JPH01213703A - Active attenuation control method - Google Patents

Active attenuation control method

Info

Publication number
JPH01213703A
JPH01213703A JP3862988A JP3862988A JPH01213703A JP H01213703 A JPH01213703 A JP H01213703A JP 3862988 A JP3862988 A JP 3862988A JP 3862988 A JP3862988 A JP 3862988A JP H01213703 A JPH01213703 A JP H01213703A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
alternating force
generating means
displacement generating
force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3862988A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Sugita
雄二 杉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd filed Critical Mitsui Engineering and Shipbuilding Co Ltd
Priority to JP3862988A priority Critical patent/JPH01213703A/en
Publication of JPH01213703A publication Critical patent/JPH01213703A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PURPOSE:To effectively attenuate oscillation by delaying the phase of the detection signal of an alternating power detecting means in a first-order integral means by 90 deg. and outputting the phase-delayed signal to a corresponding displacement generating means in each attenuation supporting means. CONSTITUTION:A band plate 2 which has a light emitting and receiving device 1 having mass (m) in the front end is fixed to a frame 4 through an attenuation supporting device 3 like a cantilever. The attenuation supporting device 3 consists of a piezoelectric actuator as the displacement generating means and an attenuation supporting body using an alternating power detector. When the frame 4 is oscillated, an oscillating force L acts upon the attenuation supporting device 3 and is detected and led to a controller 11. Alternating power detection signals Vf5-Vf7 are adjusted with respect to sensitivity by preamplifiers P1-P3 in the controller 11 and are given to control circuits C1-C3 and are inputted to first-order integrators 12-14 related to time, and applied voltage signals Va5-Va7 are given to the piezoelectric actuator through adders 15-17 or the like.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は、アクティブ減衰制御方法に関し、更に詳細に
は、ねじり振動や曲げ振動など複雑な振動モードを持つ
物体を支持しながら防振する装置を使用するアクティブ
減衰制御方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to an active damping control method, and more particularly, to a device for vibration isolating while supporting an object having complex vibration modes such as torsional vibration and bending vibration. The present invention relates to an active damping control method using.

〔従来技術〕[Prior art]

例えばレンズあるいは発・受光装置を支持して位置決め
作業をするロボットアームは、ロボット基盤に衝撃力な
どの外乱力が作用すると、レンズあるいは発・受光装置
が振動を起すことがある。かかる振動は、通常継続時間
が短(いずれ振動は停止するが、その間、位置決め誤差
が発生し、作業の質低下を来すという問題がある。しか
も前記のような物体を支持する腕は、その構造により振
動減衰能力には限界があるので、積極的に制振する試み
が従来から行われている。
For example, in a robot arm that supports a lens or a light emitting/receiving device for positioning work, when a disturbance force such as an impact force is applied to the robot base, the lens or the light emitting/receiving device may vibrate. Such vibrations usually have a short duration (the vibrations will eventually stop, but during that time, positioning errors occur and the quality of the work deteriorates.Moreover, the arm supporting the object is Since there is a limit to the vibration damping ability depending on the structure, attempts have been made to actively dampen vibrations.

従来の割振手段としては、例えばロボットアームの先端
に加速度検出器を取付けたり、振動による変位又は速度
を検出したりし、これらの検出手段から得られる検出信
号に基づいてアーム移動用のモータを制御して防振する
、いわゆるアクティブ防振が提案されている。しかしな
がらこれら従来の手段は、検出器を取付けた点の振動を
制振しようとするもので、振動がいくつものモードを持
つフレキシブルロボットアームでは、検出器の取付は点
とモータの取付は点とが離れていることによる制御の不
安定が生じることが多い。また、モータの駆動信号には
、アームを移動させるための大きな信号と割振のための
小さな信号とを重ね合せる必要があり、制御装置が複雑
となるなどの問題があった。
Conventional allocation means include, for example, attaching an acceleration detector to the tip of the robot arm, or detecting displacement or speed due to vibration, and controlling the motor for arm movement based on the detection signals obtained from these detection means. So-called active vibration isolation has been proposed. However, these conventional methods attempt to suppress vibration at the point where the detector is attached, and in a flexible robot arm where vibration has several modes, the detector is attached at the point and the motor is attached at the point. Control often becomes unstable due to the distance. Furthermore, the motor drive signal requires a large signal for moving the arm and a small signal for allocation to be superimposed, resulting in problems such as a complicated control device.

元来、ロボットアームなど物体を支持する腕の振動は、
支持方向だけに生じる場合もあるが、その他に腕に直角
方向の振動や、ねじり振動などもある。したがって、こ
れらの−次元以外の振動をより有効に防振する手段の提
供が求められている。またロボットアームのように必ず
しも移動を伴わない固定アームにも同様に効果的な割振
手段が望まれる。
Originally, the vibration of an arm that supports an object, such as a robot arm,
In some cases, vibration occurs only in the supporting direction, but there are also vibrations in the direction perpendicular to the arm, torsional vibration, etc. Therefore, there is a need to provide a means for more effectively damping vibrations other than these dimensions. Similarly, effective allocation means is desired for fixed arms that do not necessarily move, such as robot arms.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

本発明は、以上の従来技術の問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的とするところは、簡単な
制御系で直線方向、曲げ方向及びねじれ方向の振動を含
む振動を同時に制御できるアクティブ減衰制御方法を提
供することである。
The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and its purpose is to simultaneously control vibrations including linear, bending, and torsional vibrations using a simple control system. An object of the present invention is to provide a controllable active damping control method.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

以上の目的を達成するための本発明のアクティブ減衰制
御方法の構成は、伸縮して変位する変位発生手段と該変
位発生手段を伝播する振動を検出する交番力検出手段と
を直列的に配置した減衰支持手段を複数用いて防振する
物体を支持し、前記の各交番力検出器が出力する交番力
検出信号を、時間に関して1階積分して得られる信号に
基づきそれぞれ対応する前記変位発生手段の変位を制御
することを特徴とするものである。
To achieve the above object, the active damping control method of the present invention has a configuration in which a displacement generating means that expands and contracts and is displaced, and an alternating force detecting means that detects vibration propagating through the displacement generating means are arranged in series. A plurality of damping support means are used to support the object to be vibration-isolated, and the corresponding displacement generating means is based on a signal obtained by first-order integration with respect to time of the alternating force detection signal outputted by each of the alternating force detectors. It is characterized by controlling the displacement of.

前記変位発生手段は、変位抵抗力が大きい構造の中でも
支持方向の入力信号に対して応答よく伸縮できるタイプ
のものであれば特に限定はないが、通常はディスク型圧
電素子を積層した圧電変位発生手段を使用することが好
ましい。
The displacement generating means is not particularly limited as long as it has a structure with a large displacement resistance and can expand and contract with good response to input signals in the supporting direction, but it is usually a piezoelectric displacement generating means made of a stack of disc-shaped piezoelectric elements. Preferably, the means are used.

前記交番力検出手段は、前記変位発生手段と直列にして
取付け、支持手段の一部として使用することのできるも
のであれば特に限定はないが、例えば圧電体による荷重
センサ、ひずみゲージ、ディスク型圧電素子を積層した
ものなどである。
The alternating force detecting means is not particularly limited as long as it can be installed in series with the displacement generating means and used as part of the supporting means, but for example, it may be a piezoelectric load sensor, a strain gauge, or a disk type. For example, it is a stack of piezoelectric elements.

交番力検出器の出力す、る検出信号を1階積分する手段
としては、例えばオペアンプを使用した積分回路を使用
することができるが、これに限定されない。
As means for first-order integration of the detection signal output from the alternating force detector, for example, an integrating circuit using an operational amplifier can be used, but the present invention is not limited thereto.

前記複数の減衰支持手段の配置には特に限定はなく、並
列的に配置し、取扱いを便利にするために一体構造とし
たもの、これを例えばロボットアームに組み込むなど支
持腕状としたもの、テーブルに設けた4本の脚と床の間
にそれぞれに1個づつの防振支持手段を配置したもの、
防振する物体を床と壁とで支持するようにし、その支持
点に前記減衰支持手段を介装するようにするなど、支持
形態、振動モードにより適宜配置形態を選択することが
できる。
There are no particular limitations on the arrangement of the plurality of damping support means, and they may be arranged in parallel and have an integral structure for convenient handling, may be built into a support arm shape such as being incorporated into a robot arm, or may be a table. One anti-vibration support means is placed between each of the four legs provided on the floor and the floor,
The arrangement form can be selected as appropriate depending on the support form and vibration mode, such as supporting the object to be vibration-isolated by the floor and wall and interposing the damping support means at the support points.

〔作 用〕[For production]

各減衰支持手段ごとの複数の交番力検出手段が検出した
信号を、それぞれ独立して時間に対し1階積分する手段
は、交番力検出手段の検出信号の位相を90°遅れた信
号とし、かかる位、相の信号をそれぞれ減衰支持手段ご
とに、即ち独立した制御演算により各対応する変位発生
手段に出力するという簡単な制御手段により振動を有効
に減衰させるように作用する。
The means for independently integrating the signals detected by the plurality of alternating force detecting means for each damping support means on the first order with respect to time is a signal whose phase is delayed by 90 degrees from the detection signal of the alternating force detecting means. Vibration is effectively damped by simple control means in which phase and phase signals are output to each damping support means, that is, to each corresponding displacement generating means by independent control calculations.

〔実施例1〕 以下添付の図面を対照して実施例により本発明方法を具
体的に説明する。
[Example 1] Hereinafter, the method of the present invention will be specifically explained by way of an example with reference to the attached drawings.

第1図は曲げ撮動とねじり振動とを同時に減衰させる本
実施例の制御回路図であり、第2図は第1図の制御系の
全体的構成図を示す斜視図であり、第3図は、本実施例
に使用した減衰支持装置の平面図であり、第4図は第3
図のfV−■線断面図である。
FIG. 1 is a control circuit diagram of this embodiment that simultaneously damps bending motion and torsional vibration, FIG. 2 is a perspective view showing the overall configuration of the control system in FIG. 1, and FIG. is a plan view of the damping support device used in this example, and FIG.
It is a sectional view taken along line fV-■ in the figure.

第2図において、先端に質量mを有する発・受光装置1
をもつ片持の帯板2は、減衰支持装置3を介してフレー
ム4に固定されている。前記フレーム4に外乱が入ると
、この帯板2には第2図に示す方向の曲げ振動Mとねじ
り振動Tが顕著に現れる。これは帯板2の剛性がこれら
の振動に対して弱いためである。
In FIG. 2, a light emitting/receiving device 1 having a mass m at its tip
A cantilevered strip 2 having a diameter is fixed to a frame 4 via a damping support device 3 . When a disturbance enters the frame 4, bending vibrations M and torsional vibrations T in the directions shown in FIG. 2 appear conspicuously in the band plate 2. This is because the rigidity of the strip plate 2 is weak against these vibrations.

減衰支持装置3は第3図及び第4図に示すように、変位
発生手段である圧電アクチュエータ5aと、それと同軸
上に配置した交番力検出手段としての交番力検出器5b
からなる減衰支持体5、そして同様に圧電アクチュエー
タ6a。
As shown in FIGS. 3 and 4, the damping support device 3 includes a piezoelectric actuator 5a as a displacement generating means, and an alternating force detector 5b as an alternating force detecting means arranged coaxially with the piezoelectric actuator 5a.
a damping support 5, and likewise a piezoelectric actuator 6a.

7aと交番力検出器6b、7bからなる減衰支持体6,
7を互いに離間して星型に、点0に対して対称に配置し
て構成している。
damping support 6, consisting of 7a and alternating force detectors 6b, 7b;
7 are spaced apart from each other in a star shape and arranged symmetrically with respect to point 0.

そして、圧電アクチュエータ5a、5a、7aの一面に
上板8、また交番力検出器5b、6b。
An upper plate 8 is disposed on one side of the piezoelectric actuators 5a, 5a, 7a, and alternating force detectors 5b, 6b.

7bの一面に下板9がそれぞれ設けられ、前記上板8と
下板9は、結合ボルト10で締結されて一体に組立てら
れている。なお図のhは減衰支持装置3のハウジングで
ある。
A lower plate 9 is provided on one side of each plate 7b, and the upper plate 8 and the lower plate 9 are fastened together with a connecting bolt 10 and assembled into one piece. Note that h in the figure is the housing of the damping support device 3.

交番力検出器5b、6b、7b(7)出力信号V f5
゜VF6. VF6は、制御装置11に導かれると共に
、圧電アクチュエータ5a、6a、7aには制御装置1
1から後述する印加電圧信号が与えられるように構成さ
れている。
Alternating force detector 5b, 6b, 7b (7) output signal V f5
゜VF6. The VF6 is guided to the control device 11, and the piezoelectric actuators 5a, 6a, and 7a are connected to the control device 1.
1 to apply voltage signals to be described later.

いまフレーム4が振動すると減衰支持装置3に振動力り
が作用する。これを交番力検出器5b、6b、7bによ
り検知し、電圧による交番力検出信号Vf5. VF6
.  VF6を制御装置11に導く。
When the frame 4 now vibrates, a vibration force acts on the damping support device 3. This is detected by the alternating force detectors 5b, 6b, and 7b, and the alternating force detection signal Vf5. VF6
.. The VF6 is guided to the control device 11.

制御装置11では、第り図に示すように、交番力検出信
号Vf5.  VF6.  VF6は、それぞれプリア
ンプpt l  P2 +  p3により感度調整され
て、制御回路C1,C2、C3に与えられ、ここでそれ
ぞれ時間に関する1階積分器12,13.14に入力さ
れる。そして、それぞれ圧電アクチュエータ5a、5a
、7aが必要とするバイアス電圧電源15’、16’、
17’から与えられるバイアス電圧を加算器15.16
゜17で加え、更に増幅器18.19.20で増幅して
印加電圧信号Va5.  Va6. Va7を得る。 
 ′この印加電圧信号Va5.  Va6. Va7が
圧電アクチュエータ5a、6a、7aに与えられると、
各圧電アクチュエータ5a、5a、7aは、それぞれを
伝播する交番力に対し90°の位相遅れで伸縮する。
In the control device 11, as shown in FIG. 2, the alternating force detection signal Vf5. VF6. VF6 is each subjected to sensitivity adjustment by a preamplifier pt l P2 + p3, and is applied to control circuits C1, C2, and C3, where it is input to time-related first-order integrators 12, 13, and 14, respectively. And piezoelectric actuators 5a, 5a, respectively.
, 7a require bias voltage power supplies 15', 16',
The bias voltage given from 17' is added to adder 15.16.
17, and is further amplified by amplifiers 18, 19, and 20 to produce an applied voltage signal Va5. Va6. Obtain Va7.
'This applied voltage signal Va5. Va6. When Va7 is applied to the piezoelectric actuators 5a, 6a, 7a,
Each piezoelectric actuator 5a, 5a, 7a expands and contracts with a phase delay of 90° with respect to the alternating force propagating through each piezoelectric actuator.

各減衰支持体5,6.7の両端の相対変位X5+X5.
X7は、減衰支持体5,6.7のばね定数に3.に6.
に7、圧電アクチュエータ5a。
Relative displacement of both ends of each damping support 5, 6.7 X5+X5.
X7 is the spring constant of the damping supports 5, 6.7 and 3. 6.
7, piezoelectric actuator 5a.

6a、7aの伸縮量u5 、C6+  C7、そして減
衰支持体5.6.7を伝播する交番力L5+L6.L7
を用いると、これらの各値は、の関係で表される。この
中で圧電アクチュエータ5a、6a、7aの伸縮量u5
.u6.u7は、交番力L5.L6.L?に対して、そ
れぞれ90°の位相遅れを持っていることから、交番力
L5+  Ls、L7と減衰支持体5.6.7の両端の
相対変位X5 、X5 、X7の関係は第5図に示すよ
うに、−周期ごとに斜線部のエネルギが散逸されること
になる。このために振動エネルギが散逸し、振動が減衰
する。
6a, 7a, the amount of expansion and contraction u5, C6+C7, and the alternating force L5+L6. propagating through the damping support 5.6.7. L7
Using , each of these values is expressed by the relationship . Among these, the amount of expansion and contraction u5 of the piezoelectric actuators 5a, 6a, and 7a
.. u6. u7 is the alternating force L5. L6. L? The relationship between the alternating forces L5+ Ls, L7 and the relative displacements X5, X5, and X7 at both ends of the damping support 5.6.7 is shown in Figure 5. Thus, the energy in the shaded area is dissipated every - period. This dissipates the vibration energy and dampens the vibrations.

第6図は、本実施例のアクティブ減衰方法による効果を
説明するためのグラフ図である。即ち第6図(a)はな
んら制御しないときの帯板先端の変位を示し、第6図(
blは、実施例の制御方法によって制御したときの帯板
先端の変位である。
FIG. 6 is a graph diagram for explaining the effect of the active damping method of this embodiment. That is, FIG. 6(a) shows the displacement of the tip of the strip without any control, and FIG.
bl is the displacement of the tip of the strip when controlled by the control method of the embodiment.

図から分るように本実施例の制御によって撮動急速に減
衰することが分る。
As can be seen from the figure, the control of this embodiment causes rapid attenuation of the imaging.

〔実施例2〕 以下第7図及び第8図に基づき実施例2のアクティブ減
衰制御手段を説明する。
[Embodiment 2] The active damping control means of Embodiment 2 will be explained below based on FIGS. 7 and 8.

以下実施例2に使用した特徴を実施例1に用いた第3図
、第4図の装置と対比して説明する。
The features used in Example 2 will be explained below in comparison with the apparatus shown in FIGS. 3 and 4 used in Example 1.

即ち実施例2の減衰支持装置30は、実施例1の減衰支
持装置3と同様に圧電アクチュエータ5a、6a、?a
と交番力検出器5b、6b。
That is, the damping support device 30 of the second embodiment, like the damping support device 3 of the first embodiment, has piezoelectric actuators 5a, 6a, ? a
and alternating force detectors 5b, 6b.

7bとを同軸上に直列に配置してなる防振支持体5.6
.7を3個星型状に0点に対し対称的に並列して配置し
た構成のものである。
7b arranged in series on the same axis.
.. 7 are arranged in parallel in a star shape symmetrically with respect to the 0 point.

実施例1の説明では触れなかったが、第3図。Although not mentioned in the explanation of the first embodiment, FIG.

第4図に示す減衰支持装置3では、結合ボルト10の剛
性は、十分小さい場合に通用するものであった。しかし
ながら、結合ボルト10の曲げ剛性、引張り剛性が無視
できない場合もすくなくない。このとき、3つの交番力
検出器5b。
In the damping support device 3 shown in FIG. 4, the rigidity of the coupling bolt 10 is sufficiently small to be used. However, there are many cases in which the bending rigidity and tensile rigidity of the connecting bolt 10 cannot be ignored. At this time, three alternating force detectors 5b.

6b、7bは、減衰支持装置3を伝播する力のうち、こ
の結合ボルト10を伝播する力を除いた力を加えて、圧
電アクチュエータ5a、6a。
6b and 7b actuate the piezoelectric actuators 5a and 6a by applying a force excluding the force propagating through the coupling bolt 10 out of the force propagating through the damping support device 3.

7aが伸縮することによって、結合ボルト10が変形す
るときの反力も合せて計測している。
The reaction force when the connecting bolt 10 is deformed by expanding and contracting 7a is also measured.

この反力は、圧電アクチュエータ5a、6a。This reaction force is applied to the piezoelectric actuators 5a and 6a.

7aの伸縮量に比例する。このとき、交番力検出器5b
、6b、7bの交番力検出信号V f5゜VF6. V
F6をそれぞれ1階積分して得られた信号に基づき圧電
アクチュエータ5a、5a、7aの伸縮量を制御する第
1図の制御回路による制御系では、低周波数帯域で、こ
の反力に起因する圧電アクチュエータ5a、6a、7a
の伸縮量の全体の伸縮量x5.X5.x7に対する割合
が太き(なり、減衰効果を弱める働きをする。
It is proportional to the amount of expansion and contraction of 7a. At this time, the alternating force detector 5b
, 6b, 7b alternating force detection signal V f5°VF6. V
In the control system using the control circuit shown in FIG. 1, which controls the amount of expansion and contraction of the piezoelectric actuators 5a, 5a, and 7a based on the signals obtained by first-order integration of F6, the piezoelectric force caused by this reaction force is generated in the low frequency band. Actuators 5a, 6a, 7a
The total amount of expansion and contraction x5. X5. The ratio to x7 is thick (becomes thick) and works to weaken the damping effect.

そこで、実施例2では、この減衰支持装W30の内部の
釣り合い力(結合ボルト10の変形反力)の影響を避け
るために、第7図に示すように、圧電アクチュエータ5
a、6a、?aと交番力検出器5b、  6b、7bと
の間に、これらを隔離する鋼板31を挿入し、上板7と
鋼板31、下板8と鋼板31とをそれぞれ異なる結合ボ
ルト32.33で結合して一体にした減衰支持装置30
を用いている。ここで、圧電アクチュエータ5aと交番
力検出器5bと、圧電アクチュエータ6aと交番力検出
器6bと、圧電アクチュエータ7aと交番力検出器7b
とは、実施例1と同様にそれぞれ同一軸上に配置されて
いる。
Therefore, in the second embodiment, in order to avoid the influence of the internal balance force (deformation reaction force of the coupling bolt 10) of the damping support W30, as shown in FIG.
a, 6a,? A steel plate 31 is inserted between A and the alternating force detectors 5b, 6b, and 7b to isolate them, and the upper plate 7 and the steel plate 31, and the lower plate 8 and the steel plate 31 are connected with different connecting bolts 32 and 33, respectively. Integrated damping support device 30
is used. Here, the piezoelectric actuator 5a and the alternating force detector 5b, the piezoelectric actuator 6a and the alternating force detector 6b, and the piezoelectric actuator 7a and the alternating force detector 7b.
and are arranged on the same axis as in the first embodiment.

このように構成することにより、圧電アクチュエータ5
a、6a、7aが伸縮することに伴う結合ボルト32の
変形反力は、上板7と鋼板31との間でつり合い力とし
て打ち消される。
With this configuration, the piezoelectric actuator 5
The deformation reaction force of the connecting bolt 32 due to the expansion and contraction of a, 6a, and 7a is canceled out as a balancing force between the upper plate 7 and the steel plate 31.

したがって、交番力検出器5b、6b、7bは、この影
響を受けることな(、減衰支持装置30を伝播する交番
力のうち、結合ボルト33を伝播する力を除いた力を検
出できる。この検出される力と減衰支持装置30を伝播
する力は、通常線型関係にあると考えてよい。
Therefore, the alternating force detectors 5b, 6b, and 7b are not affected by this (and can detect the force excluding the force propagating through the coupling bolt 33 among the alternating force propagating through the damping support device 30. The force applied to the damping support device 30 and the force propagating through the damping support device 30 can generally be considered to have a linear relationship.

実施例2に使用した制御回路は、第1図と同様のものを
使用した。したがって、前記説明のとおり、各交番力検
出器5b、6b、7bは、プリアンプPs、p2.P3
による感度調整によって、減衰支持装置30の各減衰支
持体5゜6.7を伝播する力を換算することによって計
測することができる。そこで、交番力検出器5b、6b
、7bのそれぞれの交番力検出信号Vf5.  VF6
.  VF6を、制御回路を通して圧電アクチュエータ
5a、6a、7aへの印加電圧信号V a5.  V 
a6.  V a7を得て、それぞ圧電アクチュエータ
5a、6a、7aに入力する。このとき実施例1と同じ
理由によって振動エネルギが散逸し、振動が減衰する。
The control circuit used in Example 2 was the same as that shown in FIG. Therefore, as explained above, each alternating force detector 5b, 6b, 7b has a preamplifier Ps, p2. P3
By adjusting the sensitivity according to the above, it is possible to measure by converting the force propagating through each damping support 5°6.7 of the damping support device 30. Therefore, the alternating force detectors 5b, 6b
, 7b, each alternating force detection signal Vf5. VF6
.. VF6 is applied to the piezoelectric actuators 5a, 6a, 7a through a control circuit as a voltage signal Va5. V
a6. Va7 is obtained and input to the piezoelectric actuators 5a, 6a, and 7a, respectively. At this time, the vibration energy is dissipated for the same reason as in the first embodiment, and the vibration is attenuated.

前記実施例はいずれも3個の減衰支持手段を使用したも
のについて説明したが、本発明方法は、これに限定され
ず、2個、4個またそれ以上の減衰支持手段と交番力検
出信号を1階積分手段を含むそれぞれ独立した制御回路
とによって、同様に効果的なアクティブ減衰制御を行う
ことができる。
Although all of the above embodiments have been described using three damping support means, the method of the present invention is not limited thereto, and the method of the present invention is not limited to this, and the method may include two, four or more damping support means and an alternating force detection signal. A similarly effective active damping control can be achieved with independent control circuits including first-order integrator means.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明のアクティブ減衰制御方法は
、伸縮して変位する変位発生手段と該変位発生手段を伝
播する振動を検出する交番力検出手段とを直列的に配置
した減衰支持手段を複数用いて防振する物体を支持し、
前記の各交番力検出器が出力する交番力検出信号を、時
間に関して1階積分して得られる信号に基づきそれぞれ
対応する前記変位発生手段の変位を制御するする構成と
したので、複数の変位発生手段に伝播する交番力に対し
、それぞれ独立に位相が90°遅れた制御信号を出力す
るというより簡単な構成の制御手段により、曲げ振動、
ねじり振動、軸振動などの振動エネルギを有効に散逸さ
せ、優れた減衰効果を得ることができる。
As explained above, the active damping control method of the present invention includes a plurality of damping support means in which displacement generating means that expands and contracts to displace and alternating force detecting means that detects vibration propagating through the displacement generating means are arranged in series. to support the object to be vibration-isolated,
Since the configuration is such that the displacement of the corresponding displacement generating means is controlled based on the signal obtained by first-order integration with respect to time of the alternating force detection signal outputted by each of the alternating force detectors, multiple displacements can be generated. Bending vibration,
Vibration energy such as torsional vibration and shaft vibration can be effectively dissipated and excellent damping effects can be obtained.

したがって、アクティブ減衰手段の利用分野を拡げるこ
とが可能となる。
Therefore, it becomes possible to expand the field of use of the active damping means.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は3点で支持する場合について示した実施例のブ
ロック図による制御回路図、第2図は一実施例の全体構
成を示す斜視図、第3図は実施例1に使用する減衰支持
装置の平面図、第4図は第2図のIV−IV線矢視断面
図、第5図は第1図の実施例による振動伝播力と減衰支
持体の伸縮量との関係図、第6図は実施例1の効果を説
明する図、第7図は実施例2に使用した減衰支持装置の
平面図、第8図は第7図の■−■線矢視断面図である。 3・・・減衰支持装置、5. 6. 7・・・減衰支持
体、5a、6a、7a−−−圧電アクチsX−夕、5b
。 6b、7b・・・交番力検出器1.12.13.14・
・・1階積分回路、Cs 、C2、C3・・・制御回路
、VfL VF6. VF3・・・交番力検出信号、V
al。 V a2.  V a3・・・印加電圧制御信号。 第1図 第2図 第3図      第4図 ILs、L6.L7 第7図      第8図
Fig. 1 is a control circuit diagram in the form of a block diagram of an embodiment shown in the case of support at three points, Fig. 2 is a perspective view showing the overall configuration of one embodiment, and Fig. 3 is a damping support used in embodiment 1. A plan view of the device, FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 2, FIG. 7 is a plan view of the damping support device used in Example 2, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line ■-■ in FIG. 7. 3... damping support device, 5. 6. 7... Damping support, 5a, 6a, 7a---Piezoelectric actuator sX-layer, 5b
. 6b, 7b... Alternating force detector 1.12.13.14.
...1st-order integration circuit, Cs, C2, C3...control circuit, VfL VF6. VF3... Alternating force detection signal, V
al. Va2. Va3... Applied voltage control signal. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 ILs, L6. L7 Figure 7 Figure 8

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  伸縮して変位する変位発生手段と該変位発生手段に伝
播する振動を検出する交番力検出手段とを直列的に配置
した減衰支持手段を複数用いて防振する物体を支持し、
前記の各交番力検出手段が出力する交番力検出信号を、
時間に関して1階積分して得られる信号に基づきそれぞ
れ対応する前記変位発生手段の変位を制御することを特
徴とするアクティブ減衰制御方法。
Supporting an object to be vibration-isolated by using a plurality of damping support means in which a displacement generating means that expands and contracts and displaces and an alternating force detecting means that detects vibration propagated to the displacement generating means are arranged in series,
The alternating force detection signal outputted by each of the above-mentioned alternating force detection means,
An active damping control method, characterized in that the displacements of the corresponding displacement generating means are controlled based on signals obtained by first-order integration with respect to time.
JP3862988A 1988-02-23 1988-02-23 Active attenuation control method Pending JPH01213703A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3862988A JPH01213703A (en) 1988-02-23 1988-02-23 Active attenuation control method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3862988A JPH01213703A (en) 1988-02-23 1988-02-23 Active attenuation control method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01213703A true JPH01213703A (en) 1989-08-28

Family

ID=12530533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3862988A Pending JPH01213703A (en) 1988-02-23 1988-02-23 Active attenuation control method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01213703A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6193206B1 (en) Active vibration isolator
JP2559589B2 (en) Vibration absorber
JPH04231750A (en) Vibration-proof supporting device
US8807515B2 (en) Instrumented platform for vibration sensitive equipment
KR101719380B1 (en) An active vibration isolation and damping system
US5086564A (en) Device and method for active vibration damping
KR950033751A (en) Active Vibration Separation System
US8297121B2 (en) Micro-machined accelerometer
KR970002279A (en) Active vibration damping device and manufacturing method thereof
US4352481A (en) Apparatus and method for electronic damping of resonances
JPH01213703A (en) Active attenuation control method
JP2001271871A (en) Active vibration control device
NL2004415C2 (en) Active vibration isolation system, arrangement and method.
JP2000120765A (en) Active vibration compensator device
JPH01275867A (en) Vibration control method for building
JPH07168631A (en) Vibration damping device
JPS6353617A (en) Active vibration insulating method
JP2864038B2 (en) Microvibration test method and device
JPH0198723A (en) Active vibrationproofing control method
JP2000136844A (en) Displacement generation type actuator active vibration insulating device
JP3135172B2 (en) Building damping device
JPS62155347A (en) Active vibrationproof supporting device
JP2000314442A (en) Active damping device
JPS6288015A (en) Active vibration isolation control method
JPH08179835A (en) Active damper