulators are arranged close to each other with the electrodes on the outside, and one of the ultrasonic modulators has five ultrasonic waves emitted from the 50% reflection film.
A train of light beams with an intensity of 0% is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator, and a train of light beams with an intensity of 50% emitted from the uncoated portion is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator based on the image signal. The system is characterized in that each of these light beams is independently modulated, and the light beams in one row are modulated through delay processing.

本願第四発明の光ビーム分割方法は。A light beam splitting method according to a fourth invention of the present application.

光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反射膜、
他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非全反射
膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器内に、
一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全反射膜
より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の、かつ
、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重ならない
ように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射させ、次
いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビームを、
光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティングさ
れた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分的に帯
状にコーティングされた50%反射膜を有する第二の半
ビーム分割器内に所要角度で入射して、該50%反射膜
よりそれぞれ50%の強度の光ビームを一列状に平行に
出射させるとともに、該50%反射膜に対し内部反射す
る残りの50%の強度の光ビームを全反射膜で反射させ
て、再び該50%反射膜がコーティングされた光伝達材
料の一方の面のコーティングされていない部分より一列
状に平行に出射させ、該コーティングされていない部分
より出射する50%の強度の光ビームの列が、前記50
%反射膜より出射する50%の強度の光ビームの列に対
して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにし
て、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し
、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記50%反射膜より出射する5
0%の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する50%の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とするものである。
A total reflection film on one side of the mutually parallel surfaces of the light transmission material,
In the first light beam splitter, the other surface is coated with a non-total reflection film so that the reflectance varies depending on the area.
A single light beam is incident and internally reflected, and the non-total reflection film creates a plurality of light beams parallel to each other with uniform intensity in a row and separated from each other so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap. The light beams having the required pitch are divided and emitted, and then the divided and emitted plurality of light beams are arranged in a line,
a second half-beam splitter having a partially band-coated total reflection coating on one side of the light transmitting material and a partially band-coated 50% reflection coating on the other parallel side; A light beam that enters the vessel at a required angle and has an intensity of 50% is emitted from the 50% reflective film in parallel in a line, and the remaining 50% of the intensity is internally reflected against the 50% reflective film. The light beam is reflected by the total reflection film and emitted in parallel in a line from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflection film, and the uncoated part A row of light beams with an intensity of 50% emitted from the 50%
The plurality of light beams are divided into twice the number in a staggered arrangement at the required intervals and shifted by approximately half a pitch with respect to the row of light beams with 50% intensity emitted from the % reflection film, and then A sonic electrode is positioned at right angles to each light beam and independently modulates the light beam. The ultrasonic modulators are arranged close to each other so as to be on the outside, and one of the ultrasonic modulators has five ultrasonic waves emitted from the 50% reflection film.
A train of light beams with an intensity of 0% is passed through the other multichannel ultrasonic modulator, and a train of light beams with an intensity of 50% emitted from the uncoated portion is passed through the other multichannel ultrasonic modulator based on the image signal. The system is characterized in that each of these light beams is independently modulated, and the light beams in one row are modulated through delay processing.

[実施例・・・第1図ないし第4図] この実施例は、本願第一ないし第四発明に共通するもの
で、感光膜を塗布したグラビア製版ロールに、アルゴン
レーザを一列八木に分割しさらに二列十六木に分割した
光ビームとし、これら光ビームを網目版画像信号に基い
てそれぞれ独立に変調してかつ一方の光ビーム列は位相
ずれに対応した遅延をかけて信号を送り、結晶光学系で
ビームを絞り、回転する感光膜を塗布したグラビア製版
ロールに対して露光し、かつ面長方向に走査移動するダ
イレクト露光装置を示す。
[Example: Figures 1 to 4] This example is common to the first to fourth inventions of the present application, and an argon laser is divided into a row of Yagis on a gravure plate-making roll coated with a photosensitive film. Further, the light beams are divided into two rows of 16 trees, each of these light beams is independently modulated based on the halftone image signal, and one of the light beam rows is delayed in accordance with the phase shift and sent as a signal. This is a direct exposure device that focuses a beam using a crystal optical system, exposes a rotating gravure plate-making roll coated with a photoresist, and scans and moves in the longitudinal direction of the surface.

符合1は製版ロールであり、一対の回転チャックによっ
て両端チャックされて高速回転される・。
Number 1 is a plate-making roll, which is chucked at both ends by a pair of rotating chucks and rotated at high speed.

符合2はXテーブルであり、製版ロールlの面長方向に
該製版ロール1の回転に対応して移動自在である。符合
3はYテーブルであり、Xテーブル2上に設けられ制御
モータ4によって製版ロールlに対して接近及び離隔移
動自在である。
Reference numeral 2 denotes an X table, which is movable in the longitudinal direction of the plate-making roll 1 in accordance with the rotation of the plate-making roll 1. Reference numeral 3 denotes a Y table, which is provided on the X table 2 and can be moved toward and away from the plate-making roll l by means of a control motor 4.

この装置は、図示されていない固定設置されたアルゴン
レーザの光ビーム(レーザ光線)を、Xテーブル2上に
設けられた全反射ミラー5と、Yテーブル3上に設けら
れた全反射ミラー6.7によって屈曲し、Yテーブル3
上に設けられた第一の光ビーム分割器8に導き、該第−
の光ビーム分割器8により水平面上に平行に並ぶ八本の
光ビームに分割し、さらに、Yテーブル3上に設けられ
た第二の光ビーム分割器9により一列が八木で、互いに
半ピッチずれた二列状の十六木の光ビームに分割し、次
いで、上下二段重ねのハチャンネル形超音波変調器10
.11において網目版画像信号に基いてそれぞれ独立し
て変調制御し、結晶光学系12で小さなビーム径に絞り
、かつオートフォーカスレンズ12aで感光膜がコーテ
ィングされた製版ロール1に焦点を合わせ、Xテーブル
2の移動に従い走査露光するものである。
This device transmits a light beam (laser beam) from a fixedly installed argon laser (not shown) to a total reflection mirror 5 provided on an X table 2 and a total reflection mirror 6 provided on a Y table 3. 7, bent by Y table 3
the first beam splitter 8 provided above;
The light beam splitter 8 splits the light beams into eight light beams arranged in parallel on a horizontal plane, and the second light beam splitter 9 installed on the Y table 3 splits the light beams into eight light beams arranged in parallel on a horizontal plane. The beam is divided into 16 optical beams arranged in two rows, and then the ultrasonic wave modulator 10 is divided into 16 optical beams arranged in two rows.
.. 11, modulation is controlled independently based on the halftone image signal, the crystal optical system 12 narrows down the beam to a small beam diameter, and the autofocus lens 12a focuses the beam onto the plate-making roll 1 coated with a photoresist film. Scanning exposure is carried out according to the movement of 2.

本願第一発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器9
を用いて一列状の複数本の光ビームを各党ビームが二本
に分かれるようにして互いに半ピッチずれた二列状に分
割することを特定したものであり、 本願第二発明の光ビーム分割方法は、光ビーム分割器8
を用いて一本の光ビームを複数本となるように分割した
後、光ビーム分割器9を用いて各光ビームが二本に分か
れるようにして互いに半ピッチずれた二列状に分割する
ことを特定したものであり、 本願第三発明の光ビーム分割変調方法は、光ビーム分割
器9を用いて一列状の複数本の光ビームを各党ビームが
二本に分かれるようにして互いに半ピッチずれた二列状
に分割した後、列を分けて多チャンネル形超音波変調器
10.11に導き、各光ビームを独立して変調制御する
ことについて発明として特定したものであり、 本願第四発明の光ビーム分割変調方法は、光ビーム分割
器8を用いて一本の光ビームを複数本となるように分割
した後、光ビーム分割器9を用いて各光ビームが二本に
分かれるようにして互いに半ピンチずれた二列状に分割
した後、列を分けて多チャンネル形超音波変調器to、
ttに導き、各光ビームを独立して変調制御することに
ついて発明として特定したものである。
The light beam splitting method of the first invention of the present application includes a light beam splitter 9
It is specified that a plurality of light beams in a line are divided into two lines with each party beam being separated by a half pitch using the method, and the light beam splitting method of the second invention of the present application is the optical beam splitter 8
After splitting one light beam into a plurality of beams using a light beam splitter 9, each light beam is split into two lines into two lines shifted by a half pitch from each other. The light beam splitting modulation method of the third invention of the present application uses a light beam splitter 9 to split a plurality of light beams in a row into two beams, each separated by a half pitch. After splitting into two rows, the rows are divided and guided to a multi-channel ultrasonic modulator 10.11, and each light beam is independently modulated and controlled. This is the fourth invention of the present application. The light beam splitting modulation method uses a light beam splitter 8 to split a single light beam into a plurality of light beams, and then uses a light beam splitter 9 to split each light beam into two. After dividing into two rows shifted by half a pinch from each other, the rows are divided and a multi-channel ultrasonic modulator to,
tt and independently modulating and controlling each light beam.

光ビーム分割器8は、日本特許公開昭和52年第122
135号の光ビーム分割器と同等品である。すなわち、
光ビーム分割器8は、光伝達材料8aの互いに平行な両
面の一方の面に全反射膜8b、他方の面に領域に応じて
反射率が異なるように非全反射膜8Cがコーティングさ
れてなる。
The optical beam splitter 8 is disclosed in Japanese Patent Publication No. 122 of 1972.
It is equivalent to the optical beam splitter No. 135. That is,
The light beam splitter 8 is formed by coating a total reflection film 8b on one side of both parallel surfaces of a light transmission material 8a, and coating a non-total reflection film 8C on the other side so that the reflectance varies depending on the area. .

該光ビーム分割器8は、全反射ミラー7より反射されて
くる光ビームに対して角度αだけ傾いて設けられる。該
角度αは、非全反射膜8Cより分割出射する光ビームの
間隔が、多チャンネル形超音波変調器10.11の音波
電極(例えば1.0+amφ)のピッチ(例えば1.5
mm)と一致するように調整される。しかして、該光ビ
ーム分割器8は、全反射ミラー7より反射されてくる一
本の光ビームを、分割器入射側の面の該全反射膜8bが
コーティングされていない端部8Cより入射し、非全反
射膜8Cと全反射膜8bとの間で内部反射を繰替させ、
非全反射膜8Cがコーティングされた出射形の面より、
八木の均等な光量の光ビームを分割出射させるようにな
っている。非全反射膜8Cは、最初の出射領域は入射光
の1/8の、次は内部反射光の1/7の、次は内部反射
光の1/8の、次は内部反射光の175の、次は内部反
射光の1/4の、次は内部反射光の173の、次は内部
反射光の1/2の光量をそれぞれ通過するように七つの
出射領域に応じて反射率が異なる反射膜とされており、
最後に出射領域は、内部反射する光ビームが最初の入射
光の1/8の光量となり全量を出射させる必要があるの
で、反射膜光がコーティングされていない。
The light beam splitter 8 is provided so as to be inclined by an angle α with respect to the light beam reflected from the total reflection mirror 7. The angle α is such that the interval between the light beams split and emitted from the non-total reflection film 8C is the same as the pitch (for example, 1.5
mm). Thus, the light beam splitter 8 allows the single light beam reflected from the total reflection mirror 7 to enter from the end 8C on the incident side surface of the splitter where the total reflection film 8b is not coated. , internal reflection is repeated between the non-total reflection film 8C and the total reflection film 8b,
From the exit type surface coated with non-total reflection film 8C,
It is designed to emit a light beam of equal amount of light from Yagi in parts. The non-total reflection film 8C has a first emission area that captures 1/8 of the incident light, then 1/7 of the internally reflected light, then 1/8 of the internally reflected light, and then 175% of the internally reflected light. , next, 1/4 of the internally reflected light, next 173 of the internally reflected light, and next, 1/2 of the internally reflected light are passed through, respectively, with different reflectances depending on the seven emission areas. It is said to be a membrane,
Finally, the output region is not coated with a reflective film because the internally reflected light beam becomes 1/8 of the light intensity of the initially incident light and the entire amount needs to be emitted.

光ビーム分割器8を分割出射する八木の均等な光量の光
ビームは、光ビーム分割器9に入射しそれぞれ一本が互
いに科目配置の二本に分かれるようにして十六木の均等
な光量の光ビームとなり分割出射する。
The light beams of equal light intensity from Yagi, which are divided and emitted from the light beam splitter 8, enter the light beam splitter 9, where each beam is split into two beams arranged in the same manner as each other. It becomes a light beam and is emitted in parts.

該光ビーム分割器9は、第2図に示すように、入射する
八木の光ビームと直交する面に関して比較的大きな角度
β(例えば、45°)傾いて設けられている。そして、
該光ビーム分割器9は、光伝達材料9aの一方の面に部
分的に帯状にコーティングされた全反射膜9bがあり、
光ビーム分割器8により分割された八木の光ビームは、
それぞれ全反射膜9bの下側に入射するようになってお
り、また光伝達材料9aの他方の面は、全反射膜9bが
コーティングされた面と平行していて部分的に帯状にコ
ーティングされた50%反射膜9Cがあり、該50%反
射膜9Cが、光伝達材料9aに対して前記全反射膜9b
の下側に入射し内部を進んでくる八本の光の半分の光量
を透過させるととも残り半分の光量を前記全反射膜9b
へ向うように反射させる。光伝達材料9aの内部を全反
射膜9bへ向う光ビームは、該全反射膜9bにより反射
され1反対側の面の50%反射膜9Cの上側を透過する
As shown in FIG. 2, the light beam splitter 9 is inclined at a relatively large angle β (for example, 45°) with respect to a plane orthogonal to the incident Yagi light beam. and,
The light beam splitter 9 has a total reflection film 9b partially coated in a band shape on one side of the light transmission material 9a;
The Yagi light beam split by the light beam splitter 8 is
The light is incident on the lower side of the total reflection film 9b, and the other surface of the light transmission material 9a is parallel to the surface coated with the total reflection film 9b, and is partially coated in a band shape. There is a 50% reflective film 9C, and the 50% reflective film 9C is different from the total reflective film 9b with respect to the light transmission material 9a.
The total reflection film 9b transmits half of the eight beams of light that enter the lower side and travel inside, and transmits the remaining half of the light amount to the total reflection film 9b.
reflect it towards. A light beam traveling inside the light transmission material 9a toward the total reflection film 9b is reflected by the total reflection film 9b and transmitted through the upper side of the 50% reflection film 9C on the opposite surface.

しかして、光ビーム分割器9は、八本の光ビームを全反
射膜9bの下側に入射させてそれぞれ各ビームを光量が
50%ずつとなるように上下に二分割して50%反射膜
9Cより八木の光ビームを出射させるとともに、50%
反射膜9Cの上より八木の光ビームを出射させる。
Therefore, the light beam splitter 9 makes the eight light beams enter the lower side of the total reflection film 9b, and divides each beam into upper and lower halves so that each beam has a light intensity of 50%. Yagi's light beam is emitted from 9C and 50%
A Yagi light beam is emitted from above the reflective film 9C.

光ビーム分割器9は、第1図に示すように、入射する八
本の光ビームの列に沿った方向に小さな角度γを有して
傾斜設置される。このため、光ビーム分割器9より出射
する上段列の(50%反射膜9Cの上より出射する)八
本の光ビームの出射位置は、内部反射を経るので、下段
列の(50%反射膜9Cより出射する)八木の光ビーム
よりも大きく横方向へずれる。そこで、前記角度γを微
調整して、光ビーム分割器9より出射する上段列の八木
の光ビームの出射位置を、下段列の八本の光ビームの出
射位置に対して半ピッチ大きく横方向へずらす。
The light beam splitter 9 is tilted at a small angle γ in the direction along the row of eight incident light beams, as shown in FIG. For this reason, the emission positions of the eight light beams in the upper row (emitted from above the 50% reflective film 9C) that are emitted from the light beam splitter 9 undergo internal reflection. 9C) is shifted laterally to a greater extent than Yagi's light beam. Therefore, by finely adjusting the angle γ, the emission position of the upper row of Yagi's light beams emitted from the light beam splitter 9 is set to be larger by half a pitch laterally than the emission position of the eight light beams of the lower row. Hezrasu.

光ビーム分割器9で十六木に分割された均等な光量の光
ビームは、例えば、1.0mmの隙間を開けて上下二段
重ねとしたハチャンネル形超音波変調器10.11に入
射する。上側の変調器10は、光ビーム分割器9より出
射する上段列の八本の光ビームを入射し、下側の変調器
11は、下段列の八木の光ビームを入射する。変調器1
0の上面に、各党ビームを独立に変調するための超音波
を発振する音波電極10a〜10にが設けられ、また、
変調器11の下面に、各党ビームを独立に変調するため
の超音波を発振する音波電極11a〜11hが設けられ
ている。これら音波電極10a〜101t、lla 〜
11)1は、変調器を透過する光ビームに対して直角方
向の側面に、各党ビームに垂直に位置して設けられ、画
像信号に基いて各党ビームを独立に変調する。光ビーム
のビーム径と音波電極の大きさと電極間隔の相対的関係
は、例えば、ビーム径は0.8番騰、音波電極の大きさ
は1.0mm 、電極間隔は1.5mmである。
The light beam having an equal amount of light divided into 16 pieces by the light beam splitter 9 enters a ha-channel type ultrasonic modulator 10.11 which is stacked in two layers with a gap of, for example, 1.0 mm. . The upper modulator 10 receives the eight light beams in the upper row emitted from the light beam splitter 9, and the lower modulator 11 receives the Yagi light beams in the lower row. Modulator 1
0 are provided with sound wave electrodes 10a to 10 for oscillating ultrasonic waves for independently modulating each party beam, and
Sonic electrodes 11a to 11h are provided on the lower surface of the modulator 11 to oscillate ultrasonic waves for independently modulating each party beam. These sound wave electrodes 10a to 101t, lla to
11) 1 is provided on a side surface perpendicular to the light beam passing through the modulator and perpendicular to each party beam, and independently modulates each party beam based on the image signal. The relative relationship between the beam diameter of the light beam, the size of the sonic electrode, and the electrode spacing is, for example, the beam diameter is 0.8 mm, the sonic electrode size is 1.0 mm, and the electrode spacing is 1.5 mm.

上側の変調器10を透過する八木の光ビームと、下側の
変調器11を透過する八木の光ビームは、記録材料であ
るグラビア製版ロール1に対して位相がずれている。こ
のため、グラビア製版ロールlが矢印の方向に回転する
場合には、下側の変調器11の音波電極11a〜11h
:に必要な遅延処理をかけた変調信号を送る。これによ
り、第4図に示すように、上側の変調器10により先に
変調制御された八木の光ビームにより、グラビア製版ロ
ール1に一列状に間隔が開いた八個のドラ)13a〜1
3にを先に露光し、次いで、グラビア製版ロール1が位
相ずれ分だけ回転した超瞬間に、下側の変調器lOによ
り変調制御された八木の光ビームにより、グラビア製版
ロール1に一列状に間隔が開いた八個のドラ)14a−
14にを露光すると、これらドツト14 a −14に
は、先に露光されたドラ) 13a〜13にに対して半
ピッチずつずれて一列に重なることになる。
The Yagi light beam that passes through the upper modulator 10 and the Yagi light beam that passes through the lower modulator 11 are out of phase with respect to the gravure plate making roll 1 that is the recording material. Therefore, when the gravure plate-making roll l rotates in the direction of the arrow, the sound wave electrodes 11a to 11h of the lower modulator 11
: Sends a modulated signal with necessary delay processing applied to it. As a result, as shown in FIG. 4, the light beam of Yagi, which has been modulated in advance by the upper modulator 10, is applied to the gravure plate making roll 1 in a row with eight drums (13a to 1) spaced apart from each other.
3 is first exposed, and then, at the super instant when the gravure plate-making roll 1 rotates by the amount of the phase shift, Yagi's light beam modulated and controlled by the lower modulator IO is used to expose the gravure plate-making roll 1 in a line. 8 dora spaced apart) 14a-
When 14 is exposed, these dots 14a-14 are shifted by half a pitch from the previously exposed dots 13a-13, and overlap in a line.

そこで、これら音波電極10a 〜10)L、lla〜
tthに、画像信号に基いた変調信号を送るようにし、
かつ、音波電極11a〜11Kには位相ずれに対応して
変調信号を送るタイミングを遅延させるようにすれば、
グラビア製版ロール1には網画像を露光できる。
Therefore, these sound wave electrodes 10a to 10) L, lla to
Send a modulation signal based on the image signal to tth,
Moreover, if the timing of sending the modulation signal to the sound wave electrodes 11a to 11K is delayed in response to the phase shift,
A halftone image can be exposed on the gravure plate making roll 1.

[発明の効果] 以上説明してきたように、本願発明の光ビーム分割方法
及び光ビーム分割変調方法によれば以下の効果を有する
[Effects of the Invention] As explained above, the light beam splitting method and the light beam splitting modulation method of the present invention have the following effects.

■ビーム分割数を従来の二倍にすることができ、高解像
度の露光ができる。
■The number of beam divisions can be doubled compared to conventional systems, allowing high-resolution exposure.

■多チャンネル超音波変調器においてクロストーク現象
が生ずることなく各光ビームを独立変調させることがで
きる。
(2) Each optical beam can be modulated independently in a multi-channel ultrasonic modulator without causing crosstalk phenomena.

■ビーム分割数を従来の二倍であるのに、多チャンネル
超音波変調器及び光学結晶系を従来より大きくする必要
はない、友旙器は二役重ねにできる。
■Although the number of beam divisions is twice that of the conventional one, there is no need to make the multi-channel ultrasonic modulator and optical crystal system larger than the conventional one.

■多チャンネル超音波変調器と光学結晶系との間にミラ
ー群や光ファイバー設けなくて済み、小型で簡素、組付
調整が簡単である。
■There is no need to provide a mirror group or optical fiber between the multi-channel ultrasonic modulator and the optical crystal system, making it compact and simple, and easy to assemble and adjust.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は、本願第一ないし第四発明の光ビーム分割方法及
び光ビーム分割変調方法に共通する実施例として示す、
グラビア製版ロール用ダイレクトレーザー露光装置に係
り、第1図は平面図、第2図は第1図中の矢印■より見
た矢視図、第3図は第1図中の矢印■−■より見た矢視
図である。第4図は、二列十六本の光ビームが記録材料
上に一列状に露光される状態を示す記録面の光ビームド
ツトの配列状態図である。 1mm・製版ロール、 2番・・Xテーブル、 3・拳・Yテーブル、 4・11*制御モータ、 5.6,7・・・全反射ミラー、 8・・・光ビーム分割器、 8a・・−光伝達材料。 8b・・・全反射膜。 80・・・非全反射膜、 9・拳・光ビーム分割器、 9a一番・光伝達材料、 9b−・・全反射膜、 9C・・・50%反射膜、 10.11・・会へチャンネル形超音波変調器、10’
a−10h:、lla 〜1th*会音波電極、12・
や・結晶光学系、 12aaII・オートフォーカスレンズ。 13a−13)1.14a 〜14h争・・光ビームの
記録面上の露光ドツト、 出願人 株式会社シンク参ラボラトリ−第2図 β 第3図 第4図
The drawings are shown as an embodiment common to the light beam splitting method and the light beam splitting modulation method of the first to fourth inventions of the present application.
Regarding a direct laser exposure device for gravure plate making rolls, Fig. 1 is a plan view, Fig. 2 is a view taken from the arrow ■ in Fig. 1, and Fig. 3 is a view taken from the arrow ■ - ■ in Fig. 1. It is a view seen from the arrow. FIG. 4 is a diagram showing the arrangement of light beam dots on a recording surface, showing a state in which two rows of 16 light beams are exposed on a recording material in a line. 1mm plate making roll, No.2...X table, 3.Fist/Y table, 4.11*control motor, 5.6,7...total reflection mirror, 8...light beam splitter, 8a... -Light transmitting materials. 8b... Total reflection film. 80...Non-total reflection film, 9.Fist/light beam splitter, 9a-Ichiban/light transmission material, 9b-...total reflection film, 9C...50% reflection film, 10.11...To the meeting Channel type ultrasound modulator, 10'
a-10h:, lla ~1th*Sound wave electrode, 12・
・Crystal optical system, 12aaII・autofocus lens. 13a-13) 1.14a - 14h... Exposure dots on the recording surface of the light beam, Applicant: Think Lab Co., Ltd. - Figure 2 β Figure 3 Figure 4

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
的に帯状にコーティングされた50%反射膜を有する光
ビーム分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互い
に隣接する光ビームのガウス径同士が重ならないように
離れた所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビ
ームを所要角度で入射して、該50%反射膜よりそれぞ
れ50%の強度の光ビームを一列状に平行に出射させる
とともに、該50%反射膜に対し内部反射する残りの5
0%の強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該
50%反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の
面のコーティングされていない部分より一列状に平行に
出射させ、該コーティングされていない部分より出射す
る50%の強度の光ビームの列が、前記50%反射膜よ
り出射する50%の強度の光ビームの列に対して所要間
隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、複数本
の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割することを特
徴とする光ビーム分割方法。
(1) Light beam splitting having a total reflection coating partially coated in a strip on one side of the light transmitting material and a 50% reflection coating partially coated in a strip on the other parallel surface. A plurality of light beams with uniform intensity and arranged parallel to each other in a plane at a required pitch so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap are incident on the device at a required angle. Then, the 50% reflective film emits light beams of 50% intensity in parallel in a line, and the remaining 5 light beams are internally reflected against the 50% reflective film.
A light beam with an intensity of 0% is reflected by the total reflection film, and then emitted in parallel in a line from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflection film, and the coating The row of light beams of 50% intensity emitted from the unprotected portion is spaced apart from the row of light beams of 50% intensity emitted from the 50% reflective film by a required distance and shifted by approximately half a pitch. A light beam splitting method characterized by splitting a plurality of light beams into twice the number of light beams in a staggered arrangement.
(2)光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反
射膜、他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非
全反射膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器
内に、一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全
反射膜より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の
、かつ、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重な
らないように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射さ
せ、次いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビー
ムを、光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
的に帯状にコーティングされた50%反射膜を有する第
二の光ビーム分割器内に、所要角度で入射して、該50
%反射膜よりそれぞれ50%の強度の光ビームを一列状
に平行に出射させるとともに、該50%反射膜に対し内
部反射する残りの50%の強度の光ビームを全反射膜で
反射させて、再び該50%反射膜がコーティングされた
光伝達材料の一方の面のコーティングされていない部分
より一列状に平行に出射させ、該コーティングされてい
ない部分より出射する50%の強度の光ビームの列が、
前記50%反射膜より出射する50%の強度の光ビーム
の列に対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれる
ようにして、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数
に分割することを特徴とする光ビーム分割方法。
(2) A first light beam splitter formed by coating a light transmission material with a total reflection film on one side of the parallel surfaces and a non-total reflection film on the other side so that the reflectance varies depending on the area. A single light beam is incident on the inside and reflected internally, and the non-total reflection film allows the Gaussian diameters of multiple parallel light beams with uniform intensity in a row and adjacent to each other to not overlap with each other. The light beams are separated and emitted at a required pitch, and then the divided and emitted plurality of light beams are coated with a total reflection film partially coated in a strip on one surface of the light transmission material. incident at a desired angle into a second light beam splitter having a 50% reflective coating partially strip-coated on the other parallel surface,
% reflection film to emit light beams of 50% intensity in parallel in a line, and the remaining 50% intensity light beam that is internally reflected to the 50% reflection film is reflected by a total reflection film, Again, a line of light beams with 50% intensity is emitted from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflective film in a line in parallel, and is emitted from the uncoated part. but,
The plurality of light beams are divided into twice the number in a staggered arrangement at a required interval and shifted by approximately half a pitch with respect to the row of light beams of 50% intensity emitted from the 50% reflection film. A light beam splitting method characterized by:
(3)光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
的に帯状にコーティングされた50%反射膜を有する光
ビーム分割器内に、強度が均一な複数本の、かつ、互い
に隣接する光ビームのガウス径同士が重ならないように
離れた所要ピッチの一列平面状に平行に配列された光ビ
ームを所要角度で入射して、該50%反射膜よりそれぞ
れ50%の強度の光ビームを一列状に平行に出射させる
とともに、該50%反射膜に対し内部反射する残りの5
0%の強度の光ビームを全反射膜で反射させて、再び該
50%反射膜がコーティングされた光伝達材料の一方の
面のコーティングされていない部分より一列状に平行に
出射させ、該コーティングされていない部分より出射す
る50%の強度の光ビームの列が、前記50%反射膜よ
り出射する50%の強度の光ビームの列に対して所要間
隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるようにして、前記複
数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に分割し、 次いで、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記50%反射膜より出射する5
0%の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する50%の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とする光ビーム分割変調方
法。
(3) Optical beam splitting having a total reflection coating partially coated in a band on one side of the light transmitting material and a 50% reflection coating partially coated in a band on the other parallel side. A plurality of light beams with uniform intensity and arranged parallel to each other in a plane at a required pitch so that the Gaussian diameters of adjacent light beams do not overlap are incident on the device at a required angle. Then, the 50% reflective film emits light beams of 50% intensity in parallel in a line, and the remaining 5 light beams are internally reflected against the 50% reflective film.
A light beam with an intensity of 0% is reflected by the total reflection film, and then emitted in parallel in a line from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflection film, and the coating The row of light beams of 50% intensity emitted from the unprotected portion is spaced apart from the row of light beams of 50% intensity emitted from the 50% reflective film by a required distance and shifted by approximately half a pitch. The plurality of light beams are divided into twice the number of light beams in a staggered arrangement, and then a sonic electrode positioned at right angles to each light beam and independently modulating the light beams is arranged to adjust the number and pitch of the light beams. Two correspondingly equipped multi-channel ultrasonic modulators are arranged adjacently in parallel with the sound wave electrodes facing outward, and one ultrasonic modulator has a 50% reflection film that emits light from the 50% reflection film.
A train of light beams with an intensity of 0% is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator, and a train of light beams with an intensity of 50% emitted from the uncoated portion is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator based on the image signal. A light beam division modulation method characterized in that each of these light beams is modulated independently, and the light beams in one row are modulated by subjecting them to delay processing.
(4)光伝達材料の互いに平行な両面の一方の面に全反
射膜、他方の面に領域に応じて反射率が異なるように非
全反射膜をコーティングしてなる第一の光ビーム分割器
内に、一本の光ビームを入射して内部反射させ、該非全
反射膜より、一列平面状に平行な強度が均一な複数本の
、かつ、互いに隣接する光ビームのガウス径同士が重な
らないように離れた所要ピッチの光ビームを分割出射さ
せ、次いで、該分割出射した一列状かつ複数本の光ビー
ムを、光伝達材料の一方の面に部分的に帯状にコーティ
ングされた全反射膜を有し、また他方の平行な面に部分
的に帯状にコーティングされた50%反射膜を有する第
二の光ビーム分割器内に所要角度で入射して、該50%
反射膜よりそれぞれ50%の強度の光ビームを一列状に
平行に出射させるとともに、該50%反射膜に対し内部
反射する残りの50%の強度の光ビームを全反射膜で反
射させて、再び該50%反射膜がコーティングされた光
伝達材料の一方の面のコーティングされていない部分よ
り一列状に平行に出射させ、該コーティングされていな
い部分より出射する50%の強度の光ビームの列が、前
記50%反射膜より出射する50%の強度の光ビームの
列に対して所要間隔離れ、かつ、ほぼ半ピッチずれるよ
うにして、複数本の光ビームを千鳥状配列に倍の本数に
分割し、 続いて、各光ビームに対して直角に位置して光ビームを
独立変調する音波電極が、光ビームの本数及びピッチに
対応して備えられた二個の多チャンネル超音波変調器を
、音波電極が外側に来るようにして近接して並設し、一
方の超音波変調器に、前記50%反射膜より出射する5
0%の強度の光ビームの列を通過させるとともに、他方
の多チャンネル超音波変調器に、前記コーティングされ
ていない部分より出射する50%の強度の光ビームの列
を通過させ、画像信号に基いてこれら光ビームの一本一
本を独立変調し、かつ、一方の列の光ビームは遅延処理
をかけて変調することを特徴とする光ビーム分割変調方
法。
(4) A first light beam splitter comprising a total reflection film coated on one of the mutually parallel surfaces of a light transmission material and a non-total reflection film coated on the other surface so that the reflectance varies depending on the area. A single light beam is incident on the inside and reflected internally, and the non-total reflection film allows the Gaussian diameters of multiple parallel light beams with uniform intensity in a row and adjacent to each other to not overlap with each other. The light beams are separated and emitted at a required pitch, and then the divided and emitted plurality of light beams are coated with a total reflection film partially coated in a strip on one surface of the light transmission material. incident at a required angle into a second light beam splitter having a 50% reflective coating partially strip-coated on the other parallel surface, and having a 50% reflective coating partially band-coated on the other parallel surface.
The light beams with 50% intensity are emitted in parallel from each reflective film in a line, and the remaining 50% light beams that are internally reflected against the 50% reflective film are reflected by the total reflection film and then reflected again. A light beam of 50% intensity is emitted from the uncoated part of one side of the light transmission material coated with the 50% reflective film in a line in parallel. , dividing the plurality of light beams into twice the number in a staggered arrangement with a required spacing and approximately half a pitch with respect to the row of light beams of 50% intensity emitted from the 50% reflection film; Then, two multi-channel ultrasonic modulators were installed, each of which had acoustic electrodes positioned perpendicular to each light beam and independently modulating the light beams, corresponding to the number and pitch of the light beams. The ultrasonic modulators are arranged in close proximity with the acoustic wave electrodes on the outside, and one of the ultrasonic modulators has five ultrasonic waves emitted from the 50% reflection film.
A train of light beams with an intensity of 0% is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator, and a train of light beams with an intensity of 50% emitted from the uncoated portion is passed through the other multi-channel ultrasonic modulator based on the image signal. A light beam division modulation method characterized in that each of these light beams is modulated independently, and the light beams in one row are modulated by subjecting them to delay processing.
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