JPH01233764A - イメージセンサー - Google Patents
イメージセンサーInfo
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- JPH01233764A JPH01233764A JP63061378A JP6137888A JPH01233764A JP H01233764 A JPH01233764 A JP H01233764A JP 63061378 A JP63061378 A JP 63061378A JP 6137888 A JP6137888 A JP 6137888A JP H01233764 A JPH01233764 A JP H01233764A
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- Pending
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は密着型イメージセンサ−に関するものであり、
ファクシミリの画像読取装置。
ファクシミリの画像読取装置。
ディジタル複写機、ディジタルカラー複写機等の画像読
取装置に応用される。
取装置に応用される。
第1図に示すような従来の複数個の基板1を配列接続し
て一体とした画像読取装置においては、基板1の接続面
aは素子2を設置する基板面(以下、素子面という)b
に対して垂直に切断されており、すなわち、第1図に示
した角度Xが直角となっており、2つの接着面は面と面
とが平行に向かい合っていた。
て一体とした画像読取装置においては、基板1の接続面
aは素子2を設置する基板面(以下、素子面という)b
に対して垂直に切断されており、すなわち、第1図に示
した角度Xが直角となっており、2つの接着面は面と面
とが平行に向かい合っていた。
そのため、第2図に示すように、接続部において両基板
を接続する接着剤3が素子面上に滲出して光電変換素子
部2をも埋めてしまい、光学的特性に悪影響を及ぼすと
いう欠点があり、また接続面bi入り込んだ接着剤は基
板接続の位置精度(素子間ピッチ)をも悪化させる恐れ
があった。
を接続する接着剤3が素子面上に滲出して光電変換素子
部2をも埋めてしまい、光学的特性に悪影響を及ぼすと
いう欠点があり、また接続面bi入り込んだ接着剤は基
板接続の位置精度(素子間ピッチ)をも悪化させる恐れ
があった。
このような欠点を解決するために、第2図に示すように
、基板1の接着面aと素子面bとのなす角度Xを90℃
より小さい鋭角にするという提案がなされた(特開昭6
1−231757参照)、基板の接続端面をこのような
形状にすることにより接着剤の素子面への滲出しか幾分
改善されるものの、このような条件でダイシングカット
または研磨を行うと、第3図及び第4図に示すように端
部が欠損(チッピング)したりし易くなり、欠損部Cが
生じることによって素子も欠けたり、剥れ易くなったり
する欠点があった。さらに接合部の接点が小さく、接合
ずれが起き易く、接着剤が滲出し易い欠点があった。
、基板1の接着面aと素子面bとのなす角度Xを90℃
より小さい鋭角にするという提案がなされた(特開昭6
1−231757参照)、基板の接続端面をこのような
形状にすることにより接着剤の素子面への滲出しか幾分
改善されるものの、このような条件でダイシングカット
または研磨を行うと、第3図及び第4図に示すように端
部が欠損(チッピング)したりし易くなり、欠損部Cが
生じることによって素子も欠けたり、剥れ易くなったり
する欠点があった。さらに接合部の接点が小さく、接合
ずれが起き易く、接着剤が滲出し易い欠点があった。
また、このような欠損の発生を防ぐために、素子の接続
面を少くとも10μm以上残し、他の残り部分を削り取
るという提案がなされたが(特開昭61−234562
参照)、接続面の形状をこのようにする工程が煩雑であ
ったり、接続部における光学的特性が劣化する欠点があ
った。
面を少くとも10μm以上残し、他の残り部分を削り取
るという提案がなされたが(特開昭61−234562
参照)、接続面の形状をこのようにする工程が煩雑であ
ったり、接続部における光学的特性が劣化する欠点があ
った。
本発明は、従来の欠点を克服した、複数個の基板を配列
接続して一体となした密着型イメージセンサ−を提供す
ることを目的とする。
接続して一体となした密着型イメージセンサ−を提供す
ることを目的とする。
本発明者等は前記目的を達成するために鋭意研究した結
果、複数個の基板を配列接続して一体とした密着型イメ
ージセンサ−において、接続されるそれぞれの基板の接
続部の形状は、(i)接続する一方の基板の接続部の接
続面(第6図のa)と光電変換素子を設置した基板面(
第6図のb)とのなす角度(第6図の角度X)が、接続
する他方の基板の接続部の接続面(第61!lのa j
)と光電変換素子を設置した基板面(第6図のb″)
とのなす角度(第6図の角度x I )と補角の関係に
あり、且つ(if)接続する基板の少なくとも一方につ
いて、基板の接続面と前記光電変換素子を設置した基板
面の反対側の面(第6図のb″)とがなす角度(第6図
の角度y)が906より大きいことによりその部分の接
続部分に空隙が存在することを特徴とする密着型イメー
ジセンサ−を提供することによって前記目的が達成でき
ることを見出した。
果、複数個の基板を配列接続して一体とした密着型イメ
ージセンサ−において、接続されるそれぞれの基板の接
続部の形状は、(i)接続する一方の基板の接続部の接
続面(第6図のa)と光電変換素子を設置した基板面(
第6図のb)とのなす角度(第6図の角度X)が、接続
する他方の基板の接続部の接続面(第61!lのa j
)と光電変換素子を設置した基板面(第6図のb″)
とのなす角度(第6図の角度x I )と補角の関係に
あり、且つ(if)接続する基板の少なくとも一方につ
いて、基板の接続面と前記光電変換素子を設置した基板
面の反対側の面(第6図のb″)とがなす角度(第6図
の角度y)が906より大きいことによりその部分の接
続部分に空隙が存在することを特徴とする密着型イメー
ジセンサ−を提供することによって前記目的が達成でき
ることを見出した。
本発明のイメージセンサ−の素子基板接続部における接
続面の形状の具体例を第6〜8図に示す。
続面の形状の具体例を第6〜8図に示す。
第6図は接続する基板の一方が素子面上に中心を持つ円
弧状に接合端部を端面研磨したものであり、他方の基板
は直角に直線的に端面研磨したものを示す、このように
すると。
弧状に接合端部を端面研磨したものであり、他方の基板
は直角に直線的に端面研磨したものを示す、このように
すると。
素子面すと接続面aとが交わる部分の角度X素子面b′
と接続面a′とが交わる部分の角度X′との和は180
°となり、補角の関係にあり。
と接続面a′とが交わる部分の角度X′との和は180
°となり、補角の関係にあり。
チッピング(欠け)は著しく減少した。また、接着剤は
接続部分の下方の空隙に保たれ、素子面に滲出ずことも
なかった。
接続部分の下方の空隙に保たれ、素子面に滲出ずことも
なかった。
第7図は接続端面を、一方の基板についてはx=90”
の直線状に研磨したが、他方の基板については、距離d
のところまで角度X=90”の直線状に研磨し、それ以
外の部分は角度y)90’の鈍角になるように直線状に
研磨したものを示す、接続面の形状をこのようにすると
ことによってチッピングは著しく減少し、基板接続の位
置精度も良好で、接着剤の滲出もほとんどなかった。
の直線状に研磨したが、他方の基板については、距離d
のところまで角度X=90”の直線状に研磨し、それ以
外の部分は角度y)90’の鈍角になるように直線状に
研磨したものを示す、接続面の形状をこのようにすると
ことによってチッピングは著しく減少し、基板接続の位
置精度も良好で、接着剤の滲出もほとんどなかった。
第8図は接続端面を、一方の基板についてはx’(90
”の鋭角となるように直線状に斜めに切断し、他方の基
板については距離dのところまで角度XがX′と補角の
関係を保つように直線状に斜めに研磨し、それ以外の部
分は角度y )90”の鈍角になるように直線状に研磨
したものを示す。接続面の形状をこのようにするとこと
によってチッピングは著しく減少し、接着剤の滲出もほ
とんどなかった。
”の鋭角となるように直線状に斜めに切断し、他方の基
板については距離dのところまで角度XがX′と補角の
関係を保つように直線状に斜めに研磨し、それ以外の部
分は角度y )90”の鈍角になるように直線状に研磨
したものを示す。接続面の形状をこのようにするとこと
によってチッピングは著しく減少し、接着剤の滲出もほ
とんどなかった。
前記第6図〜第8図の実施例は、接続端面部の断面形状
が円弧または直線を組合わせたものであるが、複数の円
弧及び直線を組合わせたものでも良い。
が円弧または直線を組合わせたものであるが、複数の円
弧及び直線を組合わせたものでも良い。
以上のように基板1の接続面が種々の形状を有するもの
を示したが、いずれにせよ本発明の必須要件は(i)接
続する一方の基板の接続部の接続面(a)と素子面(b
)とのなす角度Xが、接続する他方の基板の接続部の接
続面(a′)と素子面(b′)とのなす角度X′と補角
の関係にあり、且つ(ii)接続する基板の少なくとも
一方について、基板の接続面と素子面の反対側の面(b
″′)とがなす角度yが90″より大きいことによりそ
の部分の接続部分に空隙が存在することである。
を示したが、いずれにせよ本発明の必須要件は(i)接
続する一方の基板の接続部の接続面(a)と素子面(b
)とのなす角度Xが、接続する他方の基板の接続部の接
続面(a′)と素子面(b′)とのなす角度X′と補角
の関係にあり、且つ(ii)接続する基板の少なくとも
一方について、基板の接続面と素子面の反対側の面(b
″′)とがなす角度yが90″より大きいことによりそ
の部分の接続部分に空隙が存在することである。
この要件を満足すれば、基板同志の接続面におけるチッ
ピング(欠け)の発生は著しく減少し、接着剤が接続部
の下部の空隙部に保たれ、接続部から滲出することもな
く、基板接続の位置精度も良好である。
ピング(欠け)の発生は著しく減少し、接着剤が接続部
の下部の空隙部に保たれ、接続部から滲出することもな
く、基板接続の位置精度も良好である。
また、第7図及び第8図における素子面から基板同志の
接点までの距離dは100μ履以下にすることが望まし
い、dが100μm以下であれば、基板側から光を入れ
、原稿からの反射光を直接光電変換素子で読み取る。い
わゆる完全密着(レンズレス)等倍イメージセンサ−と
しての使用時の基板接続部での解像度の劣化は、はとん
どなかった。
接点までの距離dは100μ履以下にすることが望まし
い、dが100μm以下であれば、基板側から光を入れ
、原稿からの反射光を直接光電変換素子で読み取る。い
わゆる完全密着(レンズレス)等倍イメージセンサ−と
しての使用時の基板接続部での解像度の劣化は、はとん
どなかった。
素子チップの基板の材質としては石英板が一般的である
が、コーニング$7740.(パイレックス)や$ 7
059相当の基板も用いられる。
が、コーニング$7740.(パイレックス)や$ 7
059相当の基板も用いられる。
基板同志を接合する接着剤としては粘度が約100ポイ
ズで紫外線硬化型の光学接着剤(アクリレート系)や熱
硬化型のエポキシ系接着剤が望ましく用いられる。
ズで紫外線硬化型の光学接着剤(アクリレート系)や熱
硬化型のエポキシ系接着剤が望ましく用いられる。
第9図に本発明による基板の接続端面部の形成手順を示
す、まず、接続端面を出したい位置の近傍の基板をダイ
シングカットする(第9図C参照)、このとき出したい
接続端面から30〜50μ慣を残してカットするのが望
ましい、このダイシングカットに使われるブレードは1
100〜$1,000メツシュ程度なので数十μIのチ
ッピング(欠損)が生じるためである。
す、まず、接続端面を出したい位置の近傍の基板をダイ
シングカットする(第9図C参照)、このとき出したい
接続端面から30〜50μ慣を残してカットするのが望
ましい、このダイシングカットに使われるブレードは1
100〜$1,000メツシュ程度なので数十μIのチ
ッピング(欠損)が生じるためである。
次に図中に示すような#2,000メツシュ以上の研磨
砥石4で所望の位置まで端面研磨を行う(第9図C参照
)、ここでは第6図に示すような実施例の形状(第9図
C参照)が得られる研磨砥石を示したが、砥石の形状を
変更したり、使用形態を応用変化させる端面研磨作業に
よって種々の形状のものを容易に得ることができる。
砥石4で所望の位置まで端面研磨を行う(第9図C参照
)、ここでは第6図に示すような実施例の形状(第9図
C参照)が得られる研磨砥石を示したが、砥石の形状を
変更したり、使用形態を応用変化させる端面研磨作業に
よって種々の形状のものを容易に得ることができる。
以上述べたように1本発明によれば、基板の接合端部の
欠損が生じず、接合部の接着剤が滲出ずこともなく、基
板接続の位置精度も良好で、接合部における解像度の劣
化のほとんどないイメージセンサ−が提供される。
欠損が生じず、接合部の接着剤が滲出ずこともなく、基
板接続の位置精度も良好で、接合部における解像度の劣
化のほとんどないイメージセンサ−が提供される。
第1図及び第3図は従来のイメージセンサ−における素
子基板の接合部の説明図であり、第2図は第1図におけ
る接愚弾拡大図であり、第4図は第3図に示した基板の
接合端の断面の拡大図であり、第5図は第4図を平面的
に見た説明図である。 第6〜8図は本発明のイメージセンサ−の素子基板同志
の接合部の形態の説明図である。 第9図C参照は素子基板の接続端面部の形成手順を示す
説明図である。 1・・・基 板 2・・・素 子3・・
・接着剤 4・・・砥 石 第7図 第8図
子基板の接合部の説明図であり、第2図は第1図におけ
る接愚弾拡大図であり、第4図は第3図に示した基板の
接合端の断面の拡大図であり、第5図は第4図を平面的
に見た説明図である。 第6〜8図は本発明のイメージセンサ−の素子基板同志
の接合部の形態の説明図である。 第9図C参照は素子基板の接続端面部の形成手順を示す
説明図である。 1・・・基 板 2・・・素 子3・・
・接着剤 4・・・砥 石 第7図 第8図
Claims (1)
- 1、複数個の基板を配列接続して一体とした密着型イメ
ージセンサーにおいて、接続されるそれぞれの基板の接
続部の形状は、(i)接続する一方の基板の接続部の接
続面と光電変換素子を設置した基板面とのなす角度が、
接続する他方の基板の接続部の接続面と光電変換素子を
設置した基板面とのなす角度と補角の関係にあり、且つ
(ii)接続する基板の少なくとも一方について、基板
の接続面と前記光電変換素子を設置した基板面の反対側
の面とがなす角度が90°より大きいことによりその部
分の接続部分に空隙が存在することを特徴とする密着型
イメージセンサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63061378A JPH01233764A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | イメージセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63061378A JPH01233764A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | イメージセンサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01233764A true JPH01233764A (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=13169456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63061378A Pending JPH01233764A (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | イメージセンサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01233764A (ja) |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP63061378A patent/JPH01233764A/ja active Pending
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