JPH01246884A - Diode laser excitation laser oscillation device - Google Patents
Diode laser excitation laser oscillation deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、ダイオードレーザ光を励起光として使用する
ダイオードレーザ励起レーザ発振装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a diode laser pumped laser oscillation device that uses diode laser light as excitation light.
（従来の技術）
第７図はかかるダイオードレーザ励起レーザ発振装置の
構成図である。同図において１はレーザダイオードにあ
って、このレーザダイオード１から出力されたダイオー
ドレーザ光２は集光レンズ３で集光されてＹＡＧロッド
等のレーザ媒質４に照射されている。なお、このレーザ
媒質４の長手方向の両側には高反射ミラー５及び出力ミ
ラー６が配置されて光共振器を構成している。ところで
、レーザダイオード１には冷却器７が設けられ、かつそ
の漏れダイオードレーザ光８がホトディテクタ９に照射
されるようになっている。そして、冷却器７はオート温
度コントローラ（ＡＴＣ）１０によって冷却温度が制御
され、又ホトディテクタ９から出力される受光光量に応
じた電気信号はオートパワーコントローラ゛（ＡＰＣ）
１１に送られてレーザダイオード１のパワーが制御され
るようになっている。なお、レーザダイオード１のパワ
ーはレーデダイオード１に供給される電流量によって制
御される。(Prior Art) FIG. 7 is a block diagram of such a diode laser pumped laser oscillation device. In the figure, reference numeral 1 denotes a laser diode, and diode laser light 2 output from the laser diode 1 is focused by a condenser lens 3 and irradiated onto a laser medium 4 such as a YAG rod. Note that a high reflection mirror 5 and an output mirror 6 are arranged on both sides of the laser medium 4 in the longitudinal direction to form an optical resonator. Incidentally, the laser diode 1 is provided with a cooler 7, and the leakage diode laser light 8 is irradiated onto a photodetector 9. The cooling temperature of the cooler 7 is controlled by an automatic temperature controller (ATC) 10, and an electric signal corresponding to the amount of light received output from the photodetector 9 is controlled by an automatic power controller (APC).
11 to control the power of the laser diode 1. Note that the power of the laser diode 1 is controlled by the amount of current supplied to the laser diode 1.
しかして、オートパワーコントローラ１１によってレー
ザダイオード１に電流が供給されると、レーザダイオー
ド１からダイオードレーザ光２が出力される。このとき
、レーザダイオード１は自身の温度が上昇する。ところ
で、レーザダイオード１から出力されるダイオードレー
ザ光２の波長はレーザ媒質４の最大吸収波長に調整され
る。つまり、レーザ媒質４にこの最大吸収波長のダイオ
ードレーザ光２が照射されることによって、例えばＹＡ
Ｇレーザ発振装置のパワーは最大となる。When the auto power controller 11 supplies current to the laser diode 1, the laser diode 1 outputs diode laser light 2. At this time, the temperature of the laser diode 1 increases. By the way, the wavelength of the diode laser beam 2 output from the laser diode 1 is adjusted to the maximum absorption wavelength of the laser medium 4. In other words, by irradiating the laser medium 4 with the diode laser light 2 having the maximum absorption wavelength, for example, YA
The power of the G laser oscillation device becomes maximum.
ところが、レーザダイオード１の波長は温度変化に応じ
てその変動が激しい。例えば、ダイオードレーザ光の波
長が８０５ｎｍにあるときに温度が１℃変化すると、波
長は約０．５ｎｍ変化する。このため、オート温度コン
トローラ１０によって冷却器７の冷却温度が制御されて
レーザダイオード１から出力されるダイオードレーザ光
１の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長となるように調
整される。However, the wavelength of the laser diode 1 fluctuates drastically depending on temperature changes. For example, when the wavelength of diode laser light is 805 nm and the temperature changes by 1° C., the wavelength changes by about 0.5 nm. Therefore, the cooling temperature of the cooler 7 is controlled by the automatic temperature controller 10 so that the wavelength of the diode laser beam 1 output from the laser diode 1 is adjusted to be the maximum absorption wavelength of the laser medium 4.
しかして、このようにして出力されたダイオードレーザ
光２はレーザ媒質４に照射されてレーザ媒質４を励起す
る。この結果、高反射ミラー５と出力ミラー６との間で
光共振が生じて出力ミラー６からレーザ光１２が出力さ
れる。The diode laser light 2 thus output is irradiated onto the laser medium 4 and excites the laser medium 4. As a result, optical resonance occurs between the high reflection mirror 5 and the output mirror 6, and the laser beam 12 is output from the output mirror 6.
ところが、以上のような構成ではレーザダイオード１の
温度制御を行っているものの精度高い制御はできず、ダ
イオードレーザ光の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長
からずれることがある。このように波長がずれると、レ
ーザ媒質４での吸収量が食化してレーザ光１２のパワー
が低下する。However, with the above configuration, although the temperature of the laser diode 1 is controlled, highly accurate control is not possible, and the wavelength of the diode laser light may deviate from the maximum absorption wavelength of the laser medium 4. When the wavelength shifts in this way, the amount of absorption in the laser medium 4 is eclipsed, and the power of the laser beam 12 is reduced.
特にＹＡＧレーザやＮｄレーザでの各レーザ媒質では波
長がわずかにずれただけでも吸収量が激しく減少するた
めに、レーザ光１２のパワーの減少が激しくなる。In particular, in each laser medium of a YAG laser or a Nd laser, even a slight shift in wavelength causes a significant decrease in the amount of absorption, resulting in a significant decrease in the power of the laser beam 12.
（発明が解決しようとする課題）
以上のようにダイオードレーザ光の波長をレーザ媒質の
最大吸収量に合わせることが難しく、パワーを最大にし
て安定したレーザ光を出力することが困難であった。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, it is difficult to match the wavelength of the diode laser light to the maximum absorption amount of the laser medium, and it is difficult to maximize the power and output stable laser light.
そこで本発明は、温度変化に係わらずダイオードレーザ
光の波長をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせることが
でき、もってパワーを最大にして安定したレーザ光を出
力できるダイオードレーザ励起レーザ発振装置を提供す
ることを目的とする。Therefore, the present invention provides a diode laser pumped laser oscillation device that can match the wavelength of diode laser light to the maximum absorption wavelength of a laser medium regardless of temperature changes, thereby maximizing power and outputting stable laser light. The purpose is to
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザダイオードから出力されるダイオード
レーザ光をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせてこのレ
ーザ媒質に照射してレーザ光を発振するダイオードレー
ザ励起レーザ発振装置において、ダイオードレーザ光の
光量を検出しこの光量に応じてレーザダイオードのパワ
ーを制御するパワー制御手段と、レーザダイオードを冷
却する冷却手段と、レーザ媒質と同一種類の波長検出用
媒質と、この波長検出用媒質を透過したダイオードレー
ザ光の光量を検出してこの光量が最小となるように冷却
手段の冷却温度を制御する波長制御手段とを備えて上記
目的を達成しようとするダイオードレーザ励起レーザ発
振装置である。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides a diode that oscillates laser light by irradiating a laser medium with diode laser light output from a laser diode in accordance with the maximum absorption wavelength of the laser medium. In a laser-pumped laser oscillation device, a power control means for detecting the light intensity of the diode laser beam and controlling the power of the laser diode according to this light intensity, a cooling means for cooling the laser diode, and a wavelength detection means of the same type as the laser medium. The above objective is achieved by providing a medium and a wavelength control means for detecting the amount of light of the diode laser beam transmitted through the wavelength detection medium and controlling the cooling temperature of the cooling means so that the amount of light is minimized. This is a diode laser pumped laser oscillation device.
（作用）
このような手段を備えたことにより、ダイオードレーザ
光の光量がパワー制御手段によって検出されてレーザダ
イオードのパワーが制御され、同時に波長制御手段によ
って波長検出用媒質を透過したダイオードレーザ光の光
量を検出してこの光量が最小となるように冷却手段の冷
却温度が制御される。(Function) By providing such a means, the power of the diode laser light is detected by the power control means and the power of the laser diode is controlled, and at the same time, the power of the diode laser light transmitted through the wavelength detection medium is detected by the wavelength control means. The amount of light is detected and the cooling temperature of the cooling means is controlled so that the amount of light is minimized.
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。なお、第７図と同一部分には同一符号を付してその
詳しい説明は省略する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the same parts as in FIG. 7 are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
第１図はダイオードレーザ励起レーザ発振装置の構成図
である。レーザダイオード１と集光レンズ３との間にお
けるダイオードレーザ光２の光路上にはビームスプリッ
タ２０が配置されている。FIG. 1 is a block diagram of a diode laser pumped laser oscillation device. A beam splitter 20 is arranged on the optical path of the diode laser beam 2 between the laser diode 1 and the condensing lens 3.
このビームスプリッタ２０はダイオードレーザ光２の一
部、例えば１％を分岐して波長検出用媒質２１へ送るも
のである。この波長検出用媒質２１はレーザ媒質４と同
一種類の組成となっている。This beam splitter 20 splits a part of the diode laser beam 2, for example 1%, and sends it to the wavelength detection medium 21. This wavelength detection medium 21 has the same composition as the laser medium 4.
さらに、２２は波長制御手段であって、この波長制御手
段２２は波長検出用媒ｉ２１を透過したダイオードレー
ザ光２゛の光量を検出してこの光量が最小となるように
冷却器２３の冷却温度を制御する機能を持ったものであ
る。具体的には波長検出用媒質２１を透過してきたダイ
オードレーザ光２′を受光してその受光量に応じた電気
信号を出力するホトディテクタ２４と、このホトディテ
クタ２４からの電気信号を受けてホトディテクタ２４で
の受光光量を最小にするための冷却制御信号をオート温
度コントローラ２３に送出するオー！・波長コントロー
ラ（ＡＷＣ）２５とから構成されている。Furthermore, 22 is a wavelength control means, and this wavelength control means 22 detects the amount of light of the diode laser beam 2' that has passed through the wavelength detection medium i21, and controls the cooling temperature of the cooler 23 so that this amount of light is minimized. It has the function of controlling the Specifically, there is a photodetector 24 that receives the diode laser light 2' that has passed through the wavelength detection medium 21 and outputs an electric signal according to the amount of received light, and a photodetector 24 that receives the electric signal from the photodetector 24. Sends a cooling control signal to the automatic temperature controller 23 to minimize the amount of light received by the detector 24!・It is composed of a wavelength controller (AWC) 25.
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。ところで、レーザ媒質４のダイオードレーザ光の吸収
量は第２図に示すようにレーザダイオード１の温度がＴ
ｓのときの波長で最大を示すとする。以下、レーザダイ
オード１の冷却温度を温度Ｔｓに制御する作用について
説明する。先す、オート波長コントローラ２５に冷却温
度Ｔ。Next, the operation of the apparatus configured as described above will be explained. By the way, the amount of diode laser light absorbed by the laser medium 4 is determined when the temperature of the laser diode 1 is T, as shown in FIG.
It is assumed that the maximum wavelength is reached at s. The operation of controlling the cooling temperature of the laser diode 1 to the temperature Ts will be described below. First, the cooling temperature T is set in the auto wavelength controller 25.
が設定される。なお、この冷却温度Ｔ１は任意に設定さ
れるもので温度Ｔｓと一致するとは限らない。そこで、
この冷却温度ＴＩが第３図に示すように温度Ｔｓよりも
低いとする。この場合、オート波長コントローラ２５は
この冷却温度ＴＩに応じた冷却制御信号を冷却器２３に
送出する。これにより、冷却器７はオート温度コントロ
ーラ２３の温度制御によってレーザダイオード１を冷却
温度Ｔ１に冷却する。しかして、レーザダイオード１は
冷却温度Ｔ１に応じた波長のダイオードレーザ光２を出
力する。このダイオードレーザ光２のうち一部はビーム
スプリッタ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射
される。この波長検出用媒質２１を透過したダイオード
レーザ光２′はホトディテクタ２４に照射される。従っ
て、このホトディテクタ２４は受光したダイオードレ」
ｉザ光２″の受光Ｈｖ ｌに応じた電気信号を出力し、
′オート波長コントローラ２５はこの電気信号を受けて
受光量νｌを一時記憶する。次にオート波長コントロー
ラ２５は前記冷却温度Ｔ、よりも例えば高い冷却温度Ｔ
２の冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送出
する。これにより、冷却器７はレーザダイオード１を冷
却温度Ｔ１に冷却する。is set. Note that this cooling temperature T1 is arbitrarily set and does not necessarily match the temperature Ts. Therefore,
It is assumed that this cooling temperature TI is lower than the temperature Ts as shown in FIG. In this case, the automatic wavelength controller 25 sends a cooling control signal to the cooler 23 according to the cooling temperature TI. Thereby, the cooler 7 cools the laser diode 1 to the cooling temperature T1 under the temperature control of the automatic temperature controller 23. Thus, the laser diode 1 outputs diode laser light 2 with a wavelength corresponding to the cooling temperature T1. A part of this diode laser light 2 is split by a beam splitter 20 and irradiated onto a wavelength detection medium 21 . The diode laser beam 2' transmitted through this wavelength detection medium 21 is irradiated onto a photodetector 24. Therefore, this photodetector 24 is a diode that receives light.
Outputs an electrical signal according to the received light Hv l of the i-za light 2'',
'The automatic wavelength controller 25 receives this electrical signal and temporarily stores the amount of received light νl. Next, the auto wavelength controller 25 operates at a cooling temperature T higher than the cooling temperature T, for example.
2 cooling control signal is sent to the auto temperature controller 23. Thereby, the cooler 7 cools the laser diode 1 to the cooling temperature T1.
しかして、レーザダイオード１は冷却温度Ｔ１に応じた
波長のダイオードレーザ光２を出力する。Thus, the laser diode 1 outputs diode laser light 2 with a wavelength corresponding to the cooling temperature T1.
このダイオードレーザ光２のうち一部はビームスプリッ
タ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射され、こ
の波長検出用媒質２１を透過したダイオードレーザ光２
′がホトディテクタ２４に照射される。従って、このホ
トディテクタ２４は受光したダイオードレーザ光２′の
受光、Ｑｗ２に応じた電気信号を出力し、オート波長コ
ントローラ２５はこの電気信号を受けて受光ｆｆ１ｗ２
を一時記憶′する。ここで、オート波長コントローラ２
５は前に記憶した冷却温度Ｔ、の受光ｍ ｗ ｌと今記
憶した冷却温度Ｔ２の受光ｆｆ１ｖ２とを比較する。こ
の比較の結果、受光Ｑ Ｔ ２の方が受光Ｑ ｗ １よ
りも小さいので、受光量νｌを消して受光量ｖ２のとき
の冷却温度Ｔ２を続けて記憶する。次にオート波長コン
トローラ２５は冷却温度Ｔ２よりもさらに高い冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送
出する。これにより、レーザダイオード１は冷却温度Ｔ
ｓに応じた波長のダイオードレーザ光２を出力し、ホト
ディテクタ２４はこのとき波長検出用媒質２１を透過し
た受光したダイオードレーザ光２′の受光ｆｆ１ｗ３に
応じた電気信号を出力する。しかして、オート波長コン
トローラ２５は受光ｍｗ３を記憶し、この受光量ｖ３と
受光量ｖ２とを比較する。この比較の結果、受光量ｖ３
の方が受光Ｑｖ２よりも小さいので、受光Ｑｖ２を消し
て受光ｕｗ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて記憶する。A part of this diode laser light 2 is split by a beam splitter 20 and irradiated onto a wavelength detection medium 21, and the diode laser light 2 transmitted through this wavelength detection medium 21
' is irradiated onto the photodetector 24. Therefore, this photodetector 24 outputs an electric signal corresponding to the received diode laser beam 2' and Qw2, and the auto wavelength controller 25 receives the electric signal and receives the received light ff1w2.
Temporarily memorize '. Here, auto wavelength controller 2
5 compares the previously stored light reception m w l at the cooling temperature T and the now stored light reception ff1v2 at the cooling temperature T2. As a result of this comparison, since the received light Q T 2 is smaller than the received light Q w 1, the received light amount νl is erased and the cooling temperature T2 when the received light amount is v2 is continuously stored. Next, the automatic wavelength controller 25 sends a cooling control signal of a cooling temperature Ts higher than the cooling temperature T2 to the automatic temperature controller 23. As a result, the laser diode 1 reaches the cooling temperature T
The photodetector 24 outputs a diode laser beam 2 having a wavelength corresponding to s, and at this time, the photodetector 24 outputs an electric signal corresponding to the received light ff1w3 of the diode laser beam 2' transmitted through the wavelength detection medium 21. Thus, the automatic wavelength controller 25 stores the received light mw3 and compares the received light amount v3 with the received light amount v2. As a result of this comparison, the amount of received light v3
is smaller than the received light Qv2, so the received light Qv2 is turned off and the cooling temperature Ts when the received light is uw3 is continuously stored.
さらに、オート波長コントローラ２５は冷却温度Ｔｓよ
りも高い冷却温度Ｔ３の冷却制御信号を送出してレーザ
ダイオード１を冷却温度Ｔ３に冷却する。そして、上記
同様にこのときの受光量ν４を記憶し、この受光量ｖ４
と受光量ｖ３とを比較する。Further, the auto wavelength controller 25 sends out a cooling control signal of a cooling temperature T3 higher than the cooling temperature Ts to cool the laser diode 1 to the cooling temperature T3. Then, similarly to the above, the amount of received light ν4 at this time is stored, and this amount of received light v4
and the received light amount v3.
この比較の結果、受光Ｗｗ３の方が受光１ｕｗ４により
も小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントロ−ラ２３に送
出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度Ｔｓ
に冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の波長
のダイオードレーザ光２を出力する。As a result of this comparison, since the received light Ww3 is smaller than the received light 1uw4, the automatic wavelength controller 25 sends a cooling control signal of the cooling temperature Ts to the automatic temperature controller 23. Thus, the laser diode 1 has a cooling temperature Ts
The laser medium 4 outputs diode laser light 2 having the same wavelength as the maximum absorption wavelength of the laser medium 4.
次にオート波長コントローラ２５に設定される冷却温度
Ｔ、が第４図に示すように温度Ｔｓよりも高い場合につ
いて説明する。この場合、オート波長コントローフ２５
はこの冷却温度ｔ１に応じた冷却制御信号を冷却器２３
に送出してレーザダイオード１を冷却温度Ｔ１に冷却す
る。そして、この冷却温度Ｔ１のときレーザダイオード
１から出力されたダイオードレーザ２のうち波長検出用
媒質２１を透過してホトディテクタ２４に受光されたと
きのその受光ｍａｔを記憶する。次にオート波長コント
ローラ２５は冷却温度Ｔ１よりも低い冷却温度ｔ２の冷
却制御信号を送出してレーザダイオード１を冷却温度ｔ
２に冷却し、このときの受光量ａ２−を一時記憶する。Next, a case where the cooling temperature T set in the automatic wavelength controller 25 is higher than the temperature Ts as shown in FIG. 4 will be described. In this case, auto wavelength control 25
sends a cooling control signal corresponding to this cooling temperature t1 to the cooler 23.
to cool the laser diode 1 to the cooling temperature T1. Then, when the diode laser 2 outputted from the laser diode 1 at this cooling temperature T1 passes through the wavelength detection medium 21 and is received by the photodetector 24, the received light mat is stored. Next, the auto wavelength controller 25 sends out a cooling control signal with a cooling temperature t2 lower than the cooling temperature T1 to cool the laser diode 1 to the cooling temperature t.
2, and the amount of light received at this time a2- is temporarily stored.
ここで、オート波長コントローラ２５は冷却温度Ｔ１の
受光１ｉ１ａｌと冷却温度ｔ２の受光ｍａ２とを比較す
る。この比較の結果、受光Ｗａ２の方が小さいので、受
光ｍａｌを消して受光量ａ２のときの冷却温度【２を続
けて記憶する。次にオート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｌ２よりも低い冷却温度Ｔｓの冷却制御信号を送出
して、このときの受光Ｗａ３を記憶する。そして、この
受光量ａ３と受光Ｒａ２とを比較し、受光Ｈａ３の方が
小さいので、受光ｍａ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて
記憶する。さらに、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓよりも低い冷却温度ｔ４の冷却制御信号を送出
してこのときの受光ｍａ４を記憶し、この受光ｕａ４と
受光Ｑａ３とを比較する。この比較の結果、受光ｍａ３
の方が小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３
に送出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度
Ｔｓに冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の
波長のダイオードレーザ光２を出力する。Here, the automatic wavelength controller 25 compares the received light 1i1al at the cooling temperature T1 and the received light ma2 at the cooling temperature t2. As a result of this comparison, since the received light Wa2 is smaller, the received light mal is erased and the cooling temperature [2 when the received light amount is a2 is continuously stored. Next, the automatic wavelength controller 25 sends out a cooling control signal with a cooling temperature Ts lower than the cooling temperature L2, and stores the received light Wa3 at this time. Then, the amount of received light a3 is compared with the amount of received light Ra2, and since the amount of received light Ha3 is smaller, the cooling temperature Ts at the time of the amount of received light ma3 is successively stored. Further, the automatic wavelength controller 25 sends out a cooling control signal for a cooling temperature t4 lower than the cooling temperature Ts, stores the received light ma4 at this time, and compares the received light ua4 with the received light Qa3. As a result of this comparison, the received light ma3
is smaller, the auto wavelength controller 25 sends the cooling control signal of the cooling temperature Ts to the auto temperature controller 23.
Send to. Thus, the laser diode 1 is cooled to the cooling temperature Ts and outputs a diode laser beam 2 having the same wavelength as the maximum absorption wavelength of the laser medium 4.
ところで、レーザダイオード１は劣化等により■カパワ
ーが減少する。次にこのようにパワーが減少したときの
作用について説明する。レーザダイオード１のパワーか
減少するとオートパワーコントローラ１１はホトディテ
クタ９からの電気信号を受けてレーザダイオード１への
電流を増加する。この電流の増加によってレーザダイオ
ード１のパワーは大きくなるものの温度は上昇する。従
って、冷却器７の冷却温度がＴｓのままであるとダイオ
ードレーザ２の波長は長くなる。これにより、波長検出
用媒質２１を透過してきたダイオードレーザ光２′の受
光量は第５図に示すように増加してｖ３−となる。従っ
て、この場合、オート波長コントローラ２５は第３図及
び第４図を参照して説明した如くホトディテクタ２４で
の受光量が最小となるような冷却温度に制御して、ダイ
オードレーザ２の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長と
同一の波長となるように調整される。By the way, due to deterioration or the like, the laser diode 1 decreases in power. Next, the effect when the power is reduced in this way will be explained. When the power of the laser diode 1 decreases, the auto power controller 11 receives an electric signal from the photodetector 9 and increases the current to the laser diode 1. Although the power of the laser diode 1 increases due to this increase in current, the temperature increases. Therefore, if the cooling temperature of the cooler 7 remains at Ts, the wavelength of the diode laser 2 becomes longer. As a result, the amount of received diode laser light 2' that has passed through the wavelength detection medium 21 increases to v3- as shown in FIG. Therefore, in this case, the auto wavelength controller 25 controls the cooling temperature to minimize the amount of light received by the photodetector 24, as described with reference to FIGS. 3 and 4, so that the wavelength of the diode laser 2 The wavelength is adjusted to be the same as the maximum absorption wavelength of the laser medium 4.
このように上記一実施例においては、ダイオードレーザ
光の光量が検出されてレーザダイオード１のパワーが制
御されるとともに波長検出用媒質２１を透過したダイオ
ードレーザ光２′の光量を検出してこの光量が最小とな
るようにレーザダイオード１の冷却温度を制御する構成
としたので、レーザダイオード１の冷却温度をレーザ媒
質４の最大吸収波長と同一の波長を出力するように制御
できて常にレーザ媒質４に対して最大吸収波長と同一波
長のダイオードレーザ光２を照射できる。In this way, in the above embodiment, the light intensity of the diode laser beam is detected to control the power of the laser diode 1, and the light intensity of the diode laser beam 2' transmitted through the wavelength detection medium 21 is detected to control the light intensity. Since the cooling temperature of the laser diode 1 is controlled so that can be irradiated with diode laser light 2 having the same wavelength as the maximum absorption wavelength.
又、これとともにダイオードレーザ光２のパワーが低下
してダイオードレーザ光２の波長がずれたとしても−速
くレーザ媒質４の最大吸収波長に合わすことができる。Furthermore, even if the power of the diode laser beam 2 is reduced and the wavelength of the diode laser beam 2 is shifted, it can be quickly matched to the maximum absorption wavelength of the laser medium 4.
従って、常に最大パワーで安定したレーザ光１２を出力
できる。Therefore, it is possible to always output a stable laser beam 12 with maximum power.
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、第
６図に示すようにレーザダイオード１の漏れダイオード
レーザ光を波長検出用媒質２１に透過されてホトディテ
クタ２４に送るようにしてもよい。又、レーザ発振装置
としてＹＡＧレーザと限らすアレキサンドライト、ＬＮ
Ａ。Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and may be modified without departing from the spirit thereof. For example, as shown in FIG. 6, leakage diode laser light from the laser diode 1 may be transmitted through a wavelength detection medium 21 and sent to a photodetector 24. Also, the laser oscillation device is limited to YAG laser, alexandrite, LN.
A.
ｙ ｖ ｏ 、、等でもよく、その波長もレーザ媒質の
種類によって変更するようにしてもよい。y v o , etc., and the wavelength may also be changed depending on the type of laser medium.
［発明の効果］
以上詳記したように本発明によれば、温度変化に係わら
ずダイオードレーザ光の波長をレーザ媒質の最大吸収波
長に合わせることがてき、もってパワーを最大にして安
定したレーザ光を出力できるダイオードレーザ励起レー
ザ発振装置を提供できる。[Effects of the Invention] As detailed above, according to the present invention, the wavelength of the diode laser light can be matched to the maximum absorption wavelength of the laser medium regardless of temperature changes, thereby maximizing the power and producing stable laser light. It is possible to provide a diode laser pumped laser oscillation device that can output .
第１図乃至第５図は本発明に係わるダイオードレーザ励
起レーザ発振装置の一実施例を説明するための図であっ
て、第１図は構成図、第２図はレーザ媒質の吸収波長を
示す図、第３図乃至第５図は波長制御を説明するための
図、第６図は変形例の構成図、第７図は従来装置の構成
図である。
１・・・レーザダイオード、３・・・集光レンズ、４・
・・レーザ媒質、５・・・高反射ミラー、６・・・出力
ミラー、７・・・冷却器、９・・・ホトディテクタ、１
１・・・オートパワーコントローラ、２０・・・ビーム
スプリッタ、２１・・・波長検出用媒質、２２・・・波
長制御手段、２３・・・オート温度コントローラ、２４
・・・ホトディテクタ、２５・・・オート波長コントロ
ーラ。
出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
第１図
第２図
第３図
第４図
第５図1 to 5 are diagrams for explaining an embodiment of a diode laser pumped laser oscillation device according to the present invention, in which FIG. 1 shows a configuration diagram and FIG. 2 shows an absorption wavelength of a laser medium. 3 to 5 are diagrams for explaining wavelength control, FIG. 6 is a configuration diagram of a modified example, and FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional device. 1... Laser diode, 3... Condensing lens, 4...
...Laser medium, 5...High reflection mirror, 6...Output mirror, 7...Cooler, 9...Photodetector, 1
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Auto power controller, 20... Beam splitter, 21... Wavelength detection medium, 22... Wavelength control means, 23... Auto temperature controller, 24
...Photodetector, 25...Auto wavelength controller. Applicant's Representative Patent Attorney Takehiko Suzue Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5
Claims (1)
レーザ媒質の最大吸収波長に合わせてこのレーザ媒質に
照射してレーザ光を発振するダイオードレーザ励起レー
ザ発振装置において、前記ダイオードレーザ光の光量を
検出しこの光量に応じて前記レーザダイオードのパワー
を制御するパワー制御手段と、前記レーザダイオードを
冷却する冷却手段と、前記レーザ媒質と同一種類の波長
検出用媒質と、この波長検出用媒質を透過したダイオー
ドレーザ光の光量を検出してこの光量が最小となるよう
に前記冷却手段の冷却温度を制御する波長制御手段とを
具備したことを特徴とするダイオードレーザ励起レーザ
発振装置。In a diode laser pumped laser oscillation device that oscillates a laser beam by irradiating a diode laser beam output from a laser diode onto a laser medium in accordance with the maximum absorption wavelength of the laser medium, the amount of light of the diode laser beam is detected and the amount of light is determined. a power control means for controlling the power of the laser diode according to the power of the laser diode, a cooling means for cooling the laser diode, a wavelength detection medium of the same type as the laser medium, and a diode laser beam transmitted through the wavelength detection medium. 1. A diode laser pumped laser oscillation device, comprising wavelength control means for detecting the amount of light and controlling the cooling temperature of the cooling means so that the amount of light is minimized.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532388A JPH01246884A (en) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Diode laser excitation laser oscillation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532388A JPH01246884A (en) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Diode laser excitation laser oscillation device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246884A true JPH01246884A (en) | 1989-10-02 |
Family
ID=13572943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7532388A Pending JPH01246884A (en) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | Diode laser excitation laser oscillation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01246884A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02254777A (en) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Sharp Corp | Semiconductor laser exciting type solid-state laser device |
| EP0477021A2 (en) * | 1990-09-18 | 1992-03-25 | Litton Systems, Inc. | Superfluorescent source stabilization |
| FR2674071A1 (en) * | 1991-03-15 | 1992-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Amplifier for optical fibre and amplification method |
| US5363385A (en) * | 1992-03-19 | 1994-11-08 | Alcatel N.V. | Fiber-optic amplifier with control of the pump light wavelength |
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| JP2004048020A (en) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | Amplifier for stretched ultrashort pulse, optical amplifier, and method of operating amplifier |
| WO2020153217A1 (en) | 2019-01-24 | 2020-07-30 | 信越化学工業株式会社 | Highly thermally conductive silicone composition and method for producing same |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP7532388A patent/JPH01246884A/en active Pending
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